一種矽鋁複合拋光液的製作方法

2023-04-25 09:32:26 1

一種矽鋁複合拋光液的製作方法
【專利摘要】本發明公開了一種矽鋁複合拋光液的製作方法，包括如下製作過程：將80-100nm的大粒徑矽溶膠（二氧化矽含量40%）800-820份，加入黏度調節劑5-10份和去離子水150-180份，整到黏度在2-5釐泊之間；然後加入pH調節劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化矽30%的拋光液；將調製好的二氧化矽拋光液按照重量份（9-19）∶1與100-200nm的氧化鋁拋光液混合，攪拌均勻，得到用於藍寶石拋光的矽鋁複合拋光液。通過上述方式，本發明可以得到一種具有較高穩定性的拋光液，既能使加工件達到一定的表面狀態，又能提供更高的拋光速率。
【專利說明】
【技術領域】
[0001] 本發明涉及新材料加工領域，特別是涉及一種適合於藍寶石襯底和窗口片的化學 機械拋光用的矽鋁複合拋光液。 一種矽鋁複合拋光液的製作方法

【背景技術】
[0002] 為了提高藍寶石化學機械拋光（CMP)效果，科技人員對其拋光工藝進行了研究： 採用Si0 2磨料對藍寶石襯底片進行拋光，分析了拋光時的溫度、pH條件、磨料粒徑及濃 度，結果表明，採用80-100 nm大粒徑、高濃度的Si02磨料，能保證良好的表面狀態。目 前LED行業和藍寶石手機屏幕的大力推廣，行業內對拋光速率的要求較高，以前4小時要去 除1. 5-2. Oum，目前每小時要去除2. 5-3. Oum,甚至更快。


【發明內容】

[0003] 本發明主要解決的技術問題是提供一種矽鋁複合拋光液的製作方法，可以得到一 種具有較高穩定性的拋光液，既能使加工件達到一定的表面狀態，又能提供更高的拋光速 率。
[0004] 為解決上述技術問題，本發明採用的一個技術方案是：提供一種矽鋁複合拋光液 的製作方法，包括如下步驟： 一、 將80-100nm的大粒徑矽溶膠按照重量份800-820份，加入黏度調節劑5-10份和去 離子水150-180份； 二、 將步驟一中的混合物整到黏度在2-5釐泊之間； 三、 按照重量份加入pH調節劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化矽含量30% 的拋光液； 四、 將調製好的二氧化矽拋光液按照重量份（9-19):1與100-200nm的氧化鋁拋光液混 合，攪拌均勻，得到用於藍寶石拋光的矽鋁複合拋光液。
[0005] 優選的，所述大粒徑矽溶膠中二氧化矽的含量為40%。。
[0006] 優選的，所述黏度調節劑為表面活性劑和多元醇的混合物。
[0007] 優選的，所述pH調節劑主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4 :1配的。
[0008] 優選的，所述拋光加速助劑由一種強鹼和一種強酸弱鹼鹽按照比例配製而成。
[0009] 優選的，所述拋光加速助劑的PH值在8. 0-9. 0之間。
[0010] 本發明的有益效果是：本發明的矽鋁複合拋光液，可用於透鏡、平板玻璃、表殼、顯 示屏、精密五金等的拋光，特別適用於藍寶石襯底和窗口片的化學機械拋光；增加了拋光加 速助劑，使得在拋光過程中，拋光液一直能夠保持穩定的pH值，也就是與氧化鋁玻璃材質 保持較高的化學作用；本發明不僅可以達到一定的表面狀態，還能夠提高拋光速率，單位工 作效率顯著提高。

