鉸接臂傳送裝置的製作方法
2023-05-03 07:21:21
專利名稱：鉸接臂傳送裝置的製作方法
技術領域：
本發明的背景1.本發明的領域本發明一般地涉及材料傳送裝置。所傳送的材料可包括但並不限於半導體晶體如矽片和砷化鎵片、半導體封裝基片如高密度互連(High Density)、半導體製造過程中的圖象板如掩模或掩模原版以及大面積顯示板如主動性矩陣液晶顯示板。
2.現有技術的說明製造半導體器件時，在多個工作站或工位之間傳送精細的矽片之類物品是一個獨特的搬動問題。因為矽片非常精細並有高度拋光的表面。粗暴地搬動時，矽晶片會滑動，導致表面磨損，或者如果發生碰撞，其邊緣會損壞。
在現有技術中有不少傳送矽晶片的裝置曾被說明過。例如美國專利3,823,836號曾公開一種裝置，其中包括一個設有多條突起邊沿以便夾持矽晶片的供料小車和一個設有真空吸盤的吸取裝置。真空吸盤與一可使吸盤升降的升降器連結。有一支與真空吸盤耦合的水平的傳送臂，被用來將矽晶片從供料小車傳送到所需的工作站。
美國專利3,370,595號曾公開一種晶片傳送用的裝置，該裝置有一可定方位的小車，用來將晶片傳送到工作站和從工作站傳送出來。晶片是藉助一個具有定向空氣射流的晶片彈出器接收器臂通過一條空氣滑道進入和離開晶片小車的。晶片彈出器接收器臂控制著對晶片的驅動，使它從空氣滑道出來進入小車內或從小車出來進入到空氣滑道上，以便使晶片移向工作站或從工作站移出。
美國專利4,062,463、3,874,525和4,028,159號也都公開過晶片傳送裝置，其中或用氣動部件或用夾持機構來搬動晶片。
美國專利4,666,366和4,909,701號所公開的晶片傳送搬動裝置具有一個鉸接臂組合件，它可以伸出和縮攏，作出「蛙式」的運動，以便將一物品如晶片在多個工位之間傳送。兩個鉸接臂可有效地耦合在一起，使得當其中一個臂被電動機驅動時兩個鉸接臂可以伸出和縮攏作出「蛙式」或「蛙跳」式的運動。有一平臺與鉸接臂耦合在一起，要傳送的物品就放在其上。
美國專利4,951,601號所公開的晶片傳送搬動裝置具有一個鉸接臂組合件，它包括一個同心軸的旋轉驅動系統。但這種驅動系統所需的旋轉密封件能夠汙染真空室。在美國專利4,951,601號的驅動系統內。內軸98裝在滾筒111上，滾筒111是由裝在主動輪115上的纜索113所轉動的，而主動輪115又由皮帶轉動。看上去主動輪115似在真空室的孔內旋轉的，這就需要轉動密封。空心的中軸96裝在滾筒101上，滾筒101是由裝在主動輪100上的纜索103所轉動的，而主動輪100又由皮帶轉動。雖然不清楚哪一個部件是在真空中，但顯然有一些旋轉件必須在真空室的孔內旋轉，這樣就需轉動密封。而本發明的裝置卻沒有這種轉動密封。本發明的所有軸承都完全放在真空內，所有旋轉部分也都完全放在真空內。
本發明的概述本發明所提供的用於鉸接臂傳送裝置的同心軸旋轉驅動系統，該傳送裝置適宜用來在設在各個軸向和徑向平面上的多個工位之間傳送物品，例如矽晶片、照相機透鏡、晶體振蕩器之類。
驅動系統允許整個鉸接臂組合件在一個徑向平面內旋轉。與現有技術的裝置相同，這種旋轉是當末端的操作機構不在伸出的位置上時進行的。
驅動系統還允許平臺組合件在軸向上移動。本發明的組合件適宜用於多種環境，包括在一真空室內或其他受控環境下的操作。組合件可以安裝得能在真空室內運動，其中組合件和其支座之間設有真空密封。
附圖的簡要說明
