一種晶體矽太陽能電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置製造方法

2023-08-05 18:16:16

一種晶體矽太陽能電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置製造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶體矽太陽電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置，其包括有充足三氯氧磷的新擴散源瓶、剩餘有少量不能直接供給三氯氧磷的舊擴散源瓶和兩個恆溫裝置；小流量氮氣供給系統的氮氣出口通過氮氣進管連接舊擴散源瓶的進氣管，舊擴散源瓶的出氣管通過進氣管和雙向閥氣管接頭連接新擴散源瓶的進氣管，新擴散源瓶的出氣管通過進氣管連接擴散爐的三氯氧磷的進氣口。本實用新型能使剩餘有少量不能直接供給三氯氧磷的擴散源瓶內的三氯氧磷用盡，避免了三氯氧磷的浪費，提高了三氯氧磷的利用率，節省了生產成本；消除了剩餘有少量三氯氧磷擴散源瓶在儲存過程中存在的危險。
【專利說明】一種晶體矽太陽能電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型涉及一種晶體矽太陽電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置。

【背景技術】
[0002] 晶體矽太陽能電池的擴散工藝一般是利用摻硼的P型矽作為基底材料，在800°C 左右，通過擴散五價的磷原子形成η型的半導體，組成P-N結的過程。擴散使用的設備是擴 散爐3,三氯氧磷是擴散的主要原材料，將裝有三氯氧磷的擴散源瓶1安裝到設備的恆溫裝 置中，如圖1所示，擴散源瓶1通入小流量氮氣，小流量氮氣將三氯氧磷帶進石英管2內參 加反應。由於擴散過程中對三氯氧磷需要的量是一定的，當擴散源瓶中的三氯氧磷低於一 定量時，其氮氣所攜帶的三氯氧磷的量就不能滿足生產工藝的需要，必須更換新的擴散源 瓶，這樣更換下來的舊擴散源瓶內還剩餘少量的三氯氧磷，這不但造成了三氯氧磷的浪費， 且由於三氯氧磷是劇毒化學品，暴露於潮溼空氣中即水解生成磷酸和氯化氫，進而產生白 煙，遇水和酒精則產生大量的熱和鹽酸氣體，甚至爆炸，人體吸入有致命的危險，一旦洩露 會給周圍環境會造成很大的危險，所以舊擴散源瓶的儲存也存在很大的危險。 實用新型內容
[0003] 本實用新型的目的就是解決現有技術中存在的上述問題，提供一種晶體矽太陽電 池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置，該供給裝置能使剩餘有少量不能直接供給三氯氧磷的 擴散源瓶內的三氯氧磷用盡，避免了三氯氧磷的浪費，消除了剩餘有少量三氯氧磷擴散源 瓶在儲存過程中存在的危險。
[0004] 為實現上述目的，本實用新型的技術解決方案是：一種晶體矽太陽電池擴散工藝 中三氯氧磷的供給裝置，其包括有充足三氯氧磷的新擴散源瓶、剩餘有少量不能直接供給 三氯氧磷的舊擴散源瓶和兩個恆溫裝置；恆溫裝置的內腔大小與擴散源瓶的大小一致，其 上端開有與擴散源瓶上的進氣管和出氣管相匹配的進氣管孔和出氣管孔；新和舊擴散源瓶 分別置於恆溫裝置內，其進氣管和出氣管上分別安裝有單向閥氣管接頭；小流量氮氣供給 系統的氮氣出口通過氮氣進管連接舊擴散源瓶的進氣管，舊擴散源瓶的出氣管通過進氣管 和雙向閥氣管接頭連接新擴散源瓶的進氣管，新擴散源瓶的出氣管通過進氣管連接擴散爐 的三氯氧磷的進氣口。
[0005] 由於本實用新型採用了上述方案，將更換下來的剩餘有少量不能直接供給三氯氧 磷的舊擴散源瓶放入恆溫裝置中，將管道按照上述描述的連接方式連接好，讓小流量氮氣 先通過含有的少量三氯氧磷的舊擴散源瓶，再通過有充足三氯氧磷的新擴散源瓶。這樣就 可以保證將更換下來的擴散源瓶內剩餘的三氯氧磷基本用完，避免了三氯氧磷的浪費，提 高了三氯氧磷的利用率，節省了生產成本；且消除了剩餘有少量三氯氧磷擴散源瓶在儲存 過程中存在的危險。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1為現有技術中供給裝置的結構示意圖；
[0007] 圖2為本實用新型的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0008] 如圖2所示，本實施例包括有充足三氯氧磷的新擴散源瓶10、剩餘有少量不能直 接供給三氯氧磷的舊擴散源瓶4和兩個恆溫裝置7。恆溫裝置7的內腔大小與擴散源瓶的 大小一致，其上端開有與擴散源瓶上的進氣管和出氣管相匹配的進氣管孔和出氣管孔。新 和舊擴散源瓶10和4分別置於恆溫裝置7內，其進氣管5和11和出氣管6和12上分別安 裝有單向閥氣管接頭8。小流量氮氣供給系統的氮氣出口通過氮氣進管13連接舊擴散源瓶 4的進氣管5,舊擴散源瓶4的出氣管6通過進氣管14和雙向閥氣管接頭9連接新擴散源 瓶10的進氣管11，新擴散源瓶10的出氣管12通過進氣管15連接擴散爐的三氯氧磷的進 氣口。
[0009] 當然，本實用新型還有其它多種實施例，在不違背本實用新型精神和實質的情況 下，熟悉本領域的技術人員可根據本實用新型做出相應的改變和變形，這些相應的改變和 變形都應屬於本實用新型權利要求的保護範圍。
【權利要求】
1. 一種晶體矽太陽電池擴散工藝中三氯氧磷的供給裝置，其包括有充足三氯氧磷的新 擴散源瓶和恆溫裝置，其特徵在於：其還包括剩餘有少量不能直接供給三氯氧磷的舊擴散 源瓶和另一恆溫裝置；恆溫裝置的內腔大小與擴散源瓶的大小一致，其上端開有與擴散源 瓶上的進氣管和出氣管相匹配的進氣管孔和出氣管孔；新和舊擴散源瓶分別置於恆溫裝置 內，其進氣管和出氣管上分別安裝有單向閥氣管接頭；小流量氮氣供給系統的氮氣出口通 過氮氣進管連接舊擴散源瓶的進氣管，舊擴散源瓶的出氣管通過進氣管和雙向閥氣管接頭 連接新擴散源瓶的進氣管，新擴散源瓶的出氣管通過進氣管連接擴散爐的三氯氧磷的進氣 □。
【文檔編號】C30B31/16GK203904505SQ201420207177
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年4月27日 優先權日:2014年4月27日
【發明者】周瑩, 殷國安, 鄭會剛, 田娜, 王春燕, 楊雄磊 申請人:巨力新能源股份有限公司