不透明電極的製造方法、其中所用模板和其等離子顯示板的製作方法
2023-07-09 22:24:46
專利名稱：不透明電極的製造方法、其中所用模板和其等離子顯示板的製作方法
技術領域：
本發明涉及一種等離子顯示板的不透明電極的製造方法、在該方法中所用的模板和用該方法製造的帶不透明電極的等離子顯示板。尤其是，本發明涉及一種用模板來提高生產率地製造等離子顯示板的不透明電極的方法，和由此製造的帶不透明電極的等離子顯示板。
背景技術：
等離子顯示板是利用氣體放電現象形成圖像的平面顯示板。等離子顯示板可以提供大屏幕、並具有高畫質，且厚度薄、視角廣。因此等離子顯示板具有很好的前景。
等離子顯示板包括彼此面對且按預定間距隔開的第一和第二基板，設在第一和第二基板之間限定放電室的隔離條，充填在放電室內的放電氣體，塗覆在放電室的表面的磷光體，以及電極。電極包括位於第一基板上的多個顯示電極對和位於第二基板上的多個地址電極。地址電極延伸跨過顯示電極對和放電室。當一直流電流(DC)或一交流電流(AC)施加到電極，在放電室中產生放電，使得放電氣體發射紫外線(UV)，因此激發磷光體發射可見光線，於是形成圖像。
圖1示出了AC型等離子顯示板的分解透視示意圖。參見圖1，在前玻璃基板11的內表面上形成有一對透明的X和Y顯示電極3和4，在後玻璃基板12的內表面上形成有地址電極5。介電層14和保護層15順序形成在前玻璃基板11的內表面上。隔離條17形成在位於後玻璃基板12之上的介電層14＇的上表面之上，並限定多個放電室19。放電氣體充填在放電室19內。螢光物質18設置在放電室19內。總線電極6形成在X和Y顯示電極3和4的表面上，防止隨著X和Y顯示電極3和4長度增加而導致線路電阻的增加。
圖2示出了反轉過來的等離子顯示板的另一前玻璃基板的透視示意圖。在該實施例中，前玻璃基板21還包括黑電極。與前玻璃基板21結合使用的後玻璃基板可以是如圖1所示的。
參見圖2，X和Y顯示電極23和24形成在前玻璃基板21的內表面上，黑電極29形成在X和Y顯示電極23和24上。黑電極29防止象素間的串擾，因此提高了對比度，並防止隨著X和Y顯示電極23和24長度增加而導致線路電阻的增加。總線電極25形成在黑電極29上，並進一步防止X和Y顯示電極23和24的線路電阻的增加。介電層27和保護層26也設置在前玻璃基板21之上。
圖3A至3D示出形成黑電極和總線電極的傳統方法的橫截面圖。參見圖3A，光敏膜31即Ag印刷在其上已經通過前邊工序形成有X和Y顯示電極23和24的前玻璃基板21上。光敏膜31包括黑色素。光敏膜31塗覆在前玻璃基板21的整個表面上。參見圖3B，用乾燥器32乾燥光敏膜31。從乾燥器32中流過的空氣促使光敏膜31的乾燥。參見圖3C，掩膜33設置在前玻璃基板21之上，光線34照射在其上使光敏膜31曝光。光敏膜31a沒有被掩膜33覆蓋的部分通過曝光硬化。曝光結束後，如圖3D所示，將硬化的光敏膜31顯影，以在X和Y顯示電極23和24上形成黑電極29，並將光敏膜31的剩餘部分去除。通過點火工序完成黑電極29。參考圖3A至3D描述的工序可以同樣用來形成總線電極。然而用來形成總線電極的光敏膜31不包括黑色素。
在如圖3A至3D所示製造黑電極和總線電極的方法中，雖然前玻璃基板的整個表面塗覆光敏膜，但只有一部分用來形成黑電極或總線電極。光敏膜的其它部分被去除。因此在該道工序中浪費了大量光敏膜。
作為上述方法的替換方法，可以用濺鍍法來形成總線電極和黑電極，但是濺鍍比印製更昂貴。也可以用一屏蔽掩膜直接印刷總線電極和黑電極。然而因為總線電極的線寬在50μm至100μm之間，不能容易地用屏蔽掩膜製造總線電極。
作為帶黑色素的光敏Ag的替換方案，黑電極可用光敏RuO3形成。然而光敏RuO3比Ag貴的多，並與Ag一樣存在著浪費的問題。
發明內容
