一種薄膜電晶體型基板檢測設備的圖像校正方法及裝置製造方法
2023-07-09 05:51:06
一種薄膜電晶體型基板檢測設備的圖像校正方法及裝置製造方法
【專利摘要】本發明公開了一種薄膜電晶體型（TFT）基板檢測設備的圖像校正方法及裝置，其中方法包括：利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏移值是否小於預設的門限值，若不小於，則採集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調整所述圖像，利用調整後的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小於，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。採用本發明能夠提高對TFT基板檢測設備的校正效率，並且提高校正的精確度。
【專利說明】一種薄膜電晶體型基板檢測設備的圖像校正方法及裝置
【技術領域】
[0001] 本發明涉及液晶顯示器領域中的檢測技術，尤其涉及一種薄膜電晶體型（TFT， Thin Film Transistor)基板檢測設備的圖像校正方法及裝置。
【背景技術】
[0002] 在TFT基板的檢測工藝中，需要使用檢測傳感器（Modulator)和電荷耦合元件 (CO), Charge-coupled Device)組成的檢測設備，在距離TFT基板上方15-20微米處進行 檢測。要保證對TFT基板的檢測結果正確，就需要保證檢測設備中檢測傳感器及CCD的中 心位置一致；否則，如果CCD與檢測傳感器的中心位置出現偏差，對TFT基板的檢測結果就 會出現誤差。因此，在對TFT基板的檢測之前，需要先對所述TFT基板檢測設備進行校正。
[0003] 目前，對所述TFT基版檢測設備進行校正為：先使用電壓圖像光學系統（VI0S， Voltage Image Optic System),對檢測傳感器和CCD進行粗校正；利用軟體獲取CCD生成 的TFT基板的動態圖像的中心像素坐標，估算所述動態圖像的偏移值，輸入所述偏移值用 於調整CXD生成的TFT基板的動態圖像的中心像素坐標，觀察調整後的所述動態圖像的中 心像素坐標是否位於中心點，若不是，則繼續估算所述動態圖像的偏移值，輸入所述偏移值 用於調整CXD生成的TFT基板的動態圖像的中心像素坐標，直至所述動態圖像的中心像素 的坐標位於中心點為止。
[0004] 但是，隨著TFT基板的設計種類繁多，且設計的越來越複雜、越來越小，這樣就越 來越難根據所述TFT基板的動態圖像估算出偏移值，只能依靠經驗進行人工調整，如此，就 造成TFT基板檢測設備的校正效率較低且不夠精確。
【發明內容】
[0005] 本發明所要解決的技術問題在於提供一種TFT基板檢測設備的圖像校正方法及 裝置，提高對TFT基板檢測設備的校正效率，並且提高校正的精確度。
[0006] 為解決上述技術問題，本發明的技術方案是這樣實現的：
[0007] 本發明提供了一種TFT基板檢測設備的圖像校正方法，所述方法包括：
[0008] 利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所 述圖像的偏移值；
[0009] 判斷所述偏移值是否小於預設的門限值，若不小於，則採集所述指定目標的圖像， 利用所述偏移值調整所述圖像，利用調整後的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移 值；若小於，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
[0010] 上述方案中，所述利用指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像 的偏移值，包括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分 別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉角、X軸偏移量和Y軸 偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0011] 上述方案中，所述利用所述偏移值，調整TFT基板檢測設備獲取的所述指定目標 的圖像，包括：查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷史偏移值，將所述歷史偏移 值與所述偏移值累加得到更新後的歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各 個像素點的偏移轉角、X軸坐標以及Y軸坐標；若沒有，則將所述偏移值作為歷史偏移值，利 用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X軸坐標以及Y軸坐標。
[0012] 上述方案中，所述利用調整後的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，包 括：利用調整後的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計 算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移 量作為所述圖像的偏移值。
[0013] 上述方案中，所述指定目標為：預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置於TFT基板 檢測設備中檢測傳感器的底部。
[0014] 本發明還提供了一種TFT基板檢測設備的圖像校正裝置，所述裝置包括：圖像處 理模塊、數據處理模塊和控制模塊；其中，
[0015] 圖像處理模塊，用於將TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的 坐標信息發送所述圖像至數據處理模塊；根據所述控制模塊的通知，繼續從TFT基板檢測 設備獲取指定目標的圖像，發送所述圖像中各個像素點的坐標信息至數據處理模塊；
