絲網印刷機以及印刷方法

2023-07-27 15:04:36

專利名稱：絲網印刷機以及印刷方法
技術領域：
本發明涉及一種用於在薄膜表面上印刷規定的圖案的絲網印刷機和使用了它的 印刷方法。
背景技術：
以往，在專利文獻1中公開了在從供給捲筒放出的薄膜上印刷塗覆防焊層，並進 行卷取回收的印刷裝置。在該以往例中，已知在印刷防焊層後，即使在臨時乾燥後進行卷取，也不存在印刷 的剝離、磨掉等問題地卷取，是做成不設置專用的乾燥機的結構的裝置。在先技術文獻專利文獻專利文獻1 日本特開2004-356^8號公報在上述以往技術中，對印刷時的薄膜產生的皺褶造成的印刷不良的問題、對在印 刷後乾燥前，對後面的薄膜的部位進行印刷的情況下，絲網等接觸先前印刷的部位，弄髒印 刷部或使之剝離等課題，絲毫沒有公開。本申請發明的目的是提供一種防止在印刷時薄膜皺褶的產生，且能夠不會弄髒先 前印刷的薄膜上的印刷物地進行印刷的薄膜印刷機。

發明內容
為了實現上述目的，在薄膜上進行焊膏(《一7卜)的印刷的絲網印刷機做成下 述結構，即，將設置在載置吸附平臺的薄膜的面上的吸附口在相對於薄膜移動方向呈直角 方向分割成多個塊，作為能夠真空排氣的真空吸附機構，將吸附平臺的薄膜運送方向的薄 膜載置面的兩端部側形成為圓弧狀，在上述吸附平臺的兩側設置具備了上下移動機構和吸 附部的輔助平臺。另外，做成在輔助平臺設置把持薄膜的寬度方向的兩端部並進行拉長的薄膜拉伸 機構。發明效果根據本發明，具有薄膜能夠不產生皺褶地保持在平臺上進行印刷，而且，即使在印 刷後，也通過掩模等不接觸乾燥前的薄膜上的印刷圖案地送入乾燥部，使得印刷圖案不會 被弄髒、產生擦傷等這樣的效果。


圖1是表示薄膜印刷系統的整體結構的圖。圖2是說明以往的薄膜印刷中的問題點的圖。圖3是表示薄膜印刷部的平臺部附近的概略結構的圖。圖4是吸附平臺的薄膜寬度方向截面的概略圖。
圖5是塗刷器頭的概略結構圖。圖6是表示薄膜印刷的順序的圖。圖7是表示接著圖6的印刷順序的圖。圖8是表示設置在輔助平臺上的薄膜壓緊機構的動作順序的圖。
具體實施例方式圖1是表示薄膜印刷系統的整體結構的概略。本系統如圖所示，由將卷取成滾筒狀的薄膜(印刷對象物)6向薄膜印刷部2送出 的薄膜卷出機構部1、具備向薄膜進行印刷的絲網印刷機的印刷部2、將由印刷部2印刷的 薄膜送出的薄膜進給機構部3、為使被卷出的薄膜上的印刷圖案乾燥而隔著薄膜移動經路 設置了加熱器7的乾燥部4、卷取形成了被乾燥的印刷圖案的薄膜的薄膜卷取機構部5構成 (滾筒至滾筒法)。圖2表示一般的印刷狀況。若使印刷工作檯和印刷薄膜6印刷時和移動時在同一平面上，則如圖所示，使薄 膜移動方向的印刷區域(印刷圖案70)為Li，使截止到相鄰的印刷區域的距離為L2，使掩 模10的大小為L3。在這樣的狀態下，截止到相鄰的印刷區域的距離L2在與掩模10的大小 L3的關係為下述的狀態下，存在下述問題。1.在L2L3的情況下，雖然印刷了的圖案不與掩模接觸，但是，成品率不佳，節拍 時間變長。因此，在本發明中，為了不會產生上述兩個問題，做成在對薄膜進行吸附保持並進 行印刷的吸附平臺的基礎上，還設置吸附保持沒印刷的區域或已印刷的區域，在印刷時與 吸附平臺相比位於下方的輔助平臺的結構。對其細節說明如下。圖3是表示印刷機的平臺部附近的概要。圖3A表示薄膜印刷前的薄膜移動中的 狀態，圖:3B表示薄膜印刷時的狀態。在薄膜印刷部2設置印刷機。