半導體存儲裝置的內部電壓產生器的製作方法
2023-07-19 19:14:06 1
專利名稱：半導體存儲裝置的內部電壓產生器的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種內部電壓產生器，用以於半導體存儲裝置中，產生高電壓VPP或基板電壓。
背景技術：
當半導體存儲裝置在電力使用上變得較快速與消耗更低，內部操作對噪聲變得非常敏感，半導體存儲裝置，特別是DRAM裝置，通常包含內部電壓產生器用以產生除外部輸入電壓外，用於內部操作之一預定電平之一內部電壓，內部電壓產生器可產生一電壓較高於一外部高電壓，即，高電壓VPP，或一電壓較低於一外部低電壓(通常地，接地電壓)，即，後偏壓電壓或基板電壓，內部電壓產生器藉使用電荷泵激(charge pumping)模式產生預定電平的內部電壓。
第1圖為一方塊圖例示傳統內部電壓產生器的外形，內部電壓產生器100包含電平檢測器110、環形振蕩器120、泵激控制器130與電荷泵激140。
電平檢測器110檢測內部電壓VPP的電平以產生振蕩器驅動信號ppe，環形振蕩器120使用該振蕩器驅動信號ppe產生振蕩信號osc，泵激控制器130使用該振蕩信號osc產生泵激控制信號ctr，電荷泵激140對應該泵激控制信號ctr產生內部電壓VPP。
此等傳統內部電壓產生器100僅具有振蕩器驅動信號ppe能控制該環形振蕩器120的操作，即是，假如振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平之一期間被決定，環形振蕩器120的振蕩信號osc僅於該期間被產生。
此種情形，假如電平檢測器110的電流消耗被減低以降低待命操作中的電流消耗，驅動電流亦被減低以降低電平檢測器110的反應速度。
假如電平檢測器110的反應時間與振蕩器驅動信號ppe具有HIGH電平的期間依據主動操作被固定，環形振蕩器120繼續產生振蕩信號osc，因為振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平，雖然它變得需要停止電荷泵激，因為內部電壓VPP上升至目標電平，於此情形，會有內部電壓VPP的電壓電平不宜增加較高於目標電平的問題，因為該電荷泵激操作繼續。
第2圖為一波形圖，顯示從第1圖所示的內部電壓產生器產生的內部電壓的電平變化。
由於該電平檢測器110在一時間點的低反應速度，傳統內部電壓產生器繼續執行電荷泵激，其是在一時間點當該泵激因為電荷泵激操作已執行足夠而需要被停止時，於此情形，如第2圖所示，出現一切面其中內部電壓VPP超過目標電平如以虛線表示的圓圈，因此，會有內部電壓VPP電平的變異寬度較大的問題。
發明內容
因此，一種內部電壓產生器被揭露，其藉僅執行電荷泵激預定次數可減低內部電壓VPP電平的變異寬度，甚至當振蕩器驅動信號是位於邏輯HIGH電平時，且接著停止該電荷泵激操作。
依據第一實施例，一種內部電壓產生器包括電平檢測器用以檢測內部電壓的電壓電平以產生振蕩器驅動信號，環形振蕩器用以產生對應該振蕩器驅動信號的振蕩信號，振蕩器控制器用以產生振蕩控制信號用以停止使用該振蕩器驅動信號與該振蕩信號的環形振蕩器的振蕩操作，與電荷泵激電路用以對應該振蕩信號僅執行預定次數電荷泵激，因此產生內部電壓，且接著停止該電荷泵激操作，其中環形振蕩器停止該振蕩操作，甚至於一期間當對應該振蕩控制信號該振蕩器驅動信號被致動的預定時間點。
