用於雷射鏡的熱畸變補償的製作方法

2023-07-09 20:07:16 2

專利名稱：用於雷射鏡的熱畸變補償的製作方法
技術領域：
本發明涉及高功率的二氧化碳盤形雷射器。更具體地，本發明涉及降低熱畸變和改善指向穩定性的鏡系統的設計。
背景技術：
本發明涉及高功率的擴散冷卻二氧化碳盤形雷射器。這種雷射器的例子可在共同 擁有的美國專利No. 5，140，606中找到，其通過弓|入方式併入本文。這些雷射器包括一對矩 形金屬電極，所述電極設置在含有雷射氣體的密封外殼內。電極被緊密分隔開以限定板狀 放電區域。RF功率被用於雷射氣體以產生雷射。這些類型的雷射器通常使用混合式光學共振器，其在平行面對的電極的寬度維度 上具有不穩定的共振器，並且在分隔兩個電極的垂直(即，「間隙」)維度中有光導型共振 器。早期設計使用正支非穩共振器(例如參見美國專利No. 4，719，639，其通過引入方式並 入本文)。稍後涉及使用負支非穩共振器(參見美國專利No. 5，048，048)。相對於負支設計，所述正支非穩共振器設計約為更難以對齊的數量級，但是該設 計對於輸出光束的敏感性更低，作為共振器鏡的曲率的變化函數的所述輸出光束指向變化 與溫度變化。另一方面，負支共振器更容易對齊，但是它們的光束指向變化對於鏡的曲率隨 著溫度變化更加敏感。鏡的曲率隨著溫度的變化引起輸出雷射光束的指向產生改變。為了獲得負支非穩共振器的更容易對齊的優點，需要解決雷射光束的指向穩定性 隨著鏡的曲率與溫度的變化而產生的較大變化。這是特別真實的，因為放電距離變得更短， 並且寬度增加。分析表明雷射光束的指向變化隨著負支非穩共振器的寬度直接增加，並且 與其長度的平方反向增加。設計較短的工業CO2雷射器的優點在於在CO2雷射器的工業應 用中，只要光束質量沒有妥協即可。就此而言，隨著放電的長度製得較短，需要增加放電的 寬度以維持獲得相同的雷射器輸出功率所需要的相同放電區域。在負支非穩共振器設計中，輸出耦合鏡和反射鏡具有凹形表面。鏡通常在平行面 對的電極的整個寬度上延伸，所述電極在垂直方向上(除了輸出耦合側)被小的間隙分隔 開。由雷射光束引起的鏡的反射表面的直接加熱產生，因為沉積在鏡的表面上的高反射性 的薄膜具有非常小、但有限的吸收，所述吸收加熱鏡的表面。來自該反射表面的熱量通過鏡 的厚度傳播，從而在鏡的前面和背面之間建立溫度梯度。由於鏡的背部通常與容納鏡的大的機械外殼連接，因此鏡的背部通常比前面冷， 因此在前面和背面之間保持溫度梯度。該溫度梯度隨著雷射功率而增加，並且因此鏡面的 畸變或扭曲，以擾亂光學共振器的幾何形狀，從而導致雷射輸出光束性能(例如光束特性) 和指向變化的不需要的變化。在熱梯度的情況下，扭曲使得凹鏡表面(朝向雷射器放電側) 更加凸起。對應於雷射器的操作條件的變化，輸出光束參數(例如輸入放電的RF功率、脈衝 重複頻率、工作循環等)發生變化，從而引起鏡的熱梯度的變化，這種變化在工業雷射系統 中是不需要的。這些雷射鏡的熱畸變作用的消除或減少是高度需要的，並且是本發明的焦點。重要的是注意本發明具有比僅僅減少不需要的雷射共振器輸出光束的指向變化更寬的 應用。例如，其可相關於降低光學系統中的鏡畸變、和處理高的光學功率。我們的分析和實驗測試證實使用負支非穩共振器的板狀C02雷射器輸出中光束指 向變化的主要原因是高反射返回鏡和非穩共振器的輸出耦合鏡的曲率改變。這種曲率改變 是由下列三種熱效應引起的1.鏡的厚度上的溫度梯度引起鏡的彎曲。由於鏡的背部較之鏡的反射表面更冷， 因此由於下列事實鏡較少凹陷前面比背部表面膨脹較多。我們發現一些程度的溫度梯度 可使雷射器的輸出光束偏離不可接受的量。2.