新四季網

一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置和方法

2023-07-15 21:28:56 2

專利名稱:一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置和方法
技術領域:
本發明涉及氣體的檢測裝置和方法,具體為用於分析檢測腐蝕性氣體中雜質的裝 置和方法。
背景技術:
腐蝕性氣體,如滷素類的氯氣和氟氣等,在分析其純度時還需要檢測其中所含的 雜質氣體的組分。這些雜質氣體組分包括氫氣、氧氣、氮氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、六氟 化硫、四氟化矽和四氟化碳等。上述雜質組分種類多,含量不同,分子量差異大,因此要分析檢測時,需將組分逐 一分離後再進行分析。而且,高純度和低純度氣體的分析檢測元件不同,現有設備如單一的 氣相色譜儀等還無法滿足檢測需求。

發明內容
本發明旨在提供一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置。本發明的另一個目的在於提供一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的方法。其方案是設置耐腐蝕帶吹掃十通閥、耐腐蝕帶吹掃六通閥和耐腐蝕帶吹掃四通 閥,通過上述閥門的切換,改變氣體流向,來進行分離檢測。—種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置,其結構包括三路輔助載氣穩流系統、腐 蝕性氣體底氣通路、氦氣通路、耐腐蝕帶吹掃十通閥、取樣柱、耐腐蝕帶吹掃六通閥和耐腐 蝕帶吹掃四通閥、預分離柱、分析色譜柱A和分析色譜柱B、氦離子化檢測器和熱導檢測器;其中,第一路輔助載氣穩流系統、第二路輔助載氣穩流系統、取樣柱的兩端、預分 離柱的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥;耐腐蝕帶吹掃十通閥連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥;分析色譜柱A和分析色譜柱B 的兩端分別與耐腐蝕帶吹掃六通閥連接;耐腐蝕帶吹掃四通閥分別與氦離子化檢測器、熱導檢測器、第三路輔助載氣穩流 系統和耐腐蝕帶吹掃六通閥連接。優選方案為耐腐蝕帶吹掃十通閥設有十個通道,第一路輔助載氣穩流系統連接 到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第七通道,第二路輔助載氣穩流系統102連接到耐腐蝕帶吹掃十 通閥的第四通道,取樣柱的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第一通道和第八通道; 預分離柱的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第二通道和第五通道;氦氣通路和腐蝕性氣體底氣通路分別連接到三通閥的兩端,三通閥的另一端與耐 腐蝕帶吹掃十通閥的第十通道連接;第九通道和第三通道分別連接鹼石灰吸收罐,鹼石灰 吸收罐下遊依次連接真空泵和回收罐。耐腐蝕帶吹掃六通閥設有六個通道;耐腐蝕帶吹掃十通閥的第六通道連接到耐腐 蝕帶吹掃六通閥的第四通道,分析色譜柱A的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第 五通道和第六通道,分析色譜柱B的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥的第二通道和第
3三通道;耐腐蝕帶吹掃四通閥設有四個通道,耐腐蝕帶吹掃六通閥的第一通道與耐腐蝕帶 吹掃四通閥的第三通道連接,第三路輔助載氣穩流系統連接到耐腐蝕帶吹掃四通閥的第一 通道,第二通道和第四通道分別連接到熱導檢測器(TCD)和氦離子化檢測器(PDD)。一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的方法,其方案是利用上述裝置,通過切換閥門 來改變氣體的流向,用於檢測腐蝕性氣體中雜質。其方案包括(1)取樣切換耐腐蝕帶吹掃十通閥,接通腐蝕性氣體底氣通路和取樣柱;(2)預分離切換耐腐蝕帶吹掃十通閥,接通第一路輔助載氣穩流系統、取樣柱和 預分離柱;(3)分離小分子和大分子雜質組分切換耐腐蝕帶吹掃六通閥,使預分離柱與分 析色譜柱A和分析色譜柱B分別接通;(4)檢測將分離後的雜質氣體組分送入熱導檢測器或氦離子化檢測器進行分析 檢測。檢測完成後,切換耐腐蝕帶吹掃十通閥,接通第一路輔助載氣穩流系統、預分離柱 和鹼石灰回收罐,同時接通氦氣通路、取樣柱和鹼石灰回收罐,將殘留在預分離柱和取樣柱 內的腐蝕性氣體吹出,以清潔系統。通過本發明的裝置和方法,可以滿足不同純度腐蝕性氣體的分析需求;雜質組分 分離效果好;而且可以進行在線檢測,結構簡單,分析過程簡便快捷,通過閥門的切換改變 氣體流向來即可完成檢測。


