探針塊組件的製作方法
2023-08-02 04:31:31
專利名稱：探針塊組件的製作方法
探針塊組件
背景技術：
探針塊用於評價集成電路或其他電子設備，並且其包括在自動測試設備測試頭和正在接受評價的集成電路或電子設備之間提供接觸界面的探針。某些探針塊包括在測試頭和集成電路之間提供暫時性彈簧接觸界面的彈簧支承探針，這些探針塊被稱為彈簧探針塊。用於自動測試設備中的此類探針塊通常按照複雜且成本昂貴的工藝步驟由金屬棒料加工製成，這些工藝使得探針塊的孔和其他部件得以精確定位。例如，用手扳壓機以約 20磅的力將這些探針壓力配合到各孔中。有時，這些探針中的一個或多個會受到損壞，例如，當測試頭相對於正在接受評價的電子設備移動時。更換損壞的探針可能成本昂貴且耗費時間，因為必須將損壞的探針從其壓力配合到其中的孔中抽出或壓出。就探針塊而言，通常每條信號線設置一個探針，並且為每條信號線設置一個或多個探針作為參考或接地。在使用期間，至少一些探針必然需要一定程度的維護或甚至更換。 維護和/或更換探針通常需要使用手扳壓機或其他探針抽取裝置。相比已知的探針塊而言，成本低廉且易於維護的具有改善的探針塊將受到採用自動測試設備進行電路測試的人員的歡迎。
發明內容
一方面提供一種包括塊體和端接至同軸連接器的電纜的探針塊組件，所述同軸連接器被構造為與多個插入塊體的探針電連通。該同軸連接器包括連接器信號觸點，其被構造為以可分離方式連接至能夠插入塊體孔隙中且與塊體絕緣的第一探針；和彈性接地杆， 其被構造為將插入塊體的一個或多個第二探針共同接地。
本文所包括的附圖提供對本發明實施例的進一步理解，並且附圖被併入並構成說明書的一部分。這些附圖對本發明的實施例進行圖解，並且與說明書一起用於解釋各種實施例的原理。參考以下的詳細描述，本發明的其他實施例和實施例的許多預期的優點變得更好理解，將容易領會。附圖中的元件未必相對於彼此按比例繪製。類似的附圖標記指定相應的類似的部件。圖1為根據一個實施例的探針塊組件的分解透視圖，該探針塊組件包括能夠插入塊體的同軸連接器組件。圖2為圖1中所示同軸連接器組件的分解透視圖。圖3為圖1中所示塊體的接地板的透視圖。圖4為圖1中所示塊體的絕緣殼體的透視圖。圖5為圖1中所示探針塊組件組裝時的透視圖。圖6A為沿圖5中所示線條6A-6A截取的組裝的探針塊組件的示意性剖視圖。圖6B為連接至塊體的同軸連接器組件的放大視圖。
圖6C為圖5中所示組裝的探針塊組件的一部分的示意性剖視圖。圖6D為圖5中所示組裝的探針塊組件的仰視透視圖。圖7為根據一個實施例的同軸連接器組件的剖視圖，該同軸連接器組件接觸塊體並將插入塊體中的一個或多個第二探針共同接地。圖8為根據另一個實施例的同軸連接器組件的剖視圖，該同軸連接器組件接觸接地探針插口並將插入接地探針插口的探針共同接地。圖9為根據另一個實施例的同軸連接器組件的剖視圖，該同軸連接器組件接觸插入塊體中的接地探針並將這些接地探針共同接地。圖10為探針塊組件的剖視圖，該探針塊組件包括插入塊體中的電源探針和被構造為將插入塊體中的一個或多個其他探針共同接地的同軸連接器組件。
具體實施例方式在以下的具體實施方式