通過雷射輻射加熱鏡來增加鏡的平均溫度還引起鏡較少凹陷，這是因為鏡的材 料的熱膨脹。鏡的曲率的改變改變了共振器的最佳對齊並劣化了雷射的性能。在我們的情 況下，鏡的材料為銅，但使用其他的鏡的材料(例如矽)可以期待曲率效應的類似改變。3.鏡材料(通常為銅)和大型鏡支承體pate-form(通常由鋁製成)還改變了曲 率半徑，原因在於由於具有不同的熱膨脹係數的兩種材料引起的彎曲。重要的是注意鋁的 熱膨脹係數大於銅的熱膨脹係數。在該情況下，雙金屬效應使得凹鏡更加凹陷。現有技術中提及鏡加熱的劣化作用。例如，美國專利No. 5，020, 895描述使用適應 光學技術來補償鏡的熱變形。該方案包括使用有源電子反饋線路，其連接有傳感器和制動 器，例如壓電或調解液體或氣體壓力腔，以提供抵消曲率半徑的力，所述曲率半徑由鏡上的 熱效應引起。該方案增加了不需要的複雜性和雷射器的成本。另一個現有技術是使用有源電子反饋線路，其連接有溫度傳感器和加熱元件，以 加熱共振器的鏡的背部，從而建立抵消曲率半徑變化的合適的溫度分布(參見美國專利 No. 5，751，750)。後面專利還在方案中報導耦合出小部分的雷射光束，並且使用其輻射鏡的 背面以補償鏡的前面和背面的溫度。這兩種方案都增加了不需要的複雜性和雷射器的成 本。美國專利No. 4，287，421公開了透明的鏡的材料，其具有預密封的反射塗層以允 許少量的雷射輻射通過塗層和鏡的材料傳播，從而反過來被鏡的背側上的塗層吸收。反射 和吸收參數被選擇為使得被吸收塗層吸收的輻射足以加熱鏡的背側，從而補償鏡的前面和 背面之間的溫度梯度。該方案的限制為需要透明的鏡的材料。因此，其不用於銅鏡，我們相 信銅鏡比Si或ZnSe鏡更耐損害。

發明內容
本發明提出使用雙金屬效應以改善鏡的熱畸變而不是劣化鏡的畸變。在優選的實 施方案中，雷射器外殼的管座組件受到凸緣限定，在所述凸緣上設置鏡支承體。細長的鏡元 件安裝至支承體。鏡元件由金屬形成，其包括在其前面上的彎曲部分，所述前面限定共振器 的一個反射表面。前面還包括至少一個、優選兩個平行於鏡的彎曲部分延伸的平面區域。這 些平面區域可從彎曲部分下降。根據本發明，金屬條帶設置在鏡元件的平面部分上。這些條帶由熱膨脹係數低於 鏡元件的金屬材料的熱膨脹係數的材料形成。在優選的實施方案中，鏡元件由銅製成，條帶 由不鏽鋼製成。由於兩種材料的不同的膨脹率，因此鏡和條帶表現出雙金屬效應。在該情況下，雙金屬效應容易使凹鏡更加凹陷。相反，差溫加熱容易使鏡較少凹陷。通過合適地選擇不鏽 鋼條帶的厚度和尺寸，可平衡兩種效應，因此使畸變最小化。在可選擇的實施方案中，一個或多個金屬條帶設置在鏡元件的背部。在該情況下， 條帶的熱膨脹係數被選擇為大於鏡元件的熱膨脹係數，以對抗由於加熱鏡的前面而引起的 熱梯度的作用。從參照附圖的下列詳述中，本發明的另外的目的和優點是明顯的，其中附圖簡要說明

圖1是示出面向雷射放電側的現有技術的鏡的管座和鏡的設置的透視圖。圖2是示出雷射室外側的現有技術管座的透視圖。圖3A是根據本發明形成的管座和鏡的組件的放大透視圖。圖3B是圖3A的管座的配合透視圖。圖4A是根據本發明形成的用在放電的輸出耦合側上的管座和鏡的組件的放大透 視圖。圖4B是圖4A的管座的配合透視圖。圖5是示出在測試雷射器中基於使用本發明的指向穩定性的改善的圖。圖6A是根據本發明的第二實施方案形成的管座和鏡的組件的放大透視圖。圖6B是圖6A的管座的配合透視圖。優選實施方案的詳述圖1和2示出管座組件10。在我們的試驗中使用管座組件10以設置彎曲的鏡，所 述彎曲的鏡形成co2盤形雷射器的部分負支非穩共振器。管座組件包括鋁凸緣12，其栓接到主殼上以密封含有電極、0)2:隊:徹16的0)2氣 體混合物和共振器鏡的雷射管外殼腔室。