[0016] 數據處理模塊，用於利用所述圖像中各個像素點的坐標信息計算所述圖像的偏移 值，發送所述偏移值給控制模塊；以及利用所述偏移值調整圖像處理模塊發來的所述圖像， 利用調整後的所述圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，發送所述偏移值給控制 模塊；
[0017] 控制模塊，用於判斷所述偏移值是否小於預設的門限值，若不小於，則通知圖像處 理模塊繼續從TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖像；若小於，則將所述偏移值作為 校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
[0018] 上述方案中，所述數據處理模塊，具體用於利用所述圖像中各個像素點的坐標信 息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量， 將所述偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0019] 上述方案中，所述數據處理模塊，具體用於查看是否已存有歷史偏移值，若有，則 提取所述歷史偏移值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新後的歷史偏移值，利 用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X軸坐標以及Y軸坐標；若沒 有，則將所述偏移值作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各個像素點的 偏移轉角、X軸坐標以及Y軸坐標。
[0020] 上述方案中，所述數據處理模塊，具體用於利用調整後的所述圖像中各個像素點 的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y 軸偏移量，將所述偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
[0021] 上述方案中，所述指定目標為預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置於所在TFT 基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
[0022] 通過本發明TFT基板檢測設備的圖像校正方法及裝置，能夠利用TFT基板檢測設 備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏 移值是否小於預設的門限值，若不小於，則採集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調整 所述圖像，利用調整後的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小於，則將偏移 值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。如此，就能夠通過檢測指定目 標的圖像的偏移值，是否小於預設的門限值，確定是否校正完成；從而，避免了現有技術中 由于越來越難根據所述TFT基板的動態圖像估算出偏移值，只能依靠經驗進行人工調整， 造成的校正效率較低且不夠精確的問題。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0023] 圖1為本發明TFT基板檢測設備的圖像校正方法流程示意圖；
[0024] 圖2為指定目標的示意圖；
[0025] 圖3為指定目標的坐標信息示意圖；
[0026] 圖4為採集的圖像的坐標信息示意圖；
[0027] 圖5為本發明TFT基板檢測設備的圖像校正裝置組成結構示意圖；
[0028] 圖6為TFT基板檢測設備的組成結構示意圖。
【具體實施方式】
[0029] 本發明的基本思想是：利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素 點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值；判斷所述偏移值是否小於預設的門限值，若不小 於，則採集所述指定目標的圖像，利用所述偏移值調整所述圖像，利用調整後的圖像中各個 像素的坐標信息，重新計算偏移值；若小於，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測 設備獲取的圖像進行校正。
[0030] 下面結合附圖及具體實施例對本發明再作進一步詳細的說明。
[0031] 本發明提出的TFT基板檢測設備的圖像校正方法，如圖1所示，包括以下步驟：
[0032] 步驟101 :利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信 息，計算所述圖像的偏移值。
[0033] 這裡，所述指定目標的圖像，可以為：TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖 像，獲取所述圖像中各個像素點的坐標信息。
[0034] 所述指定目標可以為預設的具有特殊圖案的反射鏡面，設置於TFT基板檢測設備 中檢測傳感器的底部；所述特殊圖案可以如圖2所示。
[0035] 所述利用指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖像的偏移值包 括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖 像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所 述圖像的偏移值；
[0036] 其中，所述偏移轉角的計算方法為：利用三角形正切公式計算得到當前圖像的轉 角以及指定目標的轉角，將兩者的差值作為偏移轉角；