中參考形成本發明的一部分的附圖，在附圖中以舉例說明的方式顯示可以實施本發明的具體實施例。就這一點而言，諸如「上」、「下」、「前」、「後」、「前部」、「尾部」等之類的方向性術語是參考所描述的圖的取向使用。因為實施例的組件可以許多不同的取向設置，所以方向性術語用於舉例說明的目的而絕不限制本發明。應當理解，可以採用其他的實施例，並且在不脫離本發明範圍的情況下可以進行結構或邏輯的改變。因此，不應將以下詳細描述視為具有限制意義，並且本發明的範圍由所附的權利要求書限定。應當理解，除非另作具體地標註，否則本文所述的各種示例性實施例的特徵可彼此結合。本發明的實施例提供了一種被構造為以可拆卸方式附接至塊體的同軸連接器組件，其中該同軸連接器組件包括被構造為以可分離方式連接至第一探針的連接器和被構造為將插入塊體中的一個或多個其他探針共同接地的彈性接地杆。同軸連接器組件被構造為閂鎖至塊體，並且可通過使用簡單的手持工具將其簡單便利地從塊體中拆離。當同軸連接器組件閂鎖到位時，彈性接地杆接觸塊體或插入塊體中的探針，以將插入塊體中的接地探針共同接地。同軸連接器組件的至少一些實施例提供了一種衝壓的金屬片接地屏蔽，其可以低成本精確生產且被構造為可現場更換。插入同軸連接器組件中的探針也可現場更換。在一個實施例中，塊體包括與電絕緣殼體配合的導電接地板。塊體的至少一些實施例提供有可現場更換的部件(如接地板、接地探針插口和接地探針)，這些部件對於維修這些探針塊組件的現場維修技術人員而言將是有用的。圖1為根據一個實施例的探針塊組件20的分解透視圖。探針塊組件20包括具有端接至同軸連接器26的同軸電纜M的同軸連接器組件22，所述同軸連接器沈與塊體觀閂鎖在一起，從而與第一探針30電連接並將一個或多個第二探針32共同接地。塊體觀包括一體化金屬塊、一體化非導電塊或具有連接至非導電部分的導電部分的塊體。在一個實施例中，塊體觀包括與電絕緣殼體42配合的導電接地板40，其中同軸連接器26被構造為與絕緣殼體42閂鎖在一起並且電接觸接地板40。在一個實施例中，絕緣殼體42被構造為使接地板40的接地與自動測試設備系統的機殼接地絕緣。在其他實施例中，自動測試設備接觸一體化導電塊體的接地，並且單相接地通過一體化導電塊限定。
在一個實施例中，第一探針30為通過絕緣體44與接地板40電隔離的信號探針， 而第二探針32為通過摩擦保持在接地探針插口 46內的接地探針，接地探針插口 46壓力配合穿過絕緣殼體42和接地板40。第一探針30和絕緣體44插入形成於接地板40中的孔隙48。在一個實施例中，第一探針30為被構造為可手動(如通過手)插入同軸連接器沈並可從其中移除的彈簧探針。同軸連接器26被構造為可保持在塊體觀內並可用工具(例如，圖6D中的工具100)從塊體觀中移除。一般而言，彈簧探針通常接觸被測器件板(DUT 板)的通路的墊片或環形圈，其中集成電路以可拆卸方式附接至被測器件板。在一個實施例中，第二探針32為通過壓力配合、過盈配合或以其他方式設置在接地探針插口 46中的接地探針(或接地彈簧探針)，其插入形成於接地板40中的孔49中。 第二探針32的後端設置在形成於絕緣殼體42中的孔中。在一個實施例中，接地探針插口 46壓力配合到塊體觀中，從而使導電接地板40以配合構型緊貼絕緣殼體42，但接地板40 和絕緣殼體42的其他形式也可接受。接地探針插口 46對探針塊組件20提供一定程度的依從性，並被構造為使得對第二探針32的損壞最小化，因為第二探針32具有最小的依從性。 