圖1為按照本發明構造的雙軸裝置連接到它所要驅動的鉸接臂傳送裝置後的中心剖面圖，這個鉸接臂傳送裝置是美國專利5,1 80,276號所公開的那種型式，該專利是授予Hendrickson的，並已轉讓給本申請的受讓人；圖2為圖1的中心剖面圖的一部分的詳圖；圖3為圖2的中心剖面圖的一部分的詳圖；圖4為圖1的裝置的平面圖；圖5為現有技術的裝置的等角視圖；圖6為圖1的裝置的平面圖，只是已作修改以便驅動另一種鉸接臂傳送裝置，那種鉸接臂傳送裝置是在Eastman和Davis的申請日為1992年12月28日、序號為997，773的一項同時進行的申請中所公開的型式，並已轉讓給本申請的受讓人；
圖7為圖6的沿7-7線的中心剖面圖；圖8為與圖1相似的中心剖面圖，只是所示為本發明的另一個實施例，其中採用了單個電動機和兩個制動器。
本發明的詳細說明參閱圖1到4，有一安裝凸緣1連結在真空室底壁2的開孔區域上，在該真空室內支承著一個鉸接臂傳送裝置。安裝凸緣本身有一中心孔，有兩根同心的輸出軸延伸通過該中心孔。外軸用標號4指出，內軸用標號5指出。在這兩根輸出軸在真空室內的終端上有一導向軸承6把這兩根軸隔開並使它們相互支承著。這兩根軸都可獨立旋轉。但在本發明的較優實施例中，這兩根軸的相對運動只限於兩種情況，一種情況是兩者一同旋轉，另一種情況是兩者以相反的方向旋轉。前一種運動用來使鉸接臂傳送裝置旋轉，而後一種運動用來使鉸接臂傳送裝置伸出和縮攏。
內軸比外軸長，內軸在真空室外面的終端的延伸超出外軸的相應終端，並達到一個與外軸相當的最大外徑。有一轉子7支承在外軸4的外表面上，並有一相應的定子8在轉子7的外面被支承著。與此相似，有一轉子9支承在內軸5的外表面上，並有一相應的定子10在轉子9的外面被支承著。每一定子都是用來轉動相應軸的驅動裝置的部件。如同後面將會顯示的，每一轉子都是在真空內，而每一定子都是在真空外。
每一轉子定子對7、8和9、10都可構成傳統的無刷直流電動機的部件，這種電動機例如象美國11 779紐約龍肯科馬(Ronkonkoma)區13條街20號MFM技術公司所製造的MK系列。
利用公知的伺服機構技術，可將合適的信號施加到定子線圈上，使每一根軸進行旋轉運動。
每一根軸在旋轉時的位置變化可用一與適當碼盤或類似物結合的適當感測機構來檢測。例如，可使一個透明盤上的不透明部分的編碼模式在一光源和一光檢測器之間通過。也可用磁感測機構來取代這種光感測機構，其中磁碟上的磁化部的編碼模式可被磁性掃描。此外，感測機構可以是機械式的，如同齒輪和開關的結合，也可以是聲學式的，使每根軸在旋轉時產生某種編碼的喀嚦聲；甚至還可設計成靜電系統。為了說明起見，現在就一個光感測機構進行描述，但本發明的範圍並不因此而受到限制。
用夾板12將一塊盤11固定在外軸4的外終端上。使該盤的不透明部分的編碼模式在一發光二極體罩13和一讀出頭14之間通過，從那裡發出的信號通過信號引線15被傳送到適當的外部電路上。發光二極體罩13、讀出頭14、和信號引線15都支承在一個驅動殼體16上，該殼體構成真空密閉的管狀外套17的一個部件。轉子7固定在外軸4上，而定子8則用定子夾緊部件18固定在驅動殼體16上，其所處位置使定子8能夠與轉子7互相作用；並有兩個軸承設在外軸4與相應的驅動殼體16之間，在該殼體上裝著驅動裝置。與此相似，有一盤31用夾板22固定在內軸5的外終端上。使該盤的不透明部分的編碼模式在一發光二極體罩33和一讀出頭34之間通過，從那裡發出的信號通過信號引線35被傳送到適當的外部電路上。轉子9固定在內軸5上，而定子10則用定子夾緊螺栓37固定在驅動殼體36上，其位置須使定子10能夠與轉子9互相作用；並有兩上軸承38、39設在內軸5和相應的驅動殼體36之間，在該殼體上裝著驅動裝置。
