傳感器設備及包括其的冷卻設備的性能評估裝置製造方法

2023-07-04 22:26:06

傳感器設備及包括其的冷卻設備的性能評估裝置製造方法
【專利摘要】本發明涉及一種傳感器設備和包括其的冷卻設備的性能評估裝置，所述傳感器設備可以構築與在氣體、從噴嘴澆注或噴射的液柱或者噴射水等壓力施加體發生碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應的定性信號，並產生定量信號。這種本發明可以得到如下效果：構築與在液體、氣體、噴嘴的液柱或噴嘴的水柱或者噴嘴的噴射水等發生碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應的定性信號、定量信號、及數據，並且還防止基於溫度變化的測量誤差，而且將其作為基礎可以最大限度的定量且精確地評估冷卻設備的性能(澆注或者噴射狀態)，最終提高冷卻設備的維護性和可操作性的效果。
【專利說明】傳感器設備及包括其的冷卻設備的性能評估裝置
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種傳感器設備及包括其的冷卻設備的性能評估裝置，更詳細地，涉及一種如下的傳感器設備和包括其的冷卻設備的性能評估裝置，可以構築與在液體、氣體、噴嘴的水柱(以下，稱為「液柱」)或者噴嘴的噴射水等發生碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應的定性信號(qualitative signal)、定量信號(quantitative signal)、及數據，並且還防止因溫度變化而產生測量差錯(誤差(eiror))，而且將其作為基礎可以最大限度的定量且精確地評估冷卻設備的性能(澆注或者噴射狀態)，最終提高冷卻設備的維護性和可操作性。
【背景技術】
[0002]在連續鑄造工藝中製造且經過加熱爐的板坯(Slab)，經過粗軋(RM)和精軋(FM)而生產為具有規定厚度的厚板材料。
[0003]例如，如圖1和圖2所示，通過連續鑄造工藝來製造的鑄坯例如板坯(Slab)，在加熱爐310中根據鋼的種類加熱至目標溫度，經過加熱爐的材料，經過粗軋和精軋的軋制步驟320軋制為一定厚度例如最終產品的規定厚度，由此生產厚板材料。
[0004]另一方面，通過軋制以規定板厚軋制的厚板材料S，為了控制晶粒微細化或相變組織，經過加速冷卻機200。
[0005]並且，為了提高軋制產品(厚板產品)的質量，通過矯直機330進行熱矯正，並且在冷卻臺340完成最終廣品。
[0006]另一方面，為了生產無矯正和無變形的產品，需要在加熱爐310至加速冷卻機200設定最佳條件，並且需要將導致設備的管理和軋制材料(厚板材料)S的溫度不均勻的因素消除的過程，導致這種溫度不均勻的因素與圖1、2所示的加速冷卻機200的材料溫度控制有關。
[0007]此時，如圖2所示，圖中的加速冷卻機200是示意性示出的，其由4-7個分組(bank) 210a-210d構成，各個單元分組分別由4_6個冷卻聯箱、即由上、下部聯箱(header) 220、230 構成。
[0008]另一方面，在單元聯箱例如上部聯箱220，形成液柱的噴嘴(圖6c的240)以一定間隔和列排列約1000個左右。
[0009]但是，設置在這種加速冷卻機200的聯箱的噴嘴240由於其組分的離子化差異、力口熱、及冷卻，容易發生噴嘴內部和出口部位(噴射孔)堵塞的現象。
[0010]例如，這種聯箱噴嘴的堵塞現象主要是由劣化產生的鱗片堵塞孔而發生的。
[0011]從而，在一個單元聯箱以相當多的數量設置的噴嘴中只有一部分被堵塞或者其他異物或腐蝕等使噴嘴的孔變窄的情況下，難以使厚板材料S的冷卻達到目標冷卻溫度(Finish Cooling Temperature, FCT),或導致冷卻不良。
[0012]並且，如果噴嘴的孔被堵塞或變窄，則加速冷卻機的設備內部壓力增加，由此引起與其連接的排管、檢測儀表、以及泵等相關部件產生故障。[0013]因此，正在對加速冷卻機的聯箱噴嘴的直徑、材質、噴嘴間隔、排管設計等結構的改善進行研究，但其效果不是很明顯。
[0014]尤其，以自動化方式掌握加速冷卻機的澆注狀態、即是否從噴嘴形成正常的液柱是更困難的。
[0015]例如，在現有技術中，利用照相機拍攝噴嘴的液柱並對拍攝的照片進行圖像分析，或通過手動操作測量從噴嘴澆注的液柱長度，從而評估噴嘴是否正常工作。
[0016]結果，在現有技術中，掌握噴嘴的澆注狀態需要相當長的時間，並且實際上加速冷卻機所構築的生產線中，其操作空間非常狹小且以手動操作進行，因此難以精確地判斷澆注狀態。
[0017]據此，本發明的 申請人:提出了本發明:可以容易迅速地掌握冷卻設備，尤其是加速冷卻機的聯箱噴嘴的澆注狀態，並以定量的方法掌握設備性能。
[0018]但是，下述的本發明傳感器設備，其可以評估澆注狀態，並不是只能適用於冷卻設備的，只要是由於有害液體或氣體等碰撞而施加壓力時發生定性或者定量信號的結構，則可以以確認氣體洩露或液體洩露等為目的而使用。但在以下的本發明說明書中，對加速冷卻機的聯箱噴嘴進行說明。

【發明內容】

[0019]發明要解決的課題
[0020]在本領域中需要開發可以構築產生定性信號、定量信號的傳感器設備，該定性信號、定量信號與在(洩露或漏出的)氣體、液體、或者從噴嘴澆注或噴射的液柱和噴射水等的壓力施加體發生碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應。
[0021]進一步地，還要求如下的傳感器設備:實現對將所施加的壓力向傳感器傳遞的氣體(空氣)的溫度控制，並使冷卻水或基於周邊大氣溫度的氣體的密度變化保持固定，由此防止測量差錯(誤差)，從而可以確保測量精確性。
[0022]另外，還要求如下傳感器設備:將基於溫度的密度變化小或沒有密度變化的非壓縮性流體(液體、水等)填充在工作空間，由此可以不受溫度影響而進行穩定且定量的評估。
[0023]從而，將如上所述的本發明的傳感器設備作為基礎，提供一種如下冷卻設備的性能評估裝置:可以定量且迅速精確地評估冷卻設備的性能(澆注狀態)，由此防止冷卻不良，尤其在惡劣且狹窄的環境中，可以以自動化方式掌握冷卻設備的噴嘴狀態，從而容易進行設備的維護管理。
[0024]解決課題的方法
[0025]用於實現上述目的的一個方案，本發明提供一種傳感器設備，其包括:
