一種單晶爐ccd監控系統的製作方法

2023-04-28 16:23:31

專利名稱：一種單晶爐ccd監控系統的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及高溫環境下CCD相機系統成像的安裝機構，特別提供了一種單晶爐CXD監控系統。
背景技術：
單晶爐是用於在惰性氣體(氬氣)環境中，用石墨電阻加熱器將矽半導體材料溶化，用直拉法生長單晶的設備，是太陽能光伏行業的關鍵設備。在單晶爐生長單晶的過程中，單晶棒料的直徑數據是一個很關鍵的技術指標，需要時時監控單晶棒料的直徑數據，並根據單晶爐內的單晶棒料的直徑的變化來調整單晶爐的溫度控制系統和壓力控制系統，達到控制單晶棒料直徑穩定的目的。為了檢測單晶棒料的直徑，以前都是通過人工，用單晶爐體上的觀察口用人工觀察的方式，和安裝在單晶爐體上的標杆尺進行對比來進行測量，定時採集數據，反饋給單晶爐控制系統。這種方法的缺點是(I)、數據的誤差比較大，不能有效的提供準確的數據給單晶爐控制器；(2)、需要人工參與，需要很多的人力成本來完成單晶爐的晶體生長過程；(3)、不能做到自動控制，設備的整體效率和產能受到限制。

實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是克服傳統的單晶爐監控方法存在的數據誤差大，人力成本高，不能自動控制及工作效率低等缺點。本實用新型所述單晶爐CCD監控系統，結構設計人性化，生產成本低，適用不同型號的單晶爐，在不增加外圍製冷設備的前提下，實現了光學過濾和熱量的隔離，保護了相機的壽命和長時間連續運行的穩定性，同時可以根據生長不同的尺寸的晶體矽棒，可以人工通過四維平臺2調整工業智能相機3的位置，找到最佳的拍攝位置。與現有的同類技術相t匕，實施難度降低很多，成本降低30%以上，相機的成像質量提升在27%以上，CXD監控系統時時反饋的數據的準確度提高15%以上，以上數據在300臺現場設備得到驗證。本實用新型所述單晶爐CCD監控系統，解決了以下問題:(1)、在單晶爐爐體觀測孔位置上安裝相機時如何最大限度的減少高溫對圖像系統的輻射；(2)、在CCD系統成像的過程中，如何去除生長的晶體和液態晶體交界面的幹擾問題；(3)、不同爐體結構時監控系統的位置調整問題。本實用新型解決其技術問題所採用技術方案是一種單晶爐CCD監控系統，所述監控系統包括平臺墊板1、四維平臺2、固定連接裝置、工業智能相機3、光熱隔離裝置，其中，工業智能相機3的CCD傳感器與固定連接裝置連接，固定連接裝置置於四維平臺2上，四維平臺2置於平臺墊板I上，光熱隔離裝置通過連接件與固定連接裝置連接；所述平臺墊板I是連接整個監控系統和單晶爐爐體的中間裝置，採用聚四氟乙烯材質，厚度在10毫米以 上，不但能夠起到固定的作用，而且可以阻擋單晶爐爐體觀測口的安裝面上的近100攝氏度溫度的熱量傳到工業智能相機3上；所述置於平臺墊板I上的四維平臺2，通過手動調整設置在固定連接裝置的鎖線上板12上的滾花螺母17，能夠實現X/Y方向的15毫米直線運動，環繞X/Y方向的正負10度的旋轉，並通過設置的自鎖裝置實現自鎖，這樣就實現了智能相機的位置的調整，從而可以根據不同的爐體結構實現相機的正確成像；所述工業智能相機3的成像鏡頭的中心位置在單晶爐的觀測孔中心15毫米以內移動，同時工業智能相機3通過四維平臺2能在X/Y方向移動，並繞X/Y方向旋轉；所述位於工業智能相機3的成像鏡頭下方的光熱隔離裝置，能夠最大限度的隔離從單晶爐觀測孔a和觀測孔b散發出來的熱量，同時平臺墊板I也能夠隔離從機械連接部件傳導來的熱量，這樣結構設計能達到隔離80%以上的熱量，使相機的工作溫度保持在30攝氏度以下(單晶爐體觀測口的溫度在80-100攝氏度)，從而能夠正常工作；所述置於四維平臺2上的固定連接裝置實現了工業智能相機3的安裝固定和相機電纜的鎖死，保證相機能夠穩定的連接並固定。