電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境的製作方法
2023-07-10 21:37:11
專利名稱：電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境的製作方法
技術領域：
本發明與電子顯微鏡有關，特別是指一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境。
背景技術：
按，公知技術中，在操作電子顯微鏡來觀察物體時，通常受限於電子顯微鏡內的樣品腔室的真空環境，使得待觀察的物體必須為非揮發性的固體方能進行觀察。若是揮發性物體，例如液態或氣態的流體物質，在置入真空樣品腔室後會產生的大量氣體，不僅會造成電子束無法通過物體進行繞射或成像的實驗，亦會導致顯微鏡電子槍等高真空區域的真空度下降或造成汙染，而損壞電子顯微鏡。
由上可知，受限於真空環境的限制，傳統電子顯微鏡只能在其樣品腔室內觀察固態物質的結構，或觀察乾燥脫水後的生物細胞(例如原核細胞prokaryote的細菌，與真核細胞eukaryote的動植物)，病毒等等生物組織，並不能觀察流體樣品或流體環境中具有生理功能的細胞與病毒等等，當然更無法在一大氣壓的流體環境下觀察細胞內或細胞間各種胞器的運作，例如細胞核內DNA轉錄(transcription)RNA、RNA轉譯(translation)蛋白質(protein)、細胞質內微管體(microtubules)等生化反應過程，以及神經肌肉接合(neuromuscular junction)處的傳導生理(physiology of transduction)機制等等生命現象過程。
因此，必須有一種裝置可在其內部置入活體細胞或活體組織，並可將該裝置置入於電子顯微鏡內進行觀察。目前，雖已有部份人士提出在電子顯微鏡內提供一種可觀測的環境，例如Gai P.L.(Gai P.L.，Microscopy Microanalysis 8，21，2002)。但是其缺點是無法將樣品室的壓力維持接近常壓或較高的壓力狀態下進行觀察與分析，因液體為維持其液氣平衡的穩定狀態而會迅速揮發殆盡，所以必須持續補充液體進入樣品室，但此舉將造成待觀測的樣品產生嚴重的流動或新舊樣品混合不均的問題而影響觀測的真實性。另外大量揮發的高壓蒸氣或從外界注入氣室區的高壓氣體將充滿上下極塊間的整個空間，也會造成電子因撞擊大量氣體分子產生的多重散射效應變得非常嚴重，而導致電子束無法順利成像或進行電子繞射的實驗。同時，其樣品室的設計無法有效控制注入的液體量，故極易造成液體厚度過厚使得電子束無法穿透樣品，導致無法觀測與分析。
同時其設計仍必須將顯微鏡的主體分解才能將這些零件安裝，故量產的可能性不高。
發明內容
本發明的目的在於提供一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境。
為實現上述目的，本發明提供的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及位於該容室下方的一氣室，以及位於該氣室下方的至少一緩衝室，該容室的頂面具有至少一觀視孔設於該殼體，且該容室的底面具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的底面具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的底面具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣孔以及該外孔為同軸，且位於上方的該觀視孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中各該觀視孔的孔徑介於5μm-500μm之間。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該薄膜設於該觀視孔靠近該容室的一端。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該薄膜的至少一端面設有複數肋條。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該等肋條以平行或交叉或同心圓或輻射狀的方式布設於各該薄膜上。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測環境，其中各該薄膜以微影蝕刻法一體成型於該殼體上。