[0026]殼體，其包括流體空間；
[0027]隔膜構件，其設置於所述殼體，並在與壓力施加物質發生碰撞或者接觸時，使所述流體空間產生體積變化；以及
[0028]傳感器單元，其設置在殼體中並與所述流體空間相連通。
[0029]進一步地，作為另一方案，本發明提供一種冷卻設備的性能評估裝置，該裝置包括傳感器設備，所述裝置包括:[0030]傳感器搭載單元，其設置在冷卻目標材料的移動路徑上，並設置在具備噴嘴的冷卻聯箱側；以及
[0031]所述傳感器設備，其與所述噴嘴相對應地排列並設置在所述傳感器搭載單元中。
[0032]發明的效果
[0033]根據本發明，可以構築傳感器結構，所述傳感器結構可以構築與在液體、氣體、噴嘴的液柱或者噴嘴的噴射水等發生碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應的定性信號、定量信號、及數據。
[0034]進一步地，根據本發明，實現對將所施加的壓力向傳感器傳遞的工作流體、即氣體或空氣的溫度控制，並使冷卻水或基於周邊大氣溫度的氣體密度變化保持固定，由此防止測量差錯(誤差)，從而可以確保測量精確性。
[0035]此外，根據本發明，將不會根據溫度產生密度變化的非壓縮性流體(液體)填充在工作空間，由此可以不受溫度影響而進行穩定定量的評估。
[0036]從而，將本發明的傳感器設備作為基礎，可以定量且精確地評估冷卻設備的性能(澆注或者噴射狀態)，因此，非常有助於在惡劣且狹窄的環境中以自動化方式評估和掌握冷卻設備的噴嘴狀態以及整體上的冷卻能力。
[0037]最終，根據本發明，容易進行冷卻設備的維護，並且使工作率極大化，而且最終可以提高冷卻質量和產品質量、及生產性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0038]圖1是表不現有的厚板製造工藝的工藝圖。
[0039]圖2是表示圖1中的冷卻機(加速冷卻機)的示意圖。
[0040]圖3是表示本發明第一實施例的傳感器設備的使用狀態和工作狀態的結構圖。
[0041]圖4是表示圖3中的本發明傳感器設備的部分剖視立體圖。
[0042]圖5是表示圖3中的本發明傳感器設備的結構圖。
[0043]圖6a至圖6c是表不本發明傳感器設備的工作原理的不意圖及圖表。
[0044]圖7是表示作為本發明傳感器設備的使用例，測量數據的圖表。
[0045]圖8至圖12是表示本發明第一實施例的傳感器設備的各種變形例的結構圖。
[0046]圖13至圖14是表示將本發明的傳感器設備作為基礎的傳感器功能塊的組裝狀態圖和分解圖。
[0047]圖15a至圖15b是表示利用本發明傳感器功能塊的冷卻設備的性能評估裝置的結構圖、和表不LM型傳感器搭載單兀的結構圖。
[0048]圖16a和圖16b是表示搭載有本發明傳感器功能塊的展開型傳感器搭載單元的工作狀態圖和主視圖。
[0049]圖17至圖19是表示搭載有本發明傳感器功能塊的屏蔽式傳感器搭載單元的整體結構圖、主視結構圖正面和俯視結構圖。
[0050]圖20至圖25是表示本發明第二實施例的傳感器設備的各種形式的圖。
[0051]圖26至圖30是表示本發明第三實施例的傳感器設備的各種形式的圖。
【具體實施方式】[0052]以下，詳細說明本發明。
[0053]首先，圖1至圖19表示將本發明第一實施例的傳感器設備和第一實施例的傳感器設備作為基礎的傳感器搭載單元的各種形式，圖20至25表示本發明第二實施例的傳感器設備的各種形式，圖26至圖30表示第三實施例傳感器設備的各種形式。
[0054]從而，在本發明第一至第三實施例的傳感器設備中，傳感器設備的基本結構相同，因此詳細說明第一實施例的傳感器設備1，而對第二和第三實施例的傳感器設備進行說明時，省略已在第一實施例的傳感器設備中說明的構成要素。
[0055]首先，圖3至圖5表示本發明第一實施例的傳感器設備I。
[0056]即，如圖3至圖5所示，本發明第一實施例的傳感器設備I包括:殼體10，包括流體空間12，所述流體空間12用於容納在下面詳細說明的非壓縮性氣體(空氣)、壓縮性氣體或者非壓縮性流體(液體、水、油、水銀等)等工作流體；隔膜構件30，設置在所述殼體中，使流體空間呈密閉狀態，並且與壓力施加物質發生接觸(碰撞)；以及傳感器單元50，設置在所述殼體中並與流體空間12相連通，而且用於測量壓力施加物質與隔膜構件發生碰撞時所產生的壓力。
[0057]此時，在第一實施例的傳感器設備和之後的第二、三實施例的傳感器設備中，壓力施加物質可以是氣體；液體；或從設置在冷卻設備、即加速冷卻機200的冷卻聯箱即上部聯箱220的噴嘴240澆注的液柱W或者噴射水等。
[0058]但如圖3和圖5所示，在以下的本實施例中，將所述壓力施加物質限定為從上述的加速冷卻機200的上部聯箱220的噴嘴240澆注的液柱W (水柱)(或者噴射水)而進行說 明。
[0059]此外，在下面，將傳感器單元作為壓力傳感器50進行說明。
[0060]另一方面，在設置於殼體10的流體空間12內填充的工作流體，只要是將在體積變化時產生響應的壓力傳感器50作為媒介可以測量壓力(變化量)的，就可以採用，例如，可用於第一、二實施例的傳感器設備的非壓縮性氣體，即可以是氣體或空氣(優選空氣)，或者可用於之後的第三實施例的傳感器設備的非壓縮性流體，即可以是水、油、水銀等。當然，可以將用於特定目的的特定壓縮性氣體填充於流體空間12。
[0061 ] 從而，如圖3和圖5所示，本發明的傳感器設備I，如果從上部聯箱220正常地澆注液柱W，則液柱W與傳感器設備的隔膜構件30發生碰撞，此時，隔膜構件30由薄膜構成，因此隔膜構件30向碰撞的相反方向凹陷。
[0062]結果，對於液柱的碰撞力而言，液柱是否從噴嘴240正常地澆注，或者如上所述，噴嘴240的一部分或者整體被堵塞，而使液柱不能以正常的流量澆注；或根據液柱本身與隔膜構件30發生碰撞的程度，用壓力傳感器50所測量的測量值不同。
[0063]但是，這種壓力傳感器50的響應時間短，因此，從下述圖7中可知，能夠精確地測
量壓力變化量。
[0064]例如，如圖5所示，如果從上部聯箱澆注的液柱W落到隔膜構件30並發生碰撞，則根據隔膜構件30下垂的程度，流體空間12的流體、即空氣或水的流動量變大，由此壓力傳感器可以測量壓力值(產生電壓信號)。