從薄膜卷出滾筒11卷出的薄膜6向印刷機輸送。另 外，印刷完成並通過了薄膜乾燥部4的薄膜6被向卷取輥51卷取。該印刷機設置通過負壓 來吸附保持薄膜6的印刷工作檯(吸附平臺)21。該吸附平臺21為了在水平方向(ΧΥΘ方 向)移動，雖未圖示出，但被載置在ΧΥΘ工作檯上。另外，吸附平臺21構成為不在上下方 向移動。做成在印刷前，薄膜6與吸附平臺面相比在上方(距吸附平臺面約IOmm的位置) 移動的結構。而且，一直移動到印刷薄膜6的面位於吸附平臺上部。另外，在該吸附平臺21 的吸附面設置多個吸附口 45，負壓向這些多個吸附口 45 (參見圖4)的供給在相對於薄膜移 動方向(箭頭方向)成直角方向(寬度方向)分成多個組，能夠向組單位供給負壓。在薄 膜吸附時，以能夠從吸附平臺21的中央部向周邊吸附的方式控制負壓的供給。另外，通過 圖4進行說明，為了向吸附平臺21的吸附口供給負壓，負壓源和供給配管與吸附平臺21連 接。另外，在吸附平臺21的薄膜6的移動方向的與薄膜接觸的兩端部，與薄膜接觸的面側 以半徑R(約30mm 100mm)，加工成圓弧狀。在該吸附平臺21的薄膜移動方向的兩側設置輔助平臺22a、22b。該輔助平臺22a、22b設置在輔助平臺底座38a、38b上，能夠沿設置在輔助平臺底座38a、38b上的直線軌道 33a、3!3b在薄膜運送方向移動。輔助平臺做成可通過設置在輔助平臺上的推桿34a、34b向 薄膜運送方向移動的結構。另外，在輔助平臺的薄膜寬度方向，在其上部，在薄膜的寬度方 向兩端部側分別設置用於按壓薄膜的薄膜按壓件31a、31b。該薄膜按壓件31a、31b做成通 過設置在輔助平臺2h、22b上的薄膜按壓件上下移動37a、37b上下，將薄膜端部夾在並按 壓在輔助平臺面的結構。再有，該薄膜按壓件做成能夠朝向薄膜寬度方向外側，在將薄膜擴 開的方向移動的結構。該細節通過圖7說明。在輔助平臺底座38a、38b的下方設置用於使 輔助平臺22a、22b上下的由輔助平臺上下移動缸32a、32b構成的輔助平臺上下機構。再有， 在輔助平臺22a的後方(下遊側)以及輔助平臺22b的前方(上遊側)，設置用於將薄膜與 吸附平臺21面保持一定的距離的上下輥39a、39b，該上下輥39a、39b構成為可通過缸23a、 23b上下移動。做成通過使該上下輥下降，薄膜6與輔助平臺2h、22b面和吸附平臺21面 接觸的結構。另外，雖未圖示出，在輔助平檯面上也設置多個吸附口，能夠在保持薄膜時向吸附 口供給負壓。在將薄膜吸附在吸附平臺21的情況下，如圖:3B所示，首先，以薄膜6接觸輔助平 臺2h、22b面以及吸附平臺21面的方式，使上下輥39a、39b下降。接著，做成將薄膜6吸 附在輔助平臺2加、22b面以及吸附平臺21面。然後，做成在通過推桿34a、34b使輔助22a、 22b靠近吸附平臺21方向，使薄膜鬆弛後，使輔助平臺2h、22b下降，使輔助平臺2h、22b 面與吸附平臺21面相比位於下方，將薄膜6壓緊在吸附平臺面的結構。這樣，在使吸附平 臺21面在吸附了薄膜6的狀態下與輔助平臺2h、22b面相比位於上方的情況下，薄膜6的 相對於水平方向的薄膜移動方向的角度Φ約為5 30度。如上所述，由於吸附平臺的端 部被加工成R形狀，所以，即使由輔助平臺22a、22b下壓薄膜，也能夠不損傷薄膜，順暢地且 不會產生皺褶地進行支撐。另外，由對薄膜6的寬度方向的兩端部側進行保持的薄膜按壓件31a、31b把持薄 膜端部，據此，不會在薄膜的寬度方向產生皺褶。