平板顯示器製造設備的起模針模塊的製作方法

2023-08-04 08:43:51

專利名稱：平板顯示器製造設備的起模針模塊的製作方法
技術領域：
本發明是關於平板顯示器製造設備的起模針模塊，當基板被送 入或送出時，上述起模針模塊上升到送入或送出上述基板的高度。
背景技術：
一般性的平板顯示器製造設備，是用來將平板顯示器的基板送 入內部，利用等離子體等實施蝕刻等處理。這裡所說的平板顯示器 (Flat Panel Display )指的是液晶顯示器(Liquid Crystal Display )、 等離子體顯示板(Plasma Display Panel )、有機發光二極體(Organic Light Emitting Diodes )等，在這些平板顯示器製造設備中，真空處 理用設備一般由負荷固定搶(Load lock)、輸送艙及處理艙等三個 真空搶組成。其中，上述負荷固定艙是在輪流轉換氣壓狀態和真空狀態下形 成，其作用是，/人外部^妾收未處理的基^反，或者向外部送出已處理 完的基板。上述輸送艙有一拍i運機械手，在各個搶室之間i般運基板， 其作用是，將需要處理的基板從負荷固定艙送到處理艙，或者將已 處理完的基板從處理艙送到負荷固定艙。上述處理搶的作用是，在 真空狀態下利用等離子體或熱能，在基板上形成薄膜或進行蝕刻。原有的平4反顯示器製造i殳備如圖l所示，其內部由以下幾個部 分組成輪流維持真空狀態和氣壓狀態的同時，與外部進行4妄觸， 在內部進行工藝處理的艙室10;位於上述搶室10上部的上部電^L 12;與上述上部電才及12隔離，4立於下部並岸義載基^反S的下部電^L 14。上述上部電才及12的最底端有一噴水頭(Shower head), 4巴工藝 氣體噴到基板S上。上述下部電極14被位於外壁和上部邊緣的絕緣板(未圖示) 所包圍，從而保護該下部電極14免受等離子體的影響，然後利用 幾個螺 f全分別固定上部邊》彖和側面及下面。在上述艙室10的指定部分裝配排氣裝置(未圖示)，以清除已 用於基板S處理的工藝氣體及其副產物等。當然，為使艙室10內 部處於真空狀態，有時候該排氣裝置被用來排》文艙室10內部的氣體。其中，如圖2所示，為了支撐裝入上述下部電極14的基板S 邊緣，在上述下部電極14的邊緣裝配了形成一定間隔的幾個起衝莫 4十(Lift pin: 20)，該起才莫4十可以通過朝厚度方向穿過下部電4及14 形成的幾個起模針孔16。該起模針20的作用是，通過起模針孔16 上升及下降，將基板S抬起，或者將送入搶室10內部的基板S裝 入下4卩電才及14。換言之，上述起模針20的作用是，當基板S被搬運裝置從搶 室10外部送入搶室時，將該基板S抬至一定高度，待搬運裝置退 出搶室10後，將該基板S^L到下部電極14上。此時， 一個下部電極14上有幾個上述起模針20，但是這幾個 起才莫針20應該同時上升或下降。於是，在上述下部電才及14的外部底側裝配了與幾個起模針20相結合的起模針板30，該起模針板30 通過其他驅動裝置(未圖示)上升，也就是i^，幾個起模針20通 過該驅動裝置同時上升。接著，上述幾個起模針20穿過艙室IO下壁，延伸到該搶室10 的底側，而固定在每個起才莫針20下部的起才莫針板30,位於艙室10 底側的外部。這些起模針20是這樣升降的驅動裝置對起才莫針板30施加上 升壓力，促使固定在該起模針板30上的起模針20升降。其中，從上述起模針20朝艙室10底側棵露的部分，也就是說， 在上述搶室10的底面和起模針板30之間棵露的起4莫針20, ^皮風箱 (Bellows: 32)所包圍。這些風箱32的作用是，在幾個起模針20上升時收縮，當該起 沖莫針20下降時;^弛，以4呆持搶室10內部的真空狀態。可是，如果上述起模針20在位於下部電極14的起模針孔16 內部升降時，根據該起模針孔16的直徑引起以下各種問題如果 上述起模針孔16的直徑大，將會發生上述起^莫針20所在位置的溫 度和下部電4及14周邊溫度的溫差及電壓差，促4吏與上述起才莫4十孔 16相應的基^反S底面產生一種亮度不均勻的汙點(Mura)。相反， 如果上述起模針孔16的直徑小，那麼，通過起模針孔16升降的起 模針20和該起模針孔16之間發生磨擦，從而產生顆粒(Particle )。 在上述起才莫針才反30上定位的起才莫針20,若適用於大面積基玲反S， 應配備幾個起模針，而且其中心位置要分別對準起模針孔16,所以 組裝難度非常高。此外，如果上述下部電極14上配有根據靜電力吸附基板S的 靜電卡盤(ESC:未圖示)，那麼，上述下部電極14的起模針孔16和基板s之間只能形成細微的間隙，因為有了這些間隙，在工藝處 理過程中，工藝氣體通過該起模針孔16滲入，導致處理基板S時 的異常放電現象。發明內容本發明的目的是提供一種平板顯示器製造設備的起模針模塊， 該起模針模塊根據彈性，使起模針緊貼於下部電極，以防止工藝氣 體滲入。