圖1為實施例1的使用狀態圖一圖2為實施例1的使用狀態圖二101-第一路輔助載氣穩流系統,102-第二路輔助載氣穩流系統,103-第三路輔 助載氣穩流系統,104-腐蝕性氣體底氣通路,105-氦氣通路,2-耐腐蝕帶吹掃十通閥, 201-第一通道,202-第二通道,203-第三通道,204-第四通道,205-第五通道,206-第六 通道,207-第七通道,208-第八通道,209-第九通道,210-第十通道;3-取樣柱,401-三 通閥,402、403-閥門,5-耐腐蝕帶吹掃六通閥,501-第一通道,502-第二通道,502-第二 通道,203-第三通道,504-第四通道,505-第五通道,506-第六通道;601-分析色譜柱A, 602-分析色譜柱B,603-預分離柱,7-耐腐蝕帶吹掃四通閥,701-第一通道,702-第二通 道,703-第三通道,704-第四通道,801-氦離子化檢測器,802-熱導檢測器,901-鹼石灰吸 收罐,902-真空泵,903-回收罐
具體實施例方式實施例1如圖1和圖2所示,一種用於分析腐蝕性氣體中雜質的裝置,其結構包括三路輔助 載氣穩流系統、腐蝕性氣體底氣通路104、氦氣通路105、耐腐蝕帶吹掃十通閥2、取樣柱3、 耐腐蝕帶吹掃六通閥5和耐腐蝕帶吹掃四通閥7、預分離柱603、分析色譜柱A601和分析色 譜柱B602。
耐腐蝕帶吹掃十通閥2設有十個通道,第一路輔助載氣穩流系統101連接到耐腐 蝕帶吹掃十通閥2的第七通道207,第二路輔助載氣穩流系統102連接到耐腐蝕帶吹掃十通 閥2的第四通道204,取樣柱3的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥2的第一通道201和 第八通道208 ;預分離柱603的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥2的第二通道202和 第五通道205 ;氦氣通路105和腐蝕性氣體底氣通路104分別通過閥門403、402連接到三通閥4 的兩端,三通閥的另一端與耐腐蝕帶吹掃十通閥2的第十通道210連接;第九通道209和第 三通道203分別連接鹼石灰吸收罐901,鹼石灰吸收罐下遊依次連接真空泵902和回收罐 903。耐腐蝕帶吹掃十通閥2的第六通道206連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第四通道 504,分析色譜柱A601的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第五通道505和第六通 道506,分析色譜柱B602的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第二通道502和第三 通道503 ;耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第一通道501與耐腐蝕帶吹掃四通閥7的第三通道703 連接,第三路輔助載氣穩流系統103連接到耐腐蝕帶吹掃四通閥7的第一通道701,第二通 道702和第四通道704分別連接到熱導檢測器802 (TCD)和氦離子化檢測器801 (PDD)。耐腐蝕帶吹掃十通閥可切換為兩種狀態,狀態一為第一通道與第二通道連接,第 三通道與第四通道連接,第五通道與第六通道連接,第七通道與第八通道連接,第九通道與 第十通道連接;狀態二為第一通道與第十通道連接,第二通道與第三通道連接,第四通道 與第五通道連接,第六通道與第七通道連接,第八通道與第九通道連接。耐腐蝕帶吹掃六通閥可切換為兩種狀態,狀態一為第一通道與第二通道連接,第 三通道與第四通道連接,第五通道與第六通道連接;狀態二為第一通道與第六通道連接, 第二通道與第三通道連接,第四通道與第五通道連接。