連接杆9位於工業智能相機3的兩側，上端與安裝板15連接，下端與隔熱上板5連接，隔熱上板5距離鏡頭端面的距離是5毫米，隔熱上板5的材質是鐵質的，比較厚，中間有一個圓形的觀測孔a，供工業智能相機3拍攝圖像使用；所述光熱隔離裝置包括隔熱上板5、隔熱下板6、隔熱玻璃7、壓墊8、連接杆9，其中，壓墊8上端與隔熱上板5連接、下端與隔熱下板6連接，連接杆9下端與隔熱上板5連接；所述隔熱上板5的中心設置有觀測孔a，所述隔熱下板6的中心設置有觀測孔b，觀測孔a與觀測孔b的中心一致，觀測孔b的直徑大於觀測孔a的直徑；觀測孔a和觀測孔b供工業智能相機3拍攝圖像·使用，所述隔熱玻璃7置於隔熱上板5中心的觀測孔a上，位於隔熱上板5與隔熱下板6之間；壓墊8的作用是隔離隔熱下板6的熱量傳遞到連接杆9上，進而避免傳遞到工業智能相機3上，引起工業智能相機3過熱；隔熱下板6是由鏡面不鏽鋼板製成，隔熱玻璃7能夠隔離紅外線波段的能量，能夠吸收掉大部分的熱量，使單晶爐爐體觀測孔所副射出來的熱量無法到達工業智能相機3和成像鏡頭的表面，同時不鏽鋼鏡面能夠很好的反射單晶爐觀測孔所輻射來的熱量，輻射的熱量被反射到空氣中，慢慢吸收；隔熱玻璃7還能夠吸收一定的紅外光譜部分的能量，使成像質量有進一步的提升，但是還不能完全達到準確測量的目的，為了去除殘留的紅外幹擾光線，在工業智能相機3的成像鏡頭下方，設計安裝了一個指定通過400-700nm範圍的光譜濾鏡，經過這些處理措施，CXD監控系統採集到的圖像是清晰、穩定，能夠測量穩定的晶體矽棒直徑數據。本實用新型所述單晶爐C⑶監控系統，其中，所述工業智能相機3的成像鏡頭與隔熱上板5的中心間隔5mm設置。本實用新型所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述隔熱上板5的觀測孔a上設置有調整片10，所述調整片10置於隔熱上板5與隔熱下板6之間，隔熱上板5的作用是吸收傳導過來的剩餘熱量，調整片10能夠手動開啟和關閉圓形觀測孔a，主要是用於單晶爐生產中溶料的時候，輻射熱量特別強，中間觀測孔透過的熱量也可能傷害相機和鏡頭，此時應該關閉觀測孔，避免輻射熱量直接到達工業智能相機3的成像鏡頭和工業智能相機3的表面，保護工業智能相機3和成像鏡頭使用壽命，而在晶體生長的過程中，為了成像，需要打開調整片10。[0017]本實用新型所述單晶爐CCD監控系統，其中，所述固定連接裝置包括連接底板11、鎖線上板12、鎖線下板13、立支板14，其中，鎖線上板12置於鎖線下板13上，鎖線下板13置於連接底板11 一端，立支板14置於連接底板11另一端；所述連接底板11置於四維平臺2上。本實用新型所述單晶爐C⑶監控系統，其中，所述固定連接裝置的鎖線上板12上設置有用於調整四維平臺轉動的滾花螺母17。本實用新型所述單晶爐C⑶監控系統，其中，所述連接件主要由安裝板15組成，安裝板15置於工業智能相機3的 CXD傳感器上、並與工業智能相機3固定連接，安裝板15 —端與固定連接裝置連接，另一端的兩側設置U形凸起，安裝板15通過U性凸起與光熱隔離裝置連接。本實用新型所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述連接件主要由橫連杆16組成，橫連杆16 —端與連接杆9上端連接，另一端與固定連接裝置的側面連接。本實用新型所述單晶爐C⑶監控系統，其中，工業智能相機3的成像鏡頭下方，設置有通過400-700nm波長光的光譜濾鏡。