一種用於不同型號探針臺的Map圖轉換方法
2023-07-22 14:55:11
專利名稱：一種用於不同型號探針臺的Map圖轉換方法
技術領域：
本發明涉及到集成電路的晶圓測試時不同探針臺之間測試Map圖共享，屬於集成電路測試技術領域。
背景技術：
由於集成電路製造工藝的不斷進步，晶圓直徑達到了 300mm，管芯的線條達90nm 或更微細、晶片面積更小，一枚晶圓上可以製作萬個以上管芯；對管芯的測試由測試系統和探針臺(Prober)經過精密對接共同完成，通過晶圓測試對所有管芯進行分類即失效的管芯和合格的管芯、或需要修復的管芯；為了滿足先進的工藝和自動化的要求，現在很少用墨點來區分管芯的好與壞，而是採用電子式Map圖，該Map圖是探針臺在測試過程中自動生成的。Map圖不僅記錄著管芯的好與壞還記載著被測管芯的其它測試狀態信息；把測試過的晶圓和電子式Map圖同步傳遞到下一道工序，比如把Map圖輸入，該工序的設備就能自動完成操作，真正做到了生產線自動化，因此Map的生成和應用很重要。由於國際上還沒有制定探針臺的Map圖格式文件通用標準，所以不同類型的探針臺生成的Map圖格式及信息存在差異，探針臺之問也不能相互讀取。EG4000系列(適應直徑200mm晶圓測試)的探針臺是美國伊智(Electroglas)公司製造的，推向市場較早，該系列探針臺在全球的工藝線上擁有量較多，也是行業內最大設備供應商之一。UF200系列(適應直徑200mm晶圓測試)探針臺是日本東京精密(TSK)公司製造的，UF200探針臺具有運行速度快、時間短，精度高，操作靈活等優點，該公司近幾年技術發展快，產品市場份額不斷提高，逐漸成為業內最主流的探針臺。因此，EG4000探針臺和 UF200探針臺是目前裝機量最大的兩類探針臺。兩種類型探針臺同時運行在測試生產線上，鑑於測試生產項目的需求，一款產品經常需要兩種探針臺參與測試，會生成不同格式的兩種Map圖，不能相互讀出，一款被測產品自始至終只能選擇同一類型探針臺進行測試，常常出現設備調度難題，嚴重影響著生產
線的產量。
發明內容
本發明基於上述的需求，通過解析兩種探針臺的Map圖文件格式及存儲信息，再對UF200探針臺的Map圖的信息進行提取，然後按EG4000的Map圖格式進行寫入；該方法實現了 UF200探針臺到EG4000探針臺的Map圖轉換，本發明解決了兩種類型探針臺無縫讀取Map圖並進行分析，提高了設備利用率，節省了資金，擴大了生產。本發明所採用的技術方案是兩種類型款探針臺生成的Map圖文件開頭文件部分，信息不完全一致，同時排列順序也不盡相同。因此在生成新的EG4000Map圖文件時需要根據其格式要求，從UF200頭文件中篩選並補充UF200探針臺不包含的信息。
UF200探針臺的Map圖文件存儲坐標數據的方式為對圓形晶圓的外切正方形內所有區域進行管芯規格尺寸的分解，產生最大行數乘以最大列數的分解單元(其中包括實際管芯和虛擬管芯)，再將每個分解單元從左到右，從上到下的順序逐一寫進Map圖文件中，信息主要包括管芯的X、Y坐標、是否測試及其測試結果(Not Tested/Pass Die/Fail Die)、測試結果BIN值以及測試管芯屬性等。EG4000Map圖中數據存儲特點是以行為單位進行存儲的。它只記錄有效管芯信息， 首先記錄每一行行頭的Χ、γ坐標以及管芯個數，再依次將其BIN值羅列出來，然後按上述方法將下一行信息記錄，直到最後一行信息記錄完成。為了能夠把UF200提供的離散信息整合成EG4000探針臺認可的行信息，採用十六進位模式打開UF200Map圖文件，按照UF200探針臺設定的數據格式和長度將頭文件和每個管芯的主要參數提取出來放到自定義模塊數組中，然後對該數組中的管芯信息進行判斷， 再根據EG4000的數據格式提取從左到右第一個有效管芯的坐標，計算該行的有效管芯數量，並將屬於同一行的有效管芯B IN值串聯並保存以備寫入EG4000Map文件時調用，再依序將數組信息寫入目標文件中，最後將指向文件以及路徑設為EG4000探針臺能夠辨識輸出的狀態。採用上述方案，進行了轉換，經使用已驗證其真實可靠，雖然因為兩種類型探針臺 Map圖顯示軟體在色彩顯示上有所差異，但是轉換前後的結果完全一致。