在其他實施例中，第二探針32為以「香蕉彎」構型提供的接地探針，其中第二探針32摩擦配合到形成於接地板40中的孔中並插入形成於絕緣殼體42中的過大的孔中。在一個實施例中，第二探針32為彈簧探針。在一個實施例中，第一探針30適於作為信號探針、電源探針或多功能探針來提供。例如，在一個實施例中，第一探針30作為信號彈簧探針來提供，該信號彈簧探針通過絕緣體44與導電接地板40電隔離並且電連接至同軸連接器組件22，以通過同軸電纜M傳送電信號。在另一個實施例中，第一探針30為電源探針，並且電通過同軸連接器組件22的信號線傳輸以向第一探針30供電。在另一個實施例中，第一探針30作為多功能探針來提供。圖2為包括端接至同軸連接器沈的同軸電纜M的同軸連接器組件22的分解透視圖。同軸電纜M包括中心導體50、設置在中心導體50周圍的電介質52和通過電介質 52與中心導體50在電氣上分開的屏蔽M。在一個實施例中，同軸連接器沈包括通過絕緣體64與屏蔽體62電隔離的觸點60。觸點60包括被構造為當同軸連接器組件附接到塊體觀時接納第一探針30(圖1)的末端70。組裝時，屏蔽體62設置在絕緣體64周圍，絕緣體 64設置在觸點60周圍，同軸電纜M的中心導體50連接至觸點60，並且屏蔽M與屏蔽體 62連接以將同軸電纜M端接至同軸連接器26。組裝時，所有接地探針均最終共同接地至屏蔽M。合適的同軸連接器沈在2007年1月25日提交的美國公布No. 20070197095中 (至少在
至
段和圖6-9F中)有所描述。在一個實施例中，絕緣體64為「骨架化」絕緣體，其包括通過一個或多個絕緣間隔條以間隔開的關係保持的第一和第二間隔開的絕緣構件(即，絕緣末端)。合適的此類骨架化電介質絕緣體在2007年1月25日提交的美國公布No. 20070197095中(至少在W042] 段和圖6中)有所描述。也可接受其他合適的絕緣體(包括基本上呈固態的電介質絕緣體)，這些電介質絕緣體形成為包括大小適於接納觸點60的軸向孔。在一個實施例中，屏蔽體62包括閂鎖72、第一彈性接地杆74和第二相對的彈性接地杆76。參照圖1，閂鎖72撓曲並被構造為將同軸連接器組件22與絕緣殼體42以可拆卸方式連接。彈性接地杆74、76被構造為電接觸接地板40並將插入塊體觀中的第二探針 32共同接地。屏蔽體62通過(例如)衝壓金屬片以形成閂鎖72和彈性接地杆74、76來製造。就此而言，相比通常通過將金屬深拉成管狀圓柱體而形成的已知的接地屏蔽而言，屏蔽體62的製造成本相對較低。圖3為接地板40的透視圖。接地板40包括與連接器側82相對的探針側80和背離連接器側82延伸的一系列間隔開的板84。圖1中示出的孔隙48和孔49在接地板40的探針側80和連接器側82之間延伸。在一個實施例中，接地板40由金屬塊製成以包括間隔開的板84。這樣，參照圖1，插入接地板40的孔49中的第二探針32接觸金屬塊，並且插入板84之間的同軸連接器組件22將第二探針32共同接地。圖4為絕緣殼體42的透視圖。在一個實施例中，絕緣殼體42包括第一側面90， 其具有與形成於第二側面96中的溝槽94連通的開口。同軸連接器組件22 (圖1)通常插入絕緣殼體42中的溝槽94中。溝槽94被構造為保持同軸連接器沈，使得彈性接地杆74、 76(圖2)取向為接觸至少一個板84 (圖3)。在一個實施例中，絕緣殼體42包括形成於絕緣殼體42的相對表面中的凹陷部98，其中各凹陷部98的大小適於接納板84的最外側的一個板。