耐腐蝕帶吹掃四通閥可切換為兩種狀態,狀態一為第一通道與第二通道連接,第 三通道與第四通道連接;狀態二為第一通道與第四通道連接,第二通道與第三通道連接。使用中,需要對腐蝕性氣體中雜質組分進行分析檢測時,如圖2所示,切換耐腐蝕 帶吹掃十通閥,分別接通第一通道和第十通道、第二通道和第三通道、第四通道和第五通 道、第六通道和第七通道、第八通道和第九通道。此時,關閉閥門403,開啟閥門402,腐蝕性 氣體底氣通路連通取樣柱,經第十通道、第一通道,由第一通道進入取樣柱,多餘的腐蝕性 氣體由第九通道進入鹼石灰吸收罐,並經真空泵進入回收罐。此時的第二路輔助載氣穩流系統連通預分離柱,輔助載氣II由第二路輔助載氣 穩流系統進入耐腐蝕帶吹掃十通閥的第四通道,由第五通道吹入預分離柱,再經第二通道 和第三通道流出耐腐蝕帶吹掃十通閥,進入鹼石灰吸收罐。此時的第一路輔助載氣穩流系統依次連通耐腐蝕帶吹掃十通閥、耐腐蝕帶吹掃六 通閥和耐腐蝕帶吹掃四通閥,輔助載氣I由第一路輔助載氣穩流系統進入耐腐蝕帶吹掃十 通閥的第七通道,由第六通道進入耐腐蝕帶吹掃六通閥的第四通道;耐腐蝕帶吹掃六通閥 的第四通道與第五通道連接,第一通道與第六通道連結,第二通道與第三通道連接,使輔助 載氣I吹入分析色譜柱A ;若耐腐蝕帶吹掃六通閥的第四通道與第三通道連接,第一通道與 第二通道連接,第五通道與第六通道連接,則輔助載氣I吹入分析色譜柱B。
5
當待測的腐蝕性氣體為高純度時,如圖1所示,取樣完成後迅速關閉閥門402,切 換耐腐蝕帶吹掃十通閥,分別接通第一通道和第二通道、第三通道和第四通道、第五通道和 第六通道、第七通道和第八通道、第九通道和第十通道。第一路輔助載氣穩流系統依次連接取樣柱、預分離柱;輔助載氣I將取樣柱內的 腐蝕性氣體底氣和氦氣的混合氣體吹入預分離柱。耐腐蝕帶吹掃六通閥的第四通道與第五 通道連接,第一通道與第六通道連結,第二通道與第三通道連接,在預分離柱中,極性較強、 沸點較高的腐蝕性氣體底氣被保留在雜質組分之後,輕質低小分子雜質組分,如氫氣、氧 氣、氮氣、甲烷和一氧化碳等組分首先流出預分離柱,由輔助載氣I帶入分析色譜柱A進行 分離分析。然後,在分子量較大的雜質組分,如二氧化碳、六氟化硫、四氟化矽和四氟化碳等 組分流出預分離柱時,切換耐腐蝕帶吹掃六通閥的第三通道與第四通道連接,第一通道與 第二通道連結,第五通道與第六通道連接,則輔助載氣I將上述雜質組分吹入分析色譜柱B 進行分離分析。耐腐蝕帶吹掃六通閥的第一通道連接到耐腐蝕帶吹掃四通閥的第三通道;在待測 的腐蝕性氣體為高純度,即雜質組分含量低時,耐腐蝕帶吹掃四通閥的第二通道與第三通 道連接,第一通道與第四通道連接,使輔助載氣I帶著雜質組分從分析色譜柱A或分析色譜 柱B流出後,由第三通道和第四通道進入氦離子化檢測器;第三路輔助載氣穩流系統輔助 載氣與熱導檢測器相通,對未使用的熱導檢測器進行保護。在雜質組分流出預分離柱之後,腐蝕性氣體流出預分離柱之前,切換耐腐蝕帶吹 掃十通閥,如圖2所示,此時輔助載氣II流入預分離柱,將預分離柱中殘留的腐蝕性氣體吹 入鹼石灰吸收罐,經真空泵進入回收罐,以清潔預分離柱,同時避免腐蝕性氣體的汙染。開 啟閥門403,使氦氣流入取樣柱,將取樣柱中殘留的腐蝕性氣體吹入鹼石灰吸收罐,經真空 泵進入回收罐,以清潔系統。實施例2對於低純度的腐蝕性氣體,其中的雜質組分含量較高,取樣過程同實施例1,耐腐 蝕帶吹掃四通閥的第三通道與第四通道連接,第一通道與第二通道相連。輔助載氣I帶著 雜質組分從分析色譜柱A或分析色譜柱B流出後進入熱導檢測器802進行分析檢測。其餘 同實施例1。
權利要求
