保持在液體介質中的氣體的儲存和輸送系統的製作方法
2023-08-07 15:55:01 3
專利名稱：保持在液體介質中的氣體的儲存和輸送系統的製作方法
本申請與普通指定、共同待審的申請USSN10/413,787有關，該申請的申請日為2003年4月15日，發明名稱為「基於活性液體的氣體儲存和輸送系統」，其主題結合在本申請中作為參考；本申請還與另一個普通指定、共同待審的申請有關，該申請的申請日為2004年6月14日，發明名稱為「用於儲存和輸送路易斯鹼性氣體的包含路易斯酸活性化合物的液體介質」，其主題結合在本申請中作為參考。
背景技術：
半導體工業中的許多過程需要來源可靠的生產氣體用於各種用途。通常這些氣體儲存在氣罐或容器中，並在受控制的條件下從氣罐送往工藝過程中。例如，半導體製造工業中使用很多種有害氣體，如膦、胂和三氟化硼來摻雜、蝕刻以及薄膜沉積。這些氣體由於其高毒性和高自燃性(在空氣中自發可燃性)給安全和環境帶來重大的挑戰。除了毒性因素之外，為了儲存，很多這樣的氣體都在高壓氣罐中進行壓縮和液化。因為可能會導致洩漏或者氣罐發生災難性破裂，將高壓下的有毒氣體儲存在金屬罐中通常是不可取的。
已經研製出了將這些氣體吸附在固體載體上的低壓儲存和輸送系統。將氣體吸附在固體吸附劑上的儲存和輸送系統也不是沒有問題。它們也有容量低和輸送限制、熱傳導性差等缺點。
如下專利和文章是低壓、低流速氣體儲存和輸送系統的例子。
U.S.4,744,221公開了將AsH3吸附在沸石上。需要時，可以通過將沸石加熱到不高於約175℃使至少一部分AsH3從輸送系統釋放出來。由於容器中大部分AsH3與沸石結合，與壓力容器相比，由於破裂或故障引起的意外洩漏的影響降到了最低。
U.S.5,518,528公開了用於在低於大氣壓下儲存和輸送氫化物、滷化物以及第V族有機金屬氣態化合物的基於物理吸附劑的輸送系統。通過將氣體送至在較低壓力下操作的工藝或設備而使其解吸。
U.S.5,917,140公開了一種用於從固相吸附劑分配可吸附流體的帶有加強的傳熱裝置的儲存和輸送設備，該裝置與彼此互相接觸並確保與器壁之間有傳熱關係的徑向伸展的臂相結合。
WO/0211860公開了一種吸著物流體的儲存和輸送系統，其中流體保持在吸附介質上，並通過向介質輸入能量來使流體從介質上解吸。輸入能量的方式包括熱能、光能、粒子轟擊、機械能以及向吸著物流體施加化學勢差。
U.S.6,101,816公開了一種用於要分配其蒸汽的液體的流體儲存和分配系統。與系統相連的是流體流動口以及與流體流動口相連的流體分配組件。該組件包括流體壓力調節器和流體控制閥。這樣設置可以使來自容器內部的氣體在流經流體控制元件之前先流經調節器。
發明概述本發明的目的在於對儲存和輸送系統進行改進，使其可以快速填充和輸送可逆地儲存在非揮發性液體介質中的氣體；並對所輸送氣體的輸送和純度進行改進。該氣體低壓儲存和輸送系統包括容器，其內部含有路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質，可與具有相反路易斯酸性或鹼性的氣體可逆地反應；向活性液體介質輸入能量或從中輸出能量的系統；或產品氣體淨化器(例如，氣/液分離器)；或者兩者。
由於能夠有效地儲存和輸送包含於含有相反路易斯酸性或鹼性活性化合物的活性液體或液體介質中的路易斯鹼性或路易斯酸性氣體，其優點是顯著的。這些系統包括活性液體介質的容器，所述介質可與要儲存的氣體反應。這些系統具有如下的特點能夠縮短用於填充系統的時間；能夠消除或減少輸送氣體中夾帶的液體；以及能夠增加從系統輸送的氣體的純度，在系統中原料氣含有雜質，尤其是非活性的或者與原料氣相比活性較低的雜質。
附圖幾種視圖的簡要說明
圖1是帶有能與氣體反應的液體的儲存和輸送系統的截面圖，其中使用用於向儲存和輸送系統引入能量的噴霧管。