內部電壓產生器包含電平檢測器、環形振蕩器，且電荷泵激電路可包括一振蕩器控制器其藉使用電平檢測器的輸出信號與環形振蕩器的輸出信號，產生振蕩控制信號用以停止環形振蕩器的振蕩操作，環形振蕩器於預定時間點當電平檢測器的輸出信號對應該振蕩控制信號是位於HIGH電平時，可不產生振蕩信號，電荷泵激電路對應該振蕩信號藉僅執行電荷泵激操作預定次數可產生內部電壓，甚至於一期間當電平檢測器的輸出信號是位於HIGH電平時，且接著停止該電荷泵激操作。
第1圖為一方塊圖例示傳統內部電壓產生器的外形。
第2圖為一波形顯示自第1圖所示的內部電壓產生器產生的內部電壓電平變異。
第3圖為一方塊圖例示依據一實施例的內部電壓產生器的外形。
第4圖為一詳細電路圖顯示第3圖的環形振蕩器。
第5圖為一詳細方塊圖例示第3圖的振蕩器控制器。
第6圖為第5圖所示的每一分頻器的詳細電路圖。
第7圖為一波形顯示自第6圖的分頻器的信號輸出。
第8圖為第5圖所示的終止控制器的詳細電路圖。
第9圖為一波形顯示從第3圖所示的內部電壓產生器產生的內部電壓電平變異。
100，300內部電壓產生器110，310電平檢測器120，320環形振蕩器130，330泵激控制器140，340電荷泵激400 振蕩器控制器450 終止控制器470 振蕩決策單元480 振蕩數目控制器490 振蕩控制器具體實施方式
第3圖為一方塊圖例示一揭露內部電壓產生器的外形，該內部電壓產生器300包含電平檢測器310、環形振蕩器320、泵激控制器330、電荷泵激340與振蕩器控制器400。
電平檢測器310檢測內部電壓VPP的電平以產生振蕩器驅動信號ppe，環形振蕩器320使用該振蕩器驅動信號ppe產生振蕩信號osc，振蕩器控制器400產生振蕩控制信號osc_ctr用以在預定時間點使用該振蕩信號osc停止振蕩操作，甚至當該振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平時，所產生的該振蕩控制信號osc_ctr因此被再次輸入至該環形振蕩器320，環形振蕩器350於一期間當振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平時的預定時間點，並不產生振蕩信號osc對應該振蕩控制信號osc_ctr，泵激控制器330使用該振蕩信號osc產生泵激控制信號ctr，電荷泵激340僅於預定時間或預定次數執行電荷泵激對應該泵激控制信號ctr，因此產生內部電壓VPP，且停止該電荷泵激操作甚至當振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平時。
第4圖為第3圖所示的環形振蕩器320的詳細電路圖，環形振蕩器320由NAND門311與環形結構的反相器鏈312至317所組成。
參考第4圖，NAND門311在該振蕩控制信號osc_ctr執行NAND操作、振蕩器驅動信號ppe與反饋信號，反相器鏈312至314延滯NAND門311的輸出信號以輸出該振蕩信號osc，反相器鏈315至317延滯該振蕩信號osc，且接著將它反饋至NAND門411的輸入。
此時，振蕩器驅動信號ppe於正常次數中是位於LOW電平，但於一期間當電荷泵激必須被執行時轉變至HIGH電平，振蕩控制信號osc_ctr於正常次數中是位於HIGH電平，但於一時間點當電荷泵激必須被停止時轉變至LOW電平，因此停止振蕩操作，其後，假如振蕩器驅動信號ppe轉變至LOW電平，振蕩控制信號osc_ctr再次轉變至HIGH電平，且接著被起始以準備下一泵激操作。
第5圖為第3圖所示的振蕩器控制器400的詳細電路圖，振蕩器控制器400包含多個分頻器410至430與終止控制器450。
