超聲波掃描的樣品託盤的製作方法
2023-07-06 04:39:26 3
專利名稱：超聲波掃描的樣品託盤的製作方法
技術領域：
本發明涉及超聲波掃描及檢測技術領域，特別涉及一種超聲波掃描的樣品託盤。
背景技術：
超聲波掃描儀(Scanning Acoustic Microscope, SAM)廣泛應用於集成電路(IC)產品無損分析，是IC產品失效時最有力的無傷分析診斷手段，通常包含A-Scan，B-Scan, C-Scan, TAMI-Scan, T-Scan等五種，其中穿透式掃描(T-Scan)為SAM中最基本的模式，最 能快速有效地檢測出IC的內部缺陷。T-SCAN中所使用的樣品託盤的結構示意圖如圖1所示。樣品託盤包括一體化設計 的盤體101以及盤架，盤體101呈矩形，盤架包括縱梁102以及橫梁103。縱梁102共有四 個，分別位於盤體101的四個角上，並且與盤體101垂直；橫梁103則與盤體101平行，依次 將四個縱梁102連接起來。在進行T-SCAN掃描之前，將樣品託盤的盤體101水平放置，用 金屬支架與橫梁103連接使整個樣品託盤固定。然後，被測樣品被放置在盤體101上進行 掃描。圖2示出了現有技術中的T-SCAN掃描樣品得到的圖像的示意圖。其中虛線方框所 示為一個樣品的圖像。現有技術中需要將被測樣品擺放到固定的託盤上進行穿透掃描，會導致如下問 題(1).現有的樣品託盤為平面式，所有被掃描的晶片為操作者人工擺放至合適位 置，人工手動排列時難免存在擺放不整齊的現象，而且擺放時因為需要儘量保持緊湊和美 觀，難免造成擺放時間的浪費。(2).現有的樣品託盤在進行掃描時，由於掃描探頭滑動時對晶片產生的應力會造 成晶片在掃描過程中的擺動，進而影響到掃描結果和質量。(3).大量樣品需要進行掃描時，難免因為彼此間相互作用力的影響，影響掃描結
果 ο(4)對有問題樣品進行檢查時通常會影響其它樣品從而需要重新擺放樣品。以上問題的存在，使T-Scan快速有效反應樣品缺陷的機能大打折扣，浪費了大量 的人力和時間，也延誤產品失效的快速判定。
發明內容
有鑑於此，本發明的目的在於，提出一種超聲波掃描的樣品託盤，可以解決現有技 術中存在的擺放速度慢、待測樣品在掃描過程中移動等問題。本發明實施例提出的一種超聲波掃描的樣品託盤，包括盤體和盤架，所述盤體和 盤架彼此分離，盤體和盤架具有用於相互固定的結構，且所述盤體具有用於放置待測樣品 的凹槽。較佳地，所述樣品託盤的盤體的凹槽排成m行，n列，每行每列都保持對齊，其中m 和n均為正整數。
較佳地，構成所述盤體的材料為亞克力。較佳地，構成所述盤架的材料為金屬。較佳地，所述金屬為不鏽鋼。所述樣品託盤的盤體至少包括第一盤體和第二盤體，所述第一盤體的凹槽用於放 置第一類待測樣品，第二盤體的凹槽用於放置第二類待測樣品。所述第一盤體和第二盤體用於分別或同時固定在所述盤架上。從以上技術方案可以看出，本發明提出的樣品託盤具有放置待測樣品的凹槽，待 測樣品的排列非常整齊，掃描結果更為整潔、清晰、直觀；只要將待測樣品放置在盤體的凹 槽中即可，無需對待測樣品擺放的位置進行過多調整，有效縮短掃描時晶片的擺放時間；待 測樣品一旦放置，就不會受外力影響而移動，有效的解決晶片掃描時因外部應力造成擺動 的問題；使用靈活方便，對於不同形狀的待測樣品，只要事先定製與之對應的盤體即可。
圖1為現有技術中採用的樣品託盤的三視圖；圖2為現有技術中的T-SCAN掃描樣品得到的圖像；圖3為本發明實施例的樣品託盤的盤體的三視圖；圖4為本發明實施例的樣品託盤的盤架的三視圖；圖5為本發明實施例的盤體固定在盤架上的示意圖；圖6為採用本發明實施例的樣品託盤放置待測樣品進行T-SCAN掃描得到的圖像。
具體實施例方式針對現有T-Scan中所使用的樣品託盤的諸多缺點，本發明提出了有針對性的設 計方案(1)針對在掃描時探頭的來回移動，帶動樣品自由移動的問題，在樣品託盤的盤體 上設計和樣品大小、形狀一致的凹槽，這樣樣品可以恰好擺放在凹槽中並被固定；所述凹槽 稱為模塊化擺放單元。(2)樣品託盤採用盤體與盤架分離的結構，盤架是通用的，根據不同種類的樣品設 計相應的盤體，根據不同的需求可以方便的更換盤體。為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚，下面結合附圖對本發明作進一步 的詳細闡述。圖3示出了本發明實施例的樣品託盤的盤體300的三視圖。盤體300的整體為矩 形，長度為a，寬度為b。盤體300上具有至少一個凹槽302，盤體300上除了凹槽302以外 的部分則稱之為邊框301。每個凹槽302的形狀設計為與待測樣品的形狀一致，例如待測樣 品的形狀為長為c寬為d的矩形，則凹槽302的形狀就是長為c寬為d的矩形。這樣每個 凹槽302可以放置一個待測樣品。凹槽302的深度設計需要滿足兩方面的要求A、放置在凹槽302中的待測樣品固定，在掃描探頭划過時待測樣品不會隨之移 動；B、便於在凹槽302中取/放待測樣品。較佳地，凹槽302在盤體300上排成m行，η列，每行每列都保持對齊。