圖2是帶有用於向系統中引入能量和/或從系統中輸出能量的加熱和冷卻套的儲存和輸送系統的截面圖。
圖3是表示當容器在垂直或水平位置操作時，在撓性管末端使用漂浮件來使氣/液分離的儲存和輸送系統的截面圖。
圖4是表示當容器在垂直或水平位置操作時，使用曲折的流動通道來使氣/液分離的儲存和輸送系統的截面圖。
圖5是表示當容器在垂直或水平位置操作時，使用縱向安裝的膜來使氣/液分離的儲存和輸送系統的截面圖。
本發明的詳細描述已經發現基於使路易斯鹼性和路易斯酸性氣體在具有相反酸性或鹼性的液體介質中反應這種概念的儲存和輸送系統與那些使用固體吸收劑或固體吸附劑的低壓儲存和輸送系統相比表現出獨特的問題。主要問題之一是增加氣體填充含有活性液體介質(例如，離子液體)的儲存和輸送系統的速度。術語「活性液體介質」包括活性液體、溶液、分散液以及懸浮液。另一個問題是增加輸送氣體的速度。其它的問題涉及增加儲存和輸送系統輸送的氣體的純度，以及在輸送過程中，防止液體汙染儲存和輸送系統輸送的氣體。
參考附圖可以幫助理解該儲存和輸送系統。(在附圖中使用相同的數字代表系統設備中相同的部件。)圖1表示氣體儲存和輸送系統2，它包括容器4，其中含有路易斯鹼性或路易斯酸性活性液體介質6，其可以同具有相反的路易斯酸性或鹼性氣體8(以氣泡表示)發生可逆反應。容器4設有閥10，可以將氣體和液體引入容器，或者輸送氣體或移出活性液體介質6。出口12用來從容器4中輸送氣體8。產品氣體淨化器9安裝在液面16上方，用來防止液體與來自頂部空間18的氣體一起從出口12排出，和/或從氣體中除去氣相雜質。產品氣體淨化器9可以是基於吸附劑的氣體淨化器。優選地，產品氣體淨化器9是氣/液分離器。產品氣體淨化器9可以包括膜或者合適的膜組件。在某些情況下，產品氣體淨化器9可以安裝在容器的外面。容器4可以是通常用於壓縮氣體的氣罐。或者，容器4可以是其它形狀，包括矩形平行六面體。
正如所提到的，用活性氣體填充儲存和輸送系統的問題之一在於填充容器4需要長的時間。這受到氣體8在活性液體介質6中傳質(即擴散)速率的限制。由於該傳質過程可能很慢，也許需要幾天甚至幾周來填充容器。為了克服傳質限制，在氣體填充過程中將能量加入液體和/或從液體中移出。通過影響能量傳遞和/或增加氣/液界面面積，人們通過液體內的對流運動來增加傳質速率。
參照圖1，描述一種用來增加能量傳遞，並因此增加填充速率的方法。在該實施方式中，閥10的入口11與噴霧管20處於流體接觸狀態。術語「噴霧管」意指任何類型的可以將氣體引入活性液體介質表面之下的管子。噴霧管20可以是剛性管或撓性管。將任選的具有從0.1到500微米小孔的多孔燒結體(frit)22塗覆在噴霧管20的出口端。多孔燒結體可以由金屬(如，不鏽鋼)或者塑料(如，聚四氟乙烯)製成。接著，將氣體通過閥10的入口11和噴霧管20引入，在噴霧管20內，當其通過多孔燒結體22時被分散成細小的氣泡。精細分散的氣泡能夠更容易地與活性液體介質絡合。
為了用氣體填充容器4，可以使用原料氣淨化器23。淨化器的出口24與入口11相連。原料氣流入淨化器，流出出口24，並進入容器4。對原料氣的淨化可以使容器中輸出高純度氣體。原料氣淨化器23可以使用吸附淨化、吸收淨化、基於相對揮發度差別的分離、或者反應淨化。當原料氣中的雜質與活性液體介質反應或者溶解於活性液體介質中時，原料氣淨化器23特別有用。例如，路易斯酸氣體可能由三氟化硼(BF3)組成，含有雜質二氧化碳(CO2)。淨化器可以使用對CO2比對BF3具有更高親和力的沸石。例如，可以使用5A沸石或者含鈉絲光沸石。淨化之後，BF3優選含有小於1ppm的CO2，並將其裝入容器4中。
容器4還可包括氣泡形成增強劑25。術語「氣泡形成增強劑」定義為任何用於促進氣泡形成的介質。合適的形成增強劑的例子包括沸騰片或沸騰石，包括那些由聚四氟乙烯(PTFE)、微孔炭、氧化鋁、多孔玻璃、以及多孔金屬和塑料組成的沸騰片或沸騰石。多孔燒結體22也可用作形成增強劑。這些形成增強劑增加了氣體從容器中的輸送速率。