[0065]此時，事先設定未施加有壓力的隔膜構件30的基準壓力值，如果在控制部對與所測量的壓力值的差壓進行比較，則可以構築如以下圖7所示的定量測量數據。[0066]另一方面，本發明的傳感器設備I的所述隔膜構件30，優選使用適當的材質和厚度，例如可以為聚氨酯、矽或者不鏽鋼等，隔膜構件的優選厚度在0.5-1.5mm的範圍內。
[0067]即，如果所述隔膜構件30的厚度小於0.5_，則傳感器的響應靈敏度優異，但耐久性有所下降，相反地，如果大於1.5_，則可確保耐久性，但與壓力施加物質發生碰撞時下垂量小，從而響應速度或靈敏度下降。
[0068]此外，如果所述隔膜構件的厚度小於0.5mm,則隔膜構件壽命短且在液柱碰撞後恢復到原先位置的彈力性小，從而可能發生在整體上壽命變短的問題。
[0069]另一方面，如果考慮確保基於液柱反覆碰撞的耐久性、和在液柱碰撞後恢復到初始位置等方面，則所述隔膜構件30更適合採用不鏽鋼材質。
[0070]接著，如圖3至圖5所示，在本發明的傳感器設備I中，所述殼體10包括內置有壓力傳感器50的傳感器空間14。
[0071]並且，在殼體10的上側組裝有從上方按壓隔膜構件30的上部板16，在上部板16形成有開口部16a，所述開口部16a提供液柱W與隔膜構件30碰撞的空間。
[0072]例如，如圖27所示，在所述上部板16的開口部16a的周邊形成有螺栓連結孔16b，在殼體10也形成有螺栓連結孔16c，從而使上部板以包圍隔膜構件30並按壓的狀態組裝於殼體。
[0073]當然，由於在所述上部板的開口部周邊按壓隔膜構件，因此，實際上隔膜構件具有以一個構件(參考圖14的30』 )構成並且隔膜構件只在上部板的開口部露出的結構，因此可以提供均勻的工作性能 。
[0074]如圖4和圖5所示，如果壓力施加物質、即從上部聯箱的噴嘴澆注的液柱W與隔膜構件30發生碰撞，則隔膜構件30瞬間下垂，此時流體例如空氣或水等根據流體空間12的體積變化被壓縮，由此可以用下部的壓力傳感器50測量壓力。
[0075]並且，用於搭載壓力傳感器50的基板52安裝在殼體下部，連接電纜54可以經由接口 56與外部儀器、即控制部C相連接。
[0076]優選地，如圖4所示，在下部板18和殼體10的壓力傳感器安裝部14之間設置有用於搭載壓力傳感器50的電路基板52，所述電路板可以與連接器56相連接，該連接器56可以與外部電連接。或者，電纜54可以與連接器56相連接。
[0077]結果，本發明的傳感器設備I可以連續地測量基於液柱的隔膜構件碰撞的微小壓力差。
[0078]另一方面，優選地，如圖4和圖5所示，本發明的傳感器設備I中，所述殼體10所具備的流體空間12和壓力傳感器50之間形成有與流體空間12相比體積(截面積)變小的通道12a。
[0079]從而，所述通道12a與流體空間12相比體積變小，因此，如果壓力施加物質、即液柱W與隔膜構件12發生碰撞，則填充於空間的流體、即空氣隨著空間的體積變化而流動，並且穿過所述變窄的通道12a而集中，從而壓力傳感器50的響應靈敏度更優異。
[0080]當然，代替這種通道也可以設置與壓力傳感器相連的管等。
[0081]接著，圖6a至圖6c說明本發明的傳感器設備I的基本操作，圖7是將本發明傳感器設備I的定量測量數據用圖表表示的。
[0082]例如，如圖6a所示，如果液柱W從上部聯箱220正常地澆注，則液柱連續地與本發明傳感器設備I的隔膜構件30正常碰撞，由此，從圖表來看，將產生單位時間內的電壓、即在壓力傳感器50產生電氣信號,該電氣信號以直線狀輸出信號呈現。
[0083]但是，如圖6b所示，如果聯箱的噴嘴240的一部分被堵塞而使液柱不能正常地澆注，從而非連續地澆注液柱r，則從壓力傳感器50傳遞的電壓信號發生短路。
[0084]從而，在本發明傳感器設備I中，連續測量由正常的液柱W或者不良液柱W』與隔膜構件30發生碰撞而產生的流體空間12的體積變化所引起的信號，則可以評估冷卻設備的性能狀態、即噴嘴的性能狀態。
[0085]即，如圖6a至圖6c所示，本發明的傳感器設備I可以評估通過冷卻聯箱220的噴嘴240來澆注的正常的液柱W、非正常的液柱W』等，並且在液柱正常地澆注但其澆注方向非正常的情況(圖6c)下，不產生基於傳感器設備I的響應，因此，如圖5和圖6c所示，最終液柱只有在澆注正常的液柱的情況下可以與隔膜構件30發生碰撞。
[0086]由此，本發明的傳感器設備1，可以根據液柱W是否正常地與傳感器設備I的隔膜構件30發生碰撞，評 估噴嘴是否完全被堵塞的現象，也可以評估液柱正常地澆注但其流量不正常或形成不連續的液柱的情況。
[0087]另一方面，圖7是將根據本發明的傳感器設備I的冷卻設備的定量的評估狀態用圖表表不的。
[0088]例如，具備在下面的圖13和圖14中示出並說明的傳感器設備I的傳感器功能塊I』經過上部聯箱220的下部，實際上所澆注的液柱W從隔膜構件30的末端部分向中央部分移動，從而顯示信號的峰值，然後重新向末端部分移動，因此，如圖7所示，信號(電壓)以傘狀連續地示出。
[0089]此時，在圖7中，未產生信號值的第二個和第三個列中，無信號的部分表示在噴嘴發生了異常。
[0090]從而，如果利用本發明的傳感器設備I則可以評估聯箱的噴嘴的性能狀態，最終可以進行冷卻設備例如加速冷卻機的性能評估。
[0091]其結果，本發明的傳感器設備I和包括多個該傳感器設備I的傳感器功能塊I』，可以對應於厚板的材料或冷卻條件而適當地設計冷卻設備的冷卻控制。
[0092]例如，在上述圖7中，將布置兩列的傳感器設備I而成的傳感器功能塊I』在冷卻聯箱220的下部移動時的測量值用圖表示出。可以適當地調整這種傳感器功能塊的傳感器設備的排列。
[0093]接著，圖8至圖12表示在上面說明的本發明第一實施例的傳感器設備I的其他變形例。
[0094]但在以下的本實施例中，將用於裝填空氣或氣體的流體空間12作為氣體空間12進行說明。
[0095]即，如圖8所示，本發明的傳感器設備I可以進一步設置操作管20，該操作管20與設置在殼體10的氣體空間12相連通，並且以控制氣體空間的真空氣氛或者空氣氣氛的方式構成，該殼體10設置於傳感器設備I。
[0096]此時，雖未單獨在附圖中表示，但所述操作管20實際上可以是操作管20的外部管與貫通殼體而形成的通道(孔)連接的結構，在所述操作管可以設置有控制閥，該控制閥可以吸入氣體空間12內的空氣而使空間形成真空氣氛，相反地，可以供應空氣以使隔膜構件恢復到初始位置。
[0097]當然，操作管20可以與真空泵或空氣鼓風機(未圖示)連接而構成。