所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測環境，其中該等肋條與各該薄膜一體成型。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，另一側設有一流出孔。
本發明提供的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，還包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一氣室涵蓋於該容室的上下方，以及位於該氣室下方的一緩衝室，該容室的頂底面各具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的頂底面各具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的底面具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣室上下方的二該氣孔以及該外孔為同軸，且位於上方的該氣孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該薄膜設於該氣孔靠近於該氣室的一端。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，並於該容室的另一側設有一流出孔。
本發明還提供電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一氣室涵蓋於該容室的上下方，以及至少一緩衝室涵蓋於該氣室的上下方，該容室的頂底面各具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的頂底面各具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的頂底面各具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣室上下方的二該氣孔以及該緩衝室上下方的二該外孔為同軸，且位於上方的該外孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中各該薄膜設於該外孔靠近於該緩衝室的一端。
所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，並於該容室的另一側設有一流出孔。
由本發明的實施，可供置入一般樣品或活體細胞，以配合供電子顯微鏡進行觀測；此種半封閉式設計的觀測環境其厚度極薄，故不受限於高解析電子顯微鏡兩極塊間極窄間隔的限制，而可活用至高解析電子顯微鏡上的觀測；在內部注入液體或氣體時，不會有蒸氣或液體逸出而產生大量氣體的問題，觀測上更為容易、清淅。
圖1為本發明第一較佳實施例的立體示意圖。
圖2為本發明第一較佳實施例的剖視示意圖。
圖3(A)(B)(C)(D)為本發明第一較佳實施例的示意圖，顯示薄膜的狀態。
圖4為本發明第一較佳實施例的操作示意圖。
圖5為本發明第一較佳實施例的另一剖視示意圖，顯示殼體由蓋體與座體結合的狀態。
圖6為本發明第一較佳實施例的再一剖視示意圖，顯示殼體內增設斜隔板的狀態。
圖7為本發明第一較佳實施例的又一剖視示意圖，顯示配合樣品治具的狀態。
圖8為本發明第一較佳實施例的另一剖視示意圖，顯示配合樣品治具的又一種狀態。
圖9為本發明第二較佳實施例的剖視示意圖。
圖10為本發明第二較佳實施例的操作示意圖。
圖11為本發明第二較佳實施例的另一剖視示意圖，顯示配合樣品治具的狀態。
圖12為本發明第三較佳實施例的剖視示意圖。
圖13為本發明第三較佳實施例的操作示意圖。
圖14為顯示本發明的薄膜以不同位置設置的狀態。
具體實施例方式
為了詳細說明本發明的構造及特點所在，舉以下的三較佳實施例並配合
如後，其中的三實施例中分別描述出薄膜設置於觀測孔，以及薄膜設置於氣孔，以及薄膜設置於外孔的狀態，而均為半封閉式的觀測環境。