接地板40的板84與絕緣殼體42的第二側面96對齊且與其互相嚙合，從而使接地板40與絕緣殼體42配合。圖5為經組裝的並包括任選的護蓋99的探針塊組件20的透視圖。接地板40沿著凹陷部98與絕緣殼體42配合。同軸連接器組件22插入塊體28中，從而與第一探針30 (如信號探針)電連接。當完全插入時，閂鎖72(圖幻將同軸連接器組件22以可拆卸方式固定至絕緣殼體42，並且彈性接地杆74、76 (圖2、接觸接地板40以將第二探針32 (如接地探針)共同接地。圖6A為沿圖5的線條6A-6A截取的探針塊組件20的剖視圖，而圖6B為與接地板 40接觸的彈性接地杆74、76的放大視圖。同軸連接器組件22的每條同軸電纜M與第一探針30中的一個連接。第二探針32插入接地探針插口 46中，從圖6A觀察時，與第二探針 32對齊的同軸電纜M實際上處於背面並且與第二探針32後方的第一探針30連接。每個第一探針30通過絕緣體44與接地板40電隔離並且與觸點60 (圖2)電連接， 以通過同軸電纜M進行信號傳輸。同軸連接器沈的彈性接地杆74、76接觸接地板40並將插入塊體觀中的第二探針32共同接地。具體地講，彈性接地杆74、76在同軸連接器沈插入接地板40中時朝向同軸連接器沈向內彈性撓曲(使得彈性接地杆74、76的僅一小部分延伸超過屏蔽體62)，並且第二探針32壓力配合到接地探針插口 46中，接地探針插口 46 壓力配合到塊體觀中。這樣，所有的第二探針32均具有相同的地電勢，並且形成的接地路徑從電纜屏蔽M穿過屏蔽體62，穿過彈性接地杆74、76，至接地板40的板84，至接地探針插口 46，並最終到達第二探針32。通過選擇性地設定形成於接地板40中的孔隙48的直徑、第一探針30的直徑和絕緣體44的有效介電常數來提供阻抗控制。在一個實施例中，由第一探針30、絕緣體44和形成於接地板40中的孔隙48所提供的特性阻抗與同軸連接器組件22的特性阻抗基本上相同。圖6C為與絕緣殼體42接合的閂鎖72的放大視圖。圖6C的剖視圖與圖6B的視圖正交並且大致佔據圖6A中所指示的區域6C。通過將接地板40與絕緣殼體42配合來組裝塊體觀。通過將閂鎖72與絕緣殼體42接合使同軸連接器沈插入並保持在塊體觀(圖 1)內，這使得彈性接地杆74、76 (圖6B)能夠接觸接地板40 (圖6B)的板84 (圖6A)。工具
7狹槽92允許工具100(圖6D)插入，以脫離閂鎖92。已知的用於常規探針塊組件的連接器通常壓力配合到金屬塊的背面並連接至壓力配合到金屬塊正面的信號探針(如彈簧探針)。有時，在使用常規探針塊組件期間，探針中的一個或多個會受到損壞。此前，將彈簧探針從正面移除並將損壞的或有缺陷的連接器從塊體中壓出(例如，用手扳壓機)，然後將完好的連接器和彈簧探針再壓力配合到塊體中，以此來更換損壞的探針。已知的連接器和彈簧探針的移除和更換可潛在地增加對塊體的磨損，並可能移除施加到塊體上的抗氧化塗層等，這對彈簧探針和塊體之間的電接觸造成了不利影響。相比之下，可通過(例如用工具100)下壓閂鎖72，並用手將同軸連接器沈從塊體觀中拉出，來將上述同軸連接器組件22從塊體觀中移除。從而使維修技術人員可現場更換同軸連接器組件22，這使得與用手扳壓機將連接器從探針組件塊壓出相關的花費最小化，並且使得對塊體的磨損最小化。