通過下文對實施方式的描述，同時參照附圖，本發明的這些和 /或其它方面以及優點將變得明顯和更容易理解，其中圖1是平板顯示器製造設備的起模針的側視圖。圖2是方支大圖1的"A"部分的放大圖。圖3是本發明的第一實施例中具備起模針模塊的平板顯示器制 造設備的側視圖。圖4是上述起模針模塊的分解斜視圖。圖5a及圖5b是放大圖3的"B，，部分，圖示上述起模針^T莫塊 的工作狀態的部分》文大截面圖。圖6a 7b圖示本發明的第二實施例中起模針模塊的概略結構。圖8圖示本發明的第三實施例中平板顯示器製造設備的結構。圖9圖示本發明的第三實施例中起模針模塊的結構。圖10圖示本發明的第三實施例中起模針模塊插到穿針孔的狀態。圖11圖示本發明的第三實施例中起模針上端部的各種形狀。圖12圖示本發明的第三實施例中起模針模塊的變更例結構。圖13是本發明的第三實施例中起模針的配置圖。圖14是本發明的第四實施例中起模針模塊的分解斜視圖。圖15是本發明的第五實施例中起模針模塊位於下部電極的側 視圖。圖16是本發明的第五實施例中起模針模塊的斜視圖。圖17是本發明的第五實施例中起模針模塊的變更例的斜視圖。圖18是本發明的第六實施例中起模針模塊的截面圖。圖19是圖18中的起模針模塊的部分斜視圖。圖20a是圖示本發明的第六實施例中起模針模塊的工作狀態的 概略圖。圖20b是圖示本發明的第六實施例中起模針模塊的工作狀態的 扭無略圖。圖21是本發明的第七實施例中起模針模塊結構的截面圖。
具體實施方式
下面，結合本發明的平板顯示器製造設備的起模針模塊的附 圖，對實施例進行說明。《實施例1》首先，如圖3所示，為了支撐裝入下部電極114的基板S邊緣， 在下部電極114的邊緣裝配了具有一定間隔的幾個起模針模塊，而 且該起模針模塊朝厚度方向貫穿而過。該起模針模塊的作用是，通 過下部電極114上升及下降，將基板S抬起，或放到下部電極114 上。上述起模針模塊是多數，而且底部有起模針板130,以使每個 起模針模塊同時上升和下降。當起模針上升時，利用其他驅動裝置 (未圖示)來驅動，當起模針下降時，起模針板130提前下降等待，起模針板是靠該起模針模塊本身的重量來下降。此時，上述起模針模塊如圖4所示，由上部起模針120、下部 起模針124、彈性部件128來組成。上述上部起衝莫針120呈圓柱狀，具有適當的直徑，其下部突出 形成了直徑小於周長的耦合突出物122a,其周邊的下端形成了螺旋 狀的耦合槽122b，上部有整體的岸義載板122c，該承載糹反呈十字形。上述下部起模針124的直徑與上述上部起才莫針120的直徑相 等，垂直運行，其上端形成螺旋狀耦合槽126a,上部中央形成了具 有適當高度的耦合孔126b,以便在插入上述上部起模針120的耦合 突出物122a的狀態下，上下移動。同時，上述上部起才莫針120的耦合突出物122a和插入該耦合 突出物122a的下部起才莫針124的耦合孑L 126b具有導向作用，使上 述下部起才莫4十124在上升或下降時互不脫離。這裡又配備了風箱(Bellows: 132),風箱包圍了在上述上、下 部起才莫針120、 124中，從下部起才莫針124朝搶室110底側棵露的 部分，也就是說，在上述艙室110的底面與起模針板130之間棵露 的下部起才莫4十124。上述彈性部件128是一種壓縮彈簧，其上端固定在上部起^t針 120的耦合槽122b上，下端固定在下部起才莫針124的耦合槽126a 上。換言之，通過上述彈性部件128連4妄和固定上、下部起才莫針120、 124。上述耦合槽122b、 126a的長度適宜，可以固定一部分彈性部 件128的上、下端，並與彈性部件128的上端與下端的形狀互相對應。同時，可以把分別包容上述上、下部起才莫針120、 124的起模 針孑L 116b直接在上述下部電極114的邊緣形成，力口工時為了方便 起見，在下部電極114分別形成插入件的耦合孔114a,以使其具有 大於上部起模針120的承載板122c面積的直徑，之後將插入件116 插入耦合孔114a中，從而能夠在該插入件116的中央，垂直形成起 模針孔116b。