參考第5圖，該多個分頻器410至430使該振蕩信號osc的頻率減半，且接著輸出第一振蕩數目控制信號fd1至fd3，其周期為二倍、四倍與八倍振蕩信號的周期，終止控制器450輸出振蕩控制信號osc_ctr用以於一期間當振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平的預定時間點，停止環形振蕩器320的振蕩操作而對應具有不同周期的第一振蕩數目控制信號fd1至fd3。
第6圖為第5圖所示的每一分頻器的詳細電路圖，分頻器包含反相器41、42、轉移門43、44、NAND門45、反相器46、轉移門47、48與反相器49、50。
反相器41反相該振蕩信號osc且輸出振蕩條信號/osc，反相器42反相第一振蕩數目控制信號fdi為節點d的信號，轉移門43在振蕩信號osc與振蕩條信號/osc的控制下傳送反相器42的輸出信號至節點a，NAND門45在節點a的信號與振蕩器驅動信號ppe上執行NAND操作，且接著輸出該結果至節點b，反相器46反相節點b的信號，轉移門44于振蕩信號osc與振蕩條信號/osc的控制下傳送反相器46的輸出信號至節點a，轉移門47于振蕩信號osc與振蕩條信號/osc的控制下傳送節點b的信號至節點c，反相器49反相節點c的信號且接著輸出所反相的信號至節點d，反相器50反相節點d的信號，轉移門48在振蕩信號osc與振蕩條信號/osc的控制下，傳送反相器50的輸出信號至節點c。
分頻器的操作將予以描述。
因為振蕩器驅動信號ppe在正常時間是位於LOW電平，節點b變成HIGH電平，假定振蕩信號osc的初值是位於LOW電平，轉移門47被接通且節點b的信號(HIGH電平)因此被傳送至節點c，節點c的信號經由反相器49被傳送至節點d(LOW電平)，節點d的初值，即，分頻器的輸出信號fdin的初值變成LOW電平，此時，轉移門43被斷開且不傳送節點d的信號至節點a，轉移門44被接通使得一鎖存器藉NAND門45，反相器46與轉移門44被形成，且轉移門48被斷開。
假如電荷泵激開始，振蕩器驅動信號ppe變成HIGH電平，且NAND門45單純地作為反相器，此時，假如振蕩信號osc轉變至HIGH電平，轉移門43、48被接通與轉移門44、47被斷開，因此，節點d的LOW電平經由反相器42，轉移門43與NAND門45被傳送至節點b，第一振蕩數目控制信號fdi的電平不會改變，接著，假如振蕩信號osc自HIGH電平轉變至LOW電平，轉移門43、48被斷開，且轉移門44、47被接通，因此，節點b的LOW電平經由反相器49被傳送至節點d，且第一振蕩數目控制信號fdi轉變至HIGH電平。
經由此操作，分頻器產生第一振蕩數目控制信號fdi，其在振蕩信號osc的下降邊緣轉變，所形成的第一振蕩數目控制信號fdi周期因此變成二倍、四倍或八倍振蕩信號osc。
第7圖顯示振蕩信號osc與第一振蕩數目控制信號fd1至fd3的波形，第一振蕩數目控制信號fd1具有二倍振蕩信號osc的周期，第一振蕩數目控制信號fd2具有四倍振蕩信號osc的周期，且第一振蕩數目控制信號fd3具有八倍振蕩信號osc的周期。
第8圖為第5圖所示的終止控制器450的詳細電路圖，終止控制器450包含振蕩決策單元470、振蕩數目控制器480、與振蕩控制器490，振蕩決策單元470依據保險絲的斷開，產生振蕩決策信號f1、f2用以決定電荷泵激的次數。