如圖1至圖3(A)圖所示，本發明第一較佳實施例所提供的一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境10，主要具有一殼體11，內部是以至少二隔板12分隔而形成一容室13，以及位於該容室13下方的一氣室14，以及位於該氣室14下方的一緩衝室15，該容室13的頂面具有至少一觀視孔131設於該殼體11，且該容室13的底面具有至少一觀視孔131設於該隔板12並連通於該氣室14，該氣室14的底面具有至少一氣孔141設於另一隔板12並連通於該緩衝室15，該緩衝室15的底面具有至少一外孔151設於該殼體11並連通於外界，該容室13上下方的二該觀視孔131與該氣孔141以及該外孔151為同軸，此外，各該觀視孔131的孔徑介於5μm-500μm之間，較佳孔徑為50μm又，位於上方的該觀視孔131封設一薄膜132，且該薄膜132設於該觀視孔131靠近於該容室13的一端，其材質為非結晶性薄膜，例如非結晶性碳膜或較具彈性的高分子膜等，其厚度約為100至20奈米(nm)間，該薄膜132的至少一端面設有複數的肋條133，本實施例中該等肋條133彼此交叉設置，可以強化各該薄膜132的強度，使得其至少可承受一大氣壓的壓差而不致破裂，而該薄膜132與該等肋條133可由公知的微影蝕刻方式製造並一體成型於該殼體11上，例如，可與設有觀視孔的殼體壁通過微影蝕刻法來一體成型；該殼體11於該氣室14的一側設有至少一注氣孔142，又該殼體11於該緩衝室15的一側設有至少一抽氣孔152；該殼體11於該容室13的一側設有一注入孔134，另一側設有一流出孔135。
各該觀視孔131其剖面構造在本實施例中，為外大內小的推拔狀，並且於該觀視孔131的孔壁及該隔板12外的表面施以疏水或超疏水處理，例如製造許多直徑在數百納米以內的柱狀物(pillar)，並在其表面附著一層疏水性自我組裝單分子膜(self-assembly monomolecular layer)，可以使得水滴在此表面的接觸角(contact angle)大於150度，以達不沾水的排水性。在對該半封閉式觀測環境10內置入樣品99的時候，可將液體以及待觀測樣品99(例如活體細胞)自一體成型的殼體11的注入孔134注入至該容室13，並利用該流出孔135來適時讓注入的液體或蒸氣或氣體流出，以做為壓力調節，而從觀視孔131溢漏出來的液體樣品，則會受到觀視孔131孔壁及該隔板12外的超疏水表面所排斥，而在殼體11直立置放時自注氣孔142流出；另有其它注入液體(樣品)的方式，例如，為避免液體樣品自觀視孔131溢出，亦可選擇在操作時提供預定壓力的特定氣體於該氣室14中，該特定氣體可為氮氣、氧氣、二氧化碳與惰性氣體等，並控制該特定氣體壓力與注入該容室13內的液體壓力差小於或等於該容室13內液體溶液的臨界溢漏壓力(Keller S.et al.，Journal of Food Protection 66，1260，2003)，藉此可使注入的液體樣品在容室13內循環流動而不會自該觀視孔131溢出，在進行觀測時，可視實驗需要而停止容室13內液體樣品的流動。此外，亦可利用對該注入孔134抽水或注水，以控制該容室13內液體樣品的量及其壓力。當待觀測樣品99為活體細胞時，則可在該容室13內注入培養液或蒸氣，並可將活體細胞的樣品99固定在該薄膜132或容室13內壁面，其固定方法則是在薄膜132或容室13內壁面塗布一層如右旋旋光性的聚離胺酸(poly-D-lysine)的類的細胞固定劑。另外，在本實施例中，該等肋條133除了以交叉方式(圖3(A))設置於該薄膜132上的外，如圖3(B)(C)(D)所示，亦可以平行或同心圓或輻射狀的方式布設於各該薄膜132上，而此薄膜132與肋條133可以公知的微影蝕刻方式製造。
在進行觀測時，如圖4配合圖2所示，將該半封閉式觀測環境10置入於電子顯微鏡90中，此種半封閉式設計的觀測環境10其厚度極薄，故不受限於高解析電子顯微鏡(high resolution transmission electronmicroscope，HRTEM)兩極塊間極窄間隔的限制，而可活用至高解析電子顯微鏡上的觀測；通過該注入孔134對該容室13內注入液體及樣品99或活體細胞，並通過該注氣孔142對該氣室14提供預定壓力的蒸氣，例如總壓為一大氣壓的飽和水蒸氣(或未飽和水蒸氣)與特定氣體的混合氣體，該特定氣體可為氮氣、氧氣、二氧化碳與惰性氣體等，該氣室14內的水蒸氣可抑制該容室13內的水的蒸發速率，另外，亦可提供一大氣壓的特定氣體於該氣室14中，並控制該特定氣體壓力與該容室13內的水溶液的壓力差小於或等於該容室13內水溶液的臨界溢漏壓力(Keller S.et al.，Journal of Food Protection 66，1260，2003)，由此可避免該容室13內的液體溶液自該等觀視孔131流出，而僅以蒸氣形態緩慢揮發進入該氣室14內，而該氣室14內的氣體及蒸氣亦會經由該氣孔141向外逸散至該緩衝室15。對該緩衝室15持續進行抽氣，由此可將從該氣室14逸散進入該緩衝室15的蒸氣與氣體會被抽走，而不會由該外孔151向外逸散。在進行觀測時，使電子顯微鏡90的電子束(圖中未示)通過該等外孔151以及該等氣孔141以及該等觀視孔131，即可對該容室13內的樣品99(可為活體細胞)進行觀測。其中，由該薄膜132的設置，可防止該容室13內的液體流出該殼體11外，而位於該緩衝室15內的氣體及蒸氣亦因為經由該抽氣孔152被抽出而不會經由該外孔151逸散出該殼體11，因此該電子顯微鏡90內的真空環境即不會被破壞。由此可達到觀視活體細胞樣品99或其它樣品的功效。