換言之，雖然附圖中未圖示，但是，如果直接在上述下部電極 114上形成起模針孔116b，那麼，在下部電極114的起衝莫針孔116b 上部，應該形成與上部起才莫4十120的十字形岸義載4反122c相只於應的 凹槽116a,此時，應該在上述下部電才及114的起才莫4十孑L 116b形成 十字形凹槽116a,所以加工難度高。相反，在上述下部電極114中的每個上、下部起模針120、 124 的位置上分別形成插入件的耦合孔114a，將上、下部起模針插到該 耦合孔114a上進行固定，如果這時候插入有凹槽116a的插入件116， 這樣更加方便加工。該插入件上形成貫穿中心部的起才莫針孔116b, 其上部有十字形凹槽116a。另外，雖然附圖中未圖示，但是在下部電極114中承載基板S 的部分形成了介質膜，以靜電力可以吸附基才反S，該介質膜是由噴 射膜成形的。也就是說，上述下部電極114用鋁材製成，其表面塗 (Coating) 了一層噴射月莫。所以，本發明的平板顯示器製造設備的起模針模塊的工作狀 態，如圖5a及圖5b所示，通過外部的搬運裝置(未圖示)，在適 當高度下，將基板S送入艙室110內部。接著，上述起模針模塊的上、下部起模針120、 124, —開始在 上述上部起模針120的耦合突出物122a插在下部起模針124耦合 孑L 126b的狀態下，該上部起才莫4十120和下部起才莫4十124才艮寺居彈性 部件128的彈性，在上部起才莫針120和下部起才莫針124互相接合的 狀態下等待。在這一狀態下，通過驅動裝置4是升起模針板130,這 樣，上、下部起模針120、 124通過插入件116的起模針孔116b上 升，風箱132隨之收縮。接下來，上述上、下部起模針120、 124上升，與送入艙室110 的基板S底面接觸，從各個部位得到表面支撐後，搬運裝置將退出 艙室110。其中，上述基板是在上部起模針120的承載板122c上面， 以適當的高度送入搶室110。然後，支撐上述基板S的上、下部起^莫針120、 124下降，上 述承載板122c緊貼著插入件116的凹槽116a,在基板S底面與下 部電極114接觸的狀態下承載基板。之後，讓固定幾個下部起模針124的起模針板130,通過本身 的重量下降，這樣，通過彈性部件128連接的上、下部起模針120、 124也隨之下降，支撐基板S的承載板122c則到達插入件116的凹 槽116a。此時，通過驅動裝置將上述起一莫針板130降至指定位置，這樣， 固定在起模針板130上的下部起模針124也隨之下降，同時通過彈 性部件128固定的上部起模針120,也受到該彈性部件128的彈性 下降。這樣，承載板122c緊貼著插入件116的凹槽116a，也就是 i兌，在相當於彈性部件128的彈性的粘附力的作用下，7K載玲反122c 對起才莫針孔116b施加壓力，從而緊緊地貼在一起。接下來，利用工藝氣體對上述基板S實施工藝處理，而起模針 孔116b通過7 義載^反122c阻止工藝氣體流入，以防止異常》文電的發 生。而且，上、下部起才莫4十120、 124中，上部起才莫4十120的岸義載 板122c緊貼著下部電才及114上的插入件116凹槽116a，所以，在 上部起才莫針120和下部電才及114上也不會發生溫差及電壓差，基板 S上也不會出i見汙點。待上述基板S的工藝處理結束之後，固定上述下部起才莫針124 下部的起模針板130上升至適當高度，緩解施加到上、下部起模針 120、 124的彈性部件128的彈性。之後，通過上述驅動裝置，將起模針板130提升至送出基板S 的位置後，外部的搬運裝置將基板S送出外部，上述起模針板的功 能是，讓幾個上、下部起才莫4十120、 124同時升降。《實施例2》參照圖6a,本發明的第二實施例中平板顯示器製造設備的起模 針模塊，由外殼220、起模針219、升降銷217、壓縮彈簧225、彈 簧導杆240組成。其中，起衝莫針219:可升降，位於上述外殼220 內部，上端部〃f立於下部電才及內部或者上升，突出於下部電才及的上面。 升降銷217:上面形成與上迷起模針219下端部吻合的升降銷耦合 部分218。壓縮彈簧225:連4妄升降銷耦合部分218的上面和外殼 220的上部內側面。彈簧導杆240:在外殼220的內側面和升降銷 耦合部分218的兩側之間引導壓縮彈簧225。起模針219與升降銷217實現耦合，進行上下運動。起模針219 的上面如圖6a所示，呈倒錐形。