多功能石英舟的製作方法

2023-07-27 11:28:01

專利名稱：多功能石英舟的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種石英舟，尤其涉及一種能夠承載不同規格矽片的多功能石英舟，屬於石英製品技術領域。
背景技術：
石英玻璃製品以其優良的物理化學特性，被廣泛應用於微電子產業集成電路晶片製造業。石英舟是擴散時的常用工具。擴散是製造太陽能電池光電轉換核心部件-PN結的工藝環節，是太陽能電池製造的關鍵技術。現有的石英舟通常在連接杆上開槽為矽片形成一個置放區間，用於擴散時對矽片的承載。如申請號為200920068241. 4的中國實用新型專利，提供了一種石英舟，它包括支撐框架和支槓組件，支槓組件由安裝在支撐框架上的一對上支槓和一對下支槓共四根支槓組成，該對上支槓由對稱設置的左上支槓和右上支槓組成，該對下支槓由對稱設置的左下支槓和右下支槓組成，該對上支槓所在的平面與該對下 支槓所在的平面相平行。該石英舟僅適合承載單種規格的矽片，當需要擴散的矽片的大小與上次擴散不同時，則需要另外提供一個與之大小相適的石英舟，不僅使用時麻煩，還得配備多種型號的石英舟。

發明內容
本發明的目的是為解決上述技術問題，提供一種多功能石英舟，該石英舟可以適應各種大小不同的娃片。本發明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的
多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設置在內上角。本發明上述技術方案中，內上角的內是相對舟體而言的內部，內上角的上是相對於龍骨或龍筋而言的上方，內上角的角則明確了龍骨或龍筋與承載的矽片具有接觸點，該接觸點謂為角。因此，所述卡槽設置在龍骨或龍筋與承載的矽片的接觸點上，並且該接觸點位於舟體的內部並且是龍骨或龍筋的上方。作為上述技術方案的優選，所述舟首和舟尾上均設置有相同軌槽；所述龍筋有兩個，其中一個龍筋通過所述軌槽活動連接在所述舟首和舟尾上。作為上述技術方案的一種優選，所述軌槽的橫截面為「一」字形。進一步的，與所述軌槽活動連接的龍筋，它的軸伸出所述軌槽，並且，其中一端，伸出部分粗於未伸出部分，另一端，未伸出部分粗於伸出部分。作為上述技術方案的另一種優選，所述軌槽的橫截面為「I」字形。作為上述技術方案的再一種優選，所述軌槽的橫截面為「T」字形。作為上述技術方案的優選，所述石英舟還具有4個支撐腳，所述支撐腳設置在舟首和舟尾的下部。進一步的，所述龍骨之間的間距為L，所述支撐腳高度為h，則滿足以下關係h > 1/2L。通常情況下，L的大小還與矽片尺寸相適應，若矽片為圓形，則L大於半徑小於直徑；若矽片為方形，則L通常與邊長相近。作為上述技術方案的優選，所述龍骨和龍筋之間還連接有肋骨。作為上述技術方案的優選，所述石英舟的舟首和舟尾上均設置有便於兩根紅外線穿透的兩個小孔；所述石英舟的舟首和舟尾上還各設置有一對把柱，其中一對把柱的下緣還設置有窪口。本發明上述技術方案中，小孔的設置是讓紅外線可以穿透，所述紅外線可以用於檢測矽片的插槽情況。把柱的設置是便於石英舟工作時的固定。其中一對把柱上設有窪口，是便於在擴散完成時可以用手把石英舟拿出。綜上所述，本發明具有以下技術效果· 本發明創造性地採用「內上角」技術固定了卡槽的位置，使得矽片的插槽方式較之以往發生了改變，使得原本石英舟只適應一種規格大小的矽片變成了可以適應多種大小規格的矽片。


