在內表面上具有薄膜的中空成型品的形成方法與裝置的製作方法

2023-04-28 07:11:11 1

專利名稱：在內表面上具有薄膜的中空成型品的形成方法與裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及通過將一對半中空體的開口接合併使薄膜澱積在至少一個半中空體 的內表面上來形成一體的中空成型品的方法，以及用來執行該成型方法的成型裝置。
背景技術：
在中空體的內表面的一部分上具有幾微米級薄膜的成型品的例子是裝在車輛上 的前燈或尾燈。該燈由以下部分構成具有電燈泡的凹陷的本體部分，和與本體部分的開口 一體化連接的透鏡單元。本體部分是通過例如注射成型方法而成型的，並且在其不必要的 部分(如外表面)被遮蔽的情況下，藉助於專用懸掛器懸掛在澱積專用的真空箱中。然後 通過後面所述的澱積方法將薄膜形成在本體部分上。再次將本體部分設置在模中，並與分 開成型的透鏡部分對齊，從而通過注射成型方法使它們接合併一體化。用於在諸如本體部分的基板的表面上形成薄膜的澱積方法在本領域中是已知的。 已知有濺射方法，其中通過以面對面方式布置基板和靶，並通過將幾KV的負電壓施加到 在幾Pa至幾十Pa的氬氣氛圍中的靶並放電，來形成薄膜；真空澱積方法，其中通過將基板 和蒸發源收納在真空容器中來形成膜；離子鍍方法，其中通過將幾KV的負電壓施加到基板 在幾Pa壓力下的氬氣中執行真空澱積；以及化學澱積方法。JP-B-2-38377披露了一種通過注射成型來形成中空成型品的方法。具體而言，該 中空成型品形成方法包括一次成型，其中用一對由固定模和滑動模形成的空腔來形成一 對一次半成型品，使其在開口周圍具有接合部分；以及二次成型，其中將模打開，使一個一 次半成型品留在固定模中，而另一個一次半成型品留在滑動模中，其中將滑動模滑到該對 一次半成型品的接合部分對齊的位置，然後將模子合模(mold clamp)，並通過向接合部分 注射熔融樹脂使其接合。此外，日本專利No. 3，326，752披露了 JP-B-2-38377的這樣一種 成型方法，其在一次成型時在一個一次半成型品的對接部分或接合部分的內側一體地形成 引導部分，並且當另一個一次半成型品配合到所述一個一次半成型品的對接部分上時，通 過該一次半成型品的對接部分的引導部分來引導另一個一次半成型品的對接部分，以進行 二次成型。另一方面，日本專利No. 3，047，213披露了一種成型方法，其中如上所述通過注 射和填充樹脂形成中空成型品，使得在二次成型時由對接部分從注射和填充點形成的角度 為90度或更小。根據上面所述的形成方法，產生了許多問題，因為基板必須預先通過注射成型方 法形成，並且必須被傳送到真空箱中進行澱積。例如，基板預先成型和儲存。因此，在儲存 基板時其表面可能被手或灰塵弄髒，從而它可能導致澱積不良。為了避免該情況，基板的處 理需要最大限度的注意，並增加了成本。此外，一旦儲存了預製的基板，其儲存就產生了管
3理問題。另外，在澱積之前，基板必須從模中取出，並且在接合之前其必須被再次插入到模 中，由此降低了生產率。另一方面，在JP-B-2-38377中披露的注射成型方法的優點在於，不僅其各個步驟 可自動執行以大規模生產中空成型品，而且甚至複雜形狀的中空成型品也能製造。另一方 面，根據日本專利No. 3，326，752的發明，即使具有或多或少的變形，也能夠使對接部分精 密對接，從而產生用於二次成型的樹脂沒有洩漏的效果。此外，日本專利No. 3，047，213的 發明的特徵在於，其接合強度很高，以致即使用更少的注射部分也能使用於二次成型的熔 融樹脂成型。因此，這些發明現在仍然被有效地實施。然而，現有技術的成型方法不能在中 空成型品的內表面上形成幾微米級的薄膜。

發明內容