0形環14提供密封。2008年3月26日提交的共 同擁有的美國專利申請No. 12/079，296 (其通過引用方式併入本文)示出雷射管外殼的例 子，本文中公開的凸緣可附接於所述雷射管外殼(還參見上述美國專利No. 5，140，606)。銅鏡16設置在鋁鏡基底18上，所述基底依次與鋁凸緣的凸起的內表面20連接。 鏡16包括細長的、高度拋光的凹形區域22，所述凹形區域限定鏡的反射表面。一對平坦表 面26位於彎曲表面的任一側上。平坦表面從彎曲表面下降，使得鏡基本上具有T狀橫截面。銅鏡安裝至大型鋁基底導致較大的雙金屬效應，原因在於材料的較大的熱膨脹系 數差異。雙金屬效應引起鏡的曲率的較大變化，使得導致雷射光束的指向方向隨著溫度而 變化。如圖2所示，凸緣的凸起表面20具有兩個軸的角度位置可調節的柱28，所述柱被 加工到凸緣的背面中。該傾斜的柱28包括凹陷的前面，所述前面保持被端部凸緣組件的部 分整合部件通過薄網(在加工過程中留置的)密封，所述加工過程將可調節的柱的端部和 鋁凸緣材料連接(參見上述美國專利No. 5，140，606)。圖2中示出的四個螺絲32用於在兩 個角度的軸調節鏡的取向，以對齊雷射器的共振器腔。圖1和2中示出的鏡組件結構被用於形成400to 500W C02盤形雷射器的混合式 負支非穩光導共振器。電極的寬度為3. 780英寸。鏡的曲率半徑為約0.6m。(該實驗的其 他細節可在2007年7月30日提交的美國臨時申請No. 60/962，555中找到，其通過引用方 式併入本文。)
現有技術的鏡組件結構提供雷射輸出光束，其在開啟雷射器後的指向變化為400 至800微弧度。在大多數雷射材料方法加工應用中這種光束指向變化是不可變化的。通過 理論和實驗研究確定腔的長度隨溫度的變化而引起的指向變化為約30微弧度/度C。相對 於上述提及的引起鏡的曲率半徑變化的三種熱效應(即鏡的前面和背面之間的溫度梯度、 改變鏡的曲率的銅的熱膨脹、以及鋁和銅之間的隨著溫度變化的雙金屬效應)，由腔的長度 隨溫度的變化而引起的雷射光束偏離是微小的。對於隨著溫度的光束指向變化的最大貢獻是由於大型鋁基板和設置在基板上的 銅鏡之間的雙金屬效應。在圖1的組件中的由於銅和鋁之間的雙金屬效應而引起的雷射光 束偏離被發現為約220微弧度/度C。最重要的是發現雙金屬效應可用於補償光束偏離的 變化，所述光束偏離由鏡的曲率半徑的變化引起，所述鏡的曲率半徑的變化由於鏡的熱梯 度的變化和銅和鋁之間的熱膨脹而引起。重要的是注意使用雙金屬效應鏡的結構以在不穩定的光學共振器中減少鏡的曲 率半徑隨著溫度的變化，該結構具有本發明的焦點更寬的應用，其是作為溫度變化的函數 的co2盤形雷射器輸出光束偏離的減少，所述溫度變化由雷射功率輸出、操作工作循環脈、 衝重複頻率等的變化引起。圖3A和3B示出用於減少由於加熱鏡而引起的指向變化的優選方案。如下所示，圖 1和2的設計產生兩種主要變化。首先，消除大型鋁基底18。其次，一對不鏽鋼條帶40與 鏡16的平坦表面26附接。不鏽鋼條帶起到限制由於差溫加熱而引起的鏡的扭曲的作用。在我們的試驗中，條帶40由17-4PH不鏽鋼形成。每個不鏽鋼條帶通過保持螺絲 44附接於T狀銅鏡，並通過六角螺母46保持位置。T狀銅鏡和不鏽鋼條帶通過兩個安裝螺 絲(未示出)附接於凸起表面20。合釘48被用於使鏡和兩個帶螺紋的安裝孔對齊。如圖2中所示，凸起表面20連接至兩個軸角度可調節的柱。該柱被用於調節在密 封的雷射管外殼腔室的鏡的外部。消除圖1和2的鋁基板18並將T狀鏡的中心直接附接在兩個軸角度可調節的柱 的凸起表面20上，如圖3A和3B所示，這通過消除鋁基板和銅鏡之間的雙金屬效應而改善 輸出雷射光束隨溫度的指向變化。