本實用新型所述單晶爐CXD監控系統，測量器件是工業智能相機3，工業智能相機3的CCD傳感器是一款在常溫下工作的半導體器件，但是在單晶爐的觀察窗位置，表面的接觸溫度在100攝氏度左右，這樣的溫度CCD相機是無法工作的，而且，需要相機連續工作時間在72小時以上，使用本實用新型的單晶爐CCD監控系統，能夠克服在輻射高溫環境下相機不能連續工作的難題。單晶爐CCD監控系統可以做到自動採集單晶爐中單晶矽棒的直徑數據，並時時反饋給總控制系統，從而對數據進行時時的分析和處理。並且能夠在不同的單晶生長過程中(引晶、放肩、等晶、收尾)提供不同的測量方法，時時採集測量數據，進而夠使單晶爐全自動晶體生長成為可能，降低單晶爐晶體生長的人力資源投入，降低單晶矽棒的生廣成本，提聞企業效益。本實用新型所述單晶爐CXD監控系統，通過整合光學、散熱(包括隔熱)、相機圖像處理系統、機械安裝和調整等、實現了高溫環境下非接觸的光學測量直徑的功能，在不用其他外圍輔助冷卻的環境下，工業智能相機3的CCD傳感器能夠穩定運行，為單晶爐內晶體生長過程的直徑數據測量系統提供了穩定工作環境，通過觀測單晶爐的晶體生長過程中，實現對已生長晶體直徑實時監控，並將時時採集數據傳輸到主控系統。以下結合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明:

圖1為單晶爐CXD監控系統a結構示意圖；圖2為單晶爐CXD監控系統b結構示意圖。
具體實施方式
實施例1本實施例所述單晶爐CXD監控系統，如圖1所示，包括平臺墊板1、四維平臺2、固定連接裝置、工業智能相機3、光熱隔離裝置，其中，工業智能相機3的CXD傳感器與固定連接裝置連接，固定連接裝置置於四維平臺2上，四維平臺2置於平臺墊板I上，光熱隔離裝置通過連接件與固定連接裝置連接；[0030]其中，平臺墊板I是連接整個監控系統和單晶爐爐體的中間裝置，採用聚四氟乙烯材質，厚度在10毫米以上，不但能夠起到固定的作用，而且可以阻擋單晶爐爐體觀測口的安裝面上的近100攝氏度溫度的熱量傳到工業智能相機3上；所述置於平臺墊板I上的四維平臺2，通過手動調整設置在固定連接裝置上的滾花螺母17，能夠實現X/Y方向的15毫米直線運動，環繞X/Y方向的正負10度的旋轉，並通過設置的自鎖裝置實現自鎖，這樣就實現了智能相機的位置的調整，從而可以根據不同的爐體結構實現相機的正確成像；所述工業智能相機3的成像鏡頭的中心位置在單晶爐的觀測孔中心15毫米以內移動，同時工業智能相機3通過四維平臺2能在X/Y方向移動，並繞X/Y方向旋轉；所述位於工業智能相機3的成像鏡頭下方的光熱隔離裝置，能夠最大限度的隔離從單晶爐觀測孔a和觀測孔b散發出來的熱量，同時平臺墊板I也能夠隔離從機械連接部件傳導來的熱量，這樣結構設計能達到隔離80%以上的熱量，使相機的工作溫度保持在30攝氏度以下(單晶爐體觀測口的溫度在80-100攝氏度)，從而能夠正常工作；所述置於四維平臺2上的固定連接裝置實現了工業智能相機3的安裝固定和相機電纜的鎖死，保證工業智能相機3能夠穩定的連接並固定。所述光熱隔離裝置包括隔熱上板5、隔熱下板6、隔熱玻璃7、壓墊8、連接杆9，其中，壓墊8上端與隔熱上板5連接、下端與隔熱下板6連接，連接杆9下端與隔熱上板5連接，所述隔熱上板5的中心設置有觀測孔a，所述隔熱下板6的中心設置有觀測孔b，觀測孔a與觀測孔b的中心一致，觀測孔b的直徑大於觀測孔a的直徑；觀測孔a和觀測孔b供工業智能相機3拍攝圖像使用，所述隔熱玻璃7置於隔熱上板5中心的觀測孔a上，位於隔熱上板5與隔熱下板6之間；壓墊8的作用是隔離隔熱下板6的熱量傳遞到連接杆9上，進而避免傳遞到工業智能相機3上，引起工業智能相機3過熱；隔熱下板6是由鏡面不鏽鋼板製成，隔熱玻璃7能夠隔離紅外 線波段的能量，能夠吸收掉大部分的熱量，使單晶爐爐體觀測孔所副射出來的熱量無法到達工業智能相機3和成像鏡頭的表面，同時不鏽鋼鏡面能夠很好的反射單晶爐觀測孔所輻射來的熱量，輻射的熱量被反射到空氣中，慢慢吸收；隔熱玻璃7還能夠吸收一定的紅外光譜部分的能量，使成像質量有進一步的提升，但是還不能完全達到準確測量的目的，為了去除殘留的紅外幹擾光線，在工業智能相機3的成像鏡頭下方，設計安裝了一個指定通過400-700nm範圍的光譜濾鏡，經過這些處理措施，CXD監控系統採集到的圖像是清晰、穩定，能夠測量穩定的晶體矽棒直徑數據。