半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件及其鎖環手柄延長治具的製作方法

2023-08-03 04:46:46

本發明涉及半導體技術領域，特別涉及一種半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件及其鎖環手柄延長治具。

背景技術：

現有的半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件通常包括鐘擺閥鎖環以及鐘擺閥外殼，所述鐘擺閥外殼用於容納鐘擺閥鎖環。具體地，請參考圖1，圖1所示為現有的鐘擺閥鎖環結構示意圖。所述鐘擺閥鎖1具有環體，所述環體一周設置有多個對準卡槽3，所述環體外圍設置有鎖環手柄2。請結合圖2所示的現有的鐘擺閥外殼的結構示意圖。鐘擺閥外殼4上對應設置有多個定位銷孔5，所述定位銷孔5的布局、形狀、數目與所述環體上的對準卡槽3的布局、形狀和數目一致。

結合圖3所示的現有技術的鐘擺閥鎖環組件的結構示意圖。所述鐘擺閥鎖環組件在安裝時，通過手持鎖環手柄2，轉動鎖環手柄2帶動鐘擺閥鎖環1轉動，使得鐘擺閥鎖環1上的對準卡槽3(結合圖1)中插入鐘擺閥外殼4上的定位銷孔5，將鐘擺閥鎖環1與鐘擺閥外殼4固定，實現鐘擺閥鎖環組件的組裝。

上述鐘擺閥鎖環組件的組裝過程中，經常發生對準卡槽磨損變形，並且鐘擺閥鎖環組件的組裝費時費力。

技術實現要素：

本發明解決的問題是提供一種半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件及其鎖環手柄延長治具，能夠解決鐘擺閥鎖環組件安裝過程中的對準卡槽磨損變形問題，並且易於組裝。

為了解決上述問題，本發明提供一種半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環組件，該鐘擺閥鎖環組件包括：鐘擺閥鎖環以及用於容納鐘擺閥的鐘擺閥外殼，所述鐘擺閥鎖環的環體的外圍設置有鎖環手柄，所述鎖環手柄具有對應的鎖環手柄延長治具，套設於所述手柄外圈；所述鎖環手柄延長治具用於將所述鎖環手柄延長並帶動所述鎖環手柄轉動，以將所述鐘擺閥鎖環與所述鐘擺閥外殼對準並固定。

可選地，所述鎖環手柄延長治具的材質與所述鎖環手柄的材質不同，所述鎖環手柄延長治具的材質為特氟龍。

可選地，所述鎖環手柄的長度為8-10釐米，所述鎖環手柄延長治具的長度為18-22釐米。

可選地，所述鎖環手柄的直徑為3.2-5.2釐米，重量為1.5-2.5千克，所述鎖環延長治具的直徑範圍為4.2-6.2釐米。

可選地，所述鎖環手柄延長治具與所述鎖環手柄通過定位銷孔固定。

可選地，所述鐘擺閥的環體上設置有多個對準卡槽，所述鐘擺閥鎖環的外殼上與所述環體對應的位置設置有多個定位銷，通過所述鎖環手柄延長治具帶動所述鎖環手柄的轉動實現所述定位銷與對準卡槽的對應。

相應地，本發明還提供一種半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環手柄延長治具，用於鐘擺閥鎖環手柄的延長及固定，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具套接於所述鐘擺閥鎖環手柄的外側，並且所述鐘擺鎖環手柄延長治具用於帶動所述鐘擺閥鎖環手柄轉動。

可選地，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具與所述鐘擺閥手柄之間的連接為可拆卸連接。

可選地，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具套設在所述鐘擺閥鎖環手柄外部。

可選地，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具的一端與所述鐘擺閥鎖環手柄以及所述鐘擺閥鎖環的外圍接觸，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具的另一端超出所述鐘擺閥鎖環手柄的另一端的長度為9-13釐米。

與現有技術相比，本發明提供的鐘擺閥鎖的鎖環手柄具有對應的鎖環手柄延長治具，套設於所述手柄外圈，通過所述鎖環手柄延長治具用於將所述鎖環手柄延長並帶動所述鎖環手柄轉動，以將所述鐘擺閥鎖環與所述鐘擺閥外殼對準並固定，由於採用了鎖環手柄延長治具，使得鐘擺閥鎖環更加容易與鐘擺閥外殼對準，避免反覆對準過程中造成的磨損的對準卡槽的問題，能夠省時省力的組裝鐘擺閥鎖環組件；

進一步優化的，所述鎖環手柄的長度為8-10釐米，鎖環手柄延長治具的長度為18-22釐米，鎖環手柄延長治具腳鎖環手柄的長度設置，更容易帶動鎖環手柄進行轉動；本發明提供的鎖環手柄延長治具，直接套設在鎖環手柄外部，在使用過程中可以方便的進行拆卸及安裝。