本發明預期提供一種解決了上述現有技術中的問題的成型方法，並且目的是提供 一種用於形成中空成型品的方法，所述中空成型品在其內表面上具有薄膜，其沒有任何澱 積面的汙染，從而其質量不會因澱積不良而惡化，其不需要任何特殊的儲存管理，並且其可 以容易地自動成型，以及提供一種用於實施該成型方法的成型裝置。為了實現上述目的，根據本發明，在通過固定模和可滑動的活動模成型的本體部 分的內表面留在活動模的凹槽中時，本體部分被澱積室覆蓋，所述澱積室中具有澱積元件， 如靶電極、基板電極或真空吸管，從而在模中執行澱積。為了實現上述目的，根據本發明的第一方面，提供一種用於形成中空成型品的方 法，所述中空成型品在其內表面上具有薄膜，該方法包括一次成型，其包括通過使用固 定模和可滑動的活動模使一對半中空體成型；澱積，其包括將所述可滑動的活動模驅動 至預定位置，同時使在一次成型中成型的成對中空體留在其各自的模中；和在用澱積凹槽 覆蓋時，澱積成對的半中空體中的至少一個的內表面，所述澱積凹槽形成在所述固定模中 並且在其中包括澱積元件，所述澱積元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和二次成型， 其包括將所述可滑動的活動模驅動至使所述成對的半中空體的開口對齊的位置，同時使 所述成對的半中空體留在各自的模中，其中所述成對的半中空體中的至少一個是澱積過 的；將所述可滑動的活動模合模；和將熔融樹脂注射到所述半中空體的接合部分，從而使 所述成對的半中空體一體化。根據本發明的第二方面，提供一種用於同時形成多個中空成 型品的方法，所述中空成型品每個都在其內表面上具有薄膜，該方法包括一次成型，其包 括通過使用固定模和可滑動的活動模使多對半中空體成型；澱積，其包括將所述可滑動 的活動模驅動至預定位置，同時使在一次成型中成型的多對中空體留在其各自的模中；和 在用澱積凹槽覆蓋時，澱積成對半中空體中的至少一個的內表面，所述澱積凹槽形成在所 述固定模中並且在其中包括澱積元件，所述澱積元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和 二次成型，其包括將所述可滑動的活動模驅動至使所述多對半中空體的開口對齊的位置， 同時使所述多對半中空體留在各自的模中，其中所述多對半中空體中的至少一個是澱積過 的；將所述可滑動的活動模合模；和將熔融樹脂注射到所述半中空體的接合部分，從而使 所述多對半中空體一體化。根據本發明的第三方面，在一次成型中成對的半中空體各自由 不同的樹脂材料成型。根據本發明的第四方面，提供一種用於形成中空成型品的成型裝置，所述中空成
4型品通過使一對半中空體在開口周圍接合而一體化，並且在所述半中空體中的至少一個 的內表面上具有薄膜，該裝置包括固定模，其包括用於使成對的半中空體成型的芯和凹 槽；第一澱積凹槽和第二澱積凹槽，它們以預定的間隔設置並且包括澱積元件，所述澱積元 件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和活動模，其包括水平滑動模，具有與所述固定模 的凹槽協同工作的芯；和垂直滑動模，具有與所述固定模的芯協同工作的第一凹槽和第二 凹槽，第一澱積凹槽和第二澱積凹槽的大小為分別能夠覆蓋設置在垂直滑動模中的第一凹 槽和第二凹槽。根據本發明的第五方面，提供一種用於同時形成多對中空成型品的成型裝 置，所述中空成型品通過使成對半中空體在開口周圍接合而一體化，並且每個都在所述半 中空體中的至少一個的內表面上具有薄膜，該裝置包括固定模，其包括用於使成對的半 中空體成型的多個芯和多個凹槽；第一澱積凹槽和第二澱積凹槽，它們以預定的間隔設置 並且包括澱積元件，所述澱積元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和活動模，其包括 水平滑動模，具有與所述固定模的多個凹槽各自協同工作的多個芯；和垂直滑動模，具有與 所述固定模的芯各自協同工作的第一凹槽和第二凹槽，並且第一澱積凹槽和第二澱積凹槽 的大小為分別能夠覆蓋設置在垂直滑動模中的第一凹槽和第二凹槽。