廢氣處理反應爐的進氣裝置的製作方法

2023-07-27 17:46:41 1

專利名稱：廢氣處理反應爐的進氣裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型有關一種進氣裝置，旨在提供一種尤適用於廢氣處理反應爐的進氣裝置。
背景技術：
按，在半導體製程中所排出的廢氣(gas)中，因為含有未反應的SiH2Cl2、SiHCl3、 Si2H6, TEOS(四乙氧基矽炕，tetraethoxysilane)等對人體或環境有害的Si化合物，以及 SiH4、PH3、B2H6等具有可燃性、爆炸性的氫化物。故必需利用大量氮氣予以稀釋，使該排氣濃 度在爆炸下限以下，以及使用半導體排氣處理裝置，至少將有毒氣體的濃度降低至容許值 以下。就半導體排氣的處理方法而言，目前大致分為溼式法、吸附法、加熱分解法及燃燒 法等4種方法；其中，加熱分解法尤其在反應爐內配設棒狀的電熱加熱器，藉由該加熱器所 發出的高熱，將半導體排氣導入形成在反應爐內的加熱區域，且將該氣體進行熱分解的電 熱加熱分解法極為符合作業現場的需求，而在多數現場予以採用。再者，加熱分解法的於進行熱分解的過程中，必須提供反應爐內部足夠的空氣供 該處理氣體進行熱分解，傳統的作法利用送風機持續輸入反應爐中；惟，當反應爐停機時， 其進氣系統亦隨的停止對反應爐供應空氣，而無法讓積存於反應爐內部的排氣完成分解反 應，故仍有造成環境汙染的疑慮。

實用新型內容本實用新型所解決的技術問題在於提供一種送風機故障的狀態下或維修的狀態 下，仍然可持續對反應爐內部提供空氣，以供積存於反應爐內部的排氣繼續完成分解反應 的進氣裝置。本實用新型的技術方案為一種廢氣處理反應爐的進氣裝置，包括有至少一對 反應爐內部提供乾淨壓縮幹空氣的送風機，透過管路與反應爐連接，並與反應爐所屬的供 電系統電性連接；至少一 CDA空氣壓縮機，透過管路與反應爐連接；至少一偵測系統，設於 各送風機與該反應爐所屬的供電系統之間，用以構成各送風機與該反應爐所屬的供電系統 的電性連接；以及當該反應爐所屬的送風機停止運轉時，由該至少一 CDA空氣壓縮機提供 反應爐所需的進氣裝置。其中，各CDA空氣壓縮機與反應爐之間的管路處設有調壓閥。各送風機機與反應爐之間的管路處設有調壓閥。該其中各CDA空氣壓縮機與反應爐之間的管路處，以及送風機機與反應爐之間的 管路處設有調壓閥。本實用新型的有益效果為廢氣處理反應爐的進氣裝置包括有至少一送風機、至 少一 CDA空氣壓縮機；其中，各送風機及各CDA空氣壓縮機透過管路與反應爐連接，各送風 機與反應爐所屬的供電系統電性連接，各CDA空氣壓縮機則透過偵測系統與不斷電系統或發電機與反應爐所屬的供電系統電性連接。據以，當供電系統因為電力中斷或送風機故障及其它因素而停止供電時，各CDA 空氣壓縮機可利用偵測系統連結至另一供電系統所提供的電力運轉，以持續對反應爐內部 提供空氣，供積存於反應爐內部的排氣繼續完成分解反應，降低可能對環境造成汙染的疑
慮 ο

圖1為本實用新型進氣裝置的基本組成架構示意圖。圖號說明10CDA空氣壓縮機20送風機30偵測系統40管路41調壓閥50反應爐
具體實施方式
本實用新型的特點，可參閱本案圖式及實施例的詳細說明而獲得清楚地了解。如圖1所示，本實用新型廢氣處理反應爐的進氣裝置，包括有至少一送風機20、 至少一 CDA空氣壓縮機10，以及至少一偵測系統30 ；其中各送風機20透過管路40與反應爐50連接，於各送風機20與反應爐50之間的管 路40處設有調壓閥41供調整進入反應爐50的空氣流量，各送風機20並與反應爐50所屬 的供電系統(圖略)電性連接，使當反應爐50運作時，可對反應爐內部提供乾淨的壓縮幹 空氣(Compress Dry Air, CDA)供該反應爐50內部的處理氣體進行熱分解。各送風機20透過管路40與反應爐50連接，於各送風機20與反應爐50之間的管 路40處設有調壓閥41供調整進入反應爐50的空氣流量。至於，該至少一偵測系統30設於各CDA空氣壓縮機10與該反應爐50所屬的供 電系統(圖略)之間，用以構成各CDA空氣壓縮機10與該反應爐50所屬的供電系統(圖 略)的電性連接，以及當該反應爐50所屬的供電系統因為電力中斷或送風機故障而停止運 轉時，可由該至少一偵測系統30啟動另一供電系統提供各CDA空氣壓縮機10運轉所需的 電力。據以，當反應爐50啟動運轉時，即由各送風機20對該反應爐50內部提供乾淨的 壓縮幹空氣(Compress Dry Air, CDA)供該反應爐50內部的處理氣體進行熱分解。尤其，當該反應爐50所屬的供電系統因為電力中斷或送風機故障而停止運轉時， 偵測系統30偵測異常狀態進而啟動另一供電系統提供各CDA空氣壓縮機10各CDA空氣壓 縮機10即運轉，以持續對該反應爐50內部提供空氣，供積存於反應爐50內部的排氣繼續 完成分解反應，降低可能對環境造成汙染的疑慮。
權利要求一種廢氣處理反應爐的進氣裝置，其特徵在於，包括有至少一對反應爐內部提供乾淨壓縮幹空氣的送風機，透過管路與反應爐連接，並與反應爐所屬的供電系統電性連接；至少一CDA空氣壓縮機，透過管路與反應爐連接；至少一偵測系統，設於各送風機與該反應爐所屬的供電系統之間，用以構成各送風機與該反應爐所屬的供電系統的電性連接。
2.如權利要求1所述廢氣處理反應爐的進氣裝置，其特徵在於，各CDA空氣壓縮機與反 應爐之間的管路處設有調壓閥。
3.如權利要求1所述廢氣處理反應爐的進氣裝置，其特徵在於，各送風機機與反應爐 之間的管路處設有調壓閥。
4.如權利要求1所述廢氣處理反應爐的進氣裝置，其特徵在於，該其中各CDA空氣壓縮 機與反應爐之間的管路處，以及送風機機與反應爐之間的管路處設有調壓閥。
專利摘要本實用新型廢氣處理反應爐的進氣裝置包括有至少一送風機、至少一CDA空氣壓縮機；其中，各送風機與反應爐所屬的供電系統電性連接。而當送風機故障或其它因素而停止運轉時，CDA空氣壓縮機仍可繼續運轉，以持續對反應爐內部提供空氣，供積存於反應爐內部的排氣繼續完成分解反應，降低可能對環境造成汙染的疑慮。
文檔編號B01J4/00GK201658969SQ200920350378
公開日2010年12月1日 申請日期2009年12月25日 優先權日2009年12月25日
發明者田少郎 申請人:華宣科技股份有限公司