[0098]接著，如圖9所示，在所述殼體10的氣體空間12可以填充用於提高傳感器的響應靈敏度的壓縮性氣體G。如果填充例如氦氣(He)或者氮氣(N2)等，則在液柱W與隔膜構件30發生碰撞的情況下，可以提高壓力傳感器50的響應靈敏度。
[0099]從而，即使在液柱流量小的情況下，也可以基於壓力傳感器50精確且定量地評估冷卻設備的性能(澆注狀態)。
[0100]另一方面，優選地，在圖9中的將壓縮性氣體填充於氣體空間12的情況下，進一步包括在之後的圖26至27中說明的第三實施例的傳感器設備所具備的密封單元80，由此保持氣體空間12的密封性。
[0101]例如，在氣體空間的周邊形成殼體的安裝槽10a，並且安裝襯墊或O型環等密封構件而防止隔膜構件30和殼體之間的氣體洩露。
[0102]接著，如圖10所示，在本發明的氣體空間12的內側設置與隔膜構件30的下部一體形成隔離構件32。
[0103]從而，如圖10所示，如果液柱W與隔膜構件30發生碰撞，則隔膜構件凹陷，此時，隔離構件32密封與壓力傳感器50相連通的通道12a並實現其內部流體(空氣)的壓縮，被壓縮的空氣加強壓力傳感器的測量靈敏度，由此可以進行響應更快且更精確的測量。
[0104]接著，如圖11所 示，本發明的隔膜構件30可以為具有互不相同的強度的雙重結構。
[0105]即，如果將主要與液柱W碰撞的中央部30a，與在其外延一體形成並在殼體10和上部板16之間組裝的外延部30b相比，採用硬度更高的材質或者增大厚度，則在與液柱發生碰撞時，硬度更高的中央部30a具有平坦的區域的同時下垂；與中央部相比採用硬度更小的材質或厚度更小的外延部30b將會彈性下垂，並在與液柱發生碰撞時使基於外延部30b的下垂變得容易，這將會提高氣體空間12的氣體(空氣)壓縮性，由此提高壓力傳感器的響應靈敏度。
[0106]從而實現精確的壓力測量，並且如果所施加的壓力消失，則隔膜構件通過具有彈性的外延部30b迅速恢復到初始位置。
[0107]並且，如圖11所示，與液柱碰撞的中央部30a，其與外延部相比硬度更高或厚度更大，因此磨損小；相反外延部30b具有彈性，因此可以使隔膜構件產生更多的位移量，從而可以加強壓力傳感器的測量靈敏度。
[0108]接著，如圖12所示，在殼體10的流體空間12具備一體形成的一個以上的體積減小部12b。
[0109]即，在殼體10的流體空間12側設置隨著靠近壓力傳感器變窄且為傾斜面的體積減小部12b。
[0110]在該情況下，如果液柱W與隔膜構件30發生碰撞，則隔膜構件30凹陷，此時，施加至流體空間12的內部空氣的壓縮力因為變窄的體積減小部12b而增大，從而提高壓力傳感器的測量靈敏度。
[0111]接著，圖13和圖14表示:搭載於在各種形式的傳感器搭載單元110、130、150的傳感器功能塊I』的組裝狀態和分解狀態，各種形式的傳感器搭載單元110、130、150設置於在之後的圖15至圖19中說明的本發明冷卻設備的性能評估裝置100。
[0112]另一方面，這種圖13和圖14的傳感器功能塊I』可以適用於在之後的圖20至圖25中說明的第二實施例的傳感器設備、和在圖26至圖30中說明的第三實施例的傳感器設備。
[0113]即，如圖13和圖14所不,殼體10為具備多個氣體空間12的殼體模塊10』，在這種本發明殼體模塊設置有與多個流體空間12相連通的多個傳感器空間14。
[0114]從而，多個壓力傳感器50內置於殼體，這些壓力傳感器50組裝並設置在一個基板52，基板52安裝在殼體的下部，並且在其下部延伸得很長的下部板18』組裝在殼體模塊10，。
[0115]此時，在殼體模塊10』的上部延伸的隔膜構件30』，以密封空氣、氣體或者非壓縮性流體的空間12的方式粘貼，在殼體模塊10』上組裝有上部板16』，該上部板16』的開口部16a在氣體空間12的露出部位包圍並按壓隔膜構件30』而延伸，例如隔膜構件通過螺栓B與殼體模塊10』連結來組裝在殼體。
[0116]並且，在所述延伸的下部板18』的兩端部用螺母N與貫通殼體模塊10』的螺栓B連結，尤其在組裝殼體模塊10』和下部板18』時，至少在兩側設置O型環(OR)，由此使水不會在殼體模塊和下部板之間滲透。
[0117]即，傳感器功能塊I』使用在冷卻設備例如加速冷卻機200的性能評估裝置100，因此也需要使殼體模塊10』和上、下部板16』、18』具備水密性。 [0118]並且，如圖14所示，優選地，將上部板16』在傳感器功能塊的上部與殼體模塊連結，在用於按壓並固定隔膜構件30』的螺栓B也設置用於保持水密性的襯墊物而進行組裝，並且優選形成為水儘可能不聚集在其頂部的結構。
[0119]另一方面，在圖13所示的傳感器功能塊I』中，可以容易調整傳感器設備I的安裝形式是理所當然的。
[0120]接著，圖15至圖19表示本發明冷卻設備的性能(澆注狀態)評估裝置100，本發明冷卻設備的性能評估裝置100基本上與在上面的圖13和圖14中的說明一樣，可以使用單元傳感器設備I以適當的列設置，例如與上部聯箱220的噴嘴240的排列相對應而設置的一個以上的傳感器功能塊I』。
[0121]例如，如圖15所示，本發明冷卻設備的性能評估裝置100可以包括搭載有一個以上的傳感器功能塊I』的傳感器搭載單元110，該傳感器功能塊I』排列有上述的多個單元傳感器設備I。
[0122]如圖15所示，這種傳感器功能塊I』在橫穿上部聯箱220的寬度方向並延伸的狀態下，向上部聯箱220的長度方向移動的同時可以評估上部聯箱噴嘴的液柱的澆注狀態，並且可以通過如圖7所示的連續定量測量來進行實時評估，可以顯示的同時實現冷卻控制，而且以自動化作的方式至少掌握堵塞的噴嘴的位置，從而可以進行評估。
[0123]另一方面，如圖15a所示，在搭載有一個以上的傳感器功能塊I』的傳感器搭載單元(參照圖15中的附圖標記110)構築位於用於收集定量電氣信號的評估裝置100側的第一控制部Cl，該定量電氣信號是以傳感器功能塊I 』的壓力傳感器50 —基板52 —電纜54 —連接器56的路徑收集的，在第一控制部Cl連接無線電收發器M，並且用與具有無線電收發功能的無線電處理控制部C2以無線電連接的主控制部C3構築一個裝置控制部，則能夠以自動化方式精確地測量並評估上部聯箱220的液柱W的澆注狀態。
[0124]接著，圖15b、圖16至19表示本發明冷卻設備的性能評估裝置100中，搭載有一個以上的傳感器功能塊I』在上部聯箱的下部進行移動的傳感器搭載單元的各種形式。
