一種前開式晶片盒的製作方法
2023-07-06 07:25:41 1
一種前開式晶片盒的製作方法
【專利摘要】本發明涉及半導體製造設備中的晶片盒，具體地說是一種可自動防止晶片在設備移動過程中滑出的前開式晶片盒，包括片盒體、帶電磁閥的迴轉氣缸及擋杆，其中片盒體為半開放式結構，片盒體內設有多個容置晶片的插槽；所述迴轉氣缸安裝在片盒體上，擋杆與迴轉氣缸的輸出端相連，通過該迴轉氣缸帶動迴轉、阻擋晶片滑出。本發明結構簡單，使用方便，滿足安全、無汙染的存儲和運輸晶片的要求，而且可以自動地實現在設備移動過程中防止晶片滑出，無需打開設備的門，保證了設備內的潔淨度。
【專利說明】一種前開式晶片盒
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體製造設備中的晶片盒，具體地說是一種可自動防止晶片在設備移動過程中滑出的前開式晶片盒。
【背景技術】
[0002]在半導體製造領域中，半導體製造設備內大部分都涉及到裝載晶片的晶片盒，它起到晶片的存儲、運輸等功能。在現有的技術下，存在著很多不同類型的晶片盒，它們具有的相同特點是可一次性裝載和運輸單個或多個晶片，並且不會對晶片造成汙染；且個別的也具有防止晶片滑出的功能，但是由手動實現的。當晶片盒處在半導體製造設備內，為了某個目的需要抽拉行動裝置時，並且設備內具有潔淨度要求，不宜打開設備的門時，就沒有辦法防止晶片從晶片盒中滑出來，造成故障。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在於提供一種具有自動防止晶片滑出功能的前開式晶片盒。該前開式晶片盒在存放晶片盒的半導體製造設備需要抽拉移動時，無需打開設備的門，晶片盒即可自動的實現防止晶片滑出。
[0004]本發明的目的是通過以下技術方案來實現的:
[0005]本發明包括片盒體、帶電磁閥的迴轉氣缸及擋杆，其中片盒體為半開放式結構，片盒體內設有多個容置晶片的插槽；所述迴轉氣缸安裝在片盒體上，擋杆與迴轉氣缸的輸出端相連，通過該迴轉氣缸帶動迴轉、阻擋晶片滑出。
[0006]其中:所述片盒體的一側沿軸向設有供晶片輸入或輸出的開口 ；所述開口的水平投影為弧形，開口寬度大於晶片的直徑；所述迴轉氣缸安裝在片盒體的上表面，並位於開口的任一側；或在所述開口的兩側、對稱設置兩個迴轉氣缸，每個迴轉氣缸分別連接有擋杆；所述擋杆的一端通過連接裝置與迴轉氣缸的輸出端相連，另一端為自由端，或擋杆的另一端鉸接於所述片盒體的下表面；所述擋杆的長度大於片盒體的高度，擋杆和片盒體相對應的部分與片盒體的軸向中心線相平行；所述擋杆為圓柱形的實心杆或空心杆，由塑料材料製成。
[0007]本發明的優點與積極效果為:
[0008]本發明結構簡單，使用方便，滿足安全、無汙染的存儲和運輸晶片的要求，而且可以自動地實現在設備移動過程中防止晶片滑出，無需打開設備的門，保證了設備內的潔淨度。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本發明的軸測圖之一(擋杆處於非工作狀態)；
[0010]圖2為本發明的軸測圖之二 (擋杆處於阻擋狀態)；
[0011]圖3為本發明俯視圖(擋杆處於晶片的側前方)；[0012]圖4為本發明俯視圖(擋杆處於晶片的側方)；
[0013]其中:1為片盒體，2為迴轉氣缸，3為插槽，4為聯軸器，5為擋杆，6為晶片。【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖對本發明作進一步詳述。
[0015]如圖1、圖2所示，本發明包括片盒體1、帶電磁閥的迴轉氣缸2及擋杆5，其中片盒體I整體形狀為中空的圓柱，呈半開放式結構，即在片盒體I的一側沿軸向設有供晶片6輸入或輸出的開口，該開口的水平投影為弧形，開口寬度大於晶片6的直徑。
