幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構的製作方法

2023-08-13 00:32:51

專利名稱：幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及刻蝕設備技術領域，尤其涉及幹法刻蝕設備中真空密封門 (Vacuum Gate)的安裝結構。
背景技術：
目前在幹法刻蝕(Dry Etch)設備中，真空密封門通過螺釘進行安裝和緊固。螺釘 數量多，拆裝比較繁瑣，而且所述真空密封門的安裝空間有限，不利於拆裝。每次更換真空 門0形密封圈(O-Ring)時，都需要拆卸並重新安裝所述真空密封門，過程複雜。然而，由於 幹法刻蝕設備中反應所產生的等離子體(Plasma)對0型密封圈有腐蝕性，因此真空密封門 工作用0型密封圈需要定期更換，所述真空密封門也就需要定期的拆裝，長期下來，耗費大 量的人力和維護工作用時間。而且因為更換次數多，安裝螺釘用的螺紋安裝孔很容易損壞， 維修起來難度大。

實用新型內容本發明的實施例提供一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，簡化了真空密 封門安裝程序，使得真空密封門易於維護和安裝。為達到上述目的，本發明的實施例採用如下技術方案一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，包括升降機構，所述升降機構上設 有支撐所述真空密封門的支撐體。現有技術幹法刻蝕設備中的真空密封門採用螺釘進行緊固和安裝，使得真空門0 型密封圈更換程序繁瑣，且由於更換頻繁，而容易損壞。本實用新型提供的真空密封門包括 用來控制整個安裝結構的高度的升降機構，還包括設置在升降機構上用於支撐所述真空密 封門的支撐體。沒有採用螺釘固定真空密封門，不需要螺釘的拆卸安裝過程。在安裝所述 真空密封門時，將所述安裝結構對準所述真空密封門的安裝位置，通過所述升降機構調整 所述安裝結構的高度適合，給真空密封門一個支撐力，使其緊密地與安裝面貼合，便可以完 成所述真空密封門的安裝。在拆卸所述真空密封門時，只需降低所述升降機構的高度，所 述真空密封門也會隨之降下，便可完成所述真空密封門的拆卸。簡化了空密封門的拆裝過 程，易於操作和維護，且避免了螺釘安裝和拆卸過程中對螺紋的安裝孔造成的損壞。

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現 有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本 發明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可 以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例的結構圖；圖2為本實用新型優選實施例的結構圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的 實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下 所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。本實用新型提供了一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，如圖1所示，所 述安裝結構包括用來控制整個安裝結構高度的升降機構1，還包括設置在所述升降機構1 上用於支撐所述真空密封門的支撐體2。當我們進行真空密封門的拆卸操作時，將本機構的 支撐體2等其他部分準備好，將所述升降機構1降下，所述真空密封門也會隨之降下，所述 真空密封門的拆卸完成。當我們進行真空密封門的安裝操作時，首先將所述真空密封門放 置到所述支撐體2上，然後將機構支撐體2等其他部分放置到合適的位置準備好，將所述升 降機構1升起，所述真空密封門也會隨之升起，直至到達安裝位置，所述真空密封門的安裝 完成。真空密封門採用此安裝結構後，不再有螺釘的拆裝過程，只需通過所述升降機構1調 整安裝結構的高度適合，所述安裝結構給真空密封門一個支撐力，使其緊密地與安裝面貼 合，簡化了真空密封門拆裝過程，易於操作和維護，且避免了螺釘安裝和拆卸過程中對螺紋 安裝孔造成的損壞。如圖2所示，作為本實用新型的一種優選的實施方式，本實用新型提供了一種幹 法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，包括用來控制整個安裝結構高度的升降機構5，還包 括設置在所述升降機構5上用於支撐所述真空密封門的支撐體3。所述幹法刻蝕設備中真 空密封門的安裝結構還包括底座4，所述底座4用於固定所述升降機構5。所述升降機構可以通過螺釘連接或者焊接的方式固定在所述底座4上，為了簡化 拆裝程序，本實用新型優選使用螺釘連接的方式將所述升降機構固定在所述底座4上。