因此，根據本發明，通過使用固定模和可滑動的活動模使一對半中空體成型，並將 可滑動的活動模驅動至預定位置，同時使在一次成型步驟中成型的成對中空體留在其各自 的模中，以便在用澱積凹槽覆蓋時，澱積成對的半中空體中的至少一個的內表面，所述澱積 凹槽形成在所述固定模中並且具有澱積元件，如靶電極、基板電極或真空吸管。簡言之，不 將所述成對的半中空體從模中取出，而是在模中在被澱積凹槽覆蓋時澱積，從而澱積面不 被手或灰塵在其表面上汙染。因此，能夠提供具有極佳澱積質量的中空成型品，該中空成型 品在其內表面上具有薄膜。此外，澱積是當半中空體留在模中時在模中執行的，因而半中空 體不需要儲存管理。此外，根據本發明，將可滑動的活動模驅動至使所述成對的半中空體的 開口對齊的位置，同時使所述成對的半中空體留在各自的模中，其中所述成對的半中空體 中的至少一個是澱積過的，由此將所述可滑動的活動模合模，以便通過將熔融樹脂注射到 其接合部分使所述成對的半中空體一體化。通過使用這些模，即使複雜形狀的在其內表面 上具有薄膜的中空成型品也能容易地形成。另一方面，根據另一發明，通過一次成型步驟使多對半中空體成型，並且在澱積步 驟中對恰好配對的成對半中空體中的至少一個的內表面進行澱積，在二次成型步驟中使成 對的半中空體一體化。除了至此所描述的效果，還能夠同時製得多個中空成型品，其中每個 都在其內表面上具有薄膜，從而提高了成型效率。


圖IA和IB是示出根據本發明第一實施例的成型裝置的圖，並從分型線側分別呈 現固定模和活動模的示意透視圖A和B。圖2A至2J是示出根據第一實施例的成型裝置的圖，並示意性呈現各個成型步驟 的頂視平面圖A至J。圖3A至3D是示出用於說明本發明的工作原理的模的實例的圖，並示意性呈現各 個成型步驟的截面圖A至D。圖4A和4B是示出根據本發明第二實施例的成型裝置的圖，並從分型線側分別呈現固定模和活動模的示意透視圖A和B。
具體實施例方式在此描述其內部具有薄膜的成型品的成型例，該成型品通過以下方法形成注射 成型碗狀本體部分和用於密封該本體部分的開口的盤狀蓋部件，在模中在本體部分的內表 面上形成薄膜，以及用蓋部件密封本體部分的開口。首先描述本發明的成型裝置的實施例。 圖1呈現示意性示出根據本發明一個實施例的成型裝置的透視圖。圖IA是從分型線側看 的固定模1的透視圖，圖IB是從分型線側看的活動模20的透視圖。在示出的實施例中，固 定模1具有分型線面P，其形成為第一垂直延伸成型面2和第二水平延伸成型面10的大致 交叉形狀。在第一成型面2中，以垂直的預定間隔形成用於形成真空室的第一和第二澱積凹 槽3和4。這些凹槽3和4的大小為能夠覆蓋後面所述的本體成型凹槽，並且在其周圍設 有0形環5。例如，當通過濺射方法進行澱積時，諸如靶電極或基板電極的澱積元件設置在 由此形成的澱積凹槽3和4中，或者真空吸管或氬氣供給管在澱積凹槽3和4中開口。此 外，這些電極或真空吸管的開口在其開口處通過軟管6和7連接到抽氣設備8、惰性氣體供 給設備9或未示出的電源設備。水平方向的第二成型面10，在其與第一和第二澱積凹槽3和4對齊的位置，設有用 於使碗狀本體部分成型的本體成型芯11。與本體成型芯11間隔預定距離，第二成型面10 還設有用於使蓋部件成型的蓋部件成型凹槽12。本體成型芯11從分型線面P朝外突出。 結果，本體部分形成為碗狀。另一方面，蓋部件成型凹槽12從分型線面P稍微凹陷。結果， 盤狀蓋部件成型。儘管沒有示出，但在該芯11周圍，形成用於使接合部分與本體部分一體 成型的凸起，如將參考圖3詳細說明的。活動模20由以下部分構成水平滑動模22，其以能夠水平滑動的方式結合到活動 框架21 ；垂直滑動模30，其以能夠垂直滑動的方式結合到水平滑動模22。模22和30具有 在同一平板中形成的分型線面P。因此，在圖IB所示的實施例中，水平滑動模22被水平分 割，從而圖IB中的垂直滑動模30在分割的部分之間垂直滑動。如此形成的水平滑動模22 與垂直滑動模30 —體由致動器24水平驅動，所述致動器24的一個端部連到從活動框架21 水平延伸的支撐部件23。