參考第8圖，振蕩決策單元470包括保險絲51、53、反相器52、54、電容器C1、C2與NMOS電晶體N1、N2，保險絲51具有一端連接至電源電壓且另一端連接至節點e，保險絲53具具有一端連接至電源電壓且另一端連接至節點f，反相器52反相節點e的信號且因此輸出振蕩決策信號f1，反相器54反相節點f的信號且因此輸出振蕩決策信號f2，NMOS電晶體N1與電容器C1並聯，且NMOS電晶體N2並聯電容器C2，NMOS電晶體N1被連接於節點e與接地電壓間，且具有一門其系被振蕩決策信號f1輸入，NMOS電晶體N2被連接於節點f與接地電壓間，且具有一門其是被振蕩決策信號f2輸入，電容器C1被連接於節點e與接地電壓間，且電容器C2被連接於節點f與接地電壓間。
振蕩決策單元470的操作將予描述，保險絲51、53在正常次數下被連接，且被斷開假如需要的話，例如，假如它不需控制內部電壓產生器的電荷泵激操作次數(時間)，振蕩決策信號f1，f2二者保持LOW電平，因為保險絲51，53被連接，振蕩器驅動信號ppe的初值亦位於低電平，振蕩控制信號osc_ctr具有HIGH電平的初值，於此情形，環形振蕩器320如現有技術相同方式操作。
假如需要減低電荷泵激操作次數(期間)，保險絲51、53之一者或全部必須被斷開，振蕩決策信號f1、f2的電平視保險絲51、53的斷開而定被決定，假如保險絲51被斷開，振蕩決策信號f1變成HIGH電平且振蕩決策信號f2變成LOW電平，假如保險絲52被斷開，振蕩決策信號f2變成HIGH電平且振蕩決策信號f1變成LOW電平，保險絲51、52二者被斷開，振蕩決策信號f1、f2二者變成HIGH電平。
電荷泵激次數(時間)依據這些保險絲51、53的斷開可予決定，泵激次數依據外部輸入指令而非該保險絲51、53亦可被改變。
回到參考第8圖，振蕩數目控制器480作為解碼振蕩決策信號f1、f2，與因此產生第二振蕩數目控制信號M1至M3，振蕩數目控制器480包含反相器55、56、NAND門57至59與反相器60至62。
反相器55反相振蕩決策信號f1，且反相器56反相振蕩決策信號f2，NAND門57于振蕩決策信號f1與反相器56的輸出信號上，執行NAND操作，且NAND門58于振蕩決策信號f2與反相器55的輸出信號上，執行NAND操作，NAND門59于振蕩決策信號f1、f2上執行NAND操作，反相器60反相NAND門57的輸出信號且因此輸出第二振蕩數目控制信號M1，反相器61反相NAND門58的輸出信號且因此輸出第二振蕩數目控制信號M2，反相器62反相NAND門59的輸出信號且因此輸出第二振蕩數目控制信號M3。
假如預定一電荷泵激僅執行泵激一次，第二振蕩數目控制信號M1是位於HIGH電平，假如預定電荷泵激僅執行泵激二次，第二振蕩數目控制信號M2是位於HIGH電平，假如預定電荷泵激僅執行泵激六次，第二振蕩數目控制信號M3是位於HIGH電平。
再次參考第8圖，振蕩控制器490於一期間當振蕩器驅動信號ppe是位於HIGH電平，藉使用第一振蕩數目控制信號fd1至fd3與第二振蕩數目控制信號M1至M3，產生振蕩控制信號osc_ctr用以停止環形振蕩器的振蕩操作，此振蕩控制器490包含PMOS電晶體P1、NMOS電晶體N10、鎖存器電路63、反相器64與NMOS電晶體N3至N9。
PMOS電晶體P1與NMOS電晶體N10被以串連方式連接於電源電壓與節點g間，且具有個別的門其振蕩器驅動信號ppe被輸入，鎖存器電路63鎖存PMOS電晶體P1與NMOS電晶體N10的輸出信號，反相器64反相經鎖存的信號且因此輸出振蕩控制信號osc_ctr，NMOS電晶體N3、N4被串聯連接於節點g與接地電壓間，NMOS電晶體N5、N6亦被串聯連接於節點g與接地電壓間，NMOS電晶體N7、N8與N9亦以串聯方式被連接於節點g與接地電壓間，NMOS電晶體N3、N4、NMOS電晶體N5、N6與NMOS電晶體N7、N8與N9彼此並聯被連接。
