一種倒角設備的送料機構的製作方法
2023-08-01 16:59:36 1
專利名稱：一種倒角設備的送料機構的製作方法
一種倒角設備的送料機構技術領域
本發明屬於半導體材料生產技術領域，尤其是涉及一種倒角設備的送料機構。
背景技術：
半導體材料的加工都需要用到倒角設備，現有的技術中倒角設備的送料機構一般均採用單盒送料方式，料盒內的矽片送到輸送帶的方法是料盒下降一個間距，間距大小與料盒每層間距有關，提前測量出來，把數據輸入觸控螢幕；電容式接近開關檢測確認矽片是否到位，如果未到位，則再下降一個間距，如果到位，輸送帶運轉，將矽片送出。該上料方式存在以下問題矽片送到輸送帶上的精度較低，其原因有精度受矽片盒層間距的影響、受片盒外形尺寸影響、受矽片形狀影響、同時還受電容式接近開關特性的影響，電容式近接開關在檢測矽片時，由於諸多因素，檢測精度大約在2_左右，精度低了，容易出現矽片輸送不暢快、矽片損壞、需要人為幹預機率較多等問題，使得人工上料頻繁，如操作人員同時操作多臺設備，還容易出現上料不及時的情況。發明內容
本發明要解決的問題是提供一種能實現多盒在線存儲送料的倒角送料機構。
為解決上述技術問題，本發明採用的技術方案是一種倒角設備的送料機構，包括料盒、託板、旋轉託架、旋轉電機、導杆、升降臺、滾珠絲槓、步進電機和光纖式光電感應開關，所述料盒有四個，均位於所述託板上，所述料盒上設有所述光纖式光電感應開關，所述託板下設有所述旋轉託架和旋轉電機，所述旋轉託架與所述旋轉電機相連；所述託板下還設有三根所述導杆，所述導杆下端均固定在所述升降臺上，所述升降臺與所述滾珠絲槓通過滾珠螺母連接，所述滾珠絲槓與所述步進電機相連。
進一步，所述料盒呈矩形，每個所述矩形料盒的一邊開有一個傳送口，所述開有傳送口的矩形邊的對邊為底邊，其餘兩邊為鄰邊，所述每個料盒的底邊與另一個料盒的鄰邊相鄰，每兩相鄰料盒的傳送口開口方向相差90度。
優選的，所述光纖式光電感應開關為CMOS雷射傳感器。
本發明具有的優點和積極效果是由於採用上述技術方案，能使倒角機實現四料盒送料功能，不受矽片盒層間距的影響、不受片盒外形尺寸影響、不受矽片形狀影響，高精度CMOS雷射傳感器都能精確測量矽片是否到位，測量精度誤差〈O. 2MM,由於精度提高，使得矽片輸送更加暢快，杜絕因為檢測精度低導致的矽片破損問題，大大減少了人為幹預機率，從而提高設備精度、設備自動化程度，達到提高生產效率、降低人工成本的目的。
圖1是本發明的結構示意圖
圖中
I、料盒2、傳送口3、CMOS雷射傳感器
4、託板5、旋轉託架6、旋轉電機
7、滾珠絲槓8、步進電機9、導杆
10、升降臺具體實施方式
如圖1所示，本發明包括料盒I、託板4、旋轉託架5、旋轉電機6、導杆9、升降臺10、 滾珠絲槓7、步進電機8和光纖式光電感應開關3，料盒I有四個，均位於託板4上。料盒I呈矩形，每個矩形料盒I的一邊開有一個傳送口 2，開有傳送口 2的矩形邊的對邊為底邊，其餘兩邊為鄰邊，每個料盒I的底邊與另一個料盒I的鄰邊相鄰，每兩相鄰料盒I的傳送口 2開口方向相差90度。
料盒I上還設有CMOS雷射傳感器3，託板4下設有旋轉託架5和旋轉電機6，旋轉託架5與旋轉電機6相連；託板4下還設有三根導杆9，導杆9下端均固定在升降臺10上， 升降臺10與滾珠絲槓7通過滾珠螺母連接，滾珠絲槓7與所述步進電機8相連。