[0037] 比如：假設指定目標如圖2所示，則所述指定目標的坐標信息如圖3所示為（xl， yl)、（x2, y2);所述採集的圖像的坐標信息分別可以如圖4所示為（χΓ，yl'）、（x2'，y2'）；
[0038] 根據三角形正切計算公式得到指定目標的轉角為
【權利要求】
1. 一種薄膜電晶體型TFT基板檢測設備的圖像校正方法，其特徵在於，所述方法包括： 利用TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標信息，計算所述圖 像的偏移值； 判斷所述偏移值是否小於預設的口限值，若不小於，則採集所述指定目標的圖像，利用 所述偏移值調整所述圖像，利用調整後的圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值；若 小於，則將所述偏移值作為校正結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
2. 根據權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述利用指定目標的圖像中各個像素點 的坐標信息，計算所述圖像的偏移值，包括：利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預 設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述 偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
3. 根據權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述利用所述偏移值，調整TFT基板檢測 設備獲取的所述指定目標的圖像，包括：查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷 史偏移值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新後的歷史偏移值，利用所述歷史 偏移值，調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X軸坐標W及Y軸坐標；若沒有，則將所述 偏移值作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X 軸坐標W及Y軸坐標。
4. 根據權利要求1所述的方法，其特徵在於，所述利用調整後的圖像中各個像素的坐 標信息，重新計算偏移值，包括：利用調整後的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設 的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏 移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
5. 根據權利要求1至4任一項所述的方法，其特徵在於，所述指定目標為；預設的具有 特殊圖案的反射鏡面，設置於TFT基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
6. -種TFT基板檢測設備的圖像校正裝置，其特徵在於，所述裝置包括；圖像處理模 塊、數據處理模塊和控制模塊；其中， 圖像處理模塊，用於將TFT基板檢測設備獲取的指定目標的圖像中各個像素點的坐標 信息發送所述圖像至數據處理模塊；根據所述控制模塊的通知，繼續從TFT基板檢測設備 獲取指定目標的圖像，發送所述圖像中各個像素點的坐標信息至數據處理模塊； 數據處理模塊，用於利用所述圖像中各個像素點的坐標信息計算所述圖像的偏移值， 發送所述偏移值給控制模塊；W及利用所述偏移值調整圖像處理模塊發來的所述圖像，利 用調整後的所述圖像中各個像素的坐標信息，重新計算偏移值，發送所述偏移值給控制模 塊； 控制模塊，用於判斷所述偏移值是否小於預設的口限值，若不小於，則通知圖像處理模 塊繼續從TFT基板檢測設備獲取所述指定目標的圖像；若小於，則將所述偏移值作為校正 結果對TFT基板檢測設備獲取的圖像進行校正。
7. 根據權利要求6所述的裝置，其特徵在於， 所述數據處理模塊，具體用於利用所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預設的指定 目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述偏移轉角、 X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
8. 根據權利要求6所述的裝置，其特徵在於， 所述數據處理模塊，具體用於查看是否已存有歷史偏移值，若有，則提取所述歷史偏移 值，將所述歷史偏移值與所述偏移值累加得到更新後的歷史偏移值，利用所述歷史偏移值， 調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X軸坐標W及Y軸坐標；若沒有，則將所述偏移值 作為歷史偏移值，利用所述歷史偏移值，調整所述圖像中各個像素點的偏移轉角、X軸坐標 W及Y軸坐標。
9. 根據權利要求6所述的裝置，其特徵在於， 所述數據處理模塊，具體用於利用調整後的所述圖像中各個像素點的坐標信息、與預 設的指定目標坐標信息，分別計算所述圖像的偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量，將所述 偏移轉角、X軸偏移量和Y軸偏移量作為所述圖像的偏移值。
10. 根據權利要求6至9任一項所述的裝置，其特徵在於，所述指定目標為預設的具有 特殊圖案的反射鏡面，設置於所在TFT基板檢測設備中檢測傳感器的底部。
【文檔編號】G06T7/00GK104463824SQ201310418622
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2013年9月13日 優先權日:2013年9月13日
【發明者】林子錦, 趙海生, 裴曉光, 鄧朝陽, 馬海濤 申請人:北京京東方光電科技有限公司