[0125]首先，如圖15b所示，本發明的LM型傳感器搭載單元110包括移動模塊114，該移動模塊114安裝在與上部聯箱220連接的LM導軌112，並連結有由馬達(未圖示)工作的螺杆116,在所述移動模塊114連接有搭載一個以上傳感器功能塊I』的傳感器搭載模塊118,傳感器搭載模塊118與上部聯箱的寬度長度相對應地延伸，在傳感器搭載模塊搭載有一個以上事先設置的傳感器功能塊I』。
[0126]從而，通過螺杆116的工作，移動模塊114沿著LM導軌112在上部聯箱的下部向其長度方向移動，如果液柱與隔膜構件發生碰撞，則傳感器功能塊I』的傳感器設備I連續地測量壓力，由此實現冷卻設備噴嘴的性能評估。
[0127]接著，圖16a和圖16b表示作為本發明冷卻設備的性能評估裝置100的傳感器搭載單元的展開型傳感器搭載單元130。
[0128]即，如圖16所示，展開型傳感器搭載單元130包括搭載有一個以上的傳感器功能塊1』，並且包括可以以依次展開的方式重疊的多級展開型傳感器搭載模塊132、134、136，在所述傳感器搭載模塊中，在前端模塊設置有工作源140即水平工作油缸，其將連接臺38作為中間體相連接並沿著冷卻聯箱展開。 [0129]此時，在展開型傳感器搭載單元130的傳感器搭載模塊進一步包括使得用於展開和重疊模塊的移動變得容易的導軌輥子134a、136a，在所述模塊的中央設置有導軌142。
[0130]從而，如果工作源140、即水平工作油缸前進或者後退，則在所連接的前端傳感器搭載模塊136中，依次展開或者重疊下一個傳感器搭載模塊，通過排列有傳感器功能塊I』的展開型傳感器搭載模塊132、134、136的展開或者重疊，形成基於傳感器功能塊I』的液柱的定量評估。
[0131]並且，由於多個所述模塊的頂端部在剖面上逐漸減小，因此上一個模塊不會從下一個傳感器搭載模塊掉落，此時，在圖16a中表示的附圖標記C包括控制部。
[0132]另一方面，在圖16的展開型傳感器搭載單元130中，多個傳感器功能塊I』以多級方式安裝，因此更有利於在大容量冷卻設備中使用，展開型傳感器搭載單元130與未圖示的移動單元例如未圖示的LM型輸送單元等連接，從而可以自行移動。
[0133]接著，圖17至圖19表示:本發明冷卻設備的性能評估裝置100所具備的其他形式的傳感器搭載單元、即屏蔽式傳感器搭載單元150。
[0134]即，如圖17至圖19所示，本發明屏蔽式傳感器搭載單元150，與將冷卻設備的聯箱澆注對應於厚板寬度而阻止兩側澆注的、公知的屏蔽單元170連接而設置。
[0135]但在圖17中未示出屏蔽單元170的屏蔽板。
[0136]例如，屏蔽式傳感器搭載單元150包括板狀基座152，該板狀基座152水平安裝有多級油缸152、154，並且與垂直於邊緣屏蔽單元170的移動板178連接而以可移動的方式而設置。
[0137]此時，如圖17所示，邊緣屏蔽單元170，對應於鋼板寬度而阻止向上部聯箱220的長度方向澆注液柱W，在移動模塊176連接向下方延伸的移動板178，其中，該移動模塊176與螺杆174連結，該螺杆174在上部聯箱220的上部延伸得很長並以兩級的方式設置，且通過馬達172進行旋轉工作；所述移動板178具備沿著設置在上部聯箱的導軌175移動的輥子 177。
[0138]並且，如圖17和圖18所示，在所述移動板178的下端部連接有屏蔽式傳感器搭載單元150的基底152，在所述基底設置有兩級油缸和傳感器搭載板。
[0139]即，如果安裝在基底152的一對第一油缸154前進，則在其前端負載用移動板156相連接的第二油缸158前進，前進對應於第一油缸的衝程長度的第二油缸158再一次前進，最終，設置在與第二油缸連接的上側傳感器功能塊搭載板160的傳感器功能塊1』，展開到液柱與傳感器設備的隔膜構件30』發生碰撞而評估性能的位置。
[0140]並且，在無需進行冷卻設備的性能評估的情況下，所述第一、二油缸後退並在基底上恢復到原來的位置，如圖17所示，邊緣屏蔽單元170的移動板178進行移動，在冷卻聯箱一側的末端部分待機。
[0141]另一方面，設置兩級的第一、二油缸是因為:限制一個油缸的工作衝程，從而提供使傳感器功能塊充分前進的衝程。
[0142]此時，屏蔽式傳感器搭載單元150的基底152具有用於阻止輻射熱量對傳感器功能塊I』產生影響的遮蔽板功能。
[0143]據此，傳感器功能塊I』通過圖15至圖19所示的各種形式的傳感器搭載單元，向冷卻聯箱、即上部聯箱220的寬度方向(如果只調整傳感器搭載單元的位置，則也可以充分調節朝向上部聯箱的寬度方向)移動或展開，由此通過從噴嘴澆注或噴射的液柱和噴射水的狀態、即噴嘴狀態，最終，以自動化方式定量且精確地實時評估冷卻設備的性能狀態。
[0144]接著，圖20至圖25表示本發明的第二實施例的傳感器設備I的各種形式。
[0145]這種第二實施例的傳感器設備I可以設置在傳感器搭載單元110、130、150，例如使本發明第二實施例的傳感器設備I模塊化的傳感器功能塊I』可以搭載於傳感器搭載單元而使用，這種傳感器搭載單元110與上面的圖15b至圖19中的說明相同，因此，在本實施例中省略其詳細說明。
[0146]但在以下的本實施例的說明中，將之前說明的流體空間12限定為氣體空間12進行說明。
[0147]在圖20至圖25中說明的本發明第二實施例的傳感器設備I提供用於產生與液體或者氣體、特別是從噴嘴澆注的液柱或者高壓噴射水等的碰撞(接觸)面積或者強度相對應的電氣信號的傳感器設備，尤其，實現將施加的壓力向傳感器傳遞的氣體(空氣)的溫度控制，使冷卻水或基於周邊大氣溫度的氣體密度變化保持固定，由此防止測量差錯(誤差)，從而可以確保測量精確性，而且將確保測量精確性作為基礎而對高溫(軋制)材料的冷卻設備進行精確的定量評估。
[0148]即，如圖20和圖21所示，與第一實施例的傳感器設備I相同，本發明第二實施例的傳感器設備I包括:殼體10,其包括氣體空間12和傳感器空間14,所述氣體空間12用於容納工作氣體(空氣)如空氣、其他特定組分氣體；隔膜構件30，其設置在殼體10，使氣體空間12呈密閉狀態，並且與壓力施加物質發生碰撞；以及傳感器50，其搭載於傳感器空間14，並且用於測量壓力施加物質與隔膜構件發生碰撞或接觸時產生的壓力。