振蕩控制器490的操作可參考第7圖描述於下，於預定一電荷泵激僅執行泵激一次的情形，假如第二振蕩數目控制信號M1被輸入為HIGH電平，使振蕩器驅動信號ppe被輸入為HIGH電平，NMOS電晶體N2被接通，起初，因為第一振蕩數目控制信號fd1為位於LOW電平，NMOS電晶體N4被斷開，且振蕩控制信號osc_ctr保持HIGH電平，同時，如第7圖所示于振蕩信號osc被觸發一次(一周期)後，假如第一振蕩數目控制信號fd1變成HIGH電平，NMOS電晶體N4被接通，且振蕩控制信號osc_ctr被輸出為LOW電平，假如控制信號osc_ctr變成LOW電平，環形振蕩器停止振蕩操作，且電荷泵激340不再執行電荷泵激，其後，雖然第一振蕩數目控制信號fd1轉變至LOW或HIGH電平，振蕩控制信號osc_ctr保持LOW電平，於此情形，電荷泵激僅執行電荷泵激操作一次且接著停止電荷泵激操作。
於預定一電荷泵激執行泵激二次的情形，第二振蕩數目控制信號M2被輸入為HIGH電平，使振蕩器驅動信號ppe被輸入為HIGH電平，NMOS電晶體N5被接通，如第7圖所示于振蕩信號osc被觸發二次(二周期)後，假如第一振蕩數目控制信號fd2變成HIGH電平，NMOS電晶體N6被接通，且振蕩控制信號osc_ctr被輸出為LOW電平，於此情形，電荷泵激僅執行電荷泵激操作二次且接著停止電荷泵激操作。
於預定一電荷泵激執行泵激六次情形，第二振蕩數目控制信號M3被輸入為HIGH電平，使振蕩器驅動信號ppe被輸入為HIGH電平，NMOS電晶體N7被接通，於一時間點當第一振蕩數目控制信號fd2、fd3同時變成HIGH電平，振蕩控制信號osc_ctr變成LOW電平，因此，如第7圖所示于振蕩信號osc被觸發六次(六周期)後，第一振蕩數目控制信號fd2變成HIGH電平，因此，NMOS電晶體N9首先被接通，且NMOS電晶體N8接著被接通，因此，振蕩控制信號osc_ctr被輸出為LOW電平，於此情形，電荷泵激僅執行泵激六次且接著停止電荷泵激操作。
另外，電荷泵激的泵激次數經由增加較大數目的分頻器，可藉產生較大數目的第一振蕩數目控制信號被控制，又，電荷泵激的泵激次數可於晶圓狀態或成品狀態中被改變。
第9圖為一波形顯示產生自第3圖所示的內部電壓產生器的內部電壓電平變異，從第9圖，依據本發明可見到產生於內部電壓產生器中的內部電壓VPP在電壓電平中具有變異寬度，其小於內部電壓VPP的變異寬度。
即是，該揭露的內部電壓產生器僅執行電荷泵激預定次數，且於預定次數後停止該電荷泵激操作，該內部電壓其中電壓電平的變異寬度是小的。
此等電荷泵激操作於一期間當振蕩器驅動信號於主動操作中是位於HIGH電平時經由環形振蕩器的驅動被執行，於待命操作中，然而，甚至當該振蕩器驅動信號市位於HIGH電平，環形振蕩器的操作被停止，且該電荷泵激操作因此被停止。
甚至於當相同的內部電壓產生器被使用於主動操作與待命操作中的情形，且當使用於主動操作中的內部電壓產生器與使用於待命操作中的內部電壓產生器被分別使用的情形，環形振蕩器的振蕩操作被停止，甚至於當振蕩器驅動信號僅於待命操作中是位於HIGH電平的期間，且該電荷泵激操作被停止。
如上所述，雖然振蕩器驅動信號是位於HIGH電平，電荷泵激操作僅於一預定時間或預定次數被執行，且接著其後被停止，因此，所揭露的內部電壓產生器於它們可減低不合要求的過度泵激期間上為有利的。
又，因為整個泵激期間被減少，內部電壓VPP的電平的變異寬度可被降低，因此，所揭露的內部電壓產生器可產生穩定的電壓電平。