圖4示出了本發明實施例的樣品託盤的盤架400的三視圖。盤架400包括一對下 橫梁401、兩個縱向支撐體402和一對上橫梁403。圖5示出了盤體300與盤架400結合的示意圖。盤架400的下橫梁401水平放置， 盤體300較短邊分別固定在盤架400的兩個上橫梁403上，盤體300也保持水平。然後待 測樣品可以放入盤體300的凹槽中。圖5中只示出了一個盤體固定在盤架上的情況。實際應用中，對應於同一個盤架，可以設置多種型號的盤體，每種信號盤體的外輪 廓都是一致的，區別在於其凹槽的大小及排列方式不同，分別用於放置不同類型的待測樣品。實際應用中，還可以將兩個以上的盤體同時固定在盤架上，每個盤架上的凹槽可 以是放置同一類待測樣品或者不同類的待測樣品。綜上所述，本發明實施例提出了一種用於超聲波掃描過程中放置待測樣品的樣品 託盤，包括盤體和盤架，所述盤體和盤架彼此分離，盤體和盤架具有可以相互固定的結構， 且所述盤體具有可以放置待測樣品的凹槽。所述樣品託盤的盤體的凹槽排成m行，η列，每行每列都保持對齊，其中m和η均 為正整數。所述樣品託盤的盤體至少包括第一盤體和第二盤體，所述第一盤體的凹槽用於放 置第一類待測樣品，第二盤體的凹槽用於放置第二類待測樣品。所述第一盤體和第二盤體可以分別或同時固定在所述盤架上。較佳地，考慮到成本以及易於加工，盤體採用亞克力材料製成。而盤架採用金屬加 工製成，所述金屬可以是不鏽鋼，則主要考慮盤架的耐用性。圖6示出了採用本發明實施例的樣品託盤對樣品進行T-SCAN掃描得到的圖像的 示意圖。從圖6中可以看出，待測樣品的排列非常整齊，掃描結果更為整潔、清晰、直觀。此外，本發明實施例提出的樣品託盤還具有如下優點只要將待測樣品放置在盤體的凹槽中即可，無需對待測樣品擺放的位置進行過多 調整，有效縮短掃描時晶片的擺放時間；待測樣品一旦放置，就不會受外力影響而移動，有效的解決晶片掃描時因外部應 力造成擺動的問題；使用靈活方便，對於不同形狀的待測樣品，只要事先定製與之對應的盤體即可。以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，並不用以限制本發明，凡在本發明的精 神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
權利要求
一種超聲波掃描的樣品託盤，包括盤體和盤架，其特徵在於，所述盤體和盤架彼此分離，盤體和盤架具有用於相互固定的結構，且所述盤體具有用於放置待測樣品的凹槽。
2.根據權利要求1所述的樣品託盤，其特徵在於，所述樣品託盤的盤體的凹槽排成m 行，η列，每行每列都保持對齊，其中m和η均為正整數。
3.根據權利要求1所述的樣品託盤，其特徵在於，構成所述盤體的材料為亞克力。
4.根據權利要求1所述的樣品託盤，其特徵在於，構成所述盤架的材料為金屬。
5.根據權利要求4所述的樣品託盤，其特徵在於，所述金屬為不鏽鋼。
6.根據權利要求1至5任一項所述的樣品託盤，其特徵在於，所述樣品託盤的盤體至少 包括第一盤體和第二盤體，所述第一盤體的凹槽用於放置第一類待測樣品，第二盤體的凹 槽用於放置第二類待測樣品。
7.根據權利要求6所述的樣品託盤，其特徵在於，所述第一盤體和第二盤體用於分別 或同時固定在所述盤架上。
全文摘要
本發明公開了一種超聲波掃描的樣品託盤，包括盤體和盤架，所述盤體和盤架彼此分離，盤體和盤架具有用於相互固定的結構，且所述盤體具有用於放置待測樣品的凹槽。本發明提出的樣品託盤具有放置待測樣品的凹槽，待測樣品的排列非常整齊，掃描結果更為整潔、清晰、直觀；只要將待測樣品放置在盤體的凹槽中即可，無需對待測樣品擺放的位置進行過多調整，有效縮短掃描時晶片的擺放時間；待測樣品一旦放置，就不會受外力影響而移動，有效的解決晶片掃描時因外部應力造成擺動的問題；使用靈活方便，對於不同形狀的待測樣品，只要事先定製與之對應的盤體即可。
文檔編號G01N29/22GK101988916SQ20091005593
公開日2011年3月23日 申請日期2009年8月5日 優先權日2009年8月5日
發明者張欣輝, 李剛 申請人:中芯國際集成電路製造(上海)有限公司