還可以使用淨化介質26除去容器4內的雜質。可將該淨化介質置於活性液體介質6內來除去雜質。淨化介質26可以由物理吸附劑或化學吸附劑組成。化學吸附劑可以是固體的或者可以將其溶於液體介質中。物理吸附劑的例子包括沸石和活性炭。
容器4可以在水平或者垂直方向操作。應當選擇液面使得產品氣體淨化器9安裝在液面之上。
圖2表示一種不太優選的將能量輸入或者移出活性液體介質6的方法。在圖2的實施方式中，加熱套29或者冷卻套28或者兩者可用來引起活性液體介質6內部的對流。通過加熱容器4的底部，熱液向上流動，在到達頂面時冷卻下來，又回到容器的底部。這種對流運動導致傳質速率增加以及用氣體填充容器的時間減少。冷卻套28可以按照與加熱套29同樣的方式使用，來引起活性液體介質6內部的對流。加熱套29可以安裝在容器4表面的周圍(如圖2所示)，也可以將容器4放在加熱套29之上。加熱套29可以是加熱套、電熱板或者其它合適的對容器4加熱的裝置。或者，在裝填過程中可以通過攪拌器30施加攪拌來增強活性液體介質6內的傳熱速率，同時增強活性液體介質6內的傳質速率。一種可選的攪拌液體的方式是移動整個容器4。這可以通過使用標準的圓筒形滾柱、軌道攪拌器、搖蕩器等來實現。入口11不與產品氣體淨化器9或出口12使用同一個通道，而是獨立的在進料口31處結束的通道，這樣在填充操作時就可以繞過產品氣體淨化器9。
圖3至5用來表示當容器處於垂直或水平位置時，在氣體輸送過程中實現氣體淨化的不同方法。特別是，圖3至5表示產品氣體淨化器是氣/液分離器的實施方式。在圖3中，閥10的出口12與在作為產品氣體淨化器的多孔部件37內結束的撓性管36相連。優選將多孔部件37設計成氣體可以通過但是液體不能通過。在一個優選的實施方式中，它可以是可漂浮材料，這樣當容器放在水平位置時，它浮起至液體層的頂部，從而減少氣體中夾帶液體的機會。而且，容器4可以水平地操作，其中容器體積的50％以上被液體填充，優選更大數量的液體。
在圖4中，出口12與管35相連。管35使從容器中輸送的氣體流向改變。氣體流過管35時，液滴沉積在內壁面上並從氣體中移出。圖4所示的管可以使容器在容器體積的50％以上被液體填充時可以水平操作。管35可以一次或多次改變氣體的流向，例如多次改變流向的曲折方式。除了管35之外，可以使用其它類型的曲折流裝置，包括過濾器、凝聚過濾器、除霧片、多孔介質、以及燒結介質。管35可以通過使用旋轉接頭39與閥10相連。接頭可以旋轉，這樣管35的末端與頂部空間18流體接觸，而不與活性液體介質6流體接觸。可以使用砝碼(未示出)來確保管35處於可與頂部空間18流體接觸的正確位置。產品氣體淨化器9可以加在管35的末端，防止液體進入管35。產品氣體淨化器9可以包括膜。優選地，膜的設置可以使任何接觸膜的液體可以很容易地從膜的表面排走。
圖5表示處於水平位置、裝有閥10和出口12的儲存和輸送系統2。膜38水平放置在容器4內作為氣/液分離器——產品氣體淨化器9的一個特殊的實施方式。膜由氣體可以通過而液體不能通過的材料製成，可以從容器4中輸送氣體。理想地，膜材料排斥液體，這樣，液體可以很容易地從其表面排走。另外，為了使壓降最小化，應當使膜的橫截面積最大化，並使用微孔膜(與無孔膜相對)。合適的膜材料包括聚四氟乙烯(PTFE)、聚丙烯(PP)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚乙烯(PE)、聚碸、聚氯乙烯(PVC)、橡膠、聚三甲基戊烯、乙基纖維素、聚乙烯醇(PVOH)、全氟磺酸、聚醚碸、纖維素酯、聚氯三氟乙烯(PCTFE)。優選的孔徑大小從0.1微米到50微米。