雖然先前描述系參考較佳實施例作成，它可了解到改變與修改可由本領域技術人員達成，而無需逸離本公開與所附權利要求的精神與範圍。
權利要求
1.一種內部電壓產生器，包括電平檢測器，用以檢測內部電壓的電壓電平以產生振蕩器驅動信號；環形振蕩器，用以產生振蕩信號對應該振蕩器驅動信號；振蕩器控制器，使用該振蕩器驅動信號與該振蕩控制信號，用以產生振蕩控制信號以停止該環形振蕩器的振蕩操作；以及電荷泵激電路，用以執行僅電荷泵激預定的次數對應該振蕩信號，因此產生內部電壓。
2.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器在預定時間停止振蕩操作，當該振蕩器驅動信號被致動且對應該振蕩控制信號。
3.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器並不產生振蕩控制信號，當該振蕩器驅動信號被致動且處於待命操作中。
4.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器包括邏輯元件，用以邏輯地結合該振蕩器驅動信號與該振蕩控制信號；且反相器鏈，是被安置於環形結構中邏輯元件的輸出終端與輸入終端中。
5.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中在振蕩信號被觸發N次後，該振蕩器控制器不致動該振蕩控制信號，甚至於該振蕩器驅動信號被致動的期間。
6.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中在執行電荷泵激操作N次後，該電荷泵激停止電荷泵激操作，甚至於該振蕩器驅動信號被致動的期間。
7.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中振蕩器控制器包括多個分頻器，用以使振蕩信號的頻率減半，因此產生多個具有不同周期的第一振蕩數目控制信號；且終止控制器，用以于振蕩器驅動信號被致動的期間，不致動該振蕩控制信號以對應多個第一振蕩數目控制信號。
8.根據權利要求7所述的內部電壓產生器，其中多個分頻器產生第一振蕩數目控制信號，其在振蕩信號的衰減邊緣變換。
9.根據權利要求7所述的內部電壓產生器，其中多個分頻器包括第一與第二轉移門，其當該振蕩信號被接收為HIGH電平時被接通，且當該振蕩信號被接收為LOW電平時被斷開；且第三與第四轉移門，其假如該振蕩信號被接收為HIGH電平時被斷開，且假如該振蕩信號被接收為LOW電平時被接通。
10.根據權利要求7所述的內部電壓產生器，其中終止控制器包括振蕩決策單元，用以產生多個振蕩決策信號，以依據保險絲的斷開決定電荷泵激操作數目；振蕩數目控制器，用以解碼該振蕩決策信號以產生多個第二振蕩數目控制信號；與在該振蕩器驅動信號被致動的期間，振蕩控制器用以不致動該振蕩控制信號以對應多個第一振蕩數目控制信號之一者與多個第二振蕩數目控制信號之一者。
11.根據權利要求10所述的內部電壓產生器，其中依據外部輸入指令該振蕩決策單元產生多個振蕩決策信號。
12.根據權利要求9所述的內部電壓產生器，其中該振蕩控制器不致動該振蕩控制信號，假如該多個第二振蕩數目控制信號之一者被致動且該多個第一振蕩數目控制信號之一者在該振蕩信號被觸發N次後被致動。
13.一種內部電壓產生器包括電平檢測器，其檢測內部電壓的電平；環形振蕩器，其執行振蕩操作；電荷泵激電路，其藉執行電荷泵激產生該內部電壓；以及振蕩器控制器，藉使用電平檢測器的輸出信號與環形振蕩器的輸出信號，產生振蕩控制信號用以停止該環形振蕩器的振蕩操作。