附圖說明

圖1是現有技術的鐘擺閥鎖環結構示意圖；

圖2是現有技術的鐘擺閥外殼的結構示意圖；

圖3是現有技術的鐘擺閥鎖環組件的結構示意圖；

圖4是本發明一個實施例的鐘擺閥鎖環的結構示意圖；

圖5是本發明一個實施例的鐘擺閥鎖環組件的結構示意圖。

具體實施方式

現有的鐘擺閥鎖環組件的組裝過程中，經常發生對準卡槽磨損變形，並且鐘擺閥鎖環組件的組裝費時費力。參考圖3，由於鐘擺閥鎖環1以及鎖環手柄2的材質均為金屬，鐘擺閥鎖環1的重量為1千克，而鎖環手柄2的重量為1千克而鎖環手柄2的長度通常為9釐米。在轉動鎖環手柄2將鐘擺閥鎖環1安裝至鐘擺閥外殼4上時，難以通過較短的鎖環手柄2推動較為沉重的鐘擺閥鎖環，需要單手託舉鐘擺閥鎖環並通過多次反覆轉動實現對準開槽和定位小孔的對準和定位，在反覆對準過程中容易造成對準卡槽的變形，整個安裝過程費時費力。

發明人發現，對半導體刻蝕設備而言，鐘擺閥鎖環1必須具有一定的重量以滿足半導體工藝的安全性、穩定性的需要，因此，鐘擺閥鎖環1的重量無法減輕，而如果能夠減少單手託舉鐘擺閥鎖環，並且避免多次反覆轉動過程中對對準卡槽的磨損，就能避免對準卡槽的變形，使得鐘擺閥鎖環組件的組裝過程更為簡單和快捷。

結合圖1，造成鐘擺閥鎖環1難以轉動的原因之一是其重量較重，而另一個原因是鎖環手柄2相對於鐘擺閥鎖環1過短，該鐘擺閥鎖環1的直徑通常為27.5釐米，重量為2千克，而鎖環手柄2的長度僅僅為9釐米，安裝時通過鎖環手柄2轉動鐘擺閥鎖環1較為困難。如果能夠延長鎖環手柄2的長度，則可以較為容易的對其施加外力，實現鎖環手柄2帶動鐘擺閥鎖環1的轉動，但是，由於半導體刻蝕設備刻蝕腔體設計限制，鎖環手柄2的長度是相對固定的，增大鎖環手柄2的長度勢必需要對半導體刻蝕設備的刻蝕腔體的結構進行調整，成本太高。為了解決上述問題，發明人考慮，將鎖環手柄2的外圍增加一個機械機構，通過該機械結構能夠對鎖環手柄2施加外力，在該外力的作用下推動鎖環手柄2來帶動鐘擺閥鎖環1進行轉動。較為優選的，該機械結構能夠與鎖環手柄2進行靈活的安裝和拆分，這樣在鐘擺閥鎖環與鐘擺閥外殼組裝完成後，可以將該機械結構方便的移除。

發明人考慮，該機械結構可以為設置在鎖環手柄2中的一個孔以及可以與該孔對應的T字部件，該T字部件具有水平部和位於水平部下方的豎直部，在使用過程中該豎直部的下方插入孔中，通過上方的水平部可以轉動鎖環手柄2，可以推動鎖環手柄2，實現鐘擺閥鎖環1的轉動及對準。但是，這樣的結構較為複雜，並且需要精確的設計T字部，並且需要在鎖環手柄2中打孔，而該孔的尺寸會受到鎖環手柄2的限制，不能過大，而太小的孔不利於T字部傳導外部的作用力。

較為優選的，發明人提出，該機械結構應該設置在鎖環手柄的延長線上，並且能夠方便的安裝拆卸。通過推動該機械結構，就可以推動鎖環手柄。具體地，本發明在鎖環手柄外部套設手柄延長治具(利用該手柄延長治具作為前述的機械結構)，該手柄延長治具能夠沿鐘擺閥鎖環1的半徑方向延長所述鎖環手柄，並帶動所述鎖環手柄轉動，以將所述鐘擺閥鎖環與所述鐘擺閥外殼對準並固定。在鐘擺閥鎖環組件組裝完成後，可以將手柄延長治具與鎖環手柄分離。

具體地，參考圖4所示的本發明一個實施例的鐘擺閥鎖環的結構示意圖。鐘擺閥鎖環10具有環體，鐘擺閥鎖環10的直徑範圍為25.5-29釐米，比如在本實施例中，所述鐘擺閥鎖環10的直徑為27.5釐米，材質為鋁合金，重量為2千克，鐘擺閥鎖環10的環體一周設置有多個對準卡槽30，所述對準卡槽30的形狀為圓形，直徑為27.5釐米，所述對準卡槽30沿環體均勻分布。鎖環手柄20的長度範圍為8-10釐米，在本發明的一個實施例中，所述鎖環手柄20的長度為9釐米，鎖環手柄20的直徑範圍為3.2-5.2釐米，本實施例中鎖環手柄20的直徑為4.2釐米，其材質為鋁合金，所述鎖環手柄20與所述環體的外圍相連接，並且固定連接在所述環體的外圍上。