驅動殼體16、36具有特殊的外形，並且是真空密封的外套17的重要部件，可將裝置的抽成真空的區域與大氣區域隔開。兩個驅動殼體具有相似的形狀並用一適配接頭40連接在一起。
可以通過支承在兩條直線滑道41和兩根傳動螺杆42上的驅動殼體的垂直運動來使兩軸進行垂直運動。但除了這種傳動螺杆與旋轉電動機結合的方法外，也可使用線性電動機(伺服的或步進的)或音圈或螺線管。垂直方向可動的驅動殼體與安裝凸緣之間可用適當的波紋管43隔開，最外面的驅動殼體的外終端可用封口螺釘44封閉。這樣，在波絲管、驅動殼體和封口螺釘之內的整個區域便可抽成真空，而在這真空區域內只有各種軸承具有帶摩擦的運動。
每一驅動殼體都有一個在相關的轉子和定子之間通過的部分，必須在轉子與驅動殼體的這個部分之間留出足夠的間隙。
圖5示出一個現有技術的裝置。旋轉運動是通過旋轉柱銷的旋轉賦予鉸接臂傳送裝置的。蛙腿的伸出和縮攏是由兩根伸出縮攏驅動軸的相反旋轉來完成的。本發明的結構由於採用特殊構造的同心軸，所需密封的數目和型式都可減少。從現有技術的裝置可見控制可以通過(1)一根軸的簡單旋轉和(2)兩根軸的相反旋轉來進行。在本發明的裝置中，(1)可在兩根同心軸一同旋轉時提供，而(2)可在兩根同心軸作相反旋轉時提供。在本裝置中旋轉運動並不受基本機構的限制，而是可以朝任何方向旋轉到任何所需的角度。
三種運動(垂直的、旋轉的及伸出/收攏)可同時進行以便使端頭的操作機構得到任何需要的運動軌跡。在另一方面，在某些用途上並不需要三種運動都起動，所以在本發明的範圍內也包括那些在上述三種運動中只有一、二種起動的裝置。
現在參閱圖4並結合圖1-3，外軸4連接到鉸接臂傳送裝置的一個上臂51上，而內軸5連接到另一個上臂52上，該傳送裝置如同上面提到的美國專利5,180,276號中所揭示的那樣。對於θ運動(即端部操作機構53的旋轉)，兩個轉子7、9在一個方向上同步旋轉。對於R運動(即端部操作機構53的伸出和縮攏)，每一轉子7、9都以另一個轉子為鏡象，進行角度相等但方向相反的旋轉。這些運動都由計算機應用從兩個編碼器來的輸入來加以控制。
當兩個轉子7、9在一個方向上同步旋轉時，軸4、5也在那個方向上旋轉。參閱圖4，如果軸4、5按順時針方向旋轉，那麼上臂51、52也按順時針方向旋轉，並且圖4所示的裝置的其餘部分也在那個方向旋轉。反之，如果軸4、5按反時針方向旋轉，那麼圖4中的整個裝置都按反時針方向旋轉。如果在另一方面，外軸4按順時針旋轉，而內軸5按反時針旋轉，那麼上臂51將按順時針旋轉而上臂52將按反時針旋轉。結果圖4中的兩個操作機構都會向下運動。反之，如果外軸4按反時針旋轉，而內軸5按順時針旋轉，那麼上臂51將按反時針旋轉而上臂52將按順時針旋轉。結果圖4中的兩個操作機構都會向上運動。
現在參閱圖6和7，在外軸4上固定著一個固定塊54，其上面可旋轉地支承著一個鉸接臂傳送裝置的上從動臂55，這個傳送裝置如同上面提到的正在同時進行的序號為997，773的申請中所揭示的那樣。這種鉸接臂傳送裝置的上驅動臂56固定在內軸5上以便與它一起旋轉。在這種情況下進行θ運動時兩根軸同步旋轉，而在進行徑向運動時外軸4保持固定，只有內軸5旋轉。
如果在上面提到的美國專利4,666,366號和4,909,701號中所揭示的那種鉸接臂傳送裝置(如同圖5所示)是由兩根同心軸製成的，外軸用來使鉸接臂作θ運動中，而內軸用來產生伸出/縮攏運動，那麼就可能用一個電動機(和編碼器)及兩個制動器來轉動這種合適的軸組合機構，制動器之一將把內軸鎖在外軸上，而另一個則把外軸鎖在外套上。
