清洗過濾器的循環裝置的製作方法

2023-04-26 04:08:01 1

專利名稱：清洗過濾器的循環裝置的製作方法
技術領域：
清洗過濾器的循環裝置技術領域[0001]本實用新型涉及半導體製造技術領域，特別涉及一種清洗過濾器的循環裝置。
背景技術：
[0002]在半導體的製造工藝中，經常需要刻蝕去除部分金屬材料、絕緣材料以及半導體 材料，從而形成一定形狀的圖形。刻蝕設備通常分為溼法刻蝕設備和幹法刻蝕設備。對於 溼法刻蝕設備，經常需要使用各種刻蝕液。另外，在半導體製造工藝中，經常使用的設備還 有清洗設備。為了保證各種刻蝕液和清洗液的潔淨度，通常在刻蝕液和清洗液的供給系統 中設置過濾器。[0003]過濾器的核心部件是過濾器的過濾芯，過濾器使用一段時間後，過濾芯內會沉積 一定堵塞物，沉積的堵塞物過多時，會堵塞過濾器的網眼，導致液體在過濾前後的壓力差增 大，流速下降。為了保證刻蝕液和清洗液的正常流速，需要定時清洗過濾器或者更換過濾 器。[0004]如圖1所示，以刻蝕氧化矽的溼刻設備為例，過濾器101 —端連接一供給泵102，供 給泵102連接溼刻設備的磷酸循環槽103，過濾器101的另一端連接一溼刻設備的磷酸的 供液槽104。當上述設備中的磷酸經過一段時間刻蝕之後，磷酸刻蝕去除的氧化矽會逐漸 聚集到過濾器101的過濾芯內，將其堵塞，這時就需要更換過濾器101，其更換頻率通常為6 個月I次。也就是說，每過6個月，需要將刻蝕氧化矽的溼刻設備停下來，由專業的工作人 員將所使用的磷酸過濾器101全部更換。[0005]對於現有的溼刻設備和清洗設備，清洗或者更換過濾器，需要專業的工作人員進 行手工作業。在過濾器的更換和清洗作業中，因為需要拆卸過濾器並為清洗過濾器提供清 洗液，通常需要2-3名專業工作人員協同作業，因為其中大部分工作都是需要手動完成，因 此為了清洗或者更換過濾器需要耗費大量的工作時間。另外，清洗或者更換過濾器時，相 應的溼刻和清洗設備需要處於停機狀態，降低了設備的利用率。而且，更換過濾器所需要的 費用也非常客觀。可見，要維持上述清洗設備或溼刻設備的正常生產需要較高的生產成本。實用新型內容[0006]本實用新型提供一種清洗過濾器的循環裝置，達到降低過濾器更換頻率，減少專 業對應人員數量和對應時間的目的，以解決上述生產成本較高的問題。[0007]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種清洗過濾器的循環裝置，包括過濾器 和供給泵，所述過濾器第一端連接所述供給泵，所述過濾器的第二端連接一需求設備，所述 清洗過濾器的循環裝置還包括供液管道、第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門和排液 管道；所述供液管道第一端通過第一閥門連接到供給泵的第一端，所述供給泵的第一端通 過第二閥門連接到需求設備，所述供給泵的第二端連接到所述過濾器的第一端，所述過濾 器的第二端通過第三閥門連接到需求設備，所述過濾器的第二端通過第四閥門連接到排液 管道，所述過濾器的第二端還連接到供液管的第二端。[0008]可選的，所述供液管道內設置傳感器，所述傳感器的信號用於觸發所述供給泵。[0009]可選的，在所述過濾器和第一閥門之間設置流量計和/或壓力計。[0010]可選的，在所述過濾器和第四閥門之間設置流量計和/或壓力計。[0011]可選的，所述供給管道上連接至少一個洗液管道，所述洗液管道分別連接一個洗 液閥門。[0012]可選的，所述供給管道上連接兩個洗液管道。[0013]可選的，所述兩個洗液管道供給兩種清洗液，所述清洗液與所述需求設備的工作 藥液互相不反應。[0014]可選的，所述工作藥液為磷酸。[0015]可選的，所述兩種清洗液分別為酸洗液和純水。[0016]可選的，所述過濾器為多個並列連接的子過濾器。[0017]採用本實用新型的清洗過濾器的循環裝置，因為包括供液管道、和排液管道，可以 通過第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門的開關，在不拆卸過濾器的情況下，向過濾 器提供清洗液。通過清洗液對過濾器的反覆衝洗，將堵塞於過濾器中的去除，經過清洗後的 過濾器可以繼續使用一段時間，從而延長過濾器的使用壽命，降低了過濾器的更換頻率。[0018]另外，通過在供液管道內設置傳感器，通過傳感器的信號觸發供給泵工作，使得清 洗工作變得智能簡便，減少了對應人員的數量和時間。[0019]此外，通過在所述過濾器和第一閥門/第四閥門之間設置流量計和/或壓力計，通 過觀察流量計和/或壓力計的數值，可以更準確的判斷出過濾器的清洗效果，以達到節約 清洗液的效果，從而有效的降低了生產成本。