另一方面，垂直滑動模30獨立於水平滑動模22由致動器32垂直 驅動，所述致動器32的一個端部連到垂直延伸的門形支撐部件31。用於形成蓋部件的蓋部件成型芯25，在夾著垂直滑動模30形成的活動模20的水 平滑動模22的分型線面P的一側形成；清除凹槽26在另一側形成，清除凹槽26用於在合 模時清除本體成型芯11。儘管在圖IB中沒有示出，但在蓋部件成型芯25周圍，像本體成型 芯11 一樣，也形成有用於使接合部分與蓋部件一體成型的凸起。在垂直滑動模30的分型 線面P中，形成有第一和第二本體成型凹槽33和34，它們對應在固定模1中形成的第一和 第二澱積凹槽3和4。至此描述的固定模1和滑動模20可用於通過一次成型操作來形成碗狀本體部分 和盤狀蓋部件，並且本體部分和蓋部件可通過二次成型操作一體化以形成中空成型品。圖3 具體示出了用於說明該成型原理的模的實例。具體而言，該模由固定模40和滑動模45構 成，並且用於使本體成型的預定深度的本體成型凹槽41形成在固定模40的分型線面P中的上部位置，而高度相對較小的蓋部件成型芯42形成在下部位置。在芯42周圍並距其預 定的間隔形成小芯43。小芯43在蓋部件的開口周圍形成接合段部。另一方面，在滑動模 45的分型線面P上，形成有本體成型芯46，其與固定模40的本體成型凹槽41配對。在芯 46周圍並距其預定的間隔也形成小芯47。小芯47在本體的開口周圍形成接合段部。在本 體成型芯46之下，形成有較淺的蓋部件成型凹槽48，其與固定模40的蓋部件成型芯42配 對。在滑動模45的本體成型芯46和蓋部件成型凹槽48之間，形成有一次成型澆鑄道50， 其通過流道51和間道52而與本體成型凹槽41和蓋部件成型凹槽48相連通。二次成型澆 鑄道53形成在一次成型澆鑄道50之下。從圖3中，省略了用於驅動滑塊模45垂直滑動的 致動器、合模設備、用於使成型品脫模的脫模器設備、注射器設備，等等。可通過使用前面所述的模40和45以下面的方式形成中空成型品。模40和45在 第一位置合模，如圖3A所示。然後，由固定模40的本體成型凹槽41和滑動模45的本體成 型芯46形成本體成型空腔Kh。此外，由固定模40的蓋部件成型芯42和滑動模45的蓋部 件成型凹槽48形成蓋部件成型空腔Kf。從一次成型澆鑄道50注射熔融樹脂。然後，熔融 樹脂通過流道51和閘道52注入到本體成型空腔Kh和蓋部件成型空腔Kf中，如圖3B所 示。通過該一次成型操作，本體H和蓋部件F成型，並且在其開口周圍具有接合用半槽M，。 該半槽M』在圖3C中示出。等待冷卻固化，將模打開，本體H留在固定模40中，而蓋部件F留在滑動模45中。 然後，將滑動模45滑到二次成型位置，在該位置，本體H和蓋部件F的開口彼此對齊。圖3C 示出了該對齊位置。模子在該對齊位置合模。然後，在本體H和蓋部件F的對接部分的外 部周邊由半槽Μ』* M』形成接合空腔M，如圖3D所示。從二次成型澆鑄道53注射與本體成 型樹脂相同或不同的樹脂。通過該二次成型，本體H和蓋部件F—體化，產生中空成型品。如同前面所述的，通過由一次成型操作使本體部分和蓋部件成型，在本體部分的 內表面上或在本體部分的內表面和蓋部件的內表面上形成薄膜，然後通過二次成型操作， 使本體部分和蓋部件彼此對接並注射熔融樹脂以使它們一體化，也獲得了在其內表面具有 薄膜的中空成型品。在圖1所示的上述實施例中，本體成型芯11、蓋部件成型芯25、第一和 第二本體成型凹槽33和34、蓋部件成型凹槽12等也形成為具有如圖3所示的形狀，或者使 一次成型品的接合部分具有如在日本專利No. 3，326，752和日本專利No. 3，047，213中所述 的結構，但其在形狀上進行了簡化並在圖1中示意性地示出。參考示意圖2，通過使用圖1所示的實施例中的固定模1和滑動模20，描述了在內 表面上具有薄膜的中空成型品的成型例。這裡在圖2中空白橢圓表示未填充的空腔；具有 圓圈的橢圓表示填充了的空腔或者由一次成型獲得的半完成成型品；帶陰影線的橢圓表示 澱積的半完成成型品；帶陰影線的粗邊橢圓表示具有澱積的內表面的中空成型品。