本實例的工作過程將四個矽片料盒I放到託板4上，其中一個料盒I對準輸送皮帶線，首先旋轉電機6將料盒I精確旋轉到上料位置，定位精度誤差〈O. 09度，重複精度誤差=0,旋轉定位後,步進電機8驅動滾珠絲槓7傳動，由升降臺10帶動導杆9、旋轉託架5、 託板4使料盒I連續下降，高精度CMOS雷射傳感器3檢測確認矽片是否到位，到位後減速下行，穩當、精確放到輸送帶上，輸送帶運轉，將矽片送出，直至此料盒I的矽片全部送出； 當工作位料盒I取空後，CMOS雷射傳感器3發出信號，將託板4上升至高位，此時旋轉電機 6將託板4旋轉90°，將另一個料盒I旋轉至工作位，繼續下降輸送矽片；如此反覆，直至四個料盒I全部取空後，發出報警信號，提示操作人員更換料盒I。
另外，本發明還設置了料盒安全開關4個，確保料盒由於某種意外原因導致傾斜時停機報警，以有效地保護盒中矽片。
本發明的電機控制裝置電機控制部分主要是採用了數字運動控制器、可編程控制器、伺服電機驅動器、伺服電機相結合的控制方法，數控器通過程序同時控制託架、導杆、 滾珠絲槓等多個軸的行程、速度、延遲等實現多種控制，配合伺服電機驅動器和伺服電機的使用，使得料盒運行的準確性和穩定性得到很好的保障。
本發明的調試軟體程序增加料盒旋轉和旋轉定位語句，同時設備的各部分控制具有手動和自動功能，並有狀態顯示，矽片旋轉倒角加工起始和停止位置可任意調整，速度可調，根據需要實現變速，一周(360° )加工在不同區間能實現不同速度。其次，運行出現問題時，指示燈和蜂鳴器報警，提醒操作人員處理，設備停止運行，同時報警內容在工控屏上指示報警內容和故障。
以上對本發明的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明的較佳實施例，不能被認為用於限定本發明的實施範圍。凡依本發明申請範圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬於本發明的專利涵蓋範圍之內。
權利要求
1.一種倒角設備的送料機構，其特徵在於包括料盒、託板、旋轉託架、旋轉電機、導杆、升降臺、滾珠絲槓、步進電機和光纖式光電感應開關，所述料盒有四個，均位於所述託板上，所述料盒上設有所述光纖式光電感應開關，所述託板下設有所述旋轉託架和旋轉電機，所述旋轉託架與所述旋轉電機相連；所述託板下還設有三根所述導杆，所述導杆下端均固定在所述升降臺上，所述升降臺與所述滾珠絲槓通過滾珠螺母連接，所述滾珠絲槓與所述步進電機相連。
2.根據權利要求I所述的送料機構，其特徵在於所述料盒呈矩形，每個所述矩形料盒的一邊開有一個傳送口，所述開有傳送口的矩形邊的對邊為底邊，其餘兩邊為鄰邊，所述每個料盒的底邊與另一個料盒的鄰邊相鄰，每兩相鄰料盒的傳送口開口方向相差90度。
3.根據權利要求I所述的送料機構，其特徵在於所述光纖式光電感應開關為CMOS雷射傳感器。
全文摘要
本發明提供一種倒角設備的送料機構，包括料盒、託板、旋轉託架、旋轉電機、導杆、升降臺、滾珠絲槓、步進電機和光纖式光電感應開關，所述料盒有四個，均位於所述託板上，所述料盒上設有所述光纖式光電感應開關，所述託板下設有所述旋轉託架和旋轉電機，所述旋轉託架與所述旋轉電機相連；所述託板下還設有三根所述導杆，所述導杆下端均固定在所述升降臺上，所述升降臺與所述滾珠絲槓通過滾珠螺母連接，所述滾珠絲槓與所述步進電機相連。本發明的有益效果是提高了設備精度、設備自動化程度，達到提高生產效率、降低人工成本的目的。
文檔編號B65H3/04GK102976123SQ20121049568
公開日2013年3月20日 申請日期2012年11月28日 優先權日2012年11月28日
發明者耿輝, 雷海雲, 張雪囡, 古元甲, 劉順玲, 邢玉軍 申請人:天津市環歐半導體材料技術有限公司