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用於平臺調平的隔震機構的製作方法

2023-08-11 17:51:31 2

用於平臺調平的隔震機構的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種用於平臺調平的隔震機構,所述平臺(10)設置在半導體設備的機櫃(2)中,其中,所述隔震機構安裝於所述機櫃(2)中的框架(9)上,並包括支撐所述平臺(10)的多個隔震單元(1),每個所述隔震單元(1)包括連接板(6),其支撐所述平臺(10);安裝座,所述連接板(6)可調節高度地安裝於所述安裝座上;隔震元件(8),其設置於所述安裝座和所述框架(9)之間。本實用新型將「調節平臺水平」和「地腳調節櫃體」有利地分隔開,能夠更好地實現不同功能,並且可以實現平臺與框架之間的隔振,效果良好。
【專利說明】用於平臺調平的隔震機構
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體設備機櫃的調平,尤其涉及一種用於機櫃中平臺調平的隔震機構。
【背景技術】
[0002]在大型半導體設備的調平(調整水平)過程中,一方面需要調整半導體設備的整個機櫃的櫃體與地面垂直,如果有與機櫃連接的另一個設備,還需要調整櫃體與另一個設備保持平行,這通常是通過調節櫃體的各個地腳來實現的。另一方面,機櫃中的平臺同樣需要調整水平,如果依靠調節地腳來調節平臺水平是不可行的。這是因為平臺的左右重量不一樣,進而造成平臺下的隔振器的壓縮量不同,再加上加工誤差,平臺與櫃體通常不是垂直關係。因此,如果把櫃體調整為與地面垂直,那麼平臺必定不水平,如果把平臺調整水平,那麼櫃體必定與地面不垂直。所以需要把這兩個調節獨立開來。
實用新型內容
[0003]為此,本實用新型的目的在於提供一種用於平臺調平的隔震機構,將櫃體的垂直調整與平臺的水平調整分隔開,同時有效地將平臺的振動與櫃體隔離。
[0004]上述目的可通過以下技術方案來實現:提供一種用於平臺調平的隔震機構,所述平臺設置在半導體設備的機櫃中,其中,所述隔震機構安裝於所述機櫃中的框架上,並包括支撐所述平臺的多個隔震單元,每個所述隔震單元包括:連接板,其支撐所述平臺;安裝座,所述連接板可調節高度地安裝於所述安裝座上;隔震元件,其設置於所述安裝座和所述框架之間。
[0005]根據一種實施方式,所述安裝座包括連接杆座和從所述連接杆座垂直向上延伸出的連接杆。
[0006]進一步地,所述連接板的一端上設有通孔,所述連接杆穿過所述通孔並通過鎖緊元件將所述連接板鎖緊在所述連接杆上,所述連接板的另一端支撐所述平臺的底部。
[0007]根據一種優選實施方式,所述連接板被構造為Z形,包括沿相反方向平行延伸的一對水平部和連接所述一對水平部的豎直部,其中所述一對水平部分別與所述連接杆連接以及支撐所述平臺的底部,所述豎直部抵接所述平臺的側面。
[0008]有利地,所述連接板通過緊固元件與所述平臺固定連接。這裡的固定連接可通過本領域技術人員熟知的任意方式來實現,例如所述緊固元件可包括螺釘、膠水等。
[0009]有利地,所述連接杆上設有外螺紋,所述鎖緊元件為套接於所述連接杆上的螺母。
[0010]進一步地,所述螺母可包括位於所述連接板下方的調節螺母和位於所述連接板上方的鎖緊螺母。
[0011]可選地,所述隔震元件為橡膠。
[0012]通過對本實用新型技術方案的概述,不難看出本實用新型的隔震機構至少具有以下有益效果:[0013]1、將「調節平臺水平」和「地腳調節櫃體」有利地分隔開,更好地實現不同功能;
[0014]2、通過擰動調節螺母,可以調節平臺的水平,調整完畢後,可以用鎖緊螺母鎖緊,操作簡便;
[0015]3、可以實現平臺與框架之間的隔振,效果良好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]本實用新型的更多特徵及優點將通過下面結合附圖對【具體實施方式】的進一步詳細說明來更好地理解。附圖中:
[0017]圖1是半導體設備機櫃的示意圖,示出了根據本實用新型一種實施方式的隔震機構;
[0018]圖2是圖1中隔震機構的放大視圖。
【具體實施方式】
[0019]下面將對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。
[0020]首先參見圖1,其示出了半導體設備機櫃,在對機櫃進行水平和垂直調整的過程中,可通過機櫃底部的各個地腳3來調節櫃體2與地面保持垂直,然後再通過設置於櫃體2中框架9上的隔震機構將櫃體2中的平臺10調整為與地面保持水平。其中,有利地是,隔震機構包括沿平臺10的周邊設置的多個隔震單元1,圖中僅示例性示出一個,舉例來說,可在平臺10的相對兩個側面設置兩個隔震單元1,或者可在平臺10的四個角部設置四個隔震單元I。以這種方式,將櫃體2的垂直調整與平臺10的水平調整分隔開,兩者互不影響,從而有利地確保調整的精確性和可靠性。此外,隔震單元I能夠將平臺10的振動與框架9隔離,起到了很好的隔振效果。