[0149]另一方面，本發明第二實施例的傳感器設備I的基本工作，與在上面說明的第一實施例傳感器設備的工作相同，因此在本實施例中省略詳細說明。[0150]尤其，如下文中詳細的說明，本發明第二實施例的傳感器設備I包括溫度控制單元，該溫度控制單元包圍氣體空間12和傳感器空間14的至少一部分，並設置在殼體10且用於防止產生測量差錯。
[0151]例如，氣體空間12的空氣(氣體)密度隨著冷卻水或外部大氣的空氣溫度變化而變化，因此，即使相同條件下的液柱與隔膜構件30發生碰撞而形成相同的下垂量，也產生由氣體空間12的空氣(氣體)密度變化引起的測量誤差(差錯)。
[0152]從而，本發明第二實施例的傳感器設備所具備的所述溫度控制單元，以包圍氣體空間12和傳感器空間14的至少一部分的狀態設置在所述殼體10，由此防止產生基於溫度變化的測量誤差。
[0153]接著，在下面說明這種本發明第二實施例的傳感器設備I所具備的溫度控制單元的各種形式。
[0154]首先，如圖20和圖21所示，本發明第二實施例的傳感器設備I所具備的溫度控制單元，可以是包圍設置在殼體10的氣體空間12和傳感器空間14的至少一部分，並且設置在殼體10而控制空氣(氣體)溫度的熱導管70或者加熱絲(未圖示)。
[0155]此時，優選地，所述溫度控制單元的熱導管70或加熱絲包圍整個的氣體空間12和傳感器空間14，並且靠近殼體的氣體空間表面、通道表面、以及傳感器空間表面而設置。
[0156]更優選地，本發明的熱導管70 (或者加熱絲)以多層或者多列結構設置在殼體10。
[0157]此時，本發明的熱導管70或者加熱絲(未圖示)排列在氣體空間12的側面和下部，並且排列在傳感器空間14的上部和側面，因此，能夠迅速進行狹窄空間的氣體空間或者傳感器空間的內部空氣(氣體)的溫度控制。
[0158]從而，可以使本發明傳感器設備I的氣體空間12和傳感器空間14中的至少一個或者其全部的內部空氣溫度保持固定，並且可以不受外部溫度變化的影響而使氣體空間的空氣密度保持固定，由此傳感器設備可以解決測量誤差(差錯)。
[0159]另一方面，如圖20和圖21所示，本發明的溫度控制單元、即熱導管70對應於殼體10的內部空間12、14而適當地調整其規格(直徑)，例如在通道12a的周圍以多列形式設置直徑大的熱導管，並且在氣體空間和傳感器空間的周圍以多層形式設置直徑小的熱導管70。
[0160]此時，如圖23所示，作為本發明溫度控制單元的熱導管70，可以沿著傳感器設備I的下部板18 (單位長度或者延伸的狀態)設置，與穿過熱導管70而流動的溫水、高溫水、蒸氣或者熱媒介等的線LI至L4相連接而設置。當然，這僅僅是實施例而已，並不限於此。
[0161]例如，在連接熱導管70並如圖5所示為傳感器功能塊I』的情況下，可以在模塊兩側設置熱導管70的引入線、引出線。
[0162]接著，本發明的溫度控制單元、即熱導管70或者加熱絲可以與殼體10 —體形成，例如在將殼體10由具有耐熱性的樹脂產品成型的情況下，可以將樹脂管的熱導管70 —體插入而製作。
[0163]或者，如圖22所示，在將殼體10由具有耐腐蝕性的金屬材質(例如不鏽鋼)成型的情況下，在單元板以多層形式層疊並以適當的排列形成的熱導管或加熱絲的容納槽部71容納熱導管70或加熱絲而設置。
[0164]此時，如上所述，殼體10無論是樹脂產品或不鏽鋼材質，均發生熱傳遞，因此，優選地，熱導管70或加熱絲儘可能地靠近氣體空間12或傳感器空間14而配置。
[0165]對於這種圖2中的多層結構的殼體10而言，可以用長度延長的組裝螺栓B』按壓各個單元殼體而組裝，所述螺栓可以貫通壓力傳感器50的基板52而連結於下部板18。
[0166]接著，如圖24所示，進一步包括熱傳遞放大部，其設置在與本發明的熱導管10或加熱絲的溫度控制單元相鄰的氣體空間12和傳感器空間14的殼體表面中的至少一部分或者整個部分。
[0167]例如，這種本發明熱傳遞放大單元可以以與氣體空間12或傳感器空間14的殼體壁面形成一體而設置的肋條(riblet)面72、即剖視呈鋸齒狀，從而提高使氣體空間或傳感器空間溫度保持在固定水平的效率。
[0168]接著，如圖25所示，本發明的溫度控制單元包括:設置在殼體表面中氣體空間12和傳感器空間14的至少一部分的隔熱材料74 ;以及在氣體空間或傳感器空間的所述隔熱材料的內側設置的溫度控制單元、即熱導管70或者加熱絲。
[0169]即，在圖25的情況下，設置有隔熱材料90，具有在其內部配置有熱導管或加熱絲的結構，從而可以更精確地或確切地進行氣體空間或傳感器空間的內部溫度控制。
[0170]此時，如圖25所示，在採用隔熱材料72的情況下，在其內部空間配置有熱導管70或加熱絲，因此更有利於保持空間溫度，此時優選地，在比氣體空間12大的傳感器空間14配置更多的熱導管70或加熱絲。 [0171]另一方面，雖在圖25中示意性地表示，但熱導管70或加熱絲可以通過適當的支撐孔等適當地設置在氣體空間12和傳感器空間14內。
[0172]接著，圖26至圖30表示本發明第三實施例的傳感器設備I。
[0173]例如，與第一、二實施例的傳感器設備I所具備的空間為氣體空間12(空氣空間)的情況相反地，本發明第三實施例的傳感器設備I的特徵在於具備流體空間12，在所述流體空間12的至少一部分填充非壓縮性流體F，例如水。
[0174]當然，這種本發明第三實施例的傳感器設備I與第一、二傳感器設備相同，除了流體空間12以外，大體上包括:殼體10，其包括傳感器空間14 ;隔膜構件30，其設置在所述殼體10上，使流體空間12呈密閉狀態，並且與壓力施加物質、即液柱W發生碰撞；以及壓力傳感器50，其搭載於殼體的傳感器空間14並與流體空間12相連通，並且用於測量液柱等壓力施加物質與隔膜構件發生碰撞或接觸時產生的壓力。
[0175]另一方面，非壓縮性流體F在本發明第三實施例的傳感器設備的流體空間12基本上填充於至少一部分，這種流體F是，當液柱與隔膜構件30發生碰撞時在規定的流體空間12內形成體積變化，由此可以使壓力(體積變化量)傳遞到壓力傳感器50的水、銀、油
(oil)等；當然從成本的方面看，水是最優選的。
[0176]從而，在本發明第三實施例的傳感器設備I的情況下，壓力施加物質、即液柱W下落並碰撞，所述壓力施加於隔膜構件30的中央部分從而使隔膜構件30從該中央部分下垂，由此在作為密閉空間的流體空間12內部產生體積變化，從而流體向壓力傳感器50傳遞差壓並使壓力傳感器50檢測該差壓。
[0177]即，如圖6c所示，通過液柱W的碰撞力，可以判斷液柱是否從冷卻機的上部冷卻聯箱220的噴嘴240正常澆注，這已在上面說明。