[0020]圖1為現有技術中的過濾器循環裝置的示意圖；[0021]圖2為本實用新型一實施例中的清洗過濾器的循環裝置的示意圖。
具體實施方式
[0022]為了使本實用新型的目的，技術方案和優點更加清楚，
以下結合附圖來進一步做 詳細說明。[0023]如圖2所示，在本實用新型一實施例中的清洗過濾器的循環裝置，包括過濾器 201、供給泵202、供液管道203、第一閥門204、第二閥門205、第三閥門206、第四閥門207和 排液管道208。所述供液管道203 —端通過第一閥門204連接到供給泵202的第一端，所 述供給泵202的第一端還通過第二閥門205連接到需求設備的循環槽215，所述供給泵202 的第二端連接過濾器201的第一端，所述過濾器201的第二端通過第四閥門207連接到排 液管道208，所述過濾器201的第二端連接到供液管203的第二端，所述過濾器201的第二 端還通過第三閥門206連接到需求設備的供液槽214。[0024]所述過濾器201為多個並列連接的子過濾器，圖2中示出的是過濾器201包含兩 個子過濾器的情形。[0025]繼續參考圖2，當所述過濾器201發生堵塞後，首先關閉第二閥門205和第三閥 門206，停止過濾器201對需求設備的供液循環，然後在打開第一閥門204並關閉第四閥門207，使用供給泵202將供液管道203內的清洗液供給到過濾器201內，對其過濾芯進行衝洗，然後清洗液從過濾器201的第二端循環至供液管道203內，經過供給泵202再循環至過濾器201內，經過反覆循環衝洗後，過濾芯內的堵塞物被清除。然後，打開第四閥門207，使清洗液通過排液管道208排出。清洗液完全排除後，關閉第一閥門204和第四閥門207，打開第二閥門205和第三閥門206，使得過濾器201重新開始為需求設備提供過濾循環作業。[0026]繼續參考圖2，為了使清洗過濾器的作業更智能和簡便，可以在所述供給管道203 上連接一個洗液管道209，所述洗液管道209連接一個洗液閥門210，也可以在所述供液管道203內設置一傳感器211，所述傳感器211的信號用於觸發所述供給泵202。在需要向供給管道203供液時，打開洗液閥門210，將清洗液送入供給管道203，當清洗液經過供液管道 203內時，傳感器211會將得到信號傳遞給供給泵202，供給泵202得到傳感器211的信號後，會自動打開開始工作，將供液管道203內的洗液供給到過濾器201。所述清洗閥門210 只在清洗作業時打開，在清洗作業完成後的排放清洗液和向需求設備供液時，所述洗液閥門210都處於關閉狀態。[0027]繼續參考圖2，為了更好的控制對過濾器的清洗時間，優選的，在所述過濾器201 和第一閥門204之間設置流量計212和/或壓力計213。在清洗過濾器201的初期，因為過濾器201已經被堵塞，因此這時流量計212的數值會比較低，而壓力計213的數值會比較高，隨著清洗的持續進行，堵塞物逐漸被清除，流量計212的數值會逐步走高，而壓力計213 的數值則會逐漸下降。設置流量計212和/或壓力計213後，工作人員可以根據流量計212 和/或壓力計213的數值變化，更準確的判斷過濾器的清洗效果，在保證清洗效果的前提下，更好的節約清洗藥液和作業時間。應當理解的是，所述流量計212和/或壓力計213也可以設置在過濾器201和第四閥門207之間。[0028]繼續參考圖2，為了保證對過濾器201的清洗效果，也可以採用多種清洗液組合方法，為此需要所述供給管道203上連接多個洗液管道209,所述洗液管道209分別連接一個洗液閥門210。清洗液的選擇原則為，清洗液與所述需求設備的工作藥液互相不反應。優選的，所述供給管道203上連接兩個洗液管道209，所述兩個洗液管道209供給兩種清洗液， 這兩種清洗液一種可以設置為清洗過濾器的藥液，另一種清洗液可以設置為純水。在清洗作業完成以後，為了去除殘留在過濾器201內清洗液，可以用純水對過濾器201在做一次衝洗，以去除殘留在過濾器201內清洗液。具體的，如果工作藥液為磷酸時，兩種清洗液可以分別採用為酸洗液和純水，先用酸洗液對過濾器201進行衝洗，當衝洗結束後，可以再使用純水對過濾器201進行衝洗，將殘留在過濾器201內的酸液去除。優選的，所述酸洗液為 HF，其中，HF與水的體積比範圍為100 Γ50 :1。[0029]綜上所述，在本實用新型的清洗過濾器的循環裝置中，因為包括供液管道、和排液管道，並通過第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門的開關，在不拆卸過濾器的情況下， 向過濾器提供清洗液。