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述工業智能相機3的成像鏡頭與隔熱上板5的中心間隔5mm設置，隔熱上板5的材質是鐵質的。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述隔熱上板5的觀測孔a上設置有調整片10，所述調整片10置於隔熱上板5與隔熱下板6之間，隔熱上板5的作用是吸收傳導過來的剩餘熱量，調整片10能夠手動開啟和關閉圓形觀測孔a，主要是用於單晶爐生產中溶料的時候，輻射熱量特別強，中間觀測孔透過的熱量也可能傷害相機和鏡頭，此時應該關閉觀測孔，避免輻射熱量直接到達工業智能相機3的成像鏡頭和工業智能相機3的表面，保護工業智能相機3和成像鏡頭使用壽命，而在晶體生長的過程中，為了成像，需要打開調整片10。本實施例所述單晶爐CCD監控系統，其中，所述固定連接裝置包括連接底板11、鎖線上板12、鎖線下板13、立支板14，其中，鎖線上板12置於鎖線下板13上，鎖線下板13置於連接底板11 一端，立支板14置於連接底板11另一端；所述連接底板11置於四維平臺2上。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述固定連接裝置的鎖線上板12上設置有用於調整四維平臺轉動的滾花螺母17。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述連接件主要由安裝板15組成，安裝板15置於工業智能相機3的CXD傳感器上、並與工業智能相機3固定連接，安裝板15 —端與固定連接裝置連接，另一端的兩側設置U形凸起，安裝板15通過U性凸起與光熱隔離裝置連接。本實施例所述單晶爐C⑶監控系統，其中，工業智能相機3的成像鏡頭下方，設置有能夠通過400-700nm波長光的光譜濾鏡。本實施例所述單晶爐CCD監控系統，能夠自動採集單晶爐中單晶矽棒的直徑數據，並時時反饋給總控制系統，從而對數據進行時時的分析和處理。並且能夠在不同的單晶生長過程中(引晶、放肩、等晶、收尾)提供不同的測量方法，時時採集測量數據，進而夠使單晶爐全自動晶體生長成為可能，降低單晶爐晶體生長的人力資源投入，降低單晶矽棒的生廣成本，提聞企業效益。實施例2本實施例所述單晶爐CXD監控系統，如圖2所示，包括平臺墊板1、四維平臺2、固定連接裝置、工業智能相機3 、光熱隔離裝置，其中，工業智能相機3的CXD傳感器與固定連接裝置連接，固定連接裝置置於四維平臺2上，四維平臺2置於平臺墊板I上，光熱隔離裝置通過連接件與固定連接裝置連接；其中，平臺墊板I是連接整個監控系統和單晶爐爐體的中間裝置，採用聚四氟乙烯材質，厚度在10毫米以上，不但能夠起到固定的作用，而且可以阻擋單晶爐爐體觀測口的安裝面上的近100攝氏度溫度的熱量傳到工業智能相機3上；所述置於平臺墊板I上的四維平臺2，通過手動調整設置在固定連接裝置上的滾花螺母17，能夠實現X/Y方向的15毫米直線運動，環繞X/Y方向的正負10度的旋轉，並通過設置的自鎖裝置實現自鎖，這樣就實現了智能相機的位置的調整，從而可以根據不同的爐體結構實現相機的正確成像；所述工業智能相機3的成像鏡頭的中心位置在單晶爐的觀測孔中心15毫米以內移動，同時工業智