又，該殼體11除了如圖2所示可為一體成型的外，如圖5所示，該殼體11亦可由一蓋體111與一座體112組合而成，而該蓋體111與該座體112間可以一黏著劑(圖中未示)接合而成。
此外，本第一實施例中，可在不增加殼體11厚度的條件下，在緩衝室15內部設置一斜隔板153，如圖6所示，可將緩衝室15內部分隔出一子緩衝室16，該子緩衝室16於側邊設有一抽氣孔161，由多層的緩衝室15，16結構，可達到逐層減壓的效果，並可使得該殼體11內氣室14的壓力操作達一大氣壓以上，以及更能確保氣體及蒸氣不會外漏至該殼體11外。
又，再如圖7所示，本發明的主要結構亦可與樣品治具92(SpecimenHolder)結合在一起，而可以容室13』與氣室14』與緩衝室15』配合該樣品治具92來成型，圖7顯示第一實施例的結構配合樣品治具的實施暨操作狀態，其中，以一盒體19形成該容室13』設置於該樣品治具92上，再將該盒體19以及該樣品治具92整合設置於該殼體11』上，而於該容室13』上方的觀視孔131』上設置薄膜132』，至於緩衝室15』及氣室14』形成於該殼體11』內，此圖7所顯示的結構操作方式與前述操作方式相同，容不贅述。
另外，圖8顯示概同於前述第一實施例的另種狀態，其中以一盒體19」內部形成一容室13」與氣室14」配合設置於一樣品治具92，並以該樣品治具92設置於一殼體11」上，該盒體19」內的容室13」與氣室14」可以公知的微影蝕刻方式製造，此種方式可使得該氣室14」具有極薄的厚度以減少電子束通過氣室時所產生的電子多重散射的問題；又，本實施狀態較前述圖2與圖4所示還增加一緩衝室15」，故可使得該氣室14」內的氣體壓力能操作達到更高壓的環境。圖8所顯示結構的操作方式與前述概同，容不贅述。
請再參閱圖9，本發明第二實施例所提供的一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境20，主要具有一殼體21內部以至少二隔板22分隔而形成一容室23，以及至少一氣室24涵蓋於該容室23的上下方，以及位於該氣室24下方的一緩衝室25，該容室23的頂底面各具有至少一觀視孔231設於該隔板22並連通於該氣室24，該氣室24的頂底面各具有至少一氣孔241設於另一隔板22並連通於該緩衝室25，該緩衝室25的底面具有至少一外孔251設於該殼體21並連通於外界，該容室23上下方的二該觀視孔231與該氣室24上下方的二該氣孔241以及該外孔251為同軸，且位於上方的該氣孔241封設一薄膜242，該薄膜242設於該氣孔241靠近於該氣室24的一端；該殼體21於該氣室24的一側設有至少一注氣孔243，又該殼體21於該緩衝室25的一側設有至少一抽氣孔252。該殼體21於該容室23的一側設有一注入孔234，並於該容室23的另一側設有一流出孔235。
本第二實施例在操作時，如圖10配合圖9所示，置入於電子顯微鏡90內的狀態概同於前述第一實施例，且操作狀態概同於前述第一實施例，主要不同處在於本第二實施例較第一實施例多出位於上方的一氣室24，而該薄膜242(示於圖9)設置於最上方的該氣孔241上。而其它對於該容室23、氣室24以及緩衝室25的操作與前述第一實施例相同，容不贅述。
此外，在本第二實施例中，可在不增加殼體21厚度的條件下，亦可於該緩衝室25內部設置斜隔板(圖中未示)，其設置方式可參考圖6，而可於該緩衝室25內部分隔出一子緩衝室(圖中未示)，以產生更多層的緩衝室，而能達到逐層減壓的效果，並可使得該殼體內氣室的壓力可操作達到更高壓的環境。
又，再如圖11所示，本發明的主要結構亦可與樣品治具92(SpecimenHolder)結合在一起，而可以一盒體29內部形成容室23』與氣室24』來設置於該樣品治具92，再由該樣品治具92與一殼體21』配合形成二緩衝室25』，藉此可產生與前述圖9類同的結構，且又可以圖7類同的狀態來操作，且圖11所顯示的結構較圖7多出一緩衝室，可使得該盒體29內氣室24』的壓力能操作達到更高壓的環境。