下面結合附圖和具體實施方案做進一步說明圖1UF200與EG4000MAP圖頭文件對應關係示意2UF200系列Map圖管芯信息存儲示意3EG4000系列Map圖管芯信息存儲示意 4UF200 原始 Map 5轉換後的EG4000Map圖
具體實施例方式下面通過實例詳細說明本發明的方法首先解剖兩種探針臺的文件格式與信息。UF200與EG4000MAP圖頭文件對應關係如圖1所示，兩款探針臺生成的Map圖文件在頭文件部分，信息不完全一致，同時排列順序也不盡相同。UF200Map圖存儲管芯信息如圖2所示，bin值為1表示為合格管芯，bin 2為某測試項失效管芯；Not Tested為沒有經過測試的虛擬管芯和標記管芯，XY表示為管芯坐標，Pass Die表示為合格管芯，Fail Die表示為失效管芯，Marking Die表示為管芯測試屬性；，Probing Die表示為管芯測試屬性。EG4000Map圖管芯信息存儲示意圖如圖3所示，數據存儲特點是以行為單位進行存儲。它只記錄有效管芯信息，首先記錄每一行行頭的χ、γ坐標以及管芯個數，再依次將其 BIN值羅列出來，然後按上述方法將下一行信息記錄，直到最後一行信息記錄完成。其次，編寫軟體進行轉換。
UF200的Map圖文件存儲坐標數據的方式可以描述為對圓形wafer的外切正方形內所有區域進行die尺寸的分解，產生最大行數乘以最大列數個的分解單元(其中包括實際管芯和虛擬管芯)，再將每個分解單元從左到右，從上到下的順序逐一寫進Map圖文件中，信息主要包括X、Y坐標，是否測試及其結果(Not Tested/Pass Die/Fail Die)，測試結果BIN值，以及測試管芯屬性等。根據UF200提供的離散信息，將每個管芯的主要參數提取出來放到自定義模塊數組中，然後對該數組中的管芯信息進行判斷，提取從左到右第一個有效管芯的坐標，計算該行的有效管芯數量，並將屬於同一行的有效管芯BIN值串聯整合成EG4000所認可的行信息，並保存以備寫入EG4000Map文件時調用；再依序將數組信息寫入目標文件中，最後將指向文件以及路徑設為EG4000探針臺能夠辨識輸出的狀態。對一枚測試過的晶圓進行Map圖轉換，UF200原始Map圖(由MapEditor V01. 08 軟體讀取)如圖4所示。同一片wafer轉換後的EG 4000Map圖(由EG Map Magic V6. 1 軟體讀取)如圖5所示。對圖4、圖5進行對比，雖然兩款探針臺Map圖顯示軟體在色彩顯示上有所差異，但是轉換前後的結果完全一致。
權利要求
1. 一種用於UF200探針臺到EG4000探針臺的Map圖轉換方法，其特徵在於包括如下步驟採用十六進位模式打開UF200Map圖文件，按照UF200探針臺設定的數據格式和長度將頭文件和每個管芯的主要參數提取出來放到自定義模塊數組中；根據EG4000的數據格式提取從左到右第一個有效管芯的坐標，計算該行的有效管芯數量，並將屬於同一行的有效管芯BIN值串聯並保存以備寫入EG4000Map文件時調用；再依序將數組信息寫入目標文件中，最後將指向文件以及路徑設為EG4000探針臺能夠辨識輸出的狀態。
全文摘要
本發明公開了一種用於UF200探針臺到EG4000探針臺的Map圖轉換方法，通過解析兩種探針臺的Map圖文件格式及存儲信息，再對UF200探針臺的Map圖的信息進行提取，然後按EG4000的Map圖格式進行寫入；該方法實現了UF200探針臺到EG4000探針臺的Map圖轉換。本發明解決了兩種類型探針臺無縫讀取Map圖並進行分析，提高了設備利用率，節省了資金，擴大了生產。
文檔編號G01R31/28GK102324086SQ20111011930
公開日2012年1月18日 申請日期2011年5月10日 優先權日2011年5月10日
發明者佘博文, 吉國凡, 孫昕, 張琳, 王慧, 石志剛, 金蘭 申請人:北京確安科技股份有限公司