能相機3通過四維平臺2能在X/Y方向移動，並繞X/Y方向旋轉；所述位於工業智能相機3的成像鏡頭下方的光熱隔離裝置，能夠最大限度的隔離從單晶爐觀測孔a和觀測孔b散發出來的熱量，同時平臺墊板I也能夠隔離從機械連接部件傳導來的熱量，這樣結構設計能達到隔離80%以上的熱量，使相機的工作溫度保持在30攝氏度以下(單晶爐體觀測口的溫度在80-100攝氏度)，從而能夠正常工作；所述置於四維平臺2上的固定連接裝置實現了工業智能相機3的安裝固定和相機電纜的鎖死，保證工業智能相機3能夠穩定的連接並固定。所述光熱隔離裝置包括隔熱上板5、隔熱下板6、隔熱玻璃7、壓墊8、連接杆9，其中，壓墊8上端與隔熱上板5連接、下端與隔熱下板6連接，連接杆9下端與隔熱上板5連接，所述隔熱上板5的中心設置有觀測孔a，所述隔熱下板6的中心設置有觀測孔b，觀測孔a與觀測孔b的中心一致，觀測孔b的直徑大於觀測孔a的直徑；觀測孔a和觀測孔b供工業智能相機3拍攝圖像使用，所述隔熱玻璃7置於隔熱上板5中心的觀測孔a上，位於隔熱上板5與隔熱下板6之間；壓墊8的作用是隔離隔熱下板6的熱量傳遞到連接杆9上，進而避免傳遞到工業智能相機3上，引起工業智能相機3過熱；隔熱下板6是由鏡面不鏽鋼板製成，隔熱玻璃7能夠隔離紅外線波段的能量，能夠吸收掉大部分的熱量，使單晶爐爐體觀測孔所副射出來的熱量無法到達工業智能相機3和成像鏡頭的表面，同時不鏽鋼鏡面能夠很好的反射單晶爐觀測孔所輻射來的熱量，輻射的熱量被反射到空氣中，慢慢吸收；隔熱玻璃7還能夠吸收一定的紅外光譜部分的能量，使成像質量有進一步的提升，但是還不能完全達到準確測量的目的，為了去除殘留的紅外幹擾光線，在工業智能相機3的成像鏡頭下方，設計安裝了一個指定通過400-700nm範圍的光譜濾鏡，經過這些處理措施，CXD監控系統採集到的圖像是清晰、穩定，能夠測量穩定的晶體矽棒直徑數據。 本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述工業智能相機3的成像鏡頭與隔熱上板5的中心間隔5mm設置，隔熱上板5的材質是鐵質的。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述隔熱上板5的觀測孔a上設置有調整片10，所述調整片10置於隔熱上板5與隔熱下板6之間，隔熱上板5的作用是吸收傳導過來的剩餘熱量，調整 片10能夠手動開啟和關閉圓形觀測孔a，主要是用於單晶爐生產中溶料的時候，輻射熱量特別強，中間觀測孔透過的熱量也可能傷害相機和鏡頭，此時應該關閉觀測孔，避免輻射熱量直接到達工業智能相機3的成像鏡頭和工業智能相機3的表面，保護工業智能相機3和成像鏡頭使用壽命，而在晶體生長的過程中，為了成像，需要打開調整片10。本實施例所述單晶爐CCD監控系統，其中，所述固定連接裝置包括連接底板11、鎖線上板12、鎖線下板13、立支板14，其中，鎖線上板12置於鎖線下板13上，鎖線下板13置於連接底板11 一端，立支板14置於連接底板11另一端；所述連接底板11置於四維平臺2上。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述固定連接裝置的鎖線上板12上設置有用於調整四維平臺轉動的滾花螺母17本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，所述連接件主要由橫連杆16組成，橫連杆16 —端與連接杆9上端連接，另一端與固定連接裝置的側面連接。本實施例所述單晶爐CXD監控系統，其中，工業智能相機3的成像鏡頭下方，設置有通過400-700nm波長光的光譜濾鏡。本實施例所述單晶爐CCD監控系統，能夠自動採集單晶爐中單晶矽棒的直徑數據，並時時反饋給總控制系統，從而對數據進行時時的分析和處理。並且能夠在不同的單晶生長過程中(引晶、放肩、等晶、收尾)提供不同的測量方法，時時採集測量數據，進而夠使單晶爐全自動晶體生長成為可能，降低單晶爐晶體生長的人力資源投入，降低單晶矽棒的生廣成本，提聞企業效益。