另外，通過負壓將薄膜吸附保持在輔助平 臺，使輔助平臺2h、22b與吸附平臺21面相比下降到下方，據此，一面對薄膜6施加張力， 一面使之緊貼在吸附平臺面，因此，在薄膜的運送方向產生的皺褶的產生得以抑制。配置在 輔助平臺的外側的上下輥39a、39b在使輔助平臺下降時，下降到不與薄膜接觸的位置。另 外，在印刷機主體上，為了上下移動安裝著掩模(或稱為絲網)10的板框10a，而具備未圖示 出的板框上下移動機構。圖4是表示吸附平臺的薄膜寬度方向的截面。如圖4所示，在吸附平臺21的平臺面設置多個吸附口 45，在其下部設置被區分為 多個的腔41。吸附口 45也可以使用多孔質材料。在本圖中，表示在吸附平臺21的寬度方 向將腔區分為三個塊的情況下的結構。在各自的腔設置供給負壓的配管。如本圖所示，在 中央部的腔的配管以及向左右兩個腔的配管上分別設置真空閥42、43，負壓的供給是通過 控制該真空閥的開閉來控制向各自的腔的供給。另外，各配管與真空泵44連接。在吸附薄 膜6時，首先，將真空閥42打開，延遲些許時間，打開真空閥43，據此，由於從中央進行吸附， 所以，能夠抑制薄膜6的皺褶的產生地進行吸附。接著，說明在使用掩模10進行印刷的情況下，用塗刷器將焊膏推入掩模開口部，並具備塗刷器的塗刷器頭的結構。圖5是表示塗刷器頭的概略結構的主視圖。圖5A表示 主視剖視圖，圖5B表示側視剖視圖。在塗刷器頭上，設置用於使塗刷器60a、刮板60b下降 至掩模面，使規定的推壓力作用於掩膜面的兩種上下驅動機構。第一驅動機構由滾珠絲杆 29b和伺服馬達觀構成，做成使設置了塗刷器驅動機構、刮板機構的頭框架25上下的結構。 另外，第二驅動機構由氣缸^a、26b構成，設置在頭框架25上。該第二驅動機構作為塗刷 器用和刮板用分別設置。頭框架25設置在塗刷器頭安裝框架四上，該框架四做成可通過 未圖示出的第三驅動機構在掩模10面上在水平方向移動的結構。在框架四的兩端下部， 以在設置於裝置的臺架上的橫梁27上移動的方式設置直線軌道M。另外，如上所述，在頭框架25上設置塗刷器60a、刮板60b。該驅動機構的動作有 下述兩種。(1)的方式是，使第一塗刷器驅動機構(伺服馬達觀和滾珠絲杆^b)動作，使 塗刷器頭下降到掩模面附近。然後，使第二塗刷器驅動機構26a動作，以使塗刷器60a向掩 模10壓緊的推壓力發揮作用的方式，使塗刷器下降，(2)的方式是，使第二塗刷器驅動機構 26a動作，使塗刷器60a下降，使塗刷器驅動機構26a為高壓力，據此，在下降側鎖止，接著， 通過第一塗刷器驅動機構進行扭矩控制，通過規定的推壓力，將塗刷器60a壓緊在掩模10 面上。也可以替代使塗刷器60a為高壓力的情況，在塗刷器驅動機構上設置制動器。在本裝置中，可以對使用上述兩個方式中的哪種方式加以選擇。S卩，可以在未圖示 出的控制部設定上述兩種方式，使用者在初始設定時，看著設置在控制部的顯示裝置來選 擇使用哪種方式。使塗刷器60a動作，將供給到掩模10面的焊膏從設置在掩模10上的開 口部向薄膜面供給，進行印刷。圖5B所示的刮板60b是通過使由塗刷器進行印刷後的塗刷 器離開掩模面，使刮板60b —面與掩模10面保持一定的間隙，一面水平移動，在通過塗刷器 將移動的焊膏回收到原來的位置，同時，通過對掩模面進行塗層，抑制掩模開口部的乾燥， 防止焊膏的孔阻塞的部件。