介質阻擋分區放電通道裝置的製作方法
2023-07-24 11:14:16 2
專利名稱：介質阻擋分區放電通道裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種介質阻擋分區放電通道裝置，尤指一個用兩塊鋼 化玻璃作為雙介質阻擋的放電通道、在其中部位置進氣，在中部進氣的兩 側設有對稱放電區間的通道裝置。
背景技術：
等離子體技術是在近年才迅速發展起來的，並已得到廣泛的應用，例 如可用於(l)微電子工業矽片清洗，替代目前的酸和去離子水清洗。(2) 清洗所有的生化汙染表面，包括被生化武器汙染的表面和空間。(3)替代
溼化學法，可用於製藥和食品行業原位消毒。(4)用於醫療器件消毒和皮 膚病的治療。(5)食品保鮮殺菌。(6)薄膜材料的表面改性。(7)紡織企 業衣料改性。(8)刻蝕金屬、半導體和電介質材料等。
在空氣中進行的介質阻擋放電一般是在兩個電極之間至少放置一個 介質，放電是直接擊穿的空氣，放電所產生的局部微電弧電流比較大，在 用於處理高分子材料時，容易在材料表面產生局部燒蝕，對材料表面的局 部破壞比較大，對材料表面的處理也不均勻，從而影響了材料的性質。
實用新型內容
本實用新型的目的在於提供一種介質阻擋分區放電通道裝置可以產 生兩個準輝光的均勻放電通道用於處理穿過該通道的各種高分子材料，尤 其適合對高分子纖維的表面改性處理。
本實用新型提供一種介質阻擋分區放電通道裝置，包括一個控制殼 體，高頻電源系統，供氣源，等離子體放電主體等，其在一個控制殼體內
部設有高頻高壓電源和氣體流量計，在殼體的正面為控制板面，在控制殼 體的上面設有兩個平行的、帶有水冷電極的、經過鋼化的玻璃板，在兩塊 玻璃板的兩側設有兩個相同長度的絕緣材料板，該兩側的絕緣材料板與上 下兩塊玻璃板圍成一個兩端開孔的長方體放電通道。
所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其在上玻璃極板的中間位置 設有進氣孔，該進氣孔通過進氣導管、氣體流量控制閥門與氣源連接，該 氣源是選用氬氣和其它反應氣體。
所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，在上玻璃極板的中間部位設 有進氣孔，在進氣孔兩側的上表面貼覆兩個對稱電極，稱為上電極，該上
電極與電源的高壓輸出端連接;在下玻璃板的下表面貼覆一個與地連接的 電極，稱為地電極；該上電極和地電極設有水冷管。
所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其該高頻高壓電源的放電頻 率範圍為l一100KHz,放電時的峰一峰電壓範圍為20 — 30KV，該射頻
放電是在常壓下進行的。
所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其在該雙介質玻璃板的兩側 墊有兩個長條形狀的絕緣板，使兩側的絕緣板和上下兩個玻璃板圍成一個 兩端開口的長方體放電通道，兩側絕緣板選用的厚度範圍為l一3毫米， 該厚度決定通道的放電間隙，通道的寬度範圍是30 — 500毫米，長度範圍 是400—4000毫米。
所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其在殼體的上面的設有一個 排氣罩。
本實用新型介質阻擋分區放電通道裝置，其優點是1、在上下兩個 鋼化玻璃介質之間所形成的是均勻準輝光放電區間。2、在放電區間與供
氣源連通，在氬等離子體或氦等離子體中可以根據需要通入任何其他反應 氣體和液體。3、上玻璃板的中部開設有進氣通孔。4、放電區間氣體溫度
小於60t。
本實用新型是在大氣壓下產生低溫均勻準輝光等離子體放電通道，主
要用途是:對穿過該通道的高分子纖維材料和高分子薄膜材料進行表面改 性處理。
圖1為本實用新型實施例介質阻擋分區放電通道裝置的正面結構示
意圖2為本實用新型實施例介質阻擋分區放電通道裝置的側面結構示 意圖3為本實用新型實施例介質阻擋分區放電通道主體和電源及氣源 的連接示意圖4為本實用新型實施例介質阻擋分區放電通道主體的側面結構示 意圖。
具體實施方式
下面參照附圖，結合具體的實施例對本實用新型進行詳細的描述。 參閱圖1和圖2，分別為本實用新型實施例的正面結構示意圖和側面 結構示意圖；圖3和圖4分別為等離子體放電主體示意圖。如圖1和圖2 所示，介質阻擋分區放電通道裝置的控制殼體13，在殼體13的正面設有 電源控制板面25和氣體流量控制板面18，在殼體13的上面設有上下兩