附接於T狀銅鏡的前面的不鏽鋼條帶40之間的雙金屬 效應能夠補償殘留光束隨溫度的指向變化。然後，凸緣鏡組件12附接於雷射管外殼(例如 上述文獻中所述的)。基於T狀銅鏡的尺寸來選擇不鏽鋼條帶的厚度和長度，並且通過分析和實驗來初 始調節，直到在所需溫度範圍內獲得所需量的熱補償。本發明中已經討論了不鏽鋼條帶，但 是其他材料也可以是候選者，只要不脫離本發明即可。僅有的要求是條帶的熱膨脹係數小 於形成鏡的材料的熱膨脹係數。按照這種方式，雙金屬效應可補償由於鏡的差溫加熱而引 起的扭曲。類似於圖3A和3B示出圖4A和4B，不同之處在於雷射器的輸出耦合側。主要差別 在於加入輸出埠 50，通過輸出埠 50雷射光束離開雷射管外殼。管座52被提供以承載 輸出窗口(未示出)，所述輸出窗口由材料(例如ZnSe或Si)形成。窗口支承體52被設計 為保持密封。應注意鏡26的長度短於輸出側，原因在於需要提供共振器的輸出光束耦合端通過放大共振器來測定來自混合式負支非穩光導共振器的輸出耦合的量，這是本
7領域熟知的。用於將兩種雙金屬材料(例如本發明中的銅和不鏽鋼)保持在一起的可選擇的和 優選的方案為通過焊接或鍍銅技術來將兩種材料粘合在一起，而不是使用上述機械壓制技 術。較之機械壓制方案，粘合方案初始需要更多的發展努力，但其可以提供更長期的穩定 性，在雷射管外殼經歷溫度循環(其發生在製備循環過程中烘乾)後特別是如此。圖5是示出來自兩個雷射的某些光束指向變化數據的圖，一個具有雙金屬熱補 償，一個不具有雙金屬熱補償。標記為A的曲線對應於具有圖1和2的現有技術構造的激 光。標記為B的曲線對應於根據圖3和4設計的雷射。圖5示出隨著施加於鏡的控溫冷卻 劑的變化，雷射鏡在時間內的溫度變化。圖5還示出不穩定的共振器(UR)隨著時間的光束 指向變化，所述時間對應於在施加冷卻時鏡溫度的變化。並且如上所述，兩個雷射都具有相 同的輸出功率400W。在時間t = 0時，打開現有技術雷射器，並且其鏡溫度開始在約1000秒(曲線A1) 內從22°C升溫至約29°C。該時間為雷射鏡的正常雷射器起動溫度增加時間。在該起動時 間內，現有技術雷射的輸出光束的角度位置(曲線A2)改變約1200微弧度(即從6300至 7500微弧度)。在1000秒後，通過控制冷卻劑來升高現有技術的雷射器的鏡溫度，使得約 1500秒後(S卩，時間< 2500秒)，雷射鏡溫度為約40°C。在鏡溫度為約40°C時，雷射光束 位置為約9500微弧度以改變位置2000微弧度。在2500秒後，鏡溫度降至約25°C，這引起 光束的指向位置降至約6100微弧度(即，角度位置的改變為約3，400微弧度)。對於大多 數材料加工應用而言，這種行為肯定是不可接受的。在時間t = 0時，打開根據本發明形成的雷射器(在功率輸出方面其與現有技術 雷射器相同)，然後其鏡開始從22°C升溫至約32°C，經過1000秒(曲線B1)。在該起動時 間內，輸出光束的角度位置從6300微弧度降至約6100微弧度(曲線B2)，即僅有約100微 弧度的變化。這表示有超過數量級的改善。在鏡溫度升至40°C、然後降至約6°C時，光束指 向穩定性中甚至有更大的改善。對於大多數材料加工應用而言，圖5中示出的指向穩定性 是可接受的。與現有技術雷射器偏離行為相比，根據本發明形成的雷射器明顯表明使用不 穩定的共振器鏡的雙金屬熱補償而獲得改善。例如，在起動時的指向穩定性降低約一毫弧 度至約100微弧度。圖6A和6B示出可選擇的方案。圖6A和6B的實施方案與圖3A和3B的實施方案 相同，不同之處在於用於控制鏡扭曲的條帶40A位於鏡元件16的背面上，而不是前面。