此外，圖 2僅示出了可滑動驅動的活動模20，而沒有示出固定不動的固定模1。將活動模20滑到第一成型位置。此外，將垂直滑動模30滑到下部的第一成型位 置。然後，垂直滑動模30的第一本體成型凹槽33與固定模1的本體成型芯11對齊，由此形 成用於使碗狀本體部分成型的空腔。使模合模，並注射用於一次成型操作的熔融樹脂。結 果，第一本體部分成型。該狀態在圖2A中示出。等待一定程度的冷卻固化，打開活動模20，並將垂直滑動模30驅動至上部的第二 成型位置，如圖2B所示。然後，水平滑動模22的蓋部件成型芯25與固定模1的蓋部件成型凹槽12對齊。垂直滑動模30的第二本體成型凹槽34也與固定模1的本體成型芯11對 齊。該對齊狀態在圖2B中示出。使模合模。然後，由固定模1的蓋部件成型凹槽12和水平 滑動模22的蓋部件成型芯25形成用於使蓋部件成型的空腔，並且由本體成型芯11和第二 本體成型凹槽34還形成第二本體成型空腔。將第一成型熔融樹脂注射到這些空腔中。通 過這些一次成型操作，第二本體部分和第一蓋部件同時成型，如圖2C所示。等待冷卻固化，打開活動模20，將垂直滑動模30驅動至下部的第一澱積位置，如 圖2D所示。然後，垂直滑動模30的第一本體成型凹槽33與固定模1的第一澱積凹槽3對 齊。具體而言，留在第一本體凹槽33中的第一本體部分與第一澱積凹槽3對齊並限定在其 中。接下來，模合模至澱積程度。在該合模之後，可使第一澱積凹槽3的0形環5與垂直滑動模30的分型線面P緊 密接觸並在其上澱積。例如，驅動真空源或惰性氣體供給源，以將第一澱積凹槽3的內部設 置為約幾Pa至幾十Pa的氬氣氛圍。然後，將負電壓施加到靶上，並將正的幾kV的正電壓 施加到本體部分，從而使氬氣放電並在本體部分的內表面上澱積。澱積狀態在圖2D中示 出。將垂直滑動模30驅動至左手的二次成型位置，如圖2E所示。然後，使在澱積之後留在 第一本體成型凹槽33中的第一本體部分與留在固定模1的蓋部件成型凹槽12中的蓋部件 對齊。使模合模，並注射用於二次成型操作的熔融樹脂。結果，本體部分和蓋部件在開口處 接合併一體化。該狀態在圖2E中示出。打開活動模20，以取出在本體部分的內表面上具有 薄膜的中空成型品。當成型品被取出時，垂直滑動模30的第一本體成型凹槽33形成空腔， 如圖2F所示。將成型品取出，並使模合模。然後，由本體成型芯11和本體成型凹槽33形成用於 使第三本體部分成型的空腔，並由固定模1的蓋部件成型凹槽12和水平滑動模22的蓋部 件成型芯25形成用於使蓋部件成型的空腔。將用於一次成型操作的熔融樹脂注射到這些 空腔中。結果，第三本體部分和第二蓋部件同時一次成型。由此已完成了一次成型操作的 狀態在圖2G中示出。打開活動模20。將垂直滑動模30滑到上部的第二澱積位置。然後，使模合模。由 此，第二澱積凹槽4的0形環5與垂直滑動模30的分型線面P緊密接觸，從而為澱積作準 備。如上所述，將電壓和氣體施加到第二澱積凹槽的內部，從而在第二本體部分的內表面上 進行澱積。由此完成了澱積的狀態在圖2H中示出。將垂直滑動模30驅動至二次成型位置， 如圖21所示。由此，在澱積之後留在第二本體成型凹槽34中的第二本體部分與留在固定 模1的蓋部件成型凹槽12中的蓋部件對齊。使模合模，並注射用於二次成型操作的熔融樹 脂。結果，本體部分和蓋部件在開口處接合併一體化。打開活動模20，以取出在內表面上具 有薄膜的中空成型品。取出後的狀態在圖2J中示出。然後，在本體部分的內表面上具有薄 膜的中空成型品同樣地成型。本發明可以各種方式實施。例如，很明顯，通過在固定模1中附加形成蓋部件澱積 凹槽，也可以對蓋部件的內表面進行澱積。還很明顯的是，如果使用如圖4所示的成型裝 置，能夠使兩個在其內表面具有薄膜的中空成型品同時成型。通過對與圖1中所示的根據 第一實施例的成型裝置中相同的部件指定相同的參考標記，或通過對表示相同部件的相同 參考標記加上撇號(dashing)，沒有對該實施例進行描述，而是將其省略。根據該實施例， 固定模1』配備有兩個本體成型芯11和11』及兩個蓋部件成型凹槽12和12』。此外，活動