[0021]具體參見圖2,其示出了隔震單元I的一種示例性結構。根據該實施方式,用於平臺調平的隔震機構的隔震單元I包括支撐平臺10的連接板6、將連接板6可調節地安裝固定的安裝座,以及設置在所述安裝座和框架9之間的隔震元件8。在該實施方式中,所述安裝座包括連接杆座41和從所述連接杆座41垂直向上延伸出的連接杆42,連接板6的一端上設有通孔61,所述連接杆42可穿過所述通孔6並可通過鎖緊元件將所述連接板6鎖緊在連接杆42上,所述連接板6的另一端則支撐平臺10的底部。
[0022]所述連接板6可被構造為任意適合的形狀,只要能夠對平臺10起到穩固支撐的作用,例如平板型、L型等。根據一種優選實施方式,如圖2所示的,所述連接板6可被構造為與平臺表面更為貼合的Z形,包括沿相反方向平行延伸的一對水平部,即第一水平部62和第二水平部63,以及連接所述一對水平部的豎直部64,其中第一水平部62與所述連接杆42連接,第二水平部63支撐所述平臺10的底部,所述豎直部64抵接所述平臺10的側面。為了進一步穩固支撐平臺10,還可通過例如螺釘、膠水等將連接板6與平臺10固定連接。
[0023]在圖2的實施方式中,所述連接杆42上還可設有外螺紋,所述鎖緊元件為套接於所述連接杆42上的螺母,包括位於連接板6下方的調節螺母7和位於連接板6上方的鎖緊螺母5。
[0024]由於上述布置,平臺10的重量幾乎完全施加在連接板6上,並進而施加在連接板6下方的調節螺母7上,調節螺母7與連接杆座4通過螺紋連接,這樣平臺10的重量進一步施加在連接杆座4上。連接杆座4下方設置有隔震元件8,隔震元件8安裝在框架9上。這樣,隔震元件8能夠有效地將平臺10的振動與框架9隔離,平臺10產生的振動通過連接杆座4傳遞到隔震元件8,並被隔震元件8吸收,從而振動不會傳遞到框架9,避免了對框架9及相關部件的不利影響。隔震元件8可由任意的合適材料製成,例如橡膠。
[0025]將平臺10的四個角部分別設置一個隔震單元I是最佳的。通過採用例如扳手等裝置來擰動四個調節螺母7,就可以調整平臺10的高度,從而調節平臺10相對於地面保持水平。將平臺10調節至適當位置後,將各個鎖緊螺母5擰緊,即可完成平臺10的水平調整。
[0026]本實用新型的技術內容及技術特點已揭示如上,然而可以理解,在本實用新型的創作思想下,本領域的技術人員在沒有做出創造性勞動的前提下可以對上述機構作各種變化和改進,但都屬於本實用新型的保護範圍。上述實施例的描述是例示性的而不是限制性的,本實用新型的保護範圍由權利要求所確定。
【權利要求】
1.用於平臺調平的隔震機構,所述平臺(10)設置在半導體設備的機櫃(2)中,其特徵在於,所述隔震機構安裝於所述機櫃(2)中的框架(9)上,並包括支撐所述平臺(10)的多個隔震單元(1),每個所述隔震單元(1)包括: 連接板出),其支撐所述平臺(10); 安裝座,所述連接板(6)可調節高度地安裝於所述安裝座上; 隔震元件(8),其設置於所述安裝座和所述框架(9)之間。
2.根據權利要求1所述的隔震機構,其特徵在於,所述安裝座包括連接杆座(41)和從所述連接杆座(41)垂直向上延伸出的連接杆(42)。
3.根據權利要求2所述的隔震機構,其特徵在於,所述連接板(6)的一端上設有通孔(61),所述連接杆(42)穿過所述通孔(61)並通過鎖緊元件將所述連接板(6)鎖緊在所述連接杆(42)上,所述連接板(6)的另一端支撐所述平臺(10)的底部。
4.根據權利要求3所述的隔震機構,其特徵在於,所述連接板(6)被構造為Z形,包括沿相反方向平行延伸的一對水平部(62,63)和連接所述一對水平部(62,63)的豎直部(64),其中所述一對水平部(62,63)分別與所述連接杆(42)連接以及支撐所述平臺(10)的底部,所述豎直部(64)抵接所述平臺(10)的側面。
5.根據權利要求4所述的隔震機構,其特徵在於,所述連接板(6)通過緊固元件與所述平臺(10)固定連接。
6.根據權利要求3所述的隔震機構,其特徵在於,所述連接杆(42)上設有外螺紋,所述鎖緊元件為套接於所述連接杆(42)上的螺母(5,7)。
7.根據權利要求6所述的隔震機構,其特徵在於,所述螺母(5,7)包括位於所述連接板(6)下方的調節螺母(7)和位於所述連接板(6)上方的鎖緊螺母(5)。
8.根據權利要求1所述的隔震機構,其特徵在於,所述隔震元件(8)為橡膠。
【文檔編號】F16F15/02GK203477777SQ201320533959
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年8月29日 優先權日:2013年8月29日
【發明者】劉紅軍 申請人:睿勵科學儀器(上海)有限公司

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