[0178]此時，如圖26至圖30所示，本發明第三實施例的傳感器設備I的特徵在於，包括:設置在殼體中流體空間12和隔膜構件30的邊界部位的密封單元80或流體容納單元90。
[0179]即，對於本發明第三實施例的傳感器設備I而言，在流體空間12基本上填充有非壓縮性流體F即水，因此包括用於防止流體洩露等的密封單元80和流體容納單元90。
[0180]從而，本發明第三實施例的傳感器設備I與上述的第一、二實施例的傳感器設備不同，代替氣體在空間12的至少一部分填充水等非壓縮性流體F，因此，與空氣相比幾乎不會發生由外部溫度或冷卻水接觸的溫度變化引起的流體密度的變化。
[0181]即，在本發明中，代替空氣(氣體)將作為非壓縮性流體F(例如水)填充於空間12，並且為了保持其水密性而設置密封單元80或流體容納單元90，因此，由外部溫度引起的密度變化不大，從而可以防止測量差錯或使其最小化。
[0182]接著，這種本發明第三實施例的傳感器設備I在基本結構上與上述的第一、二傳感器設備相同。
[0183]例如，在本發明第三實施例的傳感器設備I中，殼體10具備減小體積而成的通道12a，該通道12a設置在流體空間12和傳感器空間14之間以提高壓力傳感器的響應靈敏度；在通道下部的傳感器空間14，傳感器單元即壓力傳感器50搭載於基板52上，基板組裝在殼體下部，在基板下側組裝有下部板18。
[0184]從而，如圖26至圖30所示，如果從冷卻聯箱澆注的液柱W與隔膜構件30發生碰撞，則隔膜構件30向下方下垂，並且根據流體空間12的體積變化而施加於非壓縮性流體F、即水的壓力傳遞至壓力傳感器50，由此可以進行傳感器設備的測量。
[0185]並且，雖未 在圖26至圖30中詳細表示，但如對於第一實施例的傳感器設備的說明，本發明第三實施例的傳感器設備I可以搭載於傳感器搭載單元110而用於測量冷卻設備(上部聯箱的噴嘴)的性能評估。
[0186]接著，如圖26和圖27所示，由於水等非壓縮性流體F填充於流體空間，因此，本發明第三實施例的傳感器設備I可以進一步包括第一傳感器密封部13,其在殼體10的傳感器空間14側與壓力傳感器50的壓力施加部50a粘貼並傾斜。
[0187]從而，當組裝傳感器設備I時，壓力傳感器50的壓力施加部50a的傾斜面與第一傳感器密封部13緊密粘貼，由此防止流體F、即水洩露至傳感器單元側的傳感器空間14。
[0188]另一方面，實際上，本發明的傳感器單元、即壓力傳感器50可以在非常潮溼的環境中使用，因此在外部表面進行用於防水的塗層處理，從而即使微量的流體F洩露至傳感器空間14側，也不會對傳感器的工作構成任何問題。
[0189]並且，如圖26和圖27所示，本發明的傳感器設備I可以進一步包括第二傳感器密封部15，其與傳感器單元的主體50b粘貼而設置在殼體的傳感器空間14偵U。
[0190]尤其，在所述第二傳感器密封部15和傳感器主體50b之間還可以設置密封構件15a例如襯墊。
[0191]從而，對於本發明的流體空間12的內部流體F而言，在隔膜構件30側，通過設置在殼體10的密封單元80或者流體容納單元90來防止外部洩露等，並且在傳感器空間側，通過第一、二傳感器密封部13、15防止洩露。
[0192]此時，如圖26和圖27所示，在殼體為樹脂成型物的情況下，第二傳感器密封部15可以與殼體一體製作，並且在考慮溫度等而由金屬加工物製作殼體的情況下，如點劃線所示，第二傳感器密封部15可以是用焊接(雷射焊接)組裝單獨的環結構物的結構。[0193]接著，如圖26和圖27所示，在本發明第三實施例的傳感器設備I中，密封單元70可以是:密集地填充或插入在至少一個與殼體10 —體形成的安裝部IOa的O型環。
[0194]或者，如圖30所示，流體容納單元90可以形成為:與所述流體空間12相鄰並依次設置在殼體的一個以上的流體接收槽。
[0195]當然，如圖27所示，在實際中，流體空間12和傳感器空間14具有平坦的圓形，因此，至少一個以上的流體接收槽的流體容納單元90可以以圓環形的環狀在流體空間的外側與殼體一體並凹陷而形成。
[0196]接著，如圖28所示，在本發明第三實施例的傳感器設備I中，並不是必須將非壓縮性流體F(即水)填充於流體空間12的整體空間，如果只在一部分填充水並設置在其餘部分填充空氣或氣體的空氣空間12』或者氣體空間，則不會對傳感器工作構成任何問題。
[0197]即，如圖28所示，如果將水只填充到流體空間12的整體高度的3/4程度，並且將空氣填充於剩餘空間，則能夠使隔膜構件30朝向所述空氣空間的下垂變得平滑。
[0198]但如圖28所示，僅在流體空間I的一部分填充水的情況下，根據調整水的水位，調整基於傳感器設備的壓力值；或使水的水位在流體空間12保持固定，這時為了形成固定的傳感器工作，因此在殼體10形成與流體空間12相連通的流體(水)供應及排放通道17a、17b，由此可以使水的水位在流體空間12保持固定。
[0199]此時，如果配置用於檢測填充於所述流體空間12的水的水位的液位傳感器SE，則將液位傳感器SE設置在流體空間的一側部，並通過控制部與所述流體供應通道17a連接的供應線(未圖示)的閥和連接，則可以將空間內部的水位更精確地保持在固定水平。
[0200]接著，如圖29所示，在本發明第三實施例的傳感器設備I中，也可以代替空氣和水，在流體空間12填充油O(或者水銀)和水。
[0201]即，如圖29所示，如果填充不同密度的水F和油0，則在液柱與隔膜構件發生碰撞時，與只填充水的情況相比壓縮力更大，因此，利用水和油的密度之差更能提高傳感器單元、即壓力傳感器的檢測精確性。
[0202]從而，在以這種傳感器設備I作為基礎的冷卻設備的性能評估裝置100的情況下，由於在流體空間12的整體或一部分填充水，或者在剩餘空間填充油或水銀，因此，與只用空氣(氣體)形成流體空間120的第一、二實施例的傳感器設備相比，本發明的第三實施例的傳感器設備I能夠最大限度地抑制基於溫度變化的測量差錯。
[0203]產業上的可利用性
[0204]根據上面說明的本發明，可以構築傳感器結構，所述傳感器結構可以構築與在液體、氣體、噴嘴的液柱或者噴嘴的噴射水等的碰撞(接觸)時所施加的壓力相對應的定性、
定量信號、及數據。
[0205] 從而，可以定量且精確地評估以本發明的傳感器設備作為基礎的冷卻設備的性能(澆注或者噴射狀態)，因此有助於在惡劣且狹窄的環境中以自動化方式評估和掌握冷卻設備的噴嘴狀態、整體上的冷卻能力。
