濺鍍機光碟更換裝置的製作方法
2023-05-02 19:57:16 1
專利名稱：濺鍍機光碟更換裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種濺鍍機，更具體地說涉及一種濺鍍機光碟更 換裝置。
背景技術：
光碟生產中常用的鍍膜方法主要有蒸鍍和濺鍍。二十世紀的前 50年，世界各國科技人員經過大量的試驗研究基本建立了濺射理論。 在二十世紀的後50年裡，薄膜技術獲得了騰飛，這主要得益於真空技 術在鍍膜方面的應用，使真空鍍膜實現了產業化。由於有了理論基礎和成熟的工藝，各種鍍膜設備也不斷推陳出新。其中Leybold公司較 早的開發出各種鍍膜設備，也包括用於光碟生產的真空濺鍍機。之後， 廣泛用於光碟的濺鍍機還有德國Balzers和Singulus公司的濺鍍機。蒸鍍是在真空中將金屬加熱蒸發產生金屬蒸氣，使其附著在基板 上凝聚成薄膜。蒸鍍的基板材質沒有限制，從紙、金屬到陶磁都能使 用。蒸鍍有加熱式蒸鍍，還有電子槍加熱式及離子輔助式蒸鍍。蒸鍍 是光碟母盤製作中常用的方式之一 。濺鍍是通過離子碰撞而獲得薄膜的一種工藝，主要分為兩類陰 極濺鍍和射頻濺鍍。陰極濺鍍一般用於濺鍍導體如鋁、銀或半導體。 射頻濺鍍一般用於濺鍍非導體如。濺鍍主要利用輝光放電將氬氣離子 撞擊靶材表面；靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。同時 用強力磁鐵將電子呈螺旋狀運動，加速靶材周圍的氬氣離子化，使得 氬氣離子對陰極靶材的撞擊機率增加，形成雪崩式的狀態，以此提高 濺鍍速率。濺鍍薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜好。為了確保濺鍍質量，實行陰極濺鍍時對環境有較高的要求。首先 要在真空環境條件下，高真空可以減少氧化物的產生；使用惰性工藝 氣體，通常為氬氣，作為離子介質撞擊靶材；形成電場——耙材為陰極，碟片為陽極；在真空腔內，用強力磁鐵產生磁場；由於濺鍍時產 生高熱，須用冷卻水對陰極進行及時冷卻。光碟的濺鍍過程先將真空腔抽真空達到設定值，將碟片放入腔 內，真空腔內碟片會被抽真空至高真空範圍。注入氬氣到真空腔，這 時真空腔的真空度降低，此時對靶材(陰極)和碟片(陽極)之間施 以幾百伏特的直流電壓，使氬氣在電場中被離子化，產生氬離子及自 由電子、在電場的作用下，帶正電荷的氬離子向陰極(靶材)加速， 而自由電子向陽極加速，被加速的氬離子和自由電子撞向其他氬原 子，因動能轉移使更多的氬原子被離子化，最後產生雪崩現象，等離 子體持續自行放電。大量氬離子撞擊靶材表面，氬離子的動能轉移至 靶材原子， 一部份轉化成靶材原子的動能，當靶材原子獲得足夠動能， 它們會脫離靶材表面並自由地在濺鍍腔內移動，最後覆蓋於碟片及腔 內其他表面。而氬離子撞擊靶材的另一部份動能轉化為熱，因此靶材 必須用冷卻水冷卻。為使碟片濺鍍層的厚度均勻，耙材周圍的磁場分 布會提高等離子體的一致性。對於用於光碟的濺鍍機而言，為了滿足連續生產的需求， 一般都 包括光碟更換裝置，以便不斷更換光碟，依次進行濺鍍。如圖1所示，現有的濺鍍機，其光碟更換裝置，包括換盤機械手 1和換片裝置2，換片裝置2包括機體21、固定杆22、波紋管23、 氣缸24、馬達25、至少一個託盤26。馬達25的輸出端連接機體21 的轉動軸，機體21上端到下端之間開有通孔211，通孔211內側壁上 設有滑套212，所述託盤26固定在固定杆22上端，固定杆22下端 開有定位坑224，定位坑224內設有一個定位塊221，固定杆22通過 滑套212可滑動的固定在通孔211內，氣缸24的推桿241從機體21 下端伸入上述通孔211連接定位塊221，並且墊片222和密封蓋223 將定位塊221固定在定位坑內，墊片222和密封蓋223均套在推桿 241上，並且墊片222和密封蓋223與推桿241之間留有空隙，因此 墊片222和密封蓋223均不與推桿241接觸，使得推桿241可相對轉 動機體21、固定杆22轉動，波紋管23套在固定杆22上，並且波紋 管23位於託盤26和機體21之間，換盤機械手1位於託盤26上方。