【具體實施方式】 toon] 下面對本發明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發明的優點和特徵能更易於被 本領域技術人員理解，從而對本發明的保護範圍做出更為清楚明確的界定。
[0012] 發明實施例包括： 一種矽鋁複合拋光液的製作方法，包括如下步驟： 一、 將80-100nm的大粒徑矽溶膠按照重量份800-820份，加入黏度調節劑5-10份和去 離子水150-180份； 二、 將步驟一中的混合物調整到黏度在2-5釐泊之間； 三、 按照重量份加入pH調節劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化矽含量30% 的拋光液； 四、 將調製好的二氧化矽拋光液按照重量份（9-19):1與100-200nm的氧化鋁拋光液混 合，攪拌均勻，得到用於藍寶石拋光的矽鋁複合拋光液。
[0013] 其中，所述大粒徑矽溶膠中二氧化矽的含量為40% ;所述黏度調節劑為丙三醇、聚 乙二醇、正丁醇的混合物；所述pH調節劑主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4 :1配的； 所述拋光加速助劑由氫氧化鈉和氯化鋁，氫氧化鉀和氯化鋁，氫氧化鉀和磷酸二氫鉀等按 照比例配製而成，PH值在8. 0-9. 0之間。
[0014] 實施方式：由二氧化矽拋光液，大粒徑矽溶膠、黏度調節劑，拋光加速助劑，pH調 節劑和去離子水配製而成的，具體配比如下： 矽溶膠（80-100nm，40%)，800-820 份； 黏度調節劑：5-10份 去離子水：150-180份 拋光加速助劑：5-10份 pH調節劑：2-4份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份（9-19) :1復配，得到矽鋁複合拋光液。
[0015] 實施例1 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，800 份； 黏度調節劑：9份 去離子水：180份 拋光加速助劑：8份 pH調節劑：3份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份19 :1復配，得到矽鋁複合拋光液； 實施例2 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，810 份； 黏度調節劑：10份 去離子水：170份 拋光加速助劑：7份 pH調節劑：3份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份15 :1復配，得到矽鋁複合拋光液. 實施例3 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，800 份； 黏度調節劑：9份 去離子水：179份 拋光加速助劑：9份 pH調節劑：3份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份10 :1復配，得到矽鋁複合拋光液. 實施例4 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，820 份； 黏度調節劑：8份 去離子水：163份 拋光加速助劑：7份 pH調節劑：2份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份19 :1復配，得到矽鋁複合拋光液. 實施例5 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，815 份； 黏度調節劑：10份 去離子水：165份 拋光加速助劑：8份 pH調節劑：2份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份18 :1復配，得到矽鋁複合拋光液 實施例6 : 二氧化矽拋光液配製： 矽溶膠（80-100nm，40%)，816 份； 黏度調節劑：8份 去離子水：168份 拋光加速助劑：5份 pH調節劑：3份 將上述調製的黏度2-5釐泊的二氧化矽拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量 份19 :1復配，得到矽鋁複合拋光液。
【權利要求】
1. 一種矽鋁複合拋光液的製作方法，其特徵在於，包括如下步驟： 一、 將80-100nm的大粒徑矽溶膠按照重量份800-820份，加入黏度調節劑5-10份和去 離子水150-180份； 二、 將步驟一中的混合物整到黏度在2-5釐泊之間； 三、 按照重量份加入pH調節劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化矽含量30% 的拋光液； 四、 將調製好的二氧化矽拋光液按照重量份（9-19):1與100-200nm的氧化鋁拋光液混 合，攪拌均勻，得到用於藍寶石拋光的矽鋁複合拋光液。
2. 根據權利要求1所述的一種矽鋁複合拋光液的製作方法，其特徵在於，所述大粒徑 矽溶膠中二氧化矽的含量為40%。
3. 根據權利要求1所述的一種矽鋁複合拋光液的製作方法，其特徵在於，所述黏度調 節劑為表面活性劑和多元醇的混合物。
4. 根據權利要求1所述的一種矽鋁複合拋光液的製作方法，其特徵在於，所述pH調節 劑主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4 :1配的。
5. 根據權利要求1所述的一種娃錯複合拋光液的製作方法，其特徵在於，所述拋光加 速助劑由一種強鹼和一種強酸弱鹼鹽按照比例配製而成。
6. 根據權利要求1所述的一種娃錯複合拋光液的製作方法，其特徵在於，所述拋光加 速助劑的PH值在8. 0-9. 0之間。
【文檔編號】C09G1/02GK104046245SQ201410255977
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月11日 優先權日:2014年6月11日
【發明者】於長江, 王兆敏, 王猛, 郝麗萍 申請人:泰安麥豐新材料科技有限公司