除了使用薄膜之外，還可以使用由較厚的多孔物質組成的膜，特別是那些厚度可達10毫米的膜。膜還可以是中空纖維型的膜。(與此相同的材料也可以用於圖1中的產品氣體淨化器9。)適於從上述的儲存和輸送系統2儲存和輸送的氣體具有路易斯鹼性，從路易斯酸性的活性液體介質(如離子液體)輸送；或者具有路易斯酸性，從路易斯鹼性的活性液體介質輸送。路易斯鹼性氣體包括膦、胂、銻化氫、氨、硫化氫、硒化氫、碲化氫、同位素富集的類似物、鹼性有機或有機金屬化合物等物質中的一種或多種。要儲存在路易斯鹼性活性液體介質(如離子液體)中並從中輸送的具有路易斯酸性的氣體包括乙硼烷、三氟化硼、三氯化硼、SiF4、鍺烷、氰化氫、HF、HCl、HI、HBr，GeF4、同位素富集的類似物、銦化氫、酸性有機或有機金屬化合物等物質中的一種或多種。其它氣體，如乙矽烷、乙鍺烷、聯胂以及二膦，也適於在活性液體介質中儲存和輸送。該液體具有低揮發性，優選在25℃時具有低於約10-2託的蒸汽壓，更優選在25℃時具有低於10-4託的蒸汽壓。
離子液體可以作為路易斯酸性或者路易斯鹼性活性液體，可以與要儲存的氣體發生可逆反應。這些活性離子液體具有陽離子成分和陰離子成分。於是，活性離子液體的酸性或鹼性由陽離子，陰離子或者陽離子和陰離子兩者結合的強度所決定。最常見的離子液體包括四烷基鏻、四烷基銨、N-烷基吡啶鎓或N，N』-二烷基咪唑鎓陽離子的鹽。常見的陽離子含有C1-18烷基，並包括N-烷基-N』-甲基咪唑鎓和N-烷基吡啶鎓的乙基、丁基和己基衍生物。其它陽離子包括噠嗪鎓、嘧啶鎓、吡嗪鎓、吡唑鎓、三唑鎓、噻唑鎓以及噁唑啉鎓。
為了得到路易斯酸性，有很多陰離子可以與這些離子液體的陽離子成分相配。一種類型的陰離子由金屬滷化物衍生而來。儘管也可以使用其它滷化物，最常用的滷化物是氯化物。優選用來提供陰離子成分(例如，金屬滷化物)的金屬包括銅、鋁、鐵、鋅、錫、銻、鈦、鈮、鉭、鎵和銦。金屬氯化物陰離子的例子是CuCl2-、Cu2Cl3-、AlCl4-、Al2Cl7-、ZnCl3-、ZnCl42-、Zn2Cl5-、FeCl3-、FeCl4-、Fe2Cl7-、TiCl5-、TiCl62-、SnCl5-、SnCl62-等。
可用於製備路易斯酸性或路易斯鹼性離子液體的滷化物的例子包括溴化1-乙基-3-甲基咪唑鎓；氯化1-乙基-3-甲基咪唑鎓；溴化1-丁基-3-甲基咪唑鎓；氯化1-丁基-3-甲基咪唑鎓；溴化1-己基-3-甲基咪唑鎓；氯化1-己基-3-甲基咪唑鎓；溴化1-甲基-3-辛基咪唑鎓；氯化1-甲基-3-辛基咪唑鎓；鹽酸一甲胺；鹽酸三甲胺；氯化四乙銨；四甲基鹽酸胍；氯化N-甲基吡啶鎓；溴化N-丁基-4-甲基吡啶鎓；氯化N-丁基-4-甲基吡啶鎓；氯化四丁基鏻；以及溴化四丁基鏻。
參考對於化學絡合路易斯酸性氣體有用的路易斯鹼性離子液體，這種離子液體的陰離子或陽離子部分或者兩者都可以是路易斯鹼。在某些情況下，陰離子和陽離子都是路易斯鹼。路易斯鹼性陰離子的例子包括羧酸鹽、氟化羧酸鹽、磺酸鹽、氟化磺酸鹽、醯亞胺、硼酸鹽、氯化物等。常見的陰離子形式包括BF4-、PF6-、AsF6-、SbF6-、CH3COO-、CF3COO-、CF3SO3-、p-CH3-C6H4SO3-、(CF3SO2)2N-、(NC)2N-、(CF3SO2)3C-、氯化物以及F(HF)n-。其它陰離子包括諸如烷基鋁酸鹽(alkylaluminate)、烷基或芳基硼酸鹽(alkyl-or arylborate)的有機金屬化合物，以及過渡金屬類。優選的陰離子包括BF4-、p-CH3-C6H4SO3-、CF3SO3-、(CF3SO2)2N-、(NC)2N-、(CF3SO2)3C-、CH3COO-和CF3COO-。
含有路易斯酸性或路易斯鹼性官能團的非揮發性共價液體在用於化學絡合氣體時，同活性液體一樣有用。這些液體可以是離散的有機或有機金屬化合物、低聚物、低分子量聚合物、帶分支的無定形聚合物、天然和合成油等。