同軸連接器組件22包括在多個可用的實施方式中被構造為將探針塊組件的接地探針共同接地的一個或多個彈性接地杆74、76，其中一些在下面的圖7-9中示出。圖6D為組裝的探針塊組件20的仰視圖。在一個實施例中，工具狹槽92的大小適於接納插入工具狹槽92中以下壓屏蔽體62上的閂鎖72 (圖2)的工具，這使得可移除和現場更換同軸連接器組件22。在一個實施例中，工具100從絕緣殼體42的方向插入工具狹槽 92中以下壓閂鎖72 (圖6C)，從而將同軸連接器沈從塊體觀中移除。在一個實施例中，工具100由塑料製成，並且包括大小適於用手操縱的近端和大小適於插入工具狹槽92中的細長遠端。其他形式的工具100也可接受。下壓閂鎖72將同軸連接器沈從絕緣殼體42中釋放，從而使得整個同軸連接器組件22從塊體觀中快速而方便的移除。圖7為探針塊組件20的剖視圖，探針塊組件20用於將插入由接地板40提供的導電塊中的第二探針32共同接地。同軸連接器組件22電連接至第一探針30，第一探針30通過絕緣體44與接地板40電隔離。屏蔽體62包括以將第二探針32共同接地的方式接觸接地板40的彈性接地杆74、76。具體地講，以此構型形成的接地路徑從屏蔽體62延伸穿過彈性接地杆74、76並進入接地板40，到達壓力配合到接地板40中的接地探針插口 46，然後到達壓力配合到接地探針插口 46中的第二探針32。圖8為同軸連接器組件22的剖視圖，同軸連接器組件22被構造為直接接觸接地探針插口 46並將保持在接地探針插口 46中的第二探針32共同接地。例如，在一個實施例中，同軸連接器組件22插在接地探針插口 46之間並電連接至第一探針30，並且彈性接地杆 74,76接觸插入一體化塊體110中的接地探針插口 46，以將第二探針32共同接地。在一個實施例中，一體化塊體110為非導電塊。在一個實施例中，一體化塊體110為導電塊。圖9為直接共同接地至第二探針32的同軸連接器組件22的剖視圖。第二探針32 壓力配合到一體化塊體120中，並且同軸連接器組件22插在第二探針32之間，從而以可使彈性接地杆74、76接觸第二探針32並將其共同接地的方式與第一探針30電連接。在一個實施例中，一體化塊體120為非導電塊。在一個實施例中，一體化塊體120為導電塊。上述至少一些實施例提供了具有彈性和柔性接地杆的同軸連接器組件22，這些彈性和柔性接地杆被構造為通過接觸導電接地板40 (圖7)，或通過接觸接地探針插口 46 (圖 8)，或通過直接接觸第二探針32中的一個或多個(圖9)來將插入塊體中的多個接地探針
8共同接地。圖10為根據另一個實施例的探針塊組件150的剖視圖。探針塊組件150包括電連接至第一探針30並將插入塊體140中的多個第二探針32共同接地的上述同軸連接器組件22，和通過電介質154與塊體140隔離並連接至電源線156的電源探針152。第一探針 30通過絕緣體44與塊體140隔離並通過同軸電纜M傳輸信號。第二探針32壓力配合到接地探針插口 46中，接地探針插口 46壓力配合成與塊體140電接觸。電源探針152被構造為將電通過電源線156傳送至連接到探針塊組件150的電子器件(未示出)。在另一個實施例中，根據用戶環境，用多功能探針或其他合適的探針來替換電源探針152。一些實施例包括具有阻抗控制的探針塊組件150，通過選擇性地設定塊體140中接納第一探針30的孔隙的大小、第一探針30的直徑和絕緣體44的有效介電常數來形成阻抗控制。