本發明提供一種製造改進等離子顯示板的方法，和在其中使用的模板，和用該方法製造的具有不透明電極的等離子顯示板，其基本克服了由現有技術的限制和缺點造成的一個或多個問題。
本發明的一實施例的特點是提供一種製造改進等離子顯示板的方法，和在其中使用的模板，和用該方法製造的具有不透明電極的等離子顯示板，其形成不透明電極的材料的用量減少。
本發明的一實施例的特點是提供一種製造改進等離子顯示板的方法，和在其中使用的模板，和用該方法製造的具有不透明電極的等離子顯示板，其簡化了不透明電極的製造。
通過下述方法可以實現本發明的上述和其它的特點和優點中的至少一個，該製造方法包括提供一具有與等離子顯示板的不透明電極的圖案相對應的鍍槽的模板，在鍍槽中形成第一鍍層，將第一鍍層移至基板上的顯示電極，並去除模板，在顯示電極上留下第一鍍層。
第一鍍層可以是Ag鍍層。模板可包括位於材料板上的金屬膜，其中該鍍槽位於該金屬膜上。金屬膜可以是不鏽鋼、鈦、鎳和鐵中的一種。設置模板可包括在形成第一鍍層前形成用於無電鍍的種子層。鍍槽可在一光阻材料中形成。模板可包括玻璃材料板或塑料材料板。可用光阻粘劑形成鍍槽。該方法還包括轉移之前在第一鍍層和顯示電極之間設置粘結材料。
該方法可以進一步包括，在轉移之前在第一鍍層的上表面上形成第二鍍層，該轉移包括轉移第一和第二鍍層。第一鍍層可以是Ag鍍層，第二鍍層可以是銅或Ni-P鍍層。該方法還可包括在轉移之前將第二鍍層致黑。當第二鍍層是銅鍍層，致黑包括用鹼性致黑溶液。當第二鍍層是Ni-P鍍層，致黑包括用酸致黑溶液。
通過提供一模板可以實現本發明的上述和其它的特點和優點中的至少一個，該模板用來製造等離子顯示板的不透明電極，該模板包括一板件和形成在板件的上表面的圖案，該板件包括與等離子顯示板的不透明電極對應的鍍槽。
該板件可以是塑料板、其上具有金屬層的塑料板、玻璃板和陶瓷板中的一種。圖案可由光阻材料和光敏玻璃粘劑中的一種形成。
通過提供一等離子顯示板可以實現本發明的上述和其它的特點和優點中的至少一個，該等離子顯示板包括顯示電極、總線電極和位於顯示電極和總線電極之間的粘結材料。等離子顯示板可包括位於粘結材料和總線電極之間的黑電極。
結合附圖對示例性實施例詳細描述，使得本發明的上述和其它的特點和優點對於本領域普通技術人員來說將會變得顯而易見，其中圖1是傳統等離子顯示板的分解透視示意圖；圖2是另一前玻璃基板的反面透視示意圖；圖3A至3D示出了形成黑電極和總線電極的方法步驟的橫截面圖；圖4A至4D示出了根據本發明一實施例的模板製造方法步驟的橫截面圖，該模板用於等離子顯示板的總線電極的製造方法中；圖5示出了用圖4A至4D的方法形成的模板的透視示意圖；和圖6A至6E示出了用一模板製造總線電極和黑電極的方法步驟的橫截面示意圖。
具體實施例方式
於2004年12月11日在韓國知識產權局提交的、申請號為No.10-2004-0104649、名為「等離子顯示板的總線電極的製造方法，在該方法中使用的模板，和用該方法製造的具有總線電極的等離子顯示板」的韓國申請，全文在此引用以做參考。
下面將參考示出本發明的示例性實施例的附圖，更加詳細的描述本發明。然而本發明可以按不同形式實現，不受此處提出實施例解釋的限制。相反，提供這些實施例是為了徹底完全公開發明，並向本領域技術人員充分表達本發明的範圍。圖中各層和各區域的尺寸被放大以便清楚說明。應當明白的是若指出一層在另一層或基板「之上」，其可以直接在其它層或基板之上，或者有一中間層。而且應當明白的是若指出一層在另一層「之下」，其可以直接在之下，也可以有一個或多個中間層。另外應當明白若指出一層在兩層「之間」，其可以是只有一個層在兩個層之間，或者有一個或多個中間層。全文相同的標記表示相同的元件。
根據本發明的一實施例的等離子顯示板的不透明電極的製造方法，可以用一模板實現。在將不透明電極如黑電極和/或總線電極按預定圖案形成在模板上之後，其可以從模板轉移(transfer)並固定到前玻璃基板上的顯示電極上。