帶有路易斯酸性官能團的活性液體的例子包括取代的硼烷、硼酸鹽、鋁、或鋁烷；諸如羧酸和磺酸的質子酸，以及諸如鈦、鎳、銅等金屬的絡合物。
帶有路易斯鹼性官能團的活性液體的例子包括醚、胺、膦、酮、醛、腈、硫醚、醇、硫醇、醯胺、酯、脲、氨基甲酸鹽等。
活性共價液體的特例包括三丁基硼烷、三丁基硼酸鹽(tributylborate)、三乙基鋁、甲基磺酸、三氟甲基磺酸、四氯化鈦、四甘醇二甲醚、三烷基膦、氧化三烷基膦、聚丁二醇、聚酯、聚已酸內酯、聚(烯烴-alt-一氧化碳)、低聚物、以及丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或者丙烯腈的聚合物或共聚物等。通常，儘管這些液體在升高的溫度下揮發性較高，不適於通過熱載體活化，但適於通過壓力載體活化。
從前述的儲存和輸送系統2輸出的氣體應當至少和進入容器的原料氣純度一樣，優選輸出的氣體甚至比原料氣更純。然而，將氣體引入容器中時，原料氣中的雜質可能聚集在活性液體介質上方的氣體頂部空間中，結果是最先排出容器的氣體沒有進入容器的原料氣純度高。為了增加從儲存和輸送系統2中輸出氣體的純度，在填充過程中，可以將超出容器預期填充容量的原料氣引入容器中，典型地，超出活性液體介質的活性容量。預期的填充容量是在填充過程結束時，容器中預期的氣體量。接著，將氣體從容器中排出，以除去聚集在頂部空間的雜質，容器中剩餘的氣體作為產品氣體輸出。
另外，可以將原料氣在引入容器前加以淨化。原料氣可以通過吸附淨化、吸收淨化、基於相對揮發度差異的分離、或反應淨化方法來淨化。當原料氣中的雜質與活性液體介質反應或者溶於活性液體介質中時，原料氣的淨化特別有效。例如，在用於儲存和輸送BF3的系統中，原料BF3可能含有CO2雜質，該雜質可以與合適的活性液體介質反應或者溶於其中。為了從原料氣中除去CO2，可以使用吸附淨化。特別地，可將沸石吸附劑和/或活性炭吸附劑床設置在活性液體介質的上遊，當原料BF3流經沸石床時，CO2雜質被除去。沸石可以是5A沸石或者鈉絲光沸石。
權利要求
1.一種低壓氣體儲存和輸送系統，包括容器，其內部含有一種活性路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質，該介質可以與具有相反路易斯酸性或鹼性的氣體發生可逆反應；閥系統，具有允許氣體輸送的出口；和產品氣體淨化器。
2.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，其中所述的產品氣體淨化器是氣/液分離器。
3.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，其中所述的產品氣體淨化器設置在容器內。
4.如權利要求2所述的儲存和輸送系統，其中所述的氣/液分離器包括膜。
5.如權利要求2所述的儲存和輸送系統，其中所述的氣/液分離器包括具有曲折通道的膜，該通道可以使要輸送的氣體中夾帶的液體聚結。
6.如權利要求2所述的儲存和輸送系統，其中所述的氣/液分離器包括在可漂浮多孔組件處結束的撓性管。
7.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，還包括氣泡形成增強劑。
8.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，還包括原料氣體淨化器。
9.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，其中在活性液體介質中存在淨化介質。
10.如權利要求9所述的儲存和輸送系統，其中淨化介質是一種化學吸附劑。