作為本實用新型的一種改進，所述升降機構可以是液壓機構。當我們進行真空密封門的拆卸操作時，首先將本結構的底座4、支撐體3等其他部 分準備好，然後將所述液壓機構降下，真空密封門也會隨之降下，所述真空密封門的拆卸完 成。當我們進行真空密封門的安裝操作時，首先將機構的底座4、支撐體3等其他部分準備 好，然後將所述液壓機構升起，所述真空密封門也會隨之升起，直至到達安裝位置，所述真 空密封門的安裝完成。作為本實施例的一種替換方式，所述液壓機構可以用氣壓機構或者機械式升降機 構替代。本實用新型提供另一種改進的實施方式，所述支撐體3包括與升降機構接觸的井 字梁、以及與所述真空密封門支撐的井字梁，所述兩個井字梁之間通過立柱支撐。這樣的結 構製作簡單，製作材料可以採用鋁合金或者鋼等常用的型材即可。如圖2所示，作為本實用新型的一種改進，可以在所述升降機構5的頂部設置有容 置槽6。所述支撐體3的底部設置在所述容置槽6內。所述容置槽可以使所述支撐體穩固的安放在液壓機構上。一般情況下，在所述升降機構上可以設置多個容置槽，並在每個容置槽內分別放 置支撐體，以便通過多個支撐體實現對真空密封門的支撐。[0021]本實用新型提供另一種改進的實施方式，給所述液壓機構設置機械鎖定裝置7， 所述機械鎖定裝置7與所述液壓機構在同一支撐面上。比如所述機械鎖定裝置7可以設在 液壓機構5內部的液壓腔外。所述機械鎖定裝置是為防止所述液壓機構在使用過程中失效或者出現故障而設 計的。當所述液壓機構在使用過程中失效或者出現故障時，所述機械鎖定裝置可以使所 述液壓機構繼續保持原來的高度，使所述安裝結構提供給所述真空密封門的支撐力保持不 變，使所述真空密封門不受所述液壓機構在使用過程中失效或者出現故障的影響。所述機械鎖定裝置可以使用一根或者多根螺杆或者一個或者多個交叉液壓支架 實現。鑑於螺杆提供支撐力相對於液壓支架更均勻更容易調節，且安裝簡易，本實用新型採 用兩根螺杆實現所述機械鎖定裝置。作為本實用新型的優選實施方式，所述機械鎖定裝置7的兩根螺杆設在所述液壓 機構縱向寬度中間，相距500毫米。當所述真空密封門通過液壓機構上升至安裝位置，便將 所述機械鎖定裝置7鎖定，以保證當液壓機構失效或者出現故障時，所述真空密封門不會 產生移動，確保整個真空密封門使用的安全性。本實用新型提供另一種改進的實施方式，所述支撐體上3設置有微調裝置8。所述支撐體3通過微調裝置8與真空密封門緊密配合，避免因真空密封門與安裝 面貼和不好而影響反應腔(Process Chamber)的密封性。本實用新型提供一種優選實施方式，可以在所述支撐體3上設有至少兩個螺紋安 裝孔，所述螺紋安裝孔內安裝有螺杆，所述微調裝置8為安裝在所述螺紋安裝孔內的螺杆。通過調節所述螺杆的高度，用多個點接觸取代面接觸，使整個真空密封門表面受 力均勻。所述螺杆的數量越多越好，但是為了便於操作和維護，本實用新型的優選方式採 用12個螺杆構成所述微調裝置8。本實用新型提供另一種改進的實施方式，所述螺杆頂端設有滾珠9。安裝時，所述 螺杆的頂端的滾珠9與所述真空密封門接觸。在所述螺杆與真空密封門接觸端安裝滾珠9， 所述滾珠9的圓形表面可以減少所述螺杆同真空密封門的接觸面積，減少摩擦，進而減少 對真空密封門的損壞。作為本實用新型另一種改進的實施方式，所述底座4與所述升降機構5 —體成型； 或者所述升降機構5與所述支撐體3 —體成型；或者所述底座4、所述升降機構5和所述支 撐體3 —體成型；或者所述機械鎖定裝置7與所述升降機構5 —體成型。上述機械鎖定裝置與所述升降機構一體成型，也可以用於所述升降機構由液壓機 構組成時，所述機械鎖定裝置與所述液壓機構一體成型。本實用新型省去底座4和支撐體3，只用液壓機構部分也可以實現，但這樣的機構 成本較高。為了方便本實用新型所述安裝結構的移動，可以在所述底座上設置滾輪和/或支 撐腳，比如可以在所述底座的底部設有滾輪和/或支撐腳。可以在所述底座4的底部設有 滾輪10。為了方便本實用新型所述安裝結構的固定，也可以在所述底座4的底部設置支撐 腳11。或者在底座4的底部同時設置滾輪10和支撐腳11。當需要移動所述安裝結構時，將支撐腳旋起，用滾輪進行支撐移動，當所述安裝結構達到安裝位置，並且不再需要移動，將滾輪旋起用支撐腳進行支撐，使整個真空密封門安 裝結構固定在安裝點。本實用新型提供了另一種改進的實施方式，在液壓機構上安裝壓力探測計12。當液壓機構達到工作位置，所述微調裝置與真空密封門完全接觸，為保證真空密 封門與安全面的貼合力度，則需要保證所述液壓機構的支撐力。本實用新型通過壓力探測 計的作用，控制所述液壓機構的支撐力。當所述壓力探測計探測到壓力不合格時，便將不合 格信息傳輸給設備控制端，所述設備控制端通過判斷和控制，能夠停止進行真空密封門的 安裝和拆卸操作。所述壓力探測計還能在液壓機構失效時，通過與設備控制端通訊，停止真 空密封門的安裝和拆卸等操作。本實用新型提供了另一種改進的實施方式，所述機械鎖定裝置7安裝有探測傳感 器13。本實用新型實施例採用紅外式對射傳感器，當機械鎖定裝置沒有設置到指定位 置時，紅外對射傳感器之間的信號沒有被阻斷，所述紅外對射傳感器之間有信號傳遞。