權利要求1.一種單晶爐CXD監控系統，其特徵在於: 所述監控系統包括平臺墊板(I)、四維平臺(2)、固定連接裝置、工業智能相機(3)、光熱隔離裝置，其中，工業智能相機(3)的CCD傳感器與固定連接裝置連接，固定連接裝置置於四維平臺(2)上，四維平臺(2)置於平臺墊板(I)上，光熱隔離裝置通過連接件與固定連接裝置連接； 所述光熱隔離裝置包括隔熱上板(5)、隔熱下板(6)、隔熱玻璃(7)、壓墊(8)、連接杆(9)，其中，壓墊(8)上端與隔熱上板(5) 連接、下端與隔熱下板(6)連接，連接杆(9)下端與隔熱上板(5)連接； 所述隔熱上板(5)的中心設置有觀測孔a，所述隔熱下板(6)的中心設置有觀測孔b，觀測孔a與觀測孔b的中心一致，觀測孔b的直徑大於觀測孔a的直徑； 所述隔熱玻璃(7)置於隔熱上板(5)中心的觀測孔a上，位於隔熱上板(5)與隔熱下板(6)之間。
2.按照權利要求1所述單晶爐CCD監控系統，其特徵在於:所述工業智能相機(3)的成像鏡頭與隔熱上板(5)的中心間隔5mm設置。
3.按照權利要求1所述單晶爐CCD監控系統，其特徵在於:所述隔熱上板(5)的觀測孔a上設置有調整片(10)，所述調整片(10)置於隔熱上板(5)與隔熱下板(6)之間。
4.按照權利要求1所述單晶爐CCD監控系統，其特徵在於:所述固定連接裝置包括連接底板(11)、鎖線上板(12)、鎖線下板(13)、立支板(14)，其中，鎖線上板(12)置於鎖線下板(13)上，鎖線下板(13)置於連接底板(11)一端，立支板(14)置於連接底板(11)另一端；所述連接底板(11)置於四維平臺(2)上。
5.按照權利要求1所述單晶爐C⑶監控系統，其特徵在於:所述固定連接裝置(3)的鎖線上板(12)上設置有用於調整四維平臺轉動的滾花螺母(17)。
6.按照權利要求1所述單晶爐CCD監控系統，其特徵在於:所述連接件主要由安裝板(15)組成，安裝板(15)置於工業智能相機(3)的C⑶傳感器上、並與工業智能相機(3)固定連接，安裝板(15)—端與固定連接裝置連接，另一端的兩側設置U形凸起，安裝板(15)通過U性凸起與光熱隔離裝置連接。
7.按照權利要求1所述單晶爐C⑶監控系統，其特徵在於:所述連接件主要由橫連杆(16)組成，橫連杆(16)—端與連接杆(9)上端連接，另一端與固定連接裝置的側面連接。
8.按照權利要求1所述單晶爐C⑶監控系統，其特徵在於:工業智能相機(3)的成像鏡頭下方，設置有通過400-700nm波長光的光譜濾鏡。
專利摘要一種單晶爐CCD監控系統，包括平臺墊板(1)、四維平臺(2)、固定連接裝置、工業智能相機(3)、光熱隔離裝置，其中，工業智能相機(3)的CCD傳感器與固定連接裝置連接，固定連接裝置置於四維平臺(2)上，四維平臺(2)置於平臺墊板(1)上，光熱隔離裝置通過連接件與固定連接裝置連接；本實用新型特別提供的單晶爐CCD監控系統，在不增加外圍製冷設備的前提下，實現了光學過濾和熱量的隔離，保護了相機的壽命和長時間連續運行的穩定性，人工通過四維平臺(2)調整工業智能相機(3)的位置，與現有的同類技術相比，成本降低30%以上，相機的成像質量提升在27%以上，CCD監控系統時時反饋數據的準確度提高15%以上。
文檔編號C30B15/26GK203144553SQ20132013743
公開日2013年8月21日 申請日期2013年3月25日 優先權日2013年3月25日
發明者辛海波 申請人:瀋陽尚元科技發展有限公司