圖I是對比例結構示意 圖2是本發明實施例一的結構示意 圖3是本發明實施例二的結構示意 圖I中，I'-舟首，2'-舟身，3'-舟尾，21'-龍骨，22'-龍筋，201'-卡槽；
圖2中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龍骨，22-龍筋，23-肋骨，201-卡槽，101-支撐腳，103-小孔，104-把柱，1041-窪口 ；
圖3中，I-舟首，2-舟身，3-舟尾，21-龍骨，22-龍筋，23-肋骨，201-卡槽，102-軌槽，211-軸，101-支撐腳，103-小孔，104-把柱，1041-窪口。
具體實施例方式以下結合附圖對本發明做進一步的說明。本具體實施例僅僅是對本發明的解釋，其並不是對本發明的限制，本領域技術人員在閱讀完本說明書後可以根據需要對本實施例做出任何修改，但只要在本發明的權利要求範圍內都受到專利法的保護。對比例
如圖I所示，一種石英舟。包括舟首r、舟身2'和舟尾3'，所述舟身2'由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨21'和龍筋22'，所述龍骨21'和龍筋22'上均設置有成排的卡槽201'。實施例一
如圖2所不,多功能石英舟，包括舟首I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨21和龍筋22，所述龍骨21和龍筋22上均設置有成排的卡槽201，所述龍骨21和龍筋22上的卡槽201均設置在內上角。所述石英舟還具有4個支撐腳101，所述支撐腳101設置在舟首I和舟尾3的下部。所述龍骨21之間的間距為L，所述支撐腳101高度為h，則滿足以下關係h > 1/2L。通常情況下，L的大小還與矽片尺寸相適應，若矽片為圓形，則L大於半徑小於直徑；若矽片為方形，則L通常與邊長相近。所述龍骨21和龍筋22之間還連接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均設置有便於兩根紅外線穿透的兩個小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上還各設置有一對把柱104，其中一對把柱104的下緣還設置有窪口 1041。 實施例二
如圖3所不,多功能石英舟，包括舟首 I、舟身2和舟尾3,所述舟身2由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨21和龍筋22，所述龍骨21和龍筋22上均設置有成排的卡槽201，所述龍骨21和龍筋22上的卡槽201均設置在內上角。所述舟首I和舟尾3上均設置有相同軌槽102 ;所述龍筋22有兩個，其中一個龍筋22通過所述軌槽102活動連接在所述舟首I和舟尾3上。所述軌槽102的橫截面為「一」字形。與所述軌槽102活動連接的龍筋22，它的軸211伸出所述軌槽102，並且，其中一端，伸出部分粗於未伸出部分，另一端，未伸出部分粗於伸出部分，由於該設置，便可以通過橫向平移該龍筋22調整龍筋22之間的距離，以適應不同形狀的矽片的承載；通過縱向平移該龍筋22使所述龍筋22與舟首I和舟尾3預緊。所述石英舟還具有4個支撐腳101，所述支撐腳101設置在舟首I和舟尾3的下部。所述龍骨21之間的間距為L，所述支撐腳101高度為h，則滿足以下關係h > 1/2L。現有技術中由於矽片是邊與水平面平行的方式放置的，因此不需要這個設置，而本發明中，由於矽片相對於現有技術轉過一定角度放置，如圖3所示，因此會有一部分伸出石英舟底部，如此設置便是為了避免在矽片插入時由於底部被頂住而無法插入的情況發生。通常情況下，L的大小還與娃片尺寸相適應，若娃片為圓形，則L大於半徑小於直徑；若娃片為方形,則L通常與邊長相近。如此設置，不僅是適應與固定一定範圍大小的矽片，還能增強矽片插入後的穩定性。所述龍骨21和龍筋22之間還連接有肋骨。所述石英舟的舟首I和舟尾3上均設置有便於兩根紅外線穿透的兩個小孔103 ;所述石英舟的舟首I和舟尾3上還各設置有一對把柱104，其中一對把柱104的下緣還設置有窪口 1041。在本技術領域裡，窪口 1041的設置就可以有效減輕工人的勞動強度，而且只需要在其中一對把柱104上設置所述哇口1041即可。
權利要求
1.多功能石英舟，包括舟首(I)、舟身(2)和舟尾(3)，所述舟身(2)由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨(21)和龍筋(22)，所述龍骨(21)和龍筋(22)上均設置有成排的卡槽(201)，其特徵在於所述龍骨(21)和龍筋(22)上的卡槽(201)均設置在內上角。
2.根據權利要求I所述的多功能石英舟，其特徵在於所述舟首(I)和舟尾(3)上均設置有相同軌槽(102);所述龍筋(22)有兩個，其中一個龍筋通過所述軌槽(102)活動連接在所述舟首(I)和舟尾(3 )上。
3.根據權利要求2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述軌槽(102)的橫截面為「一」字形。
4.根據權利要求3所述的多功能石英舟，其特徵在於與所述軌槽(102)活動連接的龍筋(21)，它的軸(211)伸出所述軌槽(102)，並且，其中一端的伸出部分粗於未伸出部分，另一端的未伸出部分粗於伸出部分。
5.根據權利要求2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述軌槽(102)的橫截面為「I」字形。
6.根據權利要求2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述軌槽(102)的橫截面為「T」字形。
7.根據權利要求I或2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述石英舟還具有4個支撐腳(101)，所述支撐腳(101)設置在舟首(I)和舟尾(3 )的下部。
8.根據權利要求7所述的多功能石英舟，其特徵在於所述龍骨(21)之間的間距為L，所述支撐腳(101)高度為h，則滿足以下關係h > 1/2L。
9.根據權利要求I或2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述龍骨(21)和龍筋(22)之間還連接有肋骨(23)。
10.根據權利要求I或2所述的多功能石英舟，其特徵在於所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上均設置有兩個小孔(103 );所述石英舟的舟首(I)和舟尾(3 )上還各設置有一對把柱(104)，其中一對把柱(104)的下緣還設置有窪口(1041)。
全文摘要
本發明涉及一種能夠承載不同規格矽片的多功能石英舟，屬於石英製品技術領域。多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由縱向構件形成，所述縱向構件包括龍骨和龍筋，所述龍骨和龍筋上均設置有成排的卡槽，所述龍骨和龍筋上的卡槽均設置在內上角。本發明創造性地採用「內上角」技術固定了卡槽的位置，使得矽片的插槽方式較之以往發生了改變，使得原本石英舟只適應一種規格大小的矽片變成了可以適應多種大小規格的矽片。
文檔編號H01L21/673GK102709219SQ20121007384
公開日2012年10月3日 申請日期2012年3月20日 優先權日2012年3月20日
發明者宋偉宏, 沈根法, 計斌, 陸建國 申請人:湖州奧博石英科技有限公司