改進的乾濕交替式廢氣處理機的製作方法
2023-07-25 05:54:16 1
專利名稱：改進的乾濕交替式廢氣處理機的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及氣體分離裝置，尤其涉及一種改進的乾濕交替式廢氣處理機。
習用的應用於半導體製造業的乾濕交替式廢氣處理機，其結構如
圖1所示，包括一用電熱器高溫加熱裂解廢氣的反應腔1、一內設水霧噴嘴以進一步衝刷經裂解廢氣的濾淨腔2及一與前述反應腔和濾淨腔底端連通的排水模組3，這種將習用的溼式廢氣洗滌機與乾式廢氣裂解爐結合一體的廢氣處理手段，因能徹底清除廢氣中所夾雜的微顆粒物質，所以逐漸被半導體製造業採用。上述習用的乾濕交替式廢氣處理機，雖能達到基本的實施效果，但是本創作人根據積累的相關技術資料以及多年工作的經驗，發現其仍存在有待改進之處1、習用乾濕交替式廢氣處理機的反應腔用電熱器4作為唯一的熱源，由於電熱絲外部的絕緣材質(一般採用氧化鎂)的耐溫程度僅僅在800℃左右，又由於熱向上升的原理，反應腔內的溫度呈現向下漸低的不均衡狀態，致使廢氣裂解處理效果無法進一步提高；2、習用乾濕交替式廢氣處理機的排水模組與反應腔和濾淨腔底部連通的連接導管a設成形狀，其轉折處形成氣流(如→所示)死角進而造成汙水(如雙實線箭頭所示)中顆粒物質b沉積現象；3、反應腔頂端封蓋處的氣密墊圈5容易因長時間處於高溫狀態導致質量變化而損耗。
有鑑於此，本實用新型創作人員根據其多年從事廢氣處理設備製造業的經驗，針對習用乾濕交替式半導體廢氣處理機整體結構設計存在的問題，積極地研究改進，終於設計出本實用新型。
本實用新型的主要目的在於提供一種改進的乾濕交替式廢氣處理機，其由反應腔、濾淨腔及排水模組組成，其可使廢氣不產生氣流死角，衝刷廢氣的汙水不致在管道轉折處形成垢質堆積的排放，反應腔內部進氣口處設有爐火噴嘴與電熱器配合使反應腔產生800℃以上的高溫加熱，提高廢氣裂解處理效果，反應腔封蓋頂面設有環狀水道與濾淨腔供水管路連接，可使封蓋間的氣密墊圈得到降溫效果，降低其損耗率。
本實用新型的另一目的在於提供一種改進的乾濕交替式廢氣處理裝置，其排水模組的U形連接導管，其連接端外圍套設有環狀水霧噴嘴，水霧自管壁向內噴淋，使廢氣和汙水均能順暢流通、排放。
本實用新型的又一目的在於提供一種改進的乾濕交替式廢氣處理機，其反應腔內部爐火噴嘴的噴孔向下且樞接燃料管，燃料源可採用一般煤制氣或半導體製備過程中產生的含氫廢氣。
本實用新型的目的是由以下技術方案實現的。
本實用新型的改進的乾濕交替式廢氣處理機，其機體包括一反應腔、一濾淨腔及一排水模組，其改進之處在於，所述排水模組與反應腔和濾淨腔底端的連接導管設成U形管，該U形管體的中央底緣另延伸一管柱供排水管連接；所述反應腔內部進氣口處設有一爐火噴嘴，該噴嘴的噴孔向下且樞接燃料導管，該反應腔設有封蓋，封蓋頂面設有一環狀水道，該環狀水道與濾淨腔的供水管路連通。
本實用新型的上述目的還可以通過以下技術措施來進一步實現。
本實用新型的改進乾濕交替式廢氣處理機，所述排水模組的U形連接導管，其連接端外圍套設有環狀水霧噴嘴，使水霧成自管壁向內噴淋的狀態；所述設在反應腔內部的爐火噴嘴的燃料源為一般的煤制氣；所述設在反應腔內部的爐火噴嘴的燃料源為半導體製備過程中產生的含氫廢氣。
本實用新型的具體結構由以下實施例及其附圖詳細給出。
圖1為習用乾濕交替式廢氣處理機結構示意圖。
圖2為本實用新型整體結構示意圖。
圖3為本實用新型排水模組示意圖。