另外，針對塗刷器驅動機構^a、刮板驅動機構^b，這裡省略了說明，但是，可以 做成使用下落停止機構，來調整塗刷器60a、刮板60b的下降行程量的部件。另外，可以是能 夠替代刮板60b，安裝塗刷器60a，進行基於往復動作的印刷。接著，說明印刷動作。圖6A至圖7G是表示印刷的狀態的演變。首先，從圖1的薄膜卷出機構部1將薄膜6向薄膜印刷部2卷出。接著，如圖6A所 示，在薄膜的印刷面的位置到達吸附平臺21上時，停止薄膜6的移動。接著，如圖6B所示， 通過使配置在輔助平臺外側的上下輥39a、39b下降，使薄膜下降至輔助平臺22a、22b以及 吸附平臺21面。接著，如圖6C所示，向輔助平臺22a、22b以及吸附平臺21供給負壓，吸引 吸附在各自的面上。然後，如圖6D所示，使設置在輔助平臺上的薄膜按壓件31a、31b下降 至薄膜面，將薄膜的寬度方向端部夾入薄膜按壓件31a、31b和輔助平臺2h、22b之間。另 外，在本圖中，僅在輔助平臺22a、22b上設置按壓薄膜6的寬度方向端部的薄膜按壓件31a、 31b，但是，也可以在吸附平臺21上設置與輔助平臺22a、22b同樣的薄膜按壓件，將薄膜夾 入，在寬度方向拉拽薄膜，防止皺褶的產生。接著，如圖6E所示，通過推桿34a、34b，使輔助平臺22a、22b向吸附平臺21側水平 移動。據此，使薄膜6具有曠量。接著，如圖6F所示，使輔助平臺上下移動缸32a、32b動作， 以輔助平臺面與吸附平臺面相比在下方位置的方式使輔助平臺2h、22b下降。在圖6G中， 在吸附平臺面和掩模面之間，移動標記識別用的能夠對上下兩方向進行攝像的照相機(上下雙視野照相機)35，對設置在各個上的位置識別標記進行攝像。攝像的圖像數據被輸送 到未圖示出的控制部，由設置在控制部的位置識別部求出位置偏差。根據由控制部求出的 位置偏差量向XY θ工作檯的驅動機構發出驅動指令，將吸附平臺21在水平方向(XY θ方 向)移動偏差的量，進行掩模和薄膜的對位。若對位結束，則使標記識別用照相機從掩模下 方退避。若照相機的退避結束，則使掩膜下降到吸附平臺上的薄膜面。接著，如圖7Α所示，使塗刷器頭下降到掩模面上。此時，首先，使設置在塗刷器頭 上的刮板60b下降，直至接觸掩模面，且在水平方向移動(圖7Β)。此後，使刮板60b離開掩 模面，以規定的壓緊壓力將塗刷器60a壓緊在掩模面。接著，使塗刷器60a在掩模面上在水 平方向移動，將供給到掩模面上的焊膏推入掩模開口部，在薄膜面上進行印刷(圖7C)。若印刷結束，則如圖7D所示，使塗刷器60a離開掩模面，使塗刷器頭上升，接著，使 掩模10上升，離開薄膜面。若掩模10的上升結束，則如圖7E所示，使吸附平臺21在水平方 向移動，恢復到原點。接著，如圖7F所示，使輔助平臺2h、22b上升，停止向輔助平臺22a、 22b以及吸附平臺21的負壓的供給。然後，使輔助平臺22a、22b向離開吸附平臺21的方 向移動。接著，如圖7G所示，使上下輥39a、39b上升，使薄膜離開輔助平臺面以及吸附平臺 面。然後，旋轉驅動薄膜卷取輥51，使薄膜6移動到下一個印刷面。至此，大的動作的說明 結束。接著，以輔助平臺22a為例，說明按壓薄膜寬度方向端部，進行除皺的工序(前面 的圖6D的工序)。使用圖8，說明設置在輔助平臺上的按壓薄膜的寬度方向端部的薄膜按壓件的動 作。這裡，雖然以薄膜按壓件31a側為例進行說明，但是，薄膜按壓件31b側也進行同樣的 動作。薄膜按壓件31a通過將薄膜6的寬度方向端部夾在與輔助平臺面之間，在寬度方向 拉長，來抑制寬度方向的皺褶的產生。