請再參閱圖12，本發明第三實施例所提供的一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境30，主要具有一殼體31內部以至少二隔板32分隔而形成一容室33，以及至少一氣室34涵蓋於該容室33的上下方，以及至少一緩衝室35涵蓋於該氣室34的上下方，該容室33的頂底面各具有至少一觀視孔331設於該隔板32並連通於該氣室34，該氣室34的頂底面各具有至少一氣孔341設於另一隔板32並連通於該緩衝室35，該緩衝室35的頂底面各具有至少一外孔351設於該殼體31並連通於外界，該容室33上下方的二該觀視孔331與該氣室34上下方的二該氣孔341以及該緩衝室35上下方的二該外孔351為同軸，且位於上方的該外孔351封設一薄膜352，該薄膜352設於該外孔351靠近於該緩衝室35的一端；該殼體31於該氣室34的一側設有至少一注氣孔342，又該殼體31於該緩衝室35的一側設有至少一抽氣孔353。該殼體31於該容室33的一側設有一注入孔334，並於該容室33的另一側設有一流出孔335。
本第三實施例在操作時，如圖13所示，置入於電子顯微鏡90內的狀態概同於前述第二實施例，且操作狀態概同於前述第一實施例，主要不同處在於本第三實施例較第二實施例多出位於上方的一緩衝室35，而該薄膜352(示於圖12)設置於最上方的該外孔351上。而其它對於該容室33、氣室34以及緩衝室35的操作與前述第一實施例相同，容不贅述。
又，在本第三實施例中，亦可在不增加殼體31厚度的條件下，在該緩衝室35內部設置斜隔板(圖中未示)，其設置方式可參考圖6，而可於該緩衝室35內部分隔出一子緩衝室(圖中未示)，以產生更多層的緩衝室，而能達到逐層減壓的效果，並可使得該殼體內氣室的壓力可操作達到更高壓的環境。
本發明在前述三實施例中，描述出薄膜設置於各種不同位置的狀態，然此為舉例而已，並無意用以限制本發明的範圍，以第三實施例的圖12所示架構為例，薄膜除了可設置於外孔上，亦可僅設置於觀視孔與氣孔其中之一，或薄膜亦可設置於觀視孔、氣孔與外孔其中之二或全部設置，亦可設置於下方而不以上方為限。又，以第三實施例的架構配合圖14所示，薄膜352可設置於上方的觀視孔331以及下方的氣孔341，而可同樣具有半封閉的效果，而具有與前述實施例相同的功效以及相同的操作方式。
而前述諸多實施例中，該薄膜設置的位置僅為舉例說明的用，並非以靠近某一室(容室，氣室，緩衝室)的一端為限制，故其等效的變化，應為本發明的申請專利範圍所涵蓋。換言之，增設薄膜亦為本發明申請專利範圍所涵蓋。
另外，前述諸實施例中，各該容室內可供置入活體細胞樣品，活體細胞樣品可固定於該容室的內壁面或內側壁面，或是在第一實施例中把活體細胞樣品固定於一該觀視孔上設置的薄膜，其固定方法是在薄膜與容室內壁面塗布一層細胞固定劑，例如慣用的右旋旋光性的聚離胺酸(poly-D-lysine)等類型材料。
由上可知，本發明的優點在於一、可提供一觀察樣品或活體細胞的環境本發明可於該容室中置入一般樣品或活體細胞，以配合供電子顯微鏡進行觀測，解決了公知技術無法對活體細胞進行觀測的問題。
二、不會損壞電子顯微鏡本發明在該容室內注入液體或氣體時，可由該等氣室以及緩衝室來達到降壓以及抽氣的效果，可將蒸氣完全自該緩衝室抽出，避免了該殼體內的蒸氣逸出，不僅觀測上更為容易、清淅，且不會損壞電子顯微鏡。
三、本發明的半封閉式觀測環境的殼體厚度極薄，故不受限於高解析電子顯微鏡(high resolution transmission electron microscope HRTEM)兩極塊間極窄間隔的限制。
本發明所描述的各組件，僅為舉例說明，並非用來限制本發明的範圍，本發明的範圍仍應以申請專利範圍為準，由本發明所衍生的其它的變化及轉用，亦應為本發明的申請專利範圍所涵蓋。
權利要求
1.一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及位於該容室下方的一氣室，以及位於該氣室下方的至少一緩衝室，該容室的頂面具有至少一觀視孔設於該殼體，且該容室的底面具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的底面具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的底面具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣孔以及該外孔為同軸，且位於上方的該觀視孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
2.依據權利要求1所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中各該觀視孔的孔徑介於5μm-500μm之間。