原來的圓柱形起才莫針，由於汙點 (mura現象而降低生產效率，所以，本發明改善了起模針的上端部 形狀。起4莫4j"的上端部形狀沒有局限性，可以形成如圖6b所示的 count bore形狀，還可以形成其他各種形狀。即使起模針的上面呈 碟形的count bore形狀，也可以得到分散基板212負荷的效果。起 沖莫針219最好採用電絕緣性能好的PBI (Polybenzimidazole)類材料。上述起模針219之所以採用絕緣物質，是為了在工藝過程中免 受等離子體的影響。如圖6c所示，外殼220的外柱面呈圓形，中央是有穿孔的圓 柱形。其上部用定位螺4丁 232固定支7ia反230，下部的內柱面上形 成了4弟形的內側突出部220a，升降銷217的升降銷庫禺合部分218 #皮 上述內側突出部220a卡住，防止其脫落在外殼的外部。上述支承 板230由環形的盤狀機身和從內柱面向下延伸的管狀延伸部組成。 此時，機身覆蓋上述外殼的上面，延伸部插在穿孔內。如圖6a及 圖6b所示，將壓縮彈簧225插入外殼的穿孔之後，利用上述螺釘 固定上述支7 a反230的才幾身和外殼220的上面。當上述支 a反230 固定在外殼220時，壓縮彈簧225在壓縮狀態下，位於上述升降銷淨禺合部分218和上述支岸W反之間，以^f吏起才莫4十219下降。此時，支 承板230延伸部的外側和外殼220穿孔的內側之間形成間隙，這一 間隙中裝配壓縮彈簧225和彈簧導杆240。而且，上述外殼220可 以採用電絕緣性能好的聚醯亞胺樹脂類材料，或者鋁材，內側壁上 也可以裝配採用聚醯亞胺樹脂類材料製成的彈簧導杆。彈簧導杆 240的作用是，當壓縮彈簧225膨脹及收縮時，防止彈簧扭曲。此 時，壓縮彈簧225的下端雖然緊貼著升P爭銷217的升降銷耦合部分 218的上面，但是也可以在起模針219的下側形成承載部，並緊貼 於上述承載部。當起模針219通過外部驅動裝置上升時，壓縮彈簧225會進一 步收縮，當上述起模針219下降時，壓縮彈簧225膨脹，同時起模 4H反下降，讓起衝莫4十219回到原4立。圖7a及圖7b是本實施例中起模針模塊的變更例的截面圖。參照圖7a，在起模針才莫塊的升降銷耦合部分218的下部與外殼 的內側突出部220a的上面之間，還可以裝配緩沖件234。緩沖件 234的作用是，當壓縮彈簧225膨脹時，防止外殼220和升降銷耦 合部分218的接觸面受到衝擊而產生劃痕。這種緩沖件234可以採 用橡膠、海綿等材料。此外，如圖7b所示，我們可以用緩衝彈簧 236當作上述緩沖件。此時，緩衝彈簧236的彈簧係數，應該限定 在不影響起才莫針219的上端插入靜電卡盤內部的範圍。《實施例3》本實施例的起模針模塊320，由起才莫針322、固定塊324、 pin 驅動裝置326組成。首先是起才莫4十322。如圖8所示，4立於下部電才及314上，負責 基板S的升降。在本實施例中，該起模針322上端322b的截面呈脂腺狀。這裡所說的脂腺是指，像手指一樣分支的形狀。這種脂腺如圖11所示，可以是2個脂腺、3個脂腺、4個脂腺等各種形態。 2個脂腺是指如圖lla所示，有2個分支，此時最好的形態是每個 分支平行的直線。3個脂腺是指如圖llb所示，有3個分支，這時 候，每個分支最好形成120。角，以支撐基板的寬的部分。最後，4 個脂腺是指如圖llc所示，有4個分支，這時候，每個分支最好呈 十字形，以形成90°角，/人而均勻地支撐基板的寬的部分。同時，本實施例的起模針322的中間部及下部322a,為了具有 充分的負載能力，最好呈圓柱形。其次是固定塊324。如圖8所示，固定塊插入並固定在穿針孔 316的上部，既讓上述起才莫針的上端322b貫穿其中，又緊貼於穿4十 孑L316,以防止工藝氣體通過穿針孔316滲入。在本實施例中，固 定塊324上形成了與上述起才莫針322上端322b的形狀相對應的細 孔324a。於是，上述起才莫針的上端322b就會穿過該固定塊324支 撐基板S。此時，該固定塊324的厚度最好是薄的，這樣才能容易 加工。此外，該固定塊324的細孔324a形狀，最好與上述起才莫針 的上端322b形狀相對應，面積也幾乎相等於起^^莫針322的上端322b 面積，以便在上述起才莫針322的上端322b穿過該細孔324a時，起 才莫4十322的上端322b能夠緊帖著該固定塊324。在本實施例中，固定塊324的材質，最好與上述下部電4及314 的材質相同。 一般情況下，在有起模針322的位置上之所以產生汙 點，是下部電極314與起模針322之間的溫差及電壓差造成的。