如果把外軸鎖在外套上，而將肩部組合件裝在外(旋轉)軸上，那麼肩部將不能旋轉。用一連結在內軸上的電動機使內軸旋轉便可產生伸出/縮攏運動，這一點在目前是用圖5所示那種鉸接臂傳送的伸出/縮攏電動機來完成的。
反之，如果將內軸鎖緊在外軸上，那麼就不再能進行伸出/縮攏運動。如果此時將外軸與外套間的制動器鬆開，那麼電動機在轉動內軸時將同時轉動外軸，從而就可進行θ運動。
如果在每一種運動終止時把兩個制動器都鎖定，然後把合適的制動器鬆開，那麼當編碼器發出的信號在計算機內與制動指令結合時，一個編碼器就能指出其中某一種參數的運動。如果需要更高的精確度，那麼可用兩個編碼器，如圖1(11、31)所示。
依靠正確的設計和使用磁性材料和非磁性材料，有可能將包括制動靴和電動機轉子在內的所有運動部件都放到一個密封的圓筒形外套內而將所有部件的磁性線圈都放到外套外的大氣中。這樣就可消除漏氣問題和電路引線，當系統在真空內具有主動的電磁鐵時，這種電路引線會降低系統的效能。
這種機構可與本申請的受讓人所製造的機器上典型的任一種伸出臂組合件一起工作，當採用圖6和7所示的上面提到的臂並把它用在上面提到的、正在同時進行的、序號為997，773的申請中所公開的那種鉸接臂傳送裝置上時，其特別優點在於，在肩部只需一根驅動軸，並且在旋轉軸的頂部可以不需齒輪傳動裝置。
現在參閱圖8，有一安裝凸緣61連結在真空室底壁的開孔區域上，在該真空室內支承著一個鉸接臂傳送裝置。該鉸接臂傳送裝置屬於圖4和5所示的那種形式。安裝凸緣本身有一中心孔，有兩根同心的輸出軸延伸通過該中心孔。外軸用標號63指出，內軸用標號64指出。在這兩根輸出軸在真空室內的終端上有一導向軸承65把這兩根軸隔開並使它們相互支承著。這兩根軸都可以獨立旋轉。但在圖8的裝置中只有一根軸被一電動機驅動旋轉，而另一根軸的旋轉是由兩個制動器確定的，制動器之一可使兩根軸一同旋轉，而另一隻則可使另一根軸保持固定。前一種運動可用來轉動鉸接臂傳送裝置，而後一種運動可用來使鉸接臂傳送裝置伸出和縮攏。
內軸比外軸長，內軸在真空室外面的終端延伸到超出外軸的相應終端。有一具有磁性材料盤67的制動器66支承在外軸63的外表面上，該盤與另一個可滑動地支承在由非磁性的真空密閉材料製成的外套69內側的磁性材料盤68協同作用。有一磁性線圈70當被供能激發時可將這兩盤67、68磁化，使它們互相壓緊在一起，從而象制動器那樣阻止外軸63的旋轉。與此相似，有一具有磁性材料盤72的制動器71支承在外軸63的外表面上，該盤與另一個可滑動地支承在內軸64上的磁性材料盤73協同作用。有一磁性線圈74當被供能激發時可將這兩盤72、73磁化，使它們互相壓緊在一起，象一個制動器或聯軸器那樣把兩根軸鎖在一起。有一電動機75，其構造與圖1中轉子9和定子10的構造相似，用來轉動內軸64。更具體點說，有一轉子76支承在內軸64的外表面上，另有一相應的定子77支承在轉子76的外面。定子77是轉動內軸64的驅動裝置的部件。轉子76是在真空內而定子77是在真空外。
轉子定子對76、77可作為傳統的無刷直流電動機的部件，這種電動機例如象美國11779紐約Ronkonkoma區13條街200號MFM技術公司所製造的MK系列。
利用公知的伺服機構技術，可將合適的信號施加到定子77的線圈上使內軸64進行旋轉運動。
有一盤78固定在內軸64的外終端上。該盤有一不透明部分的編碼模式，該模式穿過一合適的編碼器79(例如可具有一個發光二極體罩和一個讀出頭)，從它那裡發出的信號可通過一條信號引線傳送到外部電路)內通過。軸63、64支承在位軸63、64之間的合適軸承65、80上及位於外軸63和外套69之間的合適軸承81、82上。