初始狀態，換盤機械手1將白基片放進一個託盤26後，氣缸24 帶動推桿241向下運動，固定杆22跟著推桿241向下運動，壓縮波 紋管23。然後馬達25工作，帶動機體21旋轉，固定杆22及託盤26 跟著機體21旋轉，使得固定杆22上端的託盤26轉到陰極罩3內。 接著，氣缸24向上頂，波紋管23張開，固定杆22上端的託盤26上 升到合適位置，陰極罩3開始對白基片進行濺鍍。濺鍍完以後，氣缸 24帶動推桿241向下運動，固定杆22跟著推桿241向下運動，壓縮 波紋管23。然後馬達25工作，帶動機體21旋轉，固定杆22及託盤 26跟著機體21旋轉，使得固定杆22上端的託盤26轉到換盤機械手 l下方後，氣缸24向上頂，波紋管23張開，固定杆22上端的託盤 26上升到初始位置(即初始狀態的位置)，換盤機械手l將白基片取 走，再換上一個白基片，這樣周而復始的運行下去。由於墊片的兩面分別與定位塊、密封蓋接觸，由於定位塊固定在 推桿末端，是不會轉動的，而密封蓋連接固定杆，是會跟著固定杆轉 動的，因此墊片與密封蓋之間會不斷摩擦，墊片在一定時間的時候後， 會變薄，導致固定杆無法下降到合適的位置，光碟更換裝置工作不正 常，需要經常進行維修，更換墊片，大大影響了生產效率。 發明內容本實用新型的目的是對現有技術進行改進，提供一種濺鍍機光碟 更換裝置，可以有效地減少部件之間的磨損，無需經常進行維修，採 用的技術方案如下本實用新型的濺鍍機光碟更換裝置，採用軸承代替墊片、密封蓋， 其具體結構如下濺鍍機光碟更換裝置包括換盤機械手和換片裝置， 換片裝置包括機體、固定杆、波紋管、氣缸、馬達、至少一個託盤； 馬達的輸出端連接機體的轉動軸，機體上端到下端之間開有通孔，通 孔內側壁上設有滑套，所述託盤固定在固定杆上端，固定杆下端開有 定位坑，定位坑內設有定位塊，固定杆通過滑套可滑動的固定在通孔 內，氣缸的推桿從機體下端伸入上述通孔連接定位塊，波紋管套在固 定杆上，並且波紋管位於託盤和機體上端之間，換盤機械手位於託盤 架上方，其特徵在於所述換片裝置還包括軸承，軸承設在固定杆定 位坑內側壁與位於定位塊下方的推桿之間，軸承將定位塊固定在定位坑內。定位塊可相對固定杆轉動，其實是固定杆轉動，而定位塊不動。 當氣缸的推桿向下拉動定位塊時，定位塊對軸承施加壓力，而採用軸 承來代替墊片、密封蓋，由於軸承磨損很小，可以大幅減少維修的頻 率。一種較優的方案，所述軸承採用滑動軸承，滑動軸承包括軸承座、 軸瓦，軸瓦放置在軸承座內，軸承座安裝在固定杆定位坑內側壁上， 軸瓦安裝在推桿上。和滾動軸承相比，滑動軸承承載力高、抗震性好、 工作平穩可靠、噪音小、磨損較小、壽命長，可以更加有效的減少維 修的頻率。另一種可以選擇的方案，所述軸承採用滾動軸承，但是滾動軸承 的磨損還是比較大。採用這種方案，濺鍍機光碟更換裝置還需要包括 第一定位緊固件、第二定位緊固件，第一定位緊固件固定在固定杆上， 並且第一定位緊固件頂住滾動軸承的外圈，第二定位緊固件固定在推 杆上，並且第一定位緊固件頂住滾動軸承的內圈。第一定位緊固件與 固定杆一同轉動，因此第一定位緊固件與滾動軸承的外圈之間沒有相 對位移，不會磨損軸承的外圈，第二定位緊固件固定在推桿上，因此 第二定位緊固件與內圈一樣不轉動，因此第二定位緊固件與內圈之間 沒有相對位移，不會磨損滾動軸承的內圈。本實用新型對照現有技術的有益效果是，由於採用軸承代替墊 片、密封蓋，軸承磨損很小，因此可以大幅減少維修的頻率，有效的 提高生產效率。
圖1是本實用新型現有技術的結構示意圖； 圖2是本實用新型優選實施例的結構示意圖。
具體實施方式