圖4A至4D示出了根據本發明一實施例的模板40製造方法步驟的橫截面圖，該模板用於等離子顯示板的總線電極的製造方法中。參見圖4A，金屬薄膜42設置在塑料基板41的上表面，形成板件41＇。塑料基板41可由柔性材料如ABS形成，並有助於增強圖4D的模板40。如下文所述，可將塑料基板41彎曲以便容易地轉移(transfer)總線電極和黑電極。在總線電極和黑電極鍍(p1ating)過程中，金屬薄膜42用作種子層。優選地，在金屬薄膜42上的總線電極和黑電極在轉移過程中可容易地從金屬薄膜42分離開來。因此金屬薄膜42可以由能容易地與形成電極的材料如不鏽鋼、鈦、鎳和鐵等分離的材料形成。
可選地，模板40可僅僅由塑料基板41形成，而沒有金屬薄膜42，或者僅僅由玻璃板形成。這種情況下，可在塑料或玻璃板上執行無電鍍以形成想要的總線電極和黑電極的鍍層。
如圖4B所示，光阻材料43塗覆在金屬薄膜42的整個上表面上。光阻材料43可以是負型光阻材料。
如圖4C所示，將光阻材料43曝光。當將掩膜45設置在光阻材料43的整個表面上，負型光阻材料曝光於來自光源57的光線時，沒有曝光的負型光阻材料陰影部分43a變軟。據此若隨後實施顯影，可以去除與陰影部分43a對應的光阻材料43的部分，從而形成中間具有鍍槽52的預定圖案47，如圖4D所示。
圖5示出根據圖4A至4D所示工藝形成的模板的透視示意圖。參見圖5，光阻材料圖案47形成在模板40的表面上，鍍槽52形成在光阻材料圖案47的中間。如後所述，通過用總線和黑電極材料鍍鍍槽52，可形成電極圖案。
根據本發明的另一方面，可以用光敏玻璃粘劑代替光阻材料形成模板的圖案。例如可塗覆光敏玻璃粘劑以代替圖4B所示的光阻材料43，執行曝光和顯影步驟以形成圖5所示的玻璃圖案。根據本發明的另一方面，可以用玻璃粉或陶瓷粉形成模板。如果用玻璃粉或陶瓷粉形成模板，則可重複使用模板。
圖6A至6E示出了用一模板製造總線電極和黑電極的方法步驟的橫截面示意圖。參見圖6A，鍍槽52形成在模板50上，第一鍍層61如Ag鍍層形成在鍍槽52內。第一鍍層61可以用傳統的方法形成。例如可用AgCN鍍敷溶液作為鍍敷溶液，可用模板50的金屬薄膜作為電鍍電極以便形成第一鍍層61。根據本發明的另一方面，如果不形成金屬薄膜，可用無電鍍形成種子層，隨後執行鍍敷以便形成第一鍍層61。第一鍍層61的厚度可以不厚於鍍槽52的深度。如後所述，第一鍍層61可用作等離子顯示板的總線電極。
參見圖6B，可在第一鍍層61上形成第二鍍層62如銅(Cu)或鎳磷(Ni-P)。這裡，第二鍍層62可向上延伸稍稍超過形成鍍槽52的光阻材料圖案47。這種超過光阻材料圖案47的延伸可防止圖案47在電極轉移過程中相互幹擾。換句話說，如果第二鍍層62的上表面低於形成鍍槽52的圖案47的上表面，在轉移過程中圖案47的上表面就會與顯示電極接觸。因此第二鍍層62的上表面優選地比圖案47的上表面高。如圖6C所示，在第二鍍層62的上表面與形成鍍槽52的圖案47的上表面之間有一厚度h，厚度h的範圍在約1μm至約5μm之間。第二鍍層62可用傳統的鍍敷方法形成。
參見圖6C，可對第二鍍層62進行處理來形成致黑的第二鍍層63。如果第二鍍層62由Cu形成，則可用鹼性致黑溶液使第二鍍層62致黑。如果第二鍍層62由Ni-P形成，則可用酸性致黑溶液使第二鍍層62致黑。
參見圖6D，在經致黑的第二鍍層63上可塗覆粘結材料64如粘結粉。可用粘結材料64將鍍層固定到前玻璃基板68上的顯示電極67上，如圖6E所示。例如可用掩膜以印刷方法將粘結材料64塗覆在第二鍍層62上。
參見圖6E，可將第一鍍層61和致黑的第二鍍層63轉移至前玻璃基板68上的顯示電極67。在將在第一鍍層61和致黑的第二鍍層63轉移並固定到顯示電極67的上表面如用粘結材料64固定之後，可將模板50去除。結果在顯示電極68上，第一鍍層61用作總線電極，致黑的第二鍍層63用作黑電極。之後如圖2所示，可在前玻璃基板68上形成一介電層和一保護層。