如 果固定塊324的材質與下部電才及314的材質相同，並與下部電才及314 進行接觸，那麼，下部電極314與起模針之間不產生電壓差及溫差， 所以基板S上不會產生汙點。另外，在本實施例的下部電極314上形成的穿針孔316，如圖 IO所示，其截面最好呈梯形。也就是說，接受上述固定塊324的上 述穿針孔316和其餘部分之間的內徑不同，所以，將自然地定位固 定塊324的位置。直到固定塊324插入的部分為止，上述穿針孔316 形成大內徑，而上述穿針孔316下部的內徑與起模針322的直徑相 同。而且，固定塊324要大於穿針孔316的下部直徑，以免插在起 模針322上部的固定塊324下移。而且，該穿針孔316的上部越往下走，直徑逐漸變小，我們還 可以將上述固定塊324緊緊地插入穿針孔316內。這種方法的優點 是，不需要其他固定裝置，就可以將固定塊324插入穿針孔316中。再者就是pin驅動裝置326,它與上述起才莫4十322的下部322a 結合，使上述起模針322上下移動。 一個平板顯示器製造設備中具 備幾個起模針322,在同樣的速度和時期上下移動。因此，最好將 幾個起模針322固定在一個板326之後，上下驅動該板326,使幾 個起模針322具有相同的速度及工作時期。所以，該pin驅動裝置 326最好由4H反和驅動電才幾組成。此時，上述起才莫針322如圖12所示，上端部322a和下端部322b 可以分離組成。上端部322a是組成起模針上部的部件，其截面呈 脂腺狀。而且，該上端部322a的上面接觸基糹反，從而支撐基玲反。 這時候，上端部322a的截面形狀可以變成2個脂腺、3個脂腺、4 個脂腺等各種形狀。而且，下端部322b與上述上端部322a的下部相結合，上下驅 動上述上端部322a，起到連4妄上述pin驅動裝置的中介作用。該下 端部322b最好呈圓4主形。下面，我們說明上述實施例3中裝配起模針模塊的平板顯示器 製造設備。在本實施例中，平板顯示器製造設備的整個下部電極上 均勻形成了穿針孔，起模針貫穿每個穿針孔排列。近年來，採用平 板顯示器製造設備處理的基板大小的長度和寬度分別達到2 m以 上，越來越難以實施一邊只支撐基板邊緣， 一邊^f吏基板升降的方法。 因此，本實施例的平板顯示器製造設備如圖13所示，在下部電極 314上全面形成了穿針孔，以使下部電極不但支撐基板邊緣，也能 支撐基才反的中央區域。而且，該穿針孔上裝配了上述起才莫針及固定 塊。此時，下部電極的中央裝配了起模針，該起模針上端部的截面 形狀是4個脂腺或3個脂腺，而上述下部電極的邊緣，最好裝配上 端部截面形狀呈2個脂^_的起才莫4十。下部電才及的中央裝配4個脂腙_ 或3個脂腺的起模針，以支撐基板的寬的部分，而在基板的邊緣部 分， 一個起模針需要支撐的基板面積窄，所以裝配2個脂腺的起模 針，這樣更有利於加工。而且，2個脂腺起模針的2個脂腺，最好 與下部電4及的邊平4於，這樣既不損傷基板，也會穩定地支撐基4反。《實施例4》本實施例中裝配幾個起模針模塊420,而且下部裝配了起模針 板440 ，以便於同時提升或下降起模針模塊420。上述起模針模塊420如圖14所示，由上、下法蘭422b、 422a， 風箱424，第一、二起才莫針426a、 426b, pinl禺合器430， pin殺禺合 器固定件432組成。上述上、下法蘭422b、 422a呈圓盤或方形盤形狀，下法蘭422a 通過螺4全固定在起才莫針板440，上法蘭422b通過螺4全固定在與該下 法蘭422a形成垂直線的艙室410的下壁。其中，上述上法蘭422b為了保持艙室410與下壁的氣密性， 其上法蘭422b和艙室410下壁的接觸面上有一 Oring-密封件。而且，在上述上、下法蘭422b、 422a之間，分別固定了風箱 424的上端和下端，以保持該上、下法蘭422b、 422a之間的氣密性， 還配有橡膠部件等，以便根據位置收縮或鬆弛。上述第一起才莫針426a是通過幾個部件朝垂直方向螺旋連4妄或 強制插入，連接成一體。而且，上述第一起才莫針426a下部的最底 端，通過螺;旋連4妻或強制插入的方法，固定在下法蘭422a的上部 中心。ot匕外，最頂端呈4弟形，直徑逐'漸變大，該衝弟形的上部有橢圓 形4丈納4曹428。而且， 一弟形的外4主面形成外螺紋。上述pin井禺合器430呈才弟形，下端有插入突出物430a，直^f聖小 於上端直徑。上述插入突出物430a呈橢圓形，小於第一起模針426a 的收納槽428,以1更於插在該收納槽428中。