一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置,其特徵在於,結構包括三路輔助載氣穩流系統、腐蝕性氣體底氣通路、氦氣通路、耐腐蝕帶吹掃十通閥、取樣柱、耐腐蝕帶吹掃六通閥和耐腐蝕帶吹掃四通閥、預分離柱、分析色譜柱A和、氦離子化檢測器和熱導檢測器;其中,第一路輔助載氣穩流系統、第二路輔助載氣穩流系統、取樣柱的兩端、預分離柱的兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥;耐腐蝕帶吹掃十通閥連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥;分析色譜柱A和分析色譜柱B的兩端分別與耐腐蝕帶吹掃六通閥連接;耐腐蝕帶吹掃四通閥分別與氦離子化檢測器、熱導檢測器、第三路輔助載氣穩流系統和耐腐蝕帶吹掃六通閥連接。
2.權利要求1所述一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置,其特徵在於,所述的耐腐 蝕帶吹掃十通閥設有十個通道,第一路輔助載氣穩流系統連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第 七通道,第二路輔助載氣穩流系統102連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第四通道,取樣柱的 兩端分別連接到耐腐蝕帶吹掃十通閥的第一通道和第八通道;預分離柱的兩端分別連接到 耐腐蝕帶吹掃十通閥的第二通道和第五通道;氦氣通路和腐蝕性氣體底氣通路分別連接到三通閥的兩端,三通閥的另一端與耐腐蝕 帶吹掃十通閥的第十通道連接;第九通道和第三通道分別連接鹼石灰吸收罐,鹼石灰吸收 罐下遊依次連接真空泵和回收罐;耐腐蝕帶吹掃十通閥的第六通道與耐腐蝕帶吹掃六通閥連接。
3.權利要求1所述一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置,其特徵在於,所述的耐腐 蝕帶吹掃六通閥設有六個通道;第一通道連接到耐腐蝕帶吹掃四通閥;分析色譜柱A的兩 端分別連接到耐腐蝕帶吹掃六通閥5的第五通道和第六通道,分析色譜柱B的兩端分別連 接到耐腐蝕帶吹掃六通閥的第二通道和第三通道;第四通道與耐腐蝕帶吹掃十通閥連接。
4.權利要求1所述一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置,其特徵在於,所述的耐腐 蝕帶吹掃四通閥設有四個通道,第一通道連接第三路輔助載氣穩流系統;第二通道和第四 通道分別連接到熱導檢測器和氦離子化檢測器;第三通道與耐腐蝕帶吹掃六通閥連接。
5.一種用於檢測腐蝕性氣體中雜質的方法,其特徵在於,利用權利要求1所述用於檢 測腐蝕性氣體中雜質的裝置,包括以下步驟(1)取樣切換耐腐蝕帶吹掃十通閥,接通腐蝕性氣體底氣通路和取樣柱;(2)預分離切換耐腐蝕帶吹掃十通閥,接通第一路輔助載氣穩流系統、取樣柱和預分 離柱;(3)分離小分子和大分子雜質組分切換耐腐蝕帶吹掃六通閥,使預分離柱與分析色 譜柱A和分析色譜柱B分別接通;(4)檢測將分離後的雜質氣體組分送入熱導檢測器或氦離子化檢測器進行分析檢測。
全文摘要
本發明涉及氣體的檢測裝置和方法,公開了一種分析檢測腐蝕性氣體中雜質的裝置和方法,通過閥門的切換,改變氣體流向,來進行分離檢測。本發明結構簡單,分析過程簡便快捷,可以進行在線檢測;雜質組分分離效果好;可以滿足不同純度腐蝕性氣體的分析需求。
文檔編號G01N30/46GK101893614SQ20101022929
公開日2010年11月24日 申請日期2010年7月16日 優先權日2010年7月16日
發明者薛翔 申請人:上海炫一電子科技有限公司