通過 設備控制端程序的判斷和控制，不能進行真空密封門的安裝和拆卸操作。當所述機械鎖定 裝置設置到指定位置後，所述機械鎖定裝置介於紅外對射傳感器之間，所述機械鎖定裝置 阻斷了紅外對射傳感器之間的信號傳遞，所述紅外對射傳感器之間無信號傳遞，通過設備 控制端程序的判斷和控制，設備控制端認定機械鎖定裝置安裝正常，可以進行真空密封門 的安裝和拆卸等操作。所述探測傳感器可以固定安裝到所述機械鎖定裝置上，但為了靈活適應機械鎖定 裝置的高度，最好採用可以移動位置的安裝方式將所述探測傳感器安裝到所述機械鎖定裝置上。 本實用新型主要應用於幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝。 以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護範圍並不局限 於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術範圍內，可輕易想到變化 或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應所述以權 利要求的保護範圍為準。
權利要求一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，包括升降機構，所述升降機構上設有支撐所述真空密封門的支撐體。
2.根據權利要求1所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構還包括底座，所述底座用於固定所述升降機構。
3.根據權利要求1所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 升降機構為液壓機構。
4.根據權利要求3所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 液壓機構設有與所述液壓機構在同一支撐面上的機械鎖定裝置。
5.根據權利要求1、2、3或4所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在 於，所述升降機構的頂部設置有容置槽，所述支撐體設置在所述容置槽內。
6.根據權利要求1所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 支撐體包括與升降機構接觸的井字梁、以及與所述真空密封門支撐的井字梁，所述兩個井 字梁之間通過立柱支撐。
7.根據權利要求1或6所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所 述支撐體上設置有微調裝置，通過微調裝置與真空密封門緊密配合。
8.根據權利要求7所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 支撐體上設有至少兩個螺紋安裝孔，所述微調裝置為安裝在所述螺紋安裝孔內的螺杆。
9.根據權利要求8所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 螺杆頂端設有滾珠。
10.根據權利要求2所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 底座與所述升降機構一體成型、或者所述升降機構與所述支撐體一體成型、或者所述底座、 所述升降和所述支撐體一體成型。
11.根據權利要求4所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 機械鎖定裝置與所述液壓機構一體。
12.根據權利要求2所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 底座的底部設有滾輪和/或支撐腳。
13.根據權利要求3所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 液壓機構上設置壓力探測計。
14.根據權利要求4所述的幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，其特徵在於，所述 機械鎖定裝置上設有探測傳感器。
專利摘要本實用新型公開了一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，涉及刻蝕設備技術領域，解決了現有技術中真空密封門安裝程序複雜的問題，本實用新型提供一種幹法刻蝕設備中真空密封門的安裝結構，包括升降機構，所述升降機構上設有支撐所述真空密封門的支撐體。本實用新型主要應用於幹法刻蝕設備真空密封門的安裝。
文檔編號H01L21/3065GK201725781SQ20102017146
公開日2011年1月26日 申請日期2010年4月21日 優先權日2010年4月21日
發明者劉華鋒, 肖紅璽, 蘇順康, 陳正偉 申請人:北京京東方光電科技有限公司