基板位置偏差調整裝置製造方法
2023-07-12 03:55:06 2
基板位置偏差調整裝置製造方法
【專利摘要】一種基板位置偏差調整裝置，設置於用於運送基板的機械手上，以對由所述機械手運送的基板進行位置偏差調整。所述基板位置偏差調整裝置設置於所述機械手的下方，且包括水平部、位於水平部兩側的兩個側部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。所述兩個側部中的每一個側部均由旋轉氣缸和導軌氣缸來進行控制，以使所述側部執行上下運動和水平運動。根據本實用新型的基板位置偏差調整裝置可以對機械手上運送的基板進行有效的整列，即，通過在機械手上加裝整列單元，使得每次在進入下一個工序單元之前都能夠進行調整，因而能很好地避免基板偏移情況的發生，降低生產產品發生異常的概率，有效提升合格率和降低生產成本。
【專利說明】基板位置偏差調整裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種基板位置偏差調整裝置，特別地涉及一種用於調整機械手上的基板位置偏差的調整裝置，即整列單元。
【背景技術】
[0002]機械手又叫機器人(robot)在技術上日趨成熟，已經成為一種標準設備而得到工業界廣泛應用，機械手的應用例如可提高生產效率、提高產品質量、降低企業成本。隨著我國經濟的持續發展和科學技術的突飛猛進，機械手在塗膠、碼垛、點焊、弧焊、噴塗、搬運、測量等行業都有著相當廣泛的應用。
[0003]例如，在TEL塗膠顯影裝置中，通常是使用機械手來傳送基板的。圖1為示出了根據現有技術的機械手傳送基板的示意圖，其中的(a)圖示出了基板在機械手上發生位置偏差的情形；(b)圖示出了發生位置偏差的基板被運輸到基臺上的情形；以及(C)圖示出了機械手撤走後，基臺上的基板保持位置偏差的情形。具體如下，如圖1所示，在機械手10傳送基板20時，基板20發生位置偏差的概率通常比較大，例如在塗完光刻膠之後，機械手10傳送基板20時，首先執行抓取基板20的動作，如果在此階段基板20的位置發生偏差，則被送至下一工序，例如被送至熱板時，基板20的位置偏差會一直保留而得不到糾正和調整。如圖1中的(a)圖所示，機械手10在抓取基板20時發生了基板20的位置偏差，例如基板20偏差5°。現有技術中的TEL塗膠顯影裝置中，對基板20的位置偏差進行校正的整列單元40通常位於基臺30上，例如在圖1中的(a)圖中示出了位於基臺30的四個拐角處的四個整列單元40。但是，如圖1的(b)圖、(c)圖所示，儘管在基臺30上設置了整列單元40，但是基板20在機械手10上的位置偏差會被一直保留，在機械手10撤走之後,基板20在基臺30上仍然會保持偏差5°。
[0004]這是因為基板20在驅動銷下降後可能會擱在整列單元40上，從而使得基臺30上的整列單元40不能真正起到調整位置偏差的作用。具體如圖2所示，圖2示出了現有技術中的基板發生位置偏差的示意圖，其中的(a)圖為基板擱置到驅動銷上的情形，(b)圖為驅動銷下降後的情形。如圖2的(a)所示，例如在下一工序的熱板內，機械手10將基板20擱置在驅動銷50上，之後驅動銷50下降將基板20擱置在基臺30上，但是由於基板20在機械手10上已經發生位置偏差，因此，下降後的基板20可能會擱在整列單元40上，且由於熱板內的高溫無法安裝用於檢測基板位置的任何傳感器，即使基板20的位置發生偏差，設備也不會有提示報警。因此會由於基板20與熱板未充分接觸而造成膜厚不均，例如在基板20未充分接觸熱板的區域導致膜厚增大。只有在後續工序中進行抽檢時才可能發現上述問題，因而會造成產品大批返工，產生額外的成本支出。
[0005]實踐中，由於機械手的皮帶張力會失去準確性，因而容易發生基板偏移，基於此，可以通過按時測試及調整皮帶張力來儘量避免上述情形。但是，機械手在長時間運行之後，基板位置發生偏移的概率還是會大大增加。因此，非常有必要研發一種可以對基板的位置偏移進行有效調整的整列單元。實用新型內容
[0006]要解決的技術問題
[0007]有鑑於此，本實用新型要解決的技術問題在於提供一種基板位置偏差調整裝置，其可以對現有技術中容易發生的基板位置偏移進行有效的調整。
[0008]解決問題的手段
[0009]根據本實用新型的一個方案，提供一種基板位置偏差調整裝置，用於對機械手所運送的基板進行調整，該基板位置偏差調整裝置設置於所述機械手上，以對由所述機械手運送的基板進行位置偏差調整，使得所述基板在進入下一工序之前即完成位置偏差調整，所述基板位置偏差調整裝置包括水平部、位於水平部兩側的兩個側部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側部中的每一個側部均由旋轉氣缸和導軌氣缸來進行控制，以使所述側部執行上下運動和水平運動，所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸整合到所述機械手的控制部中，通過所述縱向部實現所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸與所述側部的電氣連接，從而實現控制所述側部的上下運動和水平運動。