個平行的、帶有水冷電極的、經過鋼化的玻璃板20和19，在上下玻璃板 上設有水冷電極11和17，上玻璃板的水冷電極分為對稱的兩部分ll-l 和11-2，該兩部分電極11-1和11-2稱為上電極，該上電極分別與電源 102的高壓端連接，在上玻璃板的中間位置設有通孔，該通孔通過進氣管 103，氣體流量計105與氣源104連接，下玻璃板19的下表面帖覆一個水 冷電極17，稱為地電極，該地電極與電源的地電極連接並接地，在上下 玻璃板20和19的之間設有兩個相同長度的絕緣材料板21和22，該兩塊 絕緣板材料可以採用矽橡膠板，使該兩個的絕緣材料板21和22與上下兩 塊玻璃板20和19圍成一個兩端開口的長方體的間隙通道101。在控制殼體13的四個角上設有腳輪16，在殼體上面的等離子體放電 主體上方設有排氣罩16，在排氣罩的兩個端部上方設有排氣孔15-1和 15-2。在控制殼體13上板面的兩端設有兩個轉向輪12-1和12-2，該兩個 轉向輪是為了讓纖維材料重複穿過等離子體的放電通道101得到多次處 理。高頻高壓電源102的頻率選擇範圍為l一100KHz，放電電壓範圍為 4 —15KV，供氣源104供給的氣體包括氬氣，氦氣，氬氣或氦氣與反應氣體的混 合氣體。殼體13由金屬材料製成，例如由不鏽鋼、鋁、銅等加工製成；絕緣 材料板21和22可用聚四氟乙烯或矽橡膠板等材料製成。等離子體該通道 IOI的放電間隙範圍是l一4毫米。
上面參考附圖結合具體的實施例對本實用新型進行了描述，然而，需 要說明的是，對於本領域的技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和 範圍的情況下，可以對上述實施例作出許多改變和修改，這些改變和修改 都落在本實用新型的權利要求限定的範圍內。
權利要求1、一種介質阻擋分區放電通道裝置，包括一個控制殼體，高頻電源系統，供氣源，等離子體放電主體，其特徵在於在一個控制殼體內部設有高頻高壓電源和氣體流量計，在殼體的正面為系統控制板面，在殼體的上面設有上下平行的、帶有水冷電極的、經過鋼化的玻璃板，在上下玻璃板之間設有兩個相同的絕緣板，該兩個絕緣板與上下兩塊玻璃板圍成一個長方體的通道，在上玻璃極板的中間位置設有進氣孔，在進氣孔兩側的上表面貼覆兩個對稱電極，稱為上電極，在下玻璃板的下表面貼覆一個與地連接的電極，稱為地電極。
2、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於控制殼體內部設有高頻高壓電源和氣體流量計，在控制殼體的正 面安裝有電源控制開關和氣體控制開關。
3、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於該高頻高壓電源的放電頻率範圍為l一100KHz，放電電壓範圍 為4—15KV，該射頻放電是在常壓下進行的。
4、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於在殼體的上面設有兩個平行的、帶有水冷電極的、具有一定間隙 的、經過鋼化的玻璃板，該兩個鋼化玻璃板構成了上下雙介質。
5、 如權利要求1和4所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特 徵在於在該雙介質玻璃板的兩側墊有兩個長條形狀的絕緣板，使兩 側的絕緣板和上下兩個玻璃板圍成一個兩端開口的長方體放電通道， 兩側絕緣板選用的厚度範圍為1 —3毫米，該厚度決定通道的放電間 隙，通道的寬度範圍是30 — 500毫米，長度範圍是400 — 2000毫米。
6、 如權利要求1或4所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特 徵在於在上玻璃極板的中間部位設有進氣孔，在進氣孔兩側的上表 面貼覆兩個對稱電極，稱為上電極，該上電極與電源的高壓輸出端連 接；在下玻璃板的下表面貼覆一個與地連接的電極，稱為地電極；該 上電極和地電極設有水冷管。
7、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於在上玻璃極板的中間部位設有進氣孔，該進氣孔通過進氣導管、 氣體流量控制閥門與氣源連接，該氣源是氬氣或氦氣，氬氣或氦氣與 反應氣體的混合氣體。
8、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於在放電通道的兩端分別安裝有導向滑輪。
9、 如權利要求1所述的一種介質阻擋分區放電通道裝置，其特徵在 於在殼體的上面設有一個排氣罩。
專利摘要本實用新型公開一種介質阻擋分區放電通道裝置，包括一個控制殼體，高頻電源，供氣源，放電主體等，其在一個控制殼體內部設有高頻高壓電源和氣體管路，在殼體的正面設有控制開關，在控制殼體的上面設有上下兩塊平行的、帶有水冷電極的、經過鋼化的玻璃板，在上下玻璃板之間設有兩個相同的絕緣板，該兩個絕緣板與上下兩塊玻璃板圍成一個長方體的通道，在上玻璃板的中部位置開有進氣孔，在進氣孔兩側的上表面貼覆兩個對稱電極，稱為上電極，在下玻璃板的下表面貼覆一個與地連接的電極，稱為地電極，在通道中的氣體被電離形成等離子體，進而可以用來對穿過該通道的材料進行表面處理。
文檔編號H05H1/30GK201018710SQ20072000319
公開日2008年2月6日 申請日期2007年2月5日 優先權日2007年2月5日
發明者王守國 申請人:中國科學院光電研究院