外套69具有特殊的外形，並且是將裝置的真空的區域與其在大氣中的區域隔開的壁的重要部件。
可以通過外套69的垂直運動來使兩軸進行垂直運動，其方式如同以前結合圖1所說明的那樣。
外套69有一部分在轉子76和定子77之間通過，必須在轉子76和外套69之間留出足夠的間隙。
上面結合圖示的實施例對本發明的原理進行了說明，但應理解雖然採用了專門術語，這些術語只是概念性的和描述性的，並不能以此作為對本發明的限制，本發明的範圍應以下面的權利要求所列出的為準。
權利要求
1.裝置，它具有一個設有一個孔眼和一個裝在所說孔眼上的帶蓋的管狀件的真空室，該管狀件包括一個第一驅動殼體和一個第二驅動殼體；一根用軸承裝在所說第一驅動殼體上內側的外軸；一根設在所說外軸內並與它同心的內軸，該內軸同軸承裝在所說第二驅動殼體上的內側；一個裝在所說外軸上的第一轉子；一個裝在所說內軸上的第二轉子；一個裝在所說第一驅動殼體上並位於其外側的第一定子；一個裝在所說第二驅動殼體上並位於其外側的第二定子；一個將所說外軸支承在所說內軸上的導向軸承；及用來使每一個所說定子將一合適的電磁場施加到其相關的轉子上以便使它進行旋轉運動的部件。
2.用來傳送物品的裝置，其特徵為它具有一個支座；一個支承在所說支座上從而可環繞第一軸線旋轉的第一上臂；一個支承在所說支座上從而可環繞第二軸線旋轉的第二上臂；用來使所說第二上臂被所說第一上臂旋轉驅動的設施；第一對鉸接到所說第一和第二上臂的前臂；第二對鉸接到所說第一和第二上臂的前臂；每一個所說上臂的長度都小於每一個前臂；樞支地耦合到所說第一對前臂上的第一夾持部件和樞支地耦合到所說第二對前臂上的第二夾持部件，所說第一對前臂間的接合可使所說第一夾持部件不再轉動，所說第二對前臂間的接合可使所說第二夾持部件不再轉動；以及能夠驅動所說第一上臂使它旋轉一個角度的驅動部件，該角度的範圍為從大於120°起直到並包括180°，該驅動設施還能使所說第一夾持部件在第一伸出位置和第一縮攏位置之間移動，同時使所說第二夾持部件在第二伸出位置和第二縮攏位置之間移動，所說驅動部件包括下列部件；一個設有一個孔眼和一個裝在所說孔眼上的帶蓋的管狀件的真空室，該管狀件包括一個第一驅動殼體和一個第二驅動殼體；一根用軸承裝在所說第一驅動殼體上內側的外軸；一根設在所說外軸內並與它同心的同軸，該內軸用軸承裝在所說第二驅動殼體上的內側；一個裝在所說外軸上的第一轉子；一個裝在所說內軸上的第二轉子；一個裝在所說第一驅動殼體上外側的第一定子；一個裝在所說第二驅動殼體上外側的第二定子；一個將所說外軸支承在所說內軸上的導向軸承；及用來使每一個所說定子將一合適的電磁場施加到其相關的轉子以便使它進行旋轉運動的部件。
3.一個用來傳送物品的裝置，其特徵為，該裝置具有一個支座一個支承在所說支座上而可環繞第一軸線旋轉的第一上臂；一個支承在所說支座上而可環繞第二軸線旋轉的第二上臂；包括第一前臂和第二前臂的一對前臂，所說一對前臂用連杆設施鉸接到所說第一和第二上臂上；所說連杆部件具有一個連杆，一根可旋轉地支承在所說連杆上的上軸，一根可旋轉地支承在所說連杆上的下軸，以及用來使一根軸在一個方向上轉動並使另一根軸在反對方向上轉動的部件；所說第一上臂固定在所說上軸上；所說第二上臂可旋轉地裝在所說下軸上；所說第一前臂固定在所說下軸上；所說第二前臂可旋轉地裝在所說上軸上；樞支地耦合到所說一對前臂上的夾持部件；能夠驅動至少一個所說上臂使它旋轉一個角度的驅動部件，該角度的範圍為從大於120°起直