[0010]優選地，所述基板位置偏差調整裝置設置於所述機械手的下方。
[0011]所述基板位置偏差調整裝置包括多個水平部、分別位於每個水平部兩側的兩個側部以及沿著所述機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。
[0012]所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸分別位於所述水平部的上、下面上。
[0013]所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸可以對所述側部執行反向復位操作。
[0014]所述基板位置偏差調整裝置呈支架的形式且設置於所述機械手的尾部。
[0015]根據本實用新型的另一方面，還提供一種機械手，用於傳送基板，該機械手設置有基板位置偏差調整裝置，以對由所述機械手運送的基板進行位置偏差調整，使得所述基板在進入下一工序之前即完成位置偏差調整，所述機械手的基板位置偏差調整裝置包括水平部、位於水平部兩側的兩個側部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側部中的每一個側部均由旋轉氣缸和導軌氣缸來進行控制，以使所述側部執行上下運動和水平運動。
[0016]有益技術效果
[0017]根據本實用新型的基板位置偏差調整裝置可以對機械手上運送的基板進行有效的整列，即，通過在機械手上加裝整列單元，使得每次在進入下一個工序單元之前都能夠進行調整，因而能很好地避免基板偏移情況的發生，降低生產產品發生異常的概率，有效提升合格率和降低生產成本。
[0018]應理解，本實用新型的前述大體描述和以下的詳細描述都是示意性和說明性的，並旨在提供對所聲稱的實用新型的進一步的解釋。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0019]所包括的附圖提供對本實用新型的進一步的理解，附圖被併入並構成本申請的一部分，本實用新型的示出實施例連同描述一起用於解釋本實用新型的原理。
[0020]在圖中:
[0021]圖1為示出了根據現有技術的機械手傳送基板的示意圖，其中的(a)圖示出了基板在機械手上發生位置偏差的情形；(b)圖示出發生位置偏差的基板為運輸到基臺上的情形；以及(C)圖示出機械手撤走後，基臺上的基板保持位置偏差的情形。
[0022]圖2示出了現有技術中的基板發生位置偏差的示意圖，其中的(a)圖為基板擱置到驅動銷上的情形，(b)圖為驅動銷下降後的情形。
[0023]圖3為示出了根據本實用新型的基板位置偏差調整裝置的示意圖。
[0024]圖4為說明根據本實用新型的整列單元如何進行基板位置偏差調整的示意圖，圖4中的(a)圖為整列單元對基板位置偏差進行調整的第一步；(b)圖為整列單元對基板位置偏差進行調整的第二步；(C)圖為整列單元對基板位置偏差進行調整的第三步；以及(d)圖為整列單元對基板位置偏差進行調整的第四步。
【具體實施方式】
[0025]以下將參照附圖詳細地說明本實用新型的實施方式。
[0026]首先如圖3所示，該圖3為示出了根據本實用新型的基板位置偏差調整裝置的示意圖。與圖1的現有技術相比，本實用新型的改進之處在於在機械手100上加裝了整列單元400。如前所述，由於機械手100的皮帶張力會失去準確性，因而容易發生基板偏移的問題，因此，本實用新型直接在機械手100上加裝增列單元400，通過該整列單元400可以很好地調整基板位置，保證基板位置調整到最好後再送入下一單元，從而降低生產產品發生異常的概率，有效提升合格率和降低生產成本。
[0027]具體地，如圖3所示，該整列單元400呈支架的形式，其安裝在機械手100的兩個手臂的下方，優選地如圖所示，位於機械手100的尾部，且該整列單元400包括水平部410和位於水平部410兩側的兩個側部420，該兩個側部420分別連接旋轉氣缸和導軌氣缸(圖中未示出)，例如，旋轉氣缸和導軌氣缸可分別安裝在水平部分410的上、下面，用來分別控制兩個側部420的上下運動和水平運動。旋轉氣缸和導軌氣缸可選擇本領域內公知的任一種類的氣缸。
[0028]此外，如圖3中所示出的，整列單元400的沿著機械手100的兩個手臂的縱向延伸的縱向部430連接到機械手100的下方控制部，通過該縱向部430可以更好地支撐基板，且如果將上述的旋轉氣缸和導軌氣缸設置與機械手的控制部分中時，可利用該縱向部430實現兩個側部420與各自的氣缸的電氣連接，進而實現對兩個側部420的控制。
[0029]圖3中示出了僅包括一個水平部410的情形，當然本實用新型也可包括多個水平部410,例如包括兩個水平部410,以及分別位於兩個水平部410兩側的兩個側部420,和沿著機械手100的手臂的縱向延伸的縱向部430。在包括兩個水平部410的情形下，共包括四個側部420，可對這四個側部420進行分別控制，或者可以對這四個側部420進行組合來控制。對於本領域普通技術人員而言顯然的，優選地，這四個側部420或者如前述實施例中所述的兩個側部420對稱設置，以對基板提供對稱均勻的作用力，從而有效調整基板位置偏差。