其中，上述收納槽428和插到該收納槽428的pin耦合器430 的插入突出物430a，相隔相當於"《"的適當距離，該間隙在lmm 左右。因此，插入上述收納槽428的pin耦合器430，在1 mm左右 的範圍內朝前後左右的水平方向移動。上述pin耦合器固定件432，其下部開口的圓筒形下部內柱面 形成內螺紋，以Y更於通過位於上述第一起才莫4十426a的外柱面的外 螺紋所固定，在上部中央形成穿孔，以便第二起模針426b插入。其中，上述pin耦合器固定件432固定在第二起才莫4十426b的最 頂端，以防插入第二起^f莫針426b的收納槽428的pin耦合器430脫落。18上述第二起模針426b是一種立式針，上述pin耦合器430的上 部中央有孔，上述第二起才莫針插入該孔，其最底端插到pin耦合器 430的中央，通過螺旋連接或強制插入的方式固定。《實施例5》本實施例的起模針520如圖15所示，先將pin外殼522插入朝 厚度方向形成一定間隔貫穿而成的插入孔514a之後，將下部電招_ 514才翁入上述pin夕卜殼522中。上述起才莫針520呈立式針形狀，插入pin外殼522中心部的狀 態下升降，而上述pin外殼插在上述下部電極514的插入孑L514a中。上述pin外殼522在上述下部電極514和基4反S 4妄觸的空間形 成一個通道，以4吏氦氣及空氣流入該4妄觸空間，其中央有孔，該3L 的內徑與上述起模針520的外徑相應(內徑是尺寸，所以不能當作 部件，其外柱面下端形成法蘭狀的擴展部522a，上述擴展部522a 的上面兩端具備一對以中心點為準相對的間隔突出物522c。上述pin外殼522如圖16所示，從外柱面的上端到上述擴展部 522a的上面，凹槽522b呈》支射狀，在本實施例中其悽t量為8個， 但是實際操作中其數量是可以增減的。上述間隔突出物522c的作用是，讓pin外殼522與上述下部電 極514的底面隔離，待氣體流入下部電極514和pin外殼522之間 的空間之後，順著上述pin外殼522的凹槽522b,供應到基板S和 下部電才及514的接觸空間。最終，在上述基^反S和下部電才及514的4妄觸空間壓力與基才反S 外部壓力相等的情況下，該基板S上升，所以，基板S在不受任何 損傷的情況下容易裝卸。尤其是上述凹槽522b，雖然附圖中未圖示，但是能夠在pin外 殼522的內^主面呈力文射習犬。因此，通過本實施例的起模針模塊，對基板進行釋》文 (dechucking)的過程中，為了防止因為與承載上述基板S的下部 電極514的接觸部位的壓力差而基板S受損的現象，連接上述起才莫 針520夕卜部的pin夕卜殼522，形成》文射狀凹槽522b,而上迷擴展部 522a形成間隔突出物522c，在下部電才及514產生間隙的狀態下，氣 體或空氣通過上述凹槽522b，從基玲反S和下部電極514之間進入，壓力是相等的。換言之，在上述基板S和下部電極514之間的空間壓力與基4反 S的外部壓力相等的狀態下，使基板S上升，所以該基板S的裝卸 很容易。另外，本實施例的起模針模塊的變更例如圖17所示，由起模 針520'和pin外殼522'組成，上述pin外殼522'上形成一個通道，以 使氦氣及空氣流入上述下部電極514和基板S的接觸空間。換言之，上述pin外殼522'的中心有孔，該孔的內徑相當於上 述起模針520'的外徑，而外柱面下端形成法蘭狀的擴展部522a',從 外柱面上端到上述擴展部522a周邊的彎曲型凹槽522b'呈放射狀， 本實施例中的數量為8個，但是實際操作中其數量是可以增減的。最終，即使上述pin外殼522'的擴展部522a'上面緊貼著下部電 極514的底面，因為有了從上述擴展部522a'的周邊上端連接到上面 的凹槽522b'，在基板S和下部電極514之間得以供應氣體及空氣。《實施例6》如圖18或圖19所示，內部由真空搶室600和電4及部610組成。 其中，真空論室600:在高真空狀態下，對基玲反進行工藝處理。電 才及部610:位於上述真空搶室600的下側，上面承載基板S。此時， 上述電才及部610內裝配靜電卡盤(未圖示)。此夕卜，與原有技術不同，針板622、 632由中心4反632和護邊 板622組成。其中，中心板632:與提升基板S中心的起模針630 組合。護邊板622:與提升基板S邊緣的起模針620組合。