參閱圖2所示，本實用新型改進的乾濕交替廢氣處理機，其機體包括一反應腔10、一濾淨腔20及一排水模組30，其反應腔10通過設在腔壁夾層的電熱器11產生高溫，用以裂解通過腔體的廢氣(如→所示)；濾淨腔20內設有水霧噴嘴21用以進一步衝刷經裂解的廢氣，其內設吸水性濾材22，用於去除氣體中過飽和水氣；所述排水模組30設有一連接導管31，接設在前述反應腔10和濾淨腔20的底端，用以將經反應腔的廢氣導入濾淨腔，並將衝刷廢氣的汙水(如雙實線箭頭所示)排出。
本實用新型反應腔10進氣口處設有一爐火噴嘴12，該爐火噴嘴的噴孔向下且一端樞接燃料導管13，用以輔助電熱器11的加熱效率，作業時藉由爐火(如彎折箭頭所示)在反應腔內部上端(進氣口)處的輔助加熱作用，電熱器11的加熱功率可限定在電熱絲絕緣層耐溫範圍800℃以下，而反應腔內部可快速達到800℃以上的高溫狀態，使廢氣裂解效果更好。排水模組30的連接導管設成U形管，該U形管體的中央底緣處延伸一管柱32供排水管33連接，使通過的廢氣不產生氣流死角的流通，且經衝刷廢氣的汙水(如雙實線箭頭所示)能夠流暢的循U形管壁經排水管33排出，進而有效地避免管道轉折處形成顆粒物質堆積的現象。反應腔10設有封蓋14，封蓋14頂面設有一環狀水道16，該環狀水道16與濾淨腔20的供水管路連通，使封蓋處的氣密墊圈15得到降溫效果，以延長其使用壽命。
參閱圖3所示，本實用新型的改進的乾濕交替廢氣處理機，排水模組30的U形連接導管31，其連接端的外圍套設有環狀水霧噴嘴34，水霧形成自管壁向內噴淋的作用，使廢氣(如→所示)及汙水(如雙實線箭頭所示)均能保持無阻擋的順暢流通和排放作業。
綜上所述，本實用新型的改進的乾濕交替式廢氣處理機，其結構設計合理，廢氣不產生氣流死角，衝刷汙水不致在管道轉折處堆積垢質，降低封蓋密封墊圈損耗率，提高廢氣裂解效率，可利用生產過程中產生的廢氣作能源，降低成本，克服習用產品的缺陷，達到預期的設計目的。
權利要求1.一種改進的乾濕交替式廢氣處理機，其機體包括一反應腔、一濾淨腔及一排水模組，其特徵在於，所述排水模組與反應腔和濾淨腔底端的連接導管設成U形管，該U形管體的中央底緣另延伸一管柱供排水管連接；所述反應腔內部進氣口處設有一爐火噴嘴，該噴嘴的噴孔向下且樞接燃料導管，該反應腔設有封蓋，封蓋頂面設有一環狀水道，該環狀水道與濾淨腔的供水管路連通。
2.根據權利要求1所述的改進的乾濕交替式廢氣處理機，其特徵在於，所述排水模組的U形連接導管，其連接端外圍套設有環狀水霧噴嘴。
3.根據權利要求1所述的改進的乾濕交替式廢氣處理機，其特徵在於，所述設在反應腔內部的爐火噴嘴的燃料源為煤制氣。
4.根據權利要求1所述的改進的乾濕交替式廢氣處理機，其特徵在於，所述設在反應腔內部的爐火噴嘴的燃料源為半導體製備過程中產生的含氫廢氣。
專利摘要改進的乾濕交替式廢氣處理機,機體包括反應腔、濾淨腔及排水模組,排水模組與反應腔和濾淨腔底端的連接導管成U形管,管體中央底緣延伸管柱供排水管連接,反應腔內部進氣口處設爐火噴嘴,噴嘴噴孔向下且樞接燃料導管,反應腔設封蓋,封蓋頂面設環狀水道並與濾淨腔供水管路連通,提高廢氣裂解效率,有效避免排水模組在管道轉折處堆積垢質現象,降低封蓋密封墊圈損耗率,可利用生產過程中產生的廢氣作能源,使用性能理想。
文檔編號B01D53/74GK2480047SQ0121895
公開日2002年3月6日 申請日期2001年4月5日 優先權日2001年4月5日
發明者陳聰茂 申請人:陳聰茂