如果模板50由柔性塑料材料形成，則在鍍層轉移之後可容易地去除模板50。換句話說，可將模板50稍稍彎曲，這樣就容易去除。
若沒有形成致黑的第二鍍層63，圖6A至6E所示的工藝仍可應用於第一鍍層61。例如用其它方法而不是黑電極實現黑條帶，或者在不必要的情況下，可以不形成致黑的第二鍍層63。這種情況下可使第一層61的厚度等於或大於模板的圖案47的厚度。而且可將粘結材料64直接塗覆在要轉移至顯示電極67的第一鍍層61的上表面上。
如上所述，在等離子顯示板的不透明電極的製造方法、在該方法中所用的模板和用該方法製造的帶不透明電極的等離子顯示板中，用來製造不透明電極的材料總量減少。而且，不透明電極可以快速簡便地製造。
在這裡公開了本發明的示例性實施例，雖然使用了特定術語，但它們僅僅是一般地、描述性地解釋，不起限定的目的。例如，可將粘結材料施加到顯示電極上而不是模板上的鍍層上。據此，本領域普通技術人員應當明白可以進行不脫離由權利要求所限定的本發明的精神和範圍的各種形式和細節上的變化。
權利要求
1.一種製造等離子顯示板的不透明電極的方法，該方法包括提供具有與等離子顯示板的不透明電極的圖案對應的鍍槽的模板；在鍍槽內形成第一鍍層；將第一鍍層轉移至位於基板上的顯示電極；和去除模板，使第一鍍層留在顯示電極上。
2.如權利要求1所述的方法，其中第一鍍層是Ag鍍層。
3.如權利要求1所述的方法，其中提供模板包括在一材料板上提供一金屬膜，在金屬膜上形成鍍槽。
4.如權利要求3所述的方法，其中金屬膜是不鏽鋼、鈦、鎳和鐵中的一種。
5.如權利要求1所述的方法，其中提供模板包括在形成第一鍍層之前，為無電鍍形成一種子層。
6.如權利要求1所述的方法，其中所述鍍槽是形成在一光阻材料內。
7.如權利要求1所述的方法，其中該鍍槽是用光阻材料粘劑形成的。
8.如權利要求1所述的方法，還包括在轉移之前在第一鍍層和顯示電極之間提供一粘結材料。
9.如權利要求1所述的方法，還包括，在轉移之前，在第一鍍層的上表面之上形成第二鍍層，該轉移包括將第一和第二鍍層轉移。
10.如權利要求9所述的方法，其中第一鍍層是Ag鍍層，第二鍍層是銅或Ni-P鍍層。
11.如權利要求9所述的方法，還包括，在轉移之前，致黑第二鍍層。
12.如權利要求11所述的方法，其中第二鍍層是銅鍍層，致黑包括使用鹼性致黑溶液。
13.如權利要求11所述的方法，其中第二鍍層是Ni-P鍍層，致黑包括使用酸性致黑溶液。
14.如權利要求1所述的方法，其中模板包括一玻璃材料板。
15.如權利要求1所述的方法，其中模板包括一塑料材料板。
16.用於製造等離子顯示板的不透明電極的模板，該模板包括一板件；和形成在板件的上表面上的圖案，板件包括與等離子顯示板的不透明電極對應的鍍槽。
17.如權利要求16所述的模板，其中該板件是塑料板件、其上具有一金屬層的塑料板件、玻璃板件和陶瓷板件中的一種。
18.如權利要求16所述的模板，其中該圖案由光阻材料和光敏玻璃粘劑中的一種形成。
19.一種等離子顯示板，包括顯示電極；總線電極；和在顯示電極和總線電極之間的粘結材料。
20.如權利要求19所述的等離子顯示板，還包括在粘結材料和總線電極之間的黑電極。
全文摘要
一種製造等離子顯示板的不透明電極的方法，包括設置一模板，該模板具有與等離子顯示板的不透明電極的圖案對應的鍍槽，在鍍槽內形成第一鍍層，轉移第一鍍層至基板上的顯示電極，並去除模板，留下第一鍍層在顯示電極上。在顯示電極和第一鍍層之間可以有粘結劑。在顯示電極和第一鍍層之間可以有第二鍍層。
文檔編號H01J11/12GK1848354SQ20051000347
公開日2006年10月18日 申請日期2005年12月10日 優先權日2004年12月11日
發明者朱圭楠, 崔慶南, 樸鉉基, 韓東熙 申請人:三星Sdi株式會社