【權利要求】
1.一種傳感器設備,包括: 殼體，包括流體空間； 隔膜構件，設置在所述殼體中，並在與壓力施加物質發生碰撞或者接觸時，使所述流體空間產生體積變化；以及 傳感器單元，設置在所述殼體中並與所述流體空間相連通。
2.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述傳感器單元為壓力傳感器， 所述流體空間填充有氣體、空氣以及非壓縮性流體中的任意一種或將這些混合填充在所述流體空間中，以對體積變化作出響應，從而允許所述壓力傳感器進行壓力測量。
3.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述殼體還包括: 內置有傳感器單元的傳感器空間；以及 分別在所述殼體的上、下側、組裝於隔膜構件和傳感器單元側的上、下部板。
4.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述殼體進一步包括通道，所述通道在流體空間和傳感器單元之間減小體積而成，以提高傳感器反映靈敏度。
5.根據權利要求3所述的傳感器設備，其特徵在於， 在所述上部板設置有用於使壓力施加物質與隔膜構件發生碰撞或接觸的開口部，所述開口部包圍隔膜構件而組裝在殼體， 在所述下部板和殼體之間還具備用於搭載傳感器單元的基板。
6.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述殼體進一步包括操作管，所述操作管與流體空間相連通，並且控制流體空間的氣氛，以提高傳感器單元的響應靈敏度。
7.根據權利要求2所述的傳感器設備，其特徵在於， 在所述流體空間填充有壓縮性氣體，以提高傳感器單元的響應靈敏度。
8.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 進一步包括隔離構件，其設置在所述流體空間的內側的、隔膜構件的下部，使流體集中至傳感器單元。
9.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述隔膜構件為具有互不相同強度的雙重結構。
10.根據權利要求1所述的傳感器設備，其特徵在於， 進一步包括體積減小部，其形成在所述殼體的流體空間側的內表面，以增大流體壓縮力。
11.根據權利要求2所述的傳感器設備，其特徵在於， 在所述流體空間填充有氣體或空氣，所述傳感器設備進一步包括溫度控制單元，其設置在殼體並包圍所述流體空間的至少一部分。
12.根據權利要求11所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述溫度控制單元進一步包圍所述傳感器空間的至少一部分而設置，所述溫度控制單元為設置在所述殼體的熱導管或者加熱絲，以控制所述流體空間的氣體或空氣的溫度。
13.根據權利要求12所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述溫度控制單元以多層或者多列結構設置在所述殼體。
14.根據權利要求11所述的傳感器設備，其特徵在於， 進一步包括熱傳遞放大單元，其設置在流體空間和傳感器空間的殼體表面中的至少一部分，與所述溫度控制單元相鄰。
15.根據權利要求12所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述溫度控制單元進一步包括設置在殼體表面中所述流體空間和傳感器空間的至少一部分的隔熱材料， 所述熱導管或者加熱絲設置在所述流體空間和傳感器空間的所述隔熱材料的內側。
16.根據權利要求2所述的傳感器設備，其特徵在於， 在所述流體空間的至少一部分填充有非壓縮性流體，所述傳感器設備進一步包括設置在所述殼體中所述流體空間和隔膜構件的邊界部位的密封單元和流體容納單元中的至少一個。
17.根據權利要求16所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述密封單元為設置 在形成於所述殼體的安裝部的O型環，所述流體容納單元為與所述流體空間相鄰並設置在殼體的一個以上的流體接收槽。
18.根據權利要求16所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述流體空間為:在整個空間填充非壓縮性流體；或者非壓縮性流體只填充一部分，而剩餘空間為氣體或者空氣的空間。
19.根據權利要求16所述的傳感器設備，其特徵在於， 進一步包括流體供應及排放通道或者流體供應及排放線，所述流體供應及排放通道或者流體供應及排放線設置在所述殼體並與所述流體空間相連接，以調整空間內的流體液位。
20.根據權利要求16所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述非壓縮性流體是以選自水、油、水銀中的一種或者是將這些混合而成。
21.根據權利要求2所述的傳感器設備，其特徵在於， 所述壓力施加物質為氣體、液體、澆注的液柱或者噴射水，用壓力傳感器測量在壓力施加物質與隔膜構件發生碰撞或接觸時產生的流體壓力，以產生定量信號，所述流體壓力取決於流體空間的體積變化。
22.—種冷卻設備的性能評估裝置，該裝置包括傳感器設備， 所述裝置包括: 傳感器搭載單元，其設置在冷卻目標材料的移動路徑上，並設置在具備噴嘴的冷卻聯箱側；以及 權利要求1至21中任一項所述的傳感器設備，其與所述噴嘴相對應地設置在所述傳感器搭載單元。
23.根據權利要求22所述的冷卻設備的性能評估裝置，其特徵在於， 設置在所述傳感器設備中的殼體為具備多個流體空間的殼體模塊，在所述殼體模塊內置有多個壓力傳感器；將延伸的隔膜構件和上、下部板組裝在所述殼體模塊而設置的一個以上的傳感器功能塊搭載於所述傳感器搭載單元。
24.根據權利要求22所述的冷卻設備的性能評估裝置，其特徵在於， 所述傳感器搭載單元為LM型傳感器搭載單元、展開型搭載單元、及屏蔽式傳感器搭載單元中的一種。
【文檔編號】G01L19/04GK104024817SQ201280064656
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2012年12月26日 優先權日:2011年12月28日
【發明者】姜宗勳, 李泌鍾, 崔喜埰, 高聖賢 申請人:Posco公司