在一個實施例中，電源探針152通過電介質巧4與塊體140隔離並且電連接至同軸連接器組件22中的一個，其中電通過同軸電纜M的中心導體50(圖幻傳送。S卩，一個實施例提供了將電通過與同軸連接器組件22相連的同軸電纜傳輸的選擇。一些實施例提供了一種探針塊組件，其包括被構造為與第一探針電連接並設置有一個或多個彈性接地杆的同軸連接器組件，這些彈性接地杆被構造為將探針塊組件的一個或多個第二探針共同接地。一些實施例提供了方便且可現場更換的連接器組件，其具有受控制的阻抗或與探針塊組件的部件匹配的阻抗。儘管本文示出和描述了特定實施例，但是本領域普通技術人員應該明白，在不脫離本發明的範圍的情況下，大量的替代形式和/或等同實施方式可替換所示和所述的特定實施例。本專利申請旨在涵蓋本文所討論的探針塊組件的任何修改形式或變型形式。因此， 本發明應僅由權利要求書及其等同物進行限定。
權利要求
1.一種探針塊組件，包括塊體；和電纜，端接至同軸連接器，所述同軸連接器被構造為與插入所述塊體中的多個探針電連通，所述同軸連接器包括連接器信號觸點，被構造為以可分離方式連接至第一探針，所述第一探針能夠插入所述塊體的孔隙中且與所述塊體絕緣，彈性接地杆，被構造為將插入所述塊體中的一個或多個第二探針共同接地。
2.根據權利要求1所述的探針塊組件，其中所述彈性接地杆被構造為接觸所述塊體並將插入所述塊體中的一個或多個第二探針共同接地。
3.根據權利要求1所述的探針塊組件，其中所述第二探針各自包括接納在壓力配合到所述塊體中的插口內的接地探針，並且所述彈性接地杆被構造為接觸所述插口並將每個插口內的每個接地探針共同接地。
4.根據權利要求1所述的探針塊組件，其中所述第二探針各自包括接地探針，並且所述彈性接地杆被構造為接觸所述接地探針中的至少一者，以將插入所述塊體中的所述接地探針共同接地。
5.根據權利要求1所述的探針塊組件，其中所述塊體包括與電絕緣殼體配合的導電接地板。
6.根據權利要求5所述的探針塊組件，其中所述同軸連接器包括具有閂鎖並限定所述彈性接地杆的屏蔽體，所述彈性接地杆被構造為彈性接觸所述接地板，並且所述閂鎖被構造為以可拆卸方式與所述絕緣殼體連接，以將所述同軸連接器固定至所述塊體。
7.根據權利要求6所述的探針塊組件，其中所述電絕緣殼體限定大小適於接納工具的工具狹槽，所述工具被構造為下壓所述閂鎖且使得所述同軸連接器能夠從所述塊體中移除。
8.根據權利要求5所述的探針塊組件，其中所述第二探針包括插入到插口中的接地探針，每個插口壓力配合到延伸穿過所述接地板和所述電絕緣殼體的孔中，並且被構造為將所述接地板固定至所述電絕緣殼體。
9.根據權利要求5所述的探針塊組件，其中所述第二探針包括接地探針，每個接地探針壓力配合到形成於所述接地板中的板孔中，並且過盈配合到形成於所述電絕緣殼體中且與所述板孔對齊的殼體孔中。
10.根據權利要求1所述的探針塊組件，其中所述第一探針包括能夠插入設置在所述塊體的所述孔隙內的電絕緣體中的信號探針，其中通過選擇性地設定所述塊體的所述孔隙的大小、所述信號探針的直徑和所述電絕緣體的有效介電常數來形成阻抗控制。