如圖2所示，本優選實施例中的濺鍍機光碟更換裝置，包括換盤 機械手1和換片裝置2，換片裝置2包括機體21、固定杆22、波紋 管23、氣缸24、馬達25、滑動軸承222'、兩個託盤26。所述馬達25的輸出端連接機體21的轉動軸，機體21上端到下 端之間開有通孔211，通孔211內側壁上設有滑套212，所述託盤26固定在固定杆22上端，固定杆22下端開有定位坑224，定位坑224 內設有定位塊221 ，固定杆22通過滑套212可滑動的固定在通孔211 內，氣缸24的推桿241從機體21下端伸入上述通孔211連接定位塊 221，所述滑動軸承222'設在固定杆22定位坑內側壁與位於定位塊 221下方的推桿之間。滑動軸承222'包括軸承座2221'、軸瓦2222'， 軸瓦2222'放置在軸承座2221'內，滑動軸承222'的軸承座2221' 安裝在固定杆22定位坑224內側壁上，滑動軸承222'的軸瓦2222' 安裝在推桿241上，滑動軸承222'上端頂住定位塊221，將定位塊 221固定在定位坑內，推桿241可相對機體21、固定杆22轉動，波 紋管23套在固定杆22上，並且波紋管23位於託盤26和機體21之 間，換盤機械手1位於託盤26上方。初始狀態，換盤機械手1將白基片放進一個託盤26後，氣缸24 帶動推桿241向下運動，固定杆22跟著推桿241向下運動，壓縮波 紋管23。然後馬達25工作，帶動機體21旋轉，固定杆22及託盤26 跟著機體21旋轉，使得固定杆22上端的託盤26轉到陰極罩3內。 接著，氣缸24向上頂，波紋管23張開，固定杆22上端的託盤26上 升到合適位置，陰極罩3開始對白基片進行濺鍍。濺鍍完以後，氣缸 24帶動推桿241向下運動，固定杆22跟著推桿241向下運動，壓縮 波紋管23。然後馬達25工作，帶動機體21旋轉，固定杆22及託盤 26跟著機體21旋轉，使得固定杆22上端的託盤26轉到換盤機械手 1下方後，氣缸24向上頂，波紋管23張開，固定杆22上端的託盤 26上升到初始位置(即初始狀態的位置)，換盤機械手l將白基片取 走，再換上一個白基片，這樣周而復始的運行下去。當氣缸24的推桿241向下拉動定位塊221時，定位塊221壓在 滑動軸承222'上，而採用滑動軸承222'來代替墊片、密封蓋，由 於滑動軸承222'的磨損小，因此可以減少維修的頻率。
權利要求1、一種濺鍍機光碟更換裝置，包括換盤機械手和換片裝置，換片裝置包括機體、固定杆、波紋管、氣缸、馬達、至少一個託盤；馬達的輸出端連接機體的轉動軸，機體上端到下端之間開有通孔，通孔內側壁上設有滑套，所述託盤固定在固定杆上端，固定杆下端開有定位坑，定位坑內設有定位塊，固定杆通過滑套可滑動的固定在通孔內，氣缸的推桿從機體下端伸入上述通孔連接定位塊，波紋管套在固定杆上，並且波紋管位於託盤和機體上端之間，換盤機械手位於託盤架上方，其特徵在於所述換片裝置還包括軸承，軸承設在固定杆定位坑內側壁與位於定位塊下方的推桿之間，軸承將定位塊固定在定位坑內。
2、 如權利要求1所述的濺鍍機光碟更換裝置，其特徵在於所述 軸承採用滑動軸承，滑動軸承包括軸承座、軸瓦，軸瓦放置在軸承座 內，軸承座安裝在固定杆定位坑內側壁上，軸瓦安裝在推桿上。
專利摘要一種濺鍍機光碟更換裝置，包括換盤機械手和換片裝置，換片裝置包括機體、固定杆、波紋管、氣缸、馬達、至少一個託盤；馬達的輸出端連接機體的轉動軸，機體上端到下端之間開有通孔，通孔內側壁上設有滑套，所述託盤固定在固定杆上端，固定杆下端開有定位坑，定位坑內設有定位塊，固定杆通過滑套可滑動的固定在通孔內，氣缸的推桿從機體下端伸入上述通孔連接定位塊，波紋管套在固定杆上，並且波紋管位於託盤和機體上端之間，換盤機械手位於託盤架上方，所述換片裝置還包括軸承，軸承設在固定杆定位坑內側壁與位於定位塊下方的推桿之間，軸承將定位塊固定在定位坑內。本實用新型可以大幅減少維修的頻率，有效的提高生產效率。
文檔編號C23C14/34GK201217692SQ20082013927
公開日2009年4月8日 申請日期2008年10月14日 優先權日2008年10月14日
發明者郭曉明 申請人:廣東中唱一帆科技發展有限公司