8模20，的水平滑動模22設置有兩個蓋部件芯25和25』及用於卸除本體成型芯11和11』 的大卸除凹槽26』。垂直滑動模30設置有兩個第一本體成型凹槽33和33』及兩個第二本 體成型凹槽34和34』。此外，使固定模1』的第一和第二澱積凹槽3』和4』的大小能夠同 時覆蓋垂直滑動模30的兩個第一本體成型凹槽33和33』及兩個第二本體成型凹槽34和 34』。還很明顯的是，通過增加本體成型芯和蓋部件成型凹槽的數量，還能生產三個或更多 個在其內表面上具有薄膜的中空成型品。也可以使本體成型樹脂材料和蓋部件成型樹脂材 料在一次成型時不同。例如，當在其表面具有薄膜的中空成型品是前燈或尾燈時，蓋部件也 可以用透明的透鏡材料成型。
權利要求
一種用於同時形成多個中空成型品的方法，所述中空成型品每個都在其內表面上具有薄膜，該方法包括一次成型，其包括通過使用固定模和可滑動的活動模使多對半中空體成型；澱積，其包括將所述可滑動的活動模驅動至預定位置，同時使在一次成型中成型的多對中空體留在其各自的模中；和在用澱積凹槽覆蓋時，澱積成對半中空體中的至少一個的內表面，所述澱積凹槽形成在所述固定模中並且在其中包括澱積元件，所述澱積元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和二次成型，其包括將所述可滑動的活動模驅動至使所述多對半中空體的開口對齊的位置，同時使所述多對半中空體留在各自的模中，其中所述多對半中空體中的至少一個是澱積過的；將所述可滑動的活動模合模；和將熔融樹脂注射到所述半中空體的接合部分，從而使所述多對半中空體一體化。
2.根據權利要求1的用於形成中空成型品的方法，其中，在一次成型中成對的半中空體各自由不同的樹脂材料成型。
3.一種用於形成中空成型品的成型裝置，所述中空成型品通過使一對半中空體在開口 周圍接合而一體化，並且在所述半中空體中的至少一個的內表面上具有薄膜，該裝置包括固定模，其包括用於使成對的半中空體成型的芯和凹槽；和第一澱積凹槽和第二澱積凹槽，它們以預定的間隔設置並且包括澱積元件，所述澱積 元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和活動模，其包括水平滑動模，具有與所述固定模的凹槽協同工作的芯；和垂直滑動模，具有與所述固定模的芯協同工作的第一凹槽和第二凹槽，第一澱積凹槽 和第二澱積凹槽的大小為分別能夠覆蓋設置在垂直滑動模中的第一凹槽和第二凹槽。
4.一種用於同時形成多對中空成型品的成型裝置，所述中空成型品通過使成對半中空 體在開口周圍接合而一體化，並且每個都在所述半中空體中的至少一個的內表面上具有薄 膜，該裝置包括固定模，其包括用於使成對的半中空體成型的多個芯和多個凹槽；和第一澱積凹槽和第二澱積凹槽，它們以預定的間隔設置並且包括澱積元件，所述澱積 元件包括靶電極、基板電極和真空吸管；和活動模，其包括水平滑動模，具有與所述固定模的多個凹槽各自協同工作的多個芯；和垂直滑動模，具有與所述固定模的芯各自協同工作的第一凹槽和第二凹槽，並且第一 澱積凹槽和第二澱積凹槽的大小為分別能夠覆蓋設置在垂直滑動模中的第一凹槽和第二 凹槽。
全文摘要
本發明涉及在內表面上具有薄膜的中空成型品的形成方法與裝置。本發明的方法採用固定模和可滑動的活動模，所述固定模具有澱積凹槽，在澱積凹槽內部配備有諸如靶電極之類的澱積元件。執行一次成型，以形成在其開口周圍具有接合部分的本體部分和蓋部件。在用澱積凹槽緊密覆蓋後，對留在垂直滑動模中的本體部分進行澱積。接下來，將留在模中的澱積過的本體部分和蓋部件對齊併合模，注射熔融金屬以使接合部分一體化。
文檔編號B29C45/04GK101879769SQ201010206728
公開日2010年11月10日 申請日期2006年9月28日 優先權日2006年9月28日
發明者西田正三 申請人:株式會社日本制鋼所