3.依據權利要求1所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該薄膜設於該觀視孔靠近該容室的一端。
4.依據權利要求3所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該薄膜的至少一端面設有複數肋條。
5.依據權利要求4所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該等肋條以平行或交叉或同心圓或輻射狀的方式布設於各該薄膜上。
6.依據權利要求3所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測環境，其特徵在於，其中各該薄膜以微影蝕刻法一體成型於該殼體上。
7.依據權利要求6所述的電子顯微鏡用的封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該等肋條與各該薄膜一體成型。
8.依據權利要求1所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，另一側設有一流出孔。
9.一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一氣室涵蓋於該容室的上下方，以及位於該氣室下方的一緩衝室，該容室的頂底面各具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的頂底面各具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的底面具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣室上下方的二該氣孔以及該外孔為同軸，且位於上方的該氣孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
10.依據權利要求9所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該薄膜設於該氣孔靠近於該氣室的一端。
11.依據權利要求9所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，並於該容室的另一側設有一流出孔。
12.一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部以至少二隔板分隔而形成一容室，以及至少一氣室涵蓋於該容室的上下方，以及至少一緩衝室涵蓋於該氣室的上下方，該容室的頂底面各具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的頂底面各具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的頂底面各具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該容室上下方的二該觀視孔與該氣室上下方的二該氣孔以及該緩衝室上下方的二該外孔為同軸，且位於上方的該外孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔。
13.依據權利要求12所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中各該薄膜設於該外孔靠近於該緩衝室的一端。
14.依據權利要求12所述的電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，其特徵在於，其中該殼體於該容室的一側設有一注入孔，並於該容室的另一側設有一流出孔。
全文摘要
本發明是有關一種電子顯微鏡用的半封閉式觀測環境，包含有一殼體，內部是以隔板分隔形成一容室，以及形成位於該容室下方的一氣室，以及形成位於該氣室下方的一緩衝室，該容室的頂面具有至少一觀視孔設於該殼體，底面具有至少一觀視孔設於該隔板並連通於該氣室，該氣室的底面具有至少一氣孔設於另一隔板並連通於該緩衝室，該緩衝室的底面具有至少一外孔設於該殼體並連通於外界，該二觀視孔與該氣孔以及該外孔系同軸，且位於上方的該觀視孔封設一薄膜；該殼體於該氣室的一側設有至少一注氣孔，又該殼體於該緩衝室的一側設有至少一抽氣孔；由此可達到提供電子顯微鏡的觀測環境，並且仍能具有清淅的觀測結果。
文檔編號H01J37/26GK1979747SQ200510130410
公開日2007年6月13日 申請日期2005年12月9日 優先權日2005年12月9日
發明者趙治宇, 謝文俊 申請人:李炳寰