如圖所示，薄膜按壓件、其驅動機構，除薄膜按壓件上 下移動缸37a以外設置有左右一對。該薄膜按壓件31a做成通過設置在輔助平臺2 側的 薄膜按壓件上下移動缸37a和薄膜拉伸第一缸3 及薄膜拉伸第二缸36a在上下以及寬度 方向(左右方向)移動的結構。如圖8A所示，若薄膜6被吸附保持在輔助平臺2 上，則如圖8B所示，使薄膜拉伸 第一缸3 和薄膜拉伸第二缸36a動作，使薄膜按壓件31a向輔助平臺的中央側移動。接 著，如圖8C所示，使薄膜按壓件上下移動缸37a動作，使薄膜按壓件31a下降至薄膜面，將 薄膜6夾入輔助平臺2 面進行按壓。若薄膜6的夾入結束，則如圖8D所示，使薄膜拉伸 第一缸3 動作，薄膜按壓件31a在將薄膜拉伸的方向(薄膜寬度方向)移動。據此，抑制 薄膜寬度方向的皺褶的產生。如圖8E所示，在該狀態下使掩模10下降，實行印刷。該工序 的細節在前面已經說明，所以，省略這裡的說明。若印刷結束，則如圖8F所示，使薄膜拉伸 第二缸36a動作，解除薄膜按壓件對薄膜的保持。若薄膜按壓件對薄膜的保持被解除，則如 圖8G所示，掩膜、塗刷器頭等上升，離開薄膜面。此後，如圖8H所示，若掩模10離開輔助平 臺22a，則驅動薄膜按壓件上下移動缸37a，使薄膜按壓件31a從輔助平檯面上升。該動作 相當於前面說明的圖7F的工序。然後，驅動圖1中的薄膜進給機構部3，將薄膜6送出規定長度(直至下一個印刷 部達到吸附平臺上)，且還同時驅動薄膜卷取機構部5，卷取印刷圖案乾燥了的薄膜。伴隨 著薄膜卷取機構部5的驅動，完成了印刷的部分的薄膜6經由薄膜進給機構部3向薄膜乾燥部4輸送。乾燥部4夾著薄膜移動路徑設置加熱器7，在這裡進行乾燥。另外，薄膜6在 每個印刷區域，為了反覆進行用於印刷的移動 停止，在其間設定能夠充分乾燥的距離。印 刷面被乾燥的薄膜6被送向薄膜卷取機構部5並被卷取。另外，薄膜卷出機構部以及薄膜卷取機構部為了不在薄膜上產生皺褶等，而以所 希望的張力發揮作用的方式設置進給輥、鬆緊調節輥等。做成通過上述結構、動作，將滾筒狀的薄膜6放出，將薄膜6向印刷部送出，以不會 產生皺褶的方式，在使張力作用於薄膜的進給方向以及寬度方向的狀態下，真空吸附地保 持在設置於印刷部的吸附平臺上，並進行印刷的結構，且通過以在薄膜進給方向，薄膜與吸 附平臺面相比位於下方的方式保持來防止印刷結束後的薄膜面接觸掩膜等，擾亂印刷圖像 的情況。據此，能夠進行高精細的印刷。符號說明1 薄膜卷出機構部；2 薄膜印刷機；3 進給機構部；4 乾燥部；5 薄膜卷取機構 部；6 薄膜；7 加熱器；10 掩膜；21 吸附平臺；22a,22b 輔助平臺；31a、31b 薄膜按壓 件；60a 塗刷器；60b 刮板。
權利要求
1.一種絲網印刷機，是在薄膜上進行焊膏的印刷的絲網印刷機，其特徵在於，做成在吸附平臺的薄膜載置面上設置分割成多個塊的吸附機構，上述吸附平臺中，薄膜進 給方向的薄膜載置面的兩端部側形成為圓弧狀，在上述吸附平臺的薄膜進給方向的上遊側和下遊側分別設置具備吸附部的輔助平臺 的結構。
2.如權利要求1所述的絲網印刷機，其特徵在於，在上述輔助平臺上設置將薄膜的寬度方向端面按壓在上述輔助平臺上的薄膜上下按 壓機構和用於將薄膜在寬度方向拉長的薄膜拉伸機構。
3.如權利要求2所述的絲網印刷機，其特徵在於，在上述上遊側輔助平臺的上遊側以 及下遊側輔助平臺的下遊側設置上下移動的上下輥，在移動薄膜時，使上下輥上升，能夠不 與吸附平臺以及輔助平臺表面接觸地移動薄膜。