到並包括180°，該驅動設施還能使所說夾持部件在一伸出位置和一縮攏位置之間移動；所說驅動部件包括下列部件一個設有一個孔眼和一個裝在所說孔眼上的帶蓋的管狀件的真空室，該管狀件包括一個第一驅動殼體和一個第二驅動殼體；一根用軸承裝在所說第一驅動殼體內側的外軸；一根設在所說外軸內並與它同心的內軸，該內軸用軸承裝在所說第二驅動殼體的內側；一個裝在所說外軸上的第一轉子；一個裝在所說內軸上的第二轉子；一個裝在所說第一驅動殼體上外側的第一定子；一個裝在所說第二驅動殼體上外側的第二定子；一個將所說外軸支承在所說內軸上的導向軸承；及用來使每一個所說定子將一合適的電磁場施加到其相關的轉子上以便使它進行旋轉運動的設施。
4.用來使真空室內的組合件進行旋轉運動的裝置，其特徵為，該裝置由下列部件組合而成一個由非磁性材料製成的真空密閉的管狀外套，所說外套有一縱軸線；一根可旋轉地沿著所說軸線裝在所說外套上內側的第一軸，在所說第一軸上裝有一個第一磁性材料盤；一根可旋轉地環繞所說第一軸而裝在所說外套內側的第二軸，所說第二軸為管狀並在其上外側裝有第二磁性材料盤；一個裝在所說外套的外側的第一線圈可在所說第一磁碟內產生一個磁場；一個裝在所說外套的外側的第二線圈可在所說第二磁碟內產生一個磁場；至少所說第一線圈可產生一個轉動所說第一軸的第一旋轉磁場模式，所說第一磁碟被磁化成為一個可被所說第一旋轉磁場模式轉動的模式。
5.按照權利要求4的裝置，其特徵為，所說第二線圈可產生一個轉動所說第二軸的第二旋轉磁場模式，所說第二磁碟被磁化成為一個可被所說第二旋轉磁場模式轉動的模式。
6.按照權利要求4的裝置，其特徵為，在所說第一軸上裝有第三磁性材料盤，而在所說第二軸上裝有第四磁性材料盤與所說第三磁碟鄰近，並在所說外套上的內側裝有第五磁性材料盤與所說第二磁碟鄰近，所說第一線圈可產生一個磁場模式用來將所說第二磁碟和所說第五磁碟壓緊在一起以便起到制動作用將所說第二軸聯結到所說第一軸，所說裝置還包括一個第三線圈裝在所說外套的外側，可在所說第三磁碟和第四磁碟內產生一個磁場用來將所說第三磁碟和第四磁碟壓緊在一起以便起到制動作用，將所說第二軸聯結到所說外套上。
7.按照權利要求4的裝置，其特徵為，有一感測機構支承在所說外套上的內側並有一磁碟固定在所說第一軸上，所說磁碟具有一個編碼模式可使所說感測機構起作用。
8.按照權利要求7的裝置，其特徵為，有一第二感測機構以承在所說外套上的內側並有一個第二磁碟固定在所說第二軸上，所說磁碟具有一個編碼模式可使所說第二感測機構起作用。
9.按照權利要求7的裝置，其特徵為，有一發光二極體和一讀出頭支承在所說外套上的內側並有一盤固定在所說第一軸上，所說盤有一不透明部分的編碼模式適於在所說發光二極體和所說讀出頭之間通過。
10.按照權利要求8的裝置，其特徵為，有一第二發光二極體和一第二讀出頭支承在所說外套上的內側，並且，有一第二盤固定在所說第二軸上，所說盤有一不透明部分的編碼模式適於在所說第二發光二極體和所說第二讀出頭之間通過。
11.按照權利要求1的裝置，其特徵為，所說電磁場是根據裝在一根或兩根所說軸上的一個或多個編碼器產生出來的。
全文摘要
一個用於鉸接臂傳送裝置的同心軸旋轉驅動系統可將運動傳給在一真空室內的組合件，其中將旋轉運動傳給在真空室內的轉子是通過設在真空室外的定子所產生的磁場來完成的。
文檔編號H01L21/687GK1121331SQ94191774
公開日1996年4月24日 申請日期1994年4月13日 優先權日1993年4月16日
發明者C·霍夫邁斯特 申請人:布魯克斯自動化公司