14.根據權利要求1所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器甚至於預定時間停止該振蕩操作，當電平檢測器的輸出信號被致動且對應該振蕩控制信號。
15.根據權利要求13所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器停止該振蕩操作，甚至於該電平檢測器的輸出信號被致動且處於待命操作的期間。
16.根據權利要求14所述的內部電壓產生器，其中環形振蕩器包括邏輯元件，用以邏輯地結合電平檢測器的輸出信號與振蕩控制信號；和反相器鏈，其被設置於環形結構中邏輯元件的輸出終端與輸入終端內。
17.根據權利要求14所述的內部電壓產生器，其中電荷泵激電路藉僅執行該電荷泵激操作預定次數以對應振蕩信號，於產生該內部電壓後停止該電荷泵激操作，甚至於當該電平檢測器的輸出信號被致動的期間。
18.根據權利要求14所述的內部電壓產生器，其中振蕩器控制器於環形振蕩器的輸出信號被觸發N次後，不致動振蕩控制信號，甚至於當電平檢測器的輸出信號被致動的期間。
19.根據權利要求14所述的內部電壓產生器，其中振蕩器控制器包括多個分頻器，用以使環形振蕩器的輸出信號頻率減半，因此產生多個具有不同周期的第一振蕩數目控制信號；且終止控制器，用以在當振蕩器驅動信號位於HIGH電平的期間時，不致動該振蕩控制信號以對應多個第一振蕩數目控制信號。
20.根據權利要求19所述的內部電壓產生器，其中該多個分頻器產生第一振蕩數目控制信號，其在環形振蕩器的輸出信號的衰減邊緣變換。
21.根據權利要求19所述的內部電壓產生器，其中多個分頻器包括第一與第二轉移門，其當環形振蕩器的輸出信號被接收為HIGH電平時被接通，且當環形振蕩器的輸出信號被接收為LOW電平時被斷開；與第三與第四轉移門，其假如環形振蕩器的輸出信號被接收為HIGH電平時被斷開，且假如環形振蕩器的輸出信號被接收為LOW電平時被接通。
22.根據權利要求19所述的內部電壓產生器，其中終止控制器包括振蕩決策單元，用以產生多個振蕩決策信號，以依據保險絲的斷開決定電荷泵激操作數目；振蕩數目控制器，用以解碼該振蕩決策信號以產生多個第二振蕩數目控制信號；以及在當電平檢測器的輸出信號被致動期間，振蕩控制器，用以不致動該振蕩控制信號，以對應多個第一振蕩數目控制信號之一者與多個第二振蕩數目控制信號之一者。
23.根據權利要求22所述的內部電壓產生器，其中依據外部輸入指令，該振蕩決策單元產生多個振蕩決策信號。
24.根據權利要求22所述的內部電壓產生器，其中振蕩控制器不致動振蕩控制信號，假如於環形振蕩器的O輸出信號被觸動N次後，該多個第二振蕩數目控制信號之一者被致動且該多個第一振蕩數目控制信號之一者被致動。
全文摘要
一種能夠在內部電壓VPP的電平中減低變異寬度的內部電壓產生器，藉于振蕩器驅動信號位於邏輯HIGH電平時，僅執行預定次數的電荷泵激，且接著停止該電荷泵激操作，振蕩器控制器藉使用電平檢測器的輸出信號與該環形振蕩器的輸出信號，產生振蕩控制信號以停止環形振蕩器的振蕩操作，該環形振蕩器在預定時間點，當該電平檢測器的輸出信號為HIGH電平對應該振蕩控制信號時，並不產生振蕩信號，該電荷泵激電路藉僅執行電荷泵激操作預定次數對應該振蕩信號，產生內部電壓，且接著停止該電荷泵激操作。
文檔編號G11C11/417GK1773627SQ20051008480
公開日2006年5月17日 申請日期2005年7月14日 優先權日2004年11月8日
發明者任才爀, 李在真 申請人:海力士半導體有限公司