4.如權利要求3所述的絲網印刷機，其特徵在於，上述輔助平臺具備上下移動機構，在進行薄膜印刷的情況下，驅動上述上下移動機構， 使上述輔助平臺的薄膜吸附面與吸附平臺的薄膜吸附面相比位於下方。
5.如權利要求1或2所述的絲網印刷機，其特徵在於，具備通過滾珠絲杆和伺服馬達能夠上下移動塗刷器的第一塗刷器上下驅動機構和通 過氣缸能夠上下移動上述塗刷器的第二塗刷器上下驅動機構，能夠由上述第一塗刷器上下驅動機構將塗刷器從掩模面一直移動任意的距離，使由上 述第二塗刷器上下驅動機構以任意的力將塗刷器向掩模面壓緊的推壓力發揮作用，或者， 使制動器作用於上述第二塗刷器驅動機構，在第二塗刷器上下驅動機構將塗刷器的上下鎖 止在下降側，由上述第一塗刷器上下驅動機構使塗刷器接觸掩模面，由上述第一塗刷器上 下驅動機構使塗刷器向掩模面作用規定的推壓力。
6.如權利要求5所述的絲網印刷機，其特徵在於，具備用於上下移動安裝了絲網的板框的板框上下移動機構、為將上述吸附平臺上的薄 膜與上述絲網對位而使得使上述吸附平臺在XY θ方向移動的XY θ平臺機構、對絲網和薄 膜的對位標記進行識別的上下雙視野照相機、用於使上述上下雙視野照相機在水平方向移 動的照相機驅動機構。
7.如權利要求6所述的絲網印刷機，其特徵在於，做成具備將上述薄膜卷出的薄膜卷出機構、將薄膜以任意的長度拉出的薄膜進給機構、卷 取印刷後的薄膜的薄膜卷取機構的結構。
8.一種絲網印刷方法，是將從薄膜卷出部卷出的薄膜送出到吸附平臺，在薄膜上印刷 在掩模上形成的印刷圖案，然後，向乾燥部送出，在使印刷圖案乾燥後，卷取在卷取部的絲 網印刷方法，其特徵在於，由設置在吸附平臺的薄膜運送方向的兩端側的輔助平臺對送出到吸附平臺上的薄膜 進行吸引吸附保持，且由設置在上述補充平臺上的薄膜端部把持部件保持薄膜端部，在寬 度方向拉長薄膜，使上述輔助平臺從上述平臺面下降，將上述薄膜緊貼保持在平臺面，由設 置在上述平檯面上的吸引吸附構件吸附保持，由上下雙視野照相機對設置在平臺和掩模上 的對位標記進行攝像，在水平方向移動吸附平臺並進行對位，然後，使掩模下降至薄膜面， 使塗刷器下降兩極，進行印刷。
9.如權利要求7所述的絲網印刷方法，其特徵在於，在通過上述塗刷器進行印刷後，使上述塗刷器離開掩模面、使刮板下降，一面與掩模面 上保持一定的間隙，一面使之在掩模面上在水平方移動，在回收焊膏的同時，防止掩模開口 部內的孔阻塞。
全文摘要
本發明公開了一種絲網印刷機以及印刷方法。本發明所要解決的技術問題是，在將滾筒狀的薄膜放出，在印刷機上印刷，在印刷後使之乾燥並卷取薄膜的印刷系統中，由於抑制印刷時的薄膜皺褶的產生，且印刷後薄膜位於印刷機附近，所以，存在印刷物被刮取的可能性。本發明做成下述結構，即，將薄膜運送方向的吸附平臺的兩端側加工成半圓形狀，且在上述端部的附近設置輔助平臺，吸附保持薄膜，在該狀態下，使輔助平臺與吸附平臺面相比向下方移動，一面使張力作用於薄膜，一面使之緊貼在吸附平臺，在該狀態下吸附保持在吸附平臺，在與掩模面對位後進行印刷。
文檔編號B41F15/20GK102145574SQ20111002759
公開日2011年8月10日 申請日期2011年1月26日 優先權日2010年2月5日
發明者五十嵐章雄, 本間真, 橋本尚明, 矢作睦行 申請人:株式會社日立工業設備技術