11.一種探針塊組件，包括塊體，限定在所述塊體的探針側和電纜側之間延伸的孔隙；插入所述孔隙中並且與所述塊體電隔離的第一探針和從所述塊體的所述探針側延伸的至少一個接地探針；和同軸連接器組件，包括端接至連接器的同軸電纜，所述連接器能夠部分插入所述孔隙中以與所述第一探針電連接，所述連接器包括與所述塊體以可拆卸方式連接的屏蔽體、被構造為將所述接地探針共同接地的彈性接地杆和被構造為連接至所述第一探針的信號觸點ο
12.根據權利要求11所述的探針塊組件，其中所述塊體包括導電塊，並且還包括由所述第一探針限定的阻抗控制塊部分，所述第一探針通過插入所述孔隙中的絕緣體與所述導電塊電隔離，並且所述連接器包括從所述導電塊的所述電纜側部分地插入所述孔隙的阻抗控制連接器；其中所述阻抗控制連接器的阻抗與所述阻抗控制塊部分的阻抗基本上匹配。
13.根據權利要求11所述的探針塊組件，其中所述第一探針包括信號探針、電源探針和多功能探針中的一者。
14.根據權利要求11所述的探針塊組件，其中所述塊體包括與電絕緣塊部分配合的導電塊部分，所述屏蔽體包括從所述屏蔽體的外表面延伸的閂鎖，所述閂鎖以可拆卸方式連接至所述絕緣塊部分，並且所述彈性接地杆從所述屏蔽體的外表面延伸且被構造為接觸所述導電塊部分。
15.一種探針塊組件，包括限定孔隙的導電塊部分、插入所述孔隙中的絕緣體、插入所述絕緣體且保持在所述孔隙內的第一探針和連接至所述導電塊部分的接地探針；絕緣塊部分，連接至所述導電塊部分使得延伸穿過所述絕緣塊部分的溝槽與所述孔隙和插入所述孔隙中的所述絕緣體對齊；和屏蔽同軸連接器，能夠插入所述溝槽中，並被構造為與所述絕緣塊部分以可拆卸方式連接且與所述第一探針電連接，所述屏蔽同軸連接器包括被構造為將所述接地探針共同接地的彈性接地杆。
16.根據權利要求15所述的探針塊組件，其中所述第一探針包括信號探針、電源探針和多功能探針中的一者。
17.根據權利要求15所述的探針塊組件，其中所述導電塊部分包括阻抗控制塊部分， 並且所述屏蔽同軸連接器包括阻抗控制連接器，所述阻抗控制連接器的阻抗與所述阻抗控制塊部分的阻抗基本上匹配。
18.根據權利要求15所述的探針塊組件，其中所述彈性接地杆通過接觸下列中的一者來將所述接地探針共同接地所述導電塊部分、所述接地探針中的一個、和壓力配合到所述導電塊體中並且大小設定為接納所述接地探針中的一個的插口。
19.根據權利要求15所述的探針塊組件，包括多個屏蔽同軸連接器，並且所述導電塊部分的配合側包括多個間隔開的金屬板，使得所述屏蔽同軸連接器的每一者的所述彈性接地杆接觸所述間隔開的金屬板中的至少一者，從而將所述接地探針共同接地。
20.根據權利要求19所述的探針塊組件，其中每個屏蔽體包括從所述屏蔽體的外表面延伸的一對相對的彈性接地杆，所述相對的彈性接地杆被構造為跨接在所述間隔開的金屬板中的兩者之間並與其接觸。
全文摘要
本發明提供一種探針塊組件，其包括塊體和端接至同軸連接器的電纜，其中所述同軸連接器被構造為與插入所述塊體的多個探針電連通。所述同軸連接器包括連接器信號觸點，被構造為以以可分離方式連接至能夠插入所述塊體孔隙中且與所述塊體絕緣的第一探針；和彈性接地杆，被構造為將插入所述塊體中的一個或多個第二探針共同接地。
文檔編號H01L21/66GK102197469SQ200980143268
公開日2011年9月21日 申請日期2009年9月3日 優先權日2008年9月8日
發明者史蒂文·費爾德曼, 約瑟夫·N·卡斯蒂廖內, 阿布黑·R·喬希 申請人:3M創新有限公司