同类文章

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法

一種新型多功能組合攝影箱的製作方法【專利摘要】本實用新型公開了一種新型多功能組合攝影箱,包括敞開式箱體和前攝影蓋,在箱體頂部設有移動式光源盒,在箱體底部設有LED脫影板,LED脫影板放置在底板上;移動式光源盒包括上蓋,上蓋內設有光源,上蓋部設有磨沙透光片,磨沙透光片將光源封閉在上蓋內;所述LED脫影

壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置與流程

本發明涉及通信領域,特別涉及一種壓縮模式圖樣重疊檢測方法與裝置。背景技術:在寬帶碼分多址(WCDMA,WidebandCodeDivisionMultipleAccess)系統頻分復用(FDD,FrequencyDivisionDuplex)模式下,為了進行異頻硬切換、FDD到時分復用(TDD,Ti

個性化檯曆的製作方法

專利名稱::個性化檯曆的製作方法技術領域::本實用新型涉及一種檯曆,尤其涉及一種既顯示月曆、又能插入照片的個性化檯曆,屬於生活文化藝術用品領域。背景技術::公知的立式檯曆每頁皆由月曆和畫面兩部分構成,這兩部分都是事先印刷好,固定而不能更換的。畫面或為風景,或為模特、明星。功能單一局限性較大。特別是畫

一種實現縮放的視頻解碼方法

專利名稱:一種實現縮放的視頻解碼方法技術領域:本發明涉及視頻信號處理領域,特別是一種實現縮放的視頻解碼方法。背景技術: Mpeg標準是由運動圖像專家組(Moving Picture Expert Group,MPEG)開發的用於視頻和音頻壓縮的一系列演進的標準。按照Mpeg標準,視頻圖像壓縮編碼後包

基於加熱模壓的纖維增強PBT複合材料成型工藝的製作方法

本發明涉及一種基於加熱模壓的纖維增強pbt複合材料成型工藝。背景技術:熱塑性複合材料與傳統熱固性複合材料相比其具有較好的韌性和抗衝擊性能,此外其還具有可回收利用等優點。熱塑性塑料在液態時流動能力差,使得其與纖維結合浸潤困難。環狀對苯二甲酸丁二醇酯(cbt)是一種環狀預聚物,該材料力學性能差不適合做纖

一種pe滾塑儲槽的製作方法

專利名稱:一種pe滾塑儲槽的製作方法技術領域:一種PE滾塑儲槽一、 技術領域 本實用新型涉及一種PE滾塑儲槽,主要用於化工、染料、醫藥、農藥、冶金、稀土、機械、電子、電力、環保、紡織、釀造、釀造、食品、給水、排水等行業儲存液體使用。二、 背景技術 目前,化工液體耐腐蝕貯運設備,普遍使用傳統的玻璃鋼容

釘的製作方法

專利名稱:釘的製作方法技術領域:本實用新型涉及一種釘,尤其涉及一種可提供方便拔除的鐵(鋼)釘。背景技術:考慮到廢木材回收後再加工利用作業的方便性與安全性,根據環保規定,廢木材的回收是必須將釘於廢木材上的鐵(鋼)釘拔除。如圖1、圖2所示,目前用以釘入木材的鐵(鋼)釘10主要是在一釘體11的一端形成一尖

直流氧噴裝置的製作方法

專利名稱:直流氧噴裝置的製作方法技術領域:本實用新型涉及ー種醫療器械,具體地說是ー種直流氧噴裝置。背景技術:臨床上的放療過程極易造成患者的局部皮膚損傷和炎症,被稱為「放射性皮炎」。目前對於放射性皮炎的主要治療措施是塗抹藥膏,而放射性皮炎患者多伴有局部疼痛,對於止痛,多是通過ロ服或靜脈注射進行止痛治療

新型熱網閥門操作手輪的製作方法

專利名稱:新型熱網閥門操作手輪的製作方法技術領域:新型熱網閥門操作手輪技術領域:本實用新型涉及一種新型熱網閥門操作手輪,屬於機械領域。背景技術::閥門作為流體控制裝置應用廣泛,手輪傳動的閥門使用比例佔90%以上。國家標準中提及手輪所起作用為傳動功能,不作為閥門的運輸、起吊裝置,不承受軸向力。現有閥門

用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法

專利名稱:用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置的製作方法背景技術:1-本發明所屬領域本發明涉及一種用來自動讀取管狀容器所載識別碼的裝置,其中的管狀容器被放在循環於配送鏈上的文檔匣或託架裝置中。本發明特別適用於,然而並非僅僅專用於,對引入自動分析系統的血液樣本試管之類的自動識別。本發明還涉及專為實現讀