通過清洗液對過濾器的反覆衝洗，將堵塞於過濾器中的去除，經過清洗後的過濾器可以繼續使用一段時間，從而延長過濾器的使用壽命，降低了過濾器的更換頻率。另外，通過在供液管道內設置傳感器，通過傳感器的信號觸發供給泵工作，使得清洗工作變得智能簡便，減少了對應人員的數量和時間。另外，通過在所述過濾器和第一閥門 /第四閥門之間設置流量計和/或壓力計，通過觀察流量計和/或壓力計的數值，可以更準確的判斷出過濾器的清洗效果，以達到節約清洗液的效果。綜上，通過採用本實用新型的清洗過濾器的循環裝置可以顯著降低更換過濾器的頻率，同時減少專業對應人員數量和對應時間，從而有效的降低了生產成本。顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和範圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬於本實用新型權利要求及其等同技術的範圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
權利要求1.一種清洗過濾器的循環裝置，包括過濾器和供給泵，所述過濾器第一端連接所述供給泵，所述過濾器的第二端連接一需求設備，其特徵在於，所述清洗過濾器的循環裝置還包括供液管道、第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門和排液管道；所述供液管道的第一端通過第一閥門連接到所述供給泵的第一端，所述供給泵的第一端還通過第二閥門連接到所述需求設備，所述供給泵的第二端連接到所述過濾器的第一端，所述過濾器的第二端通過第三閥門連接到需求設備，所述過濾器的第二端還通過第四閥門連接到所述排液管道， 所述過濾器的第二端還連接到供液管的第二端。
2.如權利要求1所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述供液管道內設置傳感器，所述傳感器的信號用於觸發所述供給泵。
3.如權利要求1所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，在所述過濾器和第一閥門之間設置流量計和/或壓力計。
4.如權利要求1所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，在所述過濾器和第四閥門之間設置流量計和/或壓力計。
5.如權利要求1所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述供給管道上連接至少一個洗液管道，所述洗液管道分別連接一個洗液閥門。
6.如權利要求5所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述供給管道上連接兩個洗液管道。
7.如權利要求6所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述兩個洗液管道供給兩種清洗液，所述清洗液與所述需求設備的工作藥液互相不反應。
8.如權利要求7所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述工作藥液為磷酸。
9.如權利要求8所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述兩種清洗液分別為酸洗液和純水。
10.如權利要求1所述的清洗過濾器的循環裝置，其特徵在於，所述過濾器為多個並列連接的子過濾器。
專利摘要本實用新型提供一種清洗過濾器的循環裝置，包括過濾器和供給泵，所述過濾器第一端連接所述供給泵，所述過濾器的第二端連接一需求設備，所述清洗過濾器的循環裝置還包括供液管道、第一閥門、第二閥門、第三閥門、第四閥門和排液管道；所述供液管道第一端通過第一閥門連接到供給泵的第一端，所述供給泵的第一端通過第二閥門連接到需求設備，所述供給泵的第二端連接到所述過濾器的第一端，所述過濾器的第二端通過第三閥門連接到需求設備，所述過濾器的第二端通過第四閥門連接到排液管道，所述過濾器的第二端還連接到供液管的第二端。通過採用本實用新型的清洗過濾器的循環裝置可以顯著降低更換過濾器的頻率，同時減少專業對應人員數量和對應時間，從而有效的降低了生產成本。
文檔編號B01D35/143GK202876512SQ20122052056
公開日2013年4月17日 申請日期2012年10月11日 優先權日2012年10月11日
發明者陳 峰, 沈雪松, 衛金榮, 倪堯, 肖方 申請人:中芯國際集成電路製造(北京)有限公司