[0016]片盒體I的內壁上設有多個容置晶片6的插槽3，各插槽3之間相互平行。迴轉氣缸2可直接或間接地安裝在片盒體I的上表面、並位於所述開口的任一側，迴轉氣缸2上帶有與控制系統電連接的電磁閥，通過電磁閥可以控制迴轉氣缸2順時針旋轉或逆時針旋轉；本發明的控制系統為現有技術。擋杆5的一端彎折後、通過連接裝置與迴轉氣缸2的輸出端相連，另一端為自由端；或擋杆5的另一端彎折後鉸接於所述片盒體I的下表面，本實施例擋杆5的另一端即是彎折後鉸接在片盒體I的下表面上；本實施例的連接裝置為聯軸器4，起到連接迴轉氣缸2和擋杆5的作用。擋杆5為圓柱形的實心杆或空心杆，由塑料材料製成，如聚乙烯或聚四氟乙烯；擋杆5的長度大於片盒體I的高度，擋杆5和片盒體I相對應的部分與片盒體I的軸向中心線相平行，通過該迴轉氣缸2帶動迴轉、阻擋晶片6滑出。
[0017]本發明還可在所述開口的兩側，對稱設置兩個迴轉氣缸2，每個迴轉氣缸2分別連接有擋杆5。
[0018]本發明的工作原理為:
[0019]在正常工作狀態下，檔杆5的狀態如圖4所示，圖4箭頭所指的方向為晶片6的輸入輸出方向，檔杆5所處的位置為晶片6輸入輸出方向範圍之外,這樣不會影響晶片6的輸入及輸出。當承載此晶片盒的半導體製造設備需要抽拉移動時，通過控制系統控制電磁閥的供氣方式，使迴轉氣缸2逆時針旋轉，旋轉到設定的角度停止，相應地通過聯軸器4帶動檔杆5跟著逆時針旋轉，狀態如圖3所示，檔杆5的位置處於晶片6的側前方，這樣在設備移動過程中晶片6就不會因設備移動產生的震動和慣性從片盒體I中滑出；當設備抽拉移動回位後，再通過控制系統控制電磁閥3的供氣方式，使迴轉氣缸2順時針旋轉，帶動檔杆5跟著順時針旋轉，回到初始如圖4所示的位置，這樣設備就可以正常的工作了。
【權利要求】
1.一種前開式晶片盒，其特徵在於:包括片盒體(I)、帶電磁閥的迴轉氣缸(2)及擋杆(5)，其中片盒體(I)為半開放式結構，片盒體(I)內設有多個容置晶片(6)的插槽(3);所述迴轉氣缸(2)安裝在片盒體(I)上，擋杆(5)與迴轉氣缸(2)的輸出端相連，通過該迴轉氣缸(2)帶動迴轉、阻擋晶片(6)滑出。
2.按權利要求1所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述片盒體(I)的一側沿軸向設有供晶片(6)輸入或輸出的開口。
3.按權利要求1所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述開口的水平投影為弧形，開口寬度大於晶片(6)的直徑。
4.按權利要求2所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述迴轉氣缸(2)安裝在片盒體(I)的上表面，並位於開口的任一側；或在所述開口的兩側、對稱設置兩個迴轉氣缸(2)，每個迴轉氣缸(2)分別連接有擋杆(5)。
5.按權利要求1或4所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述擋杆(5)的一端通過連接裝置與迴轉氣缸(2)的輸出端相連，另一端為自由端，或擋杆(5)的另一端鉸接於所述片盒體(I)的下表面。
6.按權利要求5所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述擋杆(5)的長度大於片盒體(I)的高度，擋杆(5)和片盒體(I)相對應的部分與片盒體(I)的軸向中心線相平行。
7.按權利要求5所述的前開式晶片盒，其特徵在於:所述擋杆(5)為圓柱形的實心杆或空心杆，由塑料材料製成。
【文檔編號】H01L21/673GK103715120SQ201210380149
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2012年10月9日 優先權日:2012年10月9日
【發明者】張爽, 王繼周, 門恩國 申請人:瀋陽芯源微電子設備有限公司