上述針 板通過脫粒滾筒軸624、 634連接驅動裝置626、 636,獨立提升上 述起才莫針620、 630，其中，上述脫粒滾筒軸624、 634單獨與上述 中心^反及護邊^反622、 632組合。此時，上述驅動裝置626、 636的控制器640實現電連接，利 用上述控制器640，隔一革殳時間4是升上述中心4反632和護邊板622， 而且上述驅動裝置上裝配閉合電3各(未圖示)，即先^R升上述護邊 板622後，再提升上述中心板632,而上述閉合電路最好讓中心板 632的升降速度高於護邊4反622的升降速度。因為上述護邊板622 先於中心板632提升，所以，當基板S達到頂點時，使上述基板保 持平衡。下面，結合圖20a或圖20b，說明本實施例的基板提升方法。參照圖20a或圖20b， 4寺等離子體完成工藝處理之後，#4居與 上述驅動裝置636電連接的控制器640信號，先提升護邊板622， 那麼基板被放電，從而上述基板的邊緣部提升，與此同時，上述控 制器啟動驅動裝置626，提升上述中心板622。由於上述護邊板622 先於中心板632提升，所以，為了上述中心4反632和護邊板622達 到頂點時能夠保持平衡，讓上述控制器640控制提升速度。《實施例7》本實施例的每個起模針724都延伸至艙室710的下側棵露，通 過棵露的該起模針724的底面所固定的板730同時升降，為了包圍 淨果露的部位，裝配一個內側風箱(Bellows: 732),該風箱從兩端包 圍上述起模針724的狀態下，分別固定在電極部714和板730上。而且，上述內側風箱732的外側也裝配了風箱732，該外側風 箱732在兩端^皮固定的狀態下，位於艙室710下壁和玲反730之間。換言之，上述內側風箱732的作用是，在包圍起才莫針724的狀 態下，維持起模針孔和板730之間的空間氣密性的同時，實現互通。 而且，外側風箱732的作用是，在包圍內側風箱732的狀態下，保 持艙室710下壁和板730之間的空間氣密性。接著，上述每個起模針孔的內部通過內側風箱732連接到板 730。在該才反730上形成穿孔，並裝配每個穿孔都能互通的泵送管 744，該泵送管744的尾端裝配了高真空泵740。該高真空泵740的 前端-泵送管744線上有高真空緩沖罐742，而上述高真空緩衝罐742 的前端-泵送管744線上裝配了開關閥門746。上述高真空泵740的價格昂貴，因此，可以用價格比較低廉的 真空泵來取代，該高真空泵位於泵送管744的尾端，並始終處於工 作狀態，以使上述高真空緩沖罐742內部維持高真空狀態。上述高真空緩衝罐742，通過泵送管744,讓每個起模針孔實 現連通，並位於上述泵送管744線上，只有工藝氣體通過起模針孔 流入搶室710時打開開關閥門746，由此在該起模針孔上維持高真 空狀態。換言之，上述高真空泵740始終處於工作狀態，所以，與其鄰 接的高真空緩衝罐742內部也保持高真空狀態。然後，工藝氣體流 入搶室710內部的同時，通過泵送管744線上的開關閥門746開》文 高真空緩衝罐742。這樣，在每個起模針孔內部，高真空緩沖罐742 可以維持高真空狀態，工藝氣體不能滲入處於高真空狀態的起模針 孑L內部。因此，本實施例的起模針，為了在處理基板S的過程中，防止 流入上部電極(未圖示)的工藝氣體滲入電極部714的起才莫針孔內， 並在該起模針孔內產生異常放電，從而引起孤化(Arcing)的現象， 起模針上配備了泵送管744,以使每個起模針孔與內部互通。然後， 每個泵送管744與一個泵送管744連通，該泵送管744的尾端有高 真空泵740及高真空緩衝罐742。而且，高真空緩沖罐742的前端 配備開關閥門746。換言之，上述每個起模針孔都連接泵送管744,而通過始終處 於工作狀態的高真空泵740實現互通的高真空緩沖罐742內部，將 繼續維持高真空狀態。因此，對基板S進行工藝處理時，當工藝氣 體通過上部電極流入搶室710時，打開開關閥門746,因為所開》文 的高真空緩沖罐742內部保持高真空狀態，所以，起模針孔內部也 形成高真空，工藝氣體不能滲入起模針孔內，從而防止異常放電的 現象。接著，當上述工藝處理結束之後，工藝氣體停止流入，就關閉 位於泵送管744線端的開關閥門746，在保持高真空泵740的工作 狀態下，再把高真空緩沖罐742內部保持高真空狀態。本發明的平板顯示器製造設備的起模針模塊具有防止異常放 電現象的作用。在幾個上、下部起模針中，上部起模針上安裝有十 字形承載板，以此與下部電極的上部連接。