所述鎖環手柄延長治具40的材質與所述鎖環手柄的材質不同，所述鎖環手柄延長治具的材質為特氟龍。鎖環手柄延長治具40的一端與所述鎖環手柄20的一端以及環體的外圍相接觸，鎖環手柄延長治具40的另一端超越鎖環手柄20的另一端並且向外延伸，鎖環手柄延長治具40的另一端超越鎖環手柄20的另一端的長度為11釐米。這樣設計能夠最大限度的施加外力。在其他的實例中，鎖環手柄延長治具40的一端可以與所述鎖環手柄20中間的任何位置固定，另一端延長，同樣可以實現鎖環手柄20的延長及推動的效果。

作為一個實施例，所述鎖環手柄延長治具40的內徑比所述鎖環手柄20的外徑大1釐米左右。所述鎖環手柄延長治具40可以與所述鎖環手柄20通直接套入，而且不需要通過螺絲螺母結構，這樣可以較為容易的施加外力，並且便於拆卸。

鎖環手柄延長治具40與鎖環手柄20的套接關係並還可以通過螺絲螺紋方式固定實現，或者銷釘銷孔方式固定或者彈簧方式固定實現。

鎖環手柄延長治具40與鎖環手柄20的套接關係也不限定於固定，兩者也可以不固定，在一定的情況下也可以實現鎖環手柄20的延長及推動鎖環手柄20轉動。比如，鎖環手柄延長治具40與鎖環手柄20之間有一定間隙，鎖環手柄20外圍與所述鎖環手柄延長治具的內側相接，只要鎖環手柄延長治具40的一端套接於所述鎖環手柄20的一側，另一端超過鎖環手柄20的另一側，便實現鎖環手柄20的延長，可以藉由鎖環手柄延長治具40推動鎖環手柄20。

參考圖5，鐘擺閥外殼40上設置多個定位銷，該定位銷的形狀、位置、布局與鐘擺閥鎖環的環體上的對準卡槽的形狀、位置和布局對應。通過所述鎖環手柄延長治具40帶動所述鎖環手柄20的轉動實現所述定位銷與對準卡槽的對應，實現鐘擺閥鎖環與鐘擺閥外殼的對準和固定。

相應地，本發明還提供一種半導體刻蝕設備的鐘擺閥鎖環手柄延長治具40，用於鐘擺閥鎖環手柄的延長及固定，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具套接於所述鐘擺閥鎖環手柄的外側，並且所述鐘擺鎖環手柄延長治具用於帶動所述鐘擺閥鎖環手柄轉動。

較為優選的，本發明所述的鐘擺閥鎖環手柄延長治具40與所述鐘擺閥手柄20之間的連接為可拆卸的連接。在本發明的一個實施例中，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具40通過螺栓螺紋方式套設在所述鐘擺閥鎖環手柄20外圍，這樣更有利傳遞外力，更加容易推動鐘擺閥鎖環。

所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具40的一端與所述鐘擺閥鎖環手柄20以及所述鐘擺閥鎖環10的外圍接觸，所述鐘擺閥鎖環手柄延長治具40的另一端超出所述鐘擺閥鎖環手柄的另一端的長度為11釐米。

綜上，本發明提供的鐘擺閥鎖的鎖環手柄具有對應的鎖環手柄延長治具，套設於所述手柄外圈，通過所述鎖環手柄延長治具用於將所述鎖環手柄延長並帶動所述鎖環手柄轉動，以將所述鐘擺閥鎖環與所述鐘擺閥外殼對準並固定，由於採用了鎖環手柄延長治具，使得鐘擺閥鎖環更加容易與鐘擺閥外殼對準，避免反覆對準過程中造成的磨損的對準卡槽的問題，能夠省時省力的組裝鐘擺閥鎖環組件；

進一步優化的，所述鎖環手柄的長度為8-10釐米，鎖環手柄延長治具的長度為18-22釐米，鎖環手柄延長治具腳鎖環手柄的長度設置，更容易帶動鎖環手柄進行轉動；

本發明提供的鎖環手柄延長治具，直接套設在鎖環手柄外部，在使用過程中可以方便的進行拆卸及安裝。

因此，上述較佳實施例僅為說明本發明的技術構思及特點，其目的在於讓熟悉此項技術的人士能夠了解本發明的內容並據以實施，並不能以此限制本發明的保護範圍。凡根據本發明精神實質所作的等效變化或修飾，都應涵蓋在本發明的保護範圍之內。