11.如權利要求1所述的儲存和輸送系統，其中活性液體介質是一種離子液體，與該離子液體複合的氣體選自銻化氫、氫化銦、膦、三氟化硼、同位素富集的三氟化硼、鍺烷和胂。
12.一種低壓氣體儲存和輸送系統，包括容器，其內部含有活性路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質，該介質可以與具有相反路易斯酸性或鹼性的氣體發生可逆反應；閥系統，具有允許氣體輸送的出口；用於向所述容器內部的活性液體介質輸入能量或從該活性液體介質中輸出能量的系統。
13.如權利要求12所述的儲存和輸送系統，其中閥具有入口。
14.如權利要求12所述的儲存和輸送系統，其中向活性液體介質中輸入能量的系統包括噴霧管。
15.如權利要求14所述的儲存和輸送系統，其中噴霧管包括多孔燒結體。
16.如權利要求12所述的儲存和輸送系統，其中用於向活性液體中輸入能量的系統包括用於混合液體的攪拌器。
17.如權利要求12所述的儲存和輸送系統，其中傳遞能量的系統包括加熱和/或冷卻套。
18.一種氣體低壓儲存和輸送系統，包括容器，其內部含有活性路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質，該介質可以與具有相反路易斯酸性或鹼性的氣體發生可逆反應；閥系統，具有向容器中輸入氣體和活性液體介質的入口和用於輸出氣體的出口；用於向活性液體介質中輸入能量的系統，其中包括噴霧管；以及氣/液分離器，當氣體從容器中輸出時，可以使氣體通過，但不能使夾帶的液滴通過。
19.如權利要求18所述的儲存和輸送系統，其中所述的氣/液分離器是具有曲折通道的管，該通道可以使要輸送的氣體中夾帶的液體聚結。
20.如權利要求18所述的儲存和輸送系統，其中所述的氣/液分離器是膜。
21.一種從儲存和輸送系統中輸出產品氣體的方法，包括將路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質裝入到具有內部空間的容器中；向容器中裝入含有路易斯鹼性或者路易斯酸性活性氣體的原料氣，該活性氣體具有相反的路易斯酸性或鹼性，可與具有路易斯酸性或路易斯鹼性的活性液體介質發生可逆反應；收集在所述容器頂部空間內的、剩餘未反應的原料氣；從所述容器頂部空間排出所述剩餘原料氣，以除去聚集在頂部空間內的雜質；然後輸送產品氣體。
22.一種從儲存和輸送系統中輸出產品氣體的方法，包括將路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質裝入到具有內部空間的容器中；淨化含有路易斯鹼性或者路易斯酸性活性氣體的原料氣，以除去原料氣中存在的雜質，該活性氣體具有相反的路易斯酸性或鹼性，可與具有路易斯酸性或路易斯鹼性的活性液體介質發生可逆反應；將經過淨化的原料氣輸入容器；以及輸送產品氣體。
23.如權利要求22所述的方法，其中活性氣體是三氟化硼，雜質是二氧化碳。
24.如權利要求23所述的方法，其中使用沸石從三氟化硼中除去二氧化碳。
全文摘要
本發明旨在對可以快速填充並輸送可逆地儲存在非揮發性液體介質中的氣體的儲存和輸送系統進行改進，並對所輸送氣體的輸送方式和純度加以改進。該低壓氣體儲存和輸送系統包括容器，其內部含有活性路易斯鹼性或者路易斯酸性的活性液體介質，該介質可與具有相反路易斯酸性或鹼性的氣體發生可逆反應；用於向活性液體介質輸入能量或從該活性液體介質中輸出能量的系統；或者產品氣體淨化器(例如氣液分離器)；或者兩者。
文檔編號B01D53/00GK1719092SQ20051008352
公開日2006年1月11日 申請日期2005年7月8日 優先權日2004年7月8日
發明者D·R·格拉哈姆, D·J·坦佩, B·A·託塞蘭德, P·B·亨德森, J·J·哈特, J·B·阿普爾拜, J·R·布佐佐維斯基, P·S·普裡 申請人:氣體產品與化學公司