在此上部起才莫針和下部起模針安裝彈性部件，向下方移動下部起模針時，上部起模針也同 時向下移動，上述起模針孔受承載板作用，以垂直狀態與彈性部件 緊密連4妄，從而防止工藝氣體的滲透。在上述下部電極上的插入部件的起模針孔上安裝承載板，使 上、下部起模針和下部電極連接，所以不產生溫差及電壓差就轉移，具有可以防止因溫差及電壓差引起的基板汙點(Mura)的作用。而且本發明中的起模針板和外殼內部安裝有彈性部件及緩衝 彈簧，具有抑制起模針板和外殼的反覆接觸引起的顆粒產生的作 用。本發明還具有以下優點起模針上端的接觸面積雖小，但可支 撐基板的寬部分，從而在基板的升降過程中，避免基板受損；使用 1更於加工的固定塊，阻擋起才莫針和穿針孔之間的空間，乂人而防止工 藝氣體或冷卻氣體滲透至穿針孔。而且在本發明的起模針在工藝處理中，具有與下部電極不發生 溫差及電壓差，乂人而不產生汙點，可支撐基才反的中央部位的優點。本發明的平板顯示器製造設備的起模針才莫塊還具有防止基4反 破損的作用。在釋放基板時，向基板和下部電極的接觸空間供給氣 體或空氣，使上述基板下部和基板上部的壓力相同的狀態下，上升 基板，從而防止因壓力差導致基板破損。本發明利用幾個驅動裝置，使邊緣部和中心部的起模針升降時 間不同的情況下提升基板，從而防止中心部位產生局部低壓，並在 穩定狀態下提升基才反，具有防止基4反破損的作用。在本發明中，直到工藝處理結束，始終防止工藝氣體滲透至起 模針孔，從而起到防止異常放電引起的弧化(Arcing)現象的作用。
權利要求
1.一種基板處理裝置，包括下部電極，基板置於其上；以及起模針模塊，具有起模針，所述起模針穿過形成於所述下部電極上的穿針孔上下運動以支撐所述基板，以及固定塊，所述固定塊插入並固定到所述穿針孔的上部以打開/閉合所述穿針孔的上部，其中所述固定塊具有與所述起模針的上端相對應的細孔，所述起模針的上端穿過所述細孔上下運動。
2. 根據權利要求1所述的裝置，其中所述起模針上端的截面呈分 支狀。
3. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述起模針上端的截面 呈"一"字型。
4. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述起模針上端的截面 呈"十，，字型。
5. 根據權利要求1或2所述的裝置，還包括與所述起模針耦合以 上下移動所述起模針的針驅動裝置。
6. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述固定塊由與所述下 部電極相同的材料製成。
7. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述穿針孔的上部呈階 梯狀。
8. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述穿針孔的上部越往 下走變得越窄，所述固定塊緊密地插入所述穿針孔的上部。
9. 根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述起模針的上端可分 離地連接至所述起才莫針的下端。
10. —種基板處理裝置，包括下部電極，基板置於其上；以及起模針模塊，具有起模針，所述起模針分別穿過形成於 所述下部電極上的穿針孔上下運動以支撐所述基板，以及固定 塊，所述固定塊插入並固定到所述穿針孔的上部以打開/閉合 所述穿針孔的上部，其中所述固定塊具有與所述起模針的上端相對應的細 孑L,所述起^t針上端分別穿過所述細孔上下運動，其中所述起模針包括第一起模針，其呈與所述下部電極 的一側平行並與所述下部電極的該側相鄰的直線狀布置，以及 第二起才莫針，其i殳置於所述下部電才及的中心區域上，所述第一起模針的上端截面呈"一"字型，且與所述下 部電4及的一側平4亍。
11. 根據權利要求IO所述的裝置，其中所述第二起模針的上端截 面呈"十"字型。
全文摘要
本發明提供一種起模針模塊，為了防止工藝氣體在工藝過程中通過起模針孔滲入，引發異常放電的現象，該起模針模塊具備起模針，該起模針緊貼著位於下部電極的起模針孔。
文檔編號H01L21/00GK101261953SQ200810085709
公開日2008年9月10日 申請日期2006年5月9日 優先權日2005年5月9日
發明者任相俊, 孫亨圭, 尹炳五, 崔浚泳, 李升昱, 李昌根, 李禎彬, 李榮鍾, 金春植, 金炯壽, 金龍泰, 黃榮周 申請人:愛德牌工程有限公司