[0030]以下將參照圖4來說明根據本實用新型的整列單元400如何進行基板位置偏差的調整的，圖4中的(a)圖為整列單元400對基板位置偏差進行調整的第一步；(b)圖為整列單元400對基板位置偏差進行調整的第二步；(c)圖為整列單元400對基板位置偏差進行調整的第三步；以及(d)圖為整列單元400對基板位置偏差進行調整的第四步。[0031]首先參照圖4的(a)圖所示，抓取到機械手上的基板200發生了位置偏差，同樣地例如該基板200的位置偏差為5°。與現有技術不同的是，在根據本實用新型的該實施例中，由於在機械手上加裝了整列單元400，通過控制整列單元400的一系列動作可以對該基板200進行有效地位置偏差調整。該整列單元400的動作控制可以事先通過編程輸入控制器來自動執行，可以根據需要手動執行。圖4的(a)圖為整列單元400的原始位置。在圖4的(b)圖中，整列單元400的側部420通過旋轉氣缸的驅動而旋轉運動，到達直立的狀態，之後，如圖4的(c)圖所示，側部420在導軌氣缸的驅動下進行水平滑動運動而靠近基板200的兩個邊緣，通過對基板200施加擠壓動作而對基板200的位置偏差進行有效調整。圖中示出了包括兩個側部420的實施例，當然，也可包括四個側部，進而在四個位置對基板200進行位置偏差校正。
[0032]完成位置偏差校正之後，側部420再次通過水平氣缸的驅動滑移到圖4中的(b)所示的位置，最後在旋轉氣缸的驅動下如圖4的(d)所示，回到原始狀態。
[0033]以上為根據本實用新型的整列單元400的動作過程。實踐中，機械手在取基板之後實現釋放機械手墊上的真空，在傳送信號至控制器，由控制器進行控制來執行上述的位置偏差校正程序，對基板200進行整列，隨後，在整列單元400恢復到原始位置時，再吸附真空，對基板200進行下一步傳送。
[0034]根據本實用新型，由於在機械手上加裝了整列單元400，因此在每次將基板送入下一單元前都能進行調整，從而可以有效地糾正基板位置偏差，降低產品發生異常的概率，有效提升合格率和降低生產成本。
[0035]對於本領域的技術人員明顯的是，對本實用新型進行的各種更改和變型不背離本實用新型的精神或範圍。因此，本實用新型旨在覆蓋本實用新型的更改和變型，只要所述更改和變型落入所附的權利要求及其等同替換的範圍內即可。
【權利要求】
1.一種基板位置偏差調整裝置，用於對機械手所運送的基板進行調整，其特徵在於，該基板位置偏差調整裝置設置於所述機械手上，以對由所述機械手運送的基板進行位置偏差調整，使得所述基板在進入下一工序之前即完成位置偏差調整，所述基板位置偏差調整裝置包括水平部、位於水平部兩側的兩個側部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側部中的每一個側部均由旋轉氣缸和導軌氣缸來進行控制，以使所述側部執行上下運動和水平運動，所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸整合到所述機械手的控制部中，通過所述縱向部實現所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸與所述側部的電氣連接，從而實現控制所述側部的上下運動和水平運動。
2.如權利要求1所述的基板位置偏差調整裝置，其特徵在於，所述基板位置偏差調整裝置設置於所述機械手的下方。
3.根據權利要求1所述的基板位置偏差調整裝置，其特徵在於，所述基板位置偏差調整裝置包括多個水平部、分別位於每個水平部兩側的兩個側部以及沿著所述機械手的手臂的縱向延伸的縱向部。
4.根據權利要求1或3所述的基板位置偏差調整裝置，其特徵在於，所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸分別位於所述水平部的上、下面上。
5.根據權利要求1或3所述的基板位置偏差調整裝置，其特徵在於，所述旋轉氣缸和所述導軌氣缸可以對所述側部執行反向復位操作。
6.根據權利要求1或2所述的基板位置偏差調整裝置，其特徵在於，所述基板位置偏差調整裝置呈支架的形式且設置於所述機械手的尾部。
7.一種機械手，用於傳送基板，其特徵在於，該機械手設置有基板位置偏差調整裝置，以對由所述機械手運送的基板進行位置偏差調整，使得所述基板在進入下一工序之前即完成位置偏差調整，所述基板位置偏差調整裝置包括水平部、位於水平部兩側的兩個側部以及沿著機械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個側部中的每一個側部均由旋轉氣缸和導軌氣缸來進行控制，以使所述側部執行上下運動和水平運動。
【文檔編號】B65H5/08GK203728253SQ201320717797
【公開日】2014年7月23日 申請日期:2013年11月13日 優先權日:2013年11月13日
【發明者】龔金金, 吳康成, 林永富 申請人:上海和輝光電有限公司