在 該情況下，條帶40A的熱膨脹係數應大於鏡元件的熱膨脹係數。按照這種方式，雙金屬效應 容易使鏡更加凹陷，而熱梯度容易使鏡較少凹陷。通過合適地選擇條帶40A的厚度和寬度， 兩種效應可以平衡，使得指向穩定性可以得到改善。儘管示出兩個條帶40A，但是可以使用任意數量(一個或多個)。在示出的實施方 案中，鏡元件16的寬度(圖6A的垂直尺寸)大於圖3A中所示的，以允許一對條帶40A安 裝至鏡元件的背面，同時提供清除中心設置48。在銅鏡元件的情況下，條帶可由鋁形成。注意，現有技術設計包括設置在鏡元件的 背面上的大型鋁塊18(圖1)。該大型塊產生較大和不可控的雙金屬效應。相反，如上所述， 條帶的尺寸可被選擇以平衡熱梯度效應並改善性能。儘管相信優選將條帶設置在鏡元件的前面(圖3和4)或鏡元件的背面(圖6)上，但是還可以將條帶沿著邊緣設置。 儘管已經參照優選實施方案來描述了本發明，但是本領域技術人員可以做出各種 改變和變化，只要不偏離所附權利要求限定的本發明的範圍和精神即可。
權利要求
一種用於在氣體放電雷射器中支承端鏡的管座組件，包括凸緣，包括面向所述放電的內表面和相對的外表面，所述凸緣包括鏡支承體，所述鏡支承體包括位於所述凸緣的所述內表面以附接於鏡元件的柱，所述鏡支承體還包括位於所述凸緣的所述外表面上的鏡傾斜調整機構；細長的鏡元件，其基本上由金屬材料形成，並且在所述鏡元件的所述背面附接於所述鏡支承體的所述柱，所述鏡元件的前面包括用於控制光的傳播的細長彎曲反射部分，所述前面還包括平行於所述彎曲部分延伸的至少一個平坦表面；以及細長條帶，其與所述鏡元件的所述平坦表面連接，所述條帶由熱膨脹係數小於形成所述鏡元件的所述金屬材料的熱膨脹係數的金屬材料形成。
2.如權利要求1所述的組件，其中所述鏡元件主要由銅形成，並且所述條帶主要由不 鏽鋼形成。
3.如權利要求1所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件栓接。
4.如權利要求1所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件粘合。
5.如權利要求1所述的組件，其中所述平坦表面沿著遠離所述放電的方向遠離所述彎 曲表面下降。
6.如權利要求1所述的組件，其中所述鏡元件包括第二平坦表面，所述第二平坦表面 平行於所述彎曲部分延伸、並且位於所述彎曲表面的相對於所述至少一個平坦表面的側面 上，其中所述組件還包括與所述第二平坦表面連接的第二細長金屬條帶，所述第二條帶由 熱膨脹係數小於形成所述鏡元件的所述金屬材料的熱膨脹係數的金屬材料形成。
7.如權利要求6所述的組件，其中所述平坦表面沿著遠離所述放電的方向遠離所述彎 曲表面下降。
8.如權利要求1所述的組件，其中所述彎曲部分是凹形的。
9.一種用於在氣體放電雷射器中支承端鏡的管座組件，包括凸緣，包括面向所述放電的內表面和相對的外表面，所述凸緣包括鏡支承體，所述鏡支 承體包括位於所述凸緣的所述內表面以附接於鏡元件的柱，所述鏡支承體還包括位於所述 凸緣的所述外表面上的鏡傾斜調整機構；細長的鏡元件，其基本上由金屬材料形成，並且在所述鏡元件的所述背面附接於所述 鏡支承體的所述柱，所述鏡元件的前面包括用於控制光的傳播的細長凹形反射部分，所述 前面還包括平行於所述彎曲部分延伸、並在其任一側面上的一對平坦表面；所述平坦表面 沿著遠離所述放電的方向遠離所述彎曲部分下降；以及細長條帶，其與所述鏡元件的所述平坦表面連接，所述條帶由熱膨脹係數小於形成所 述鏡元件的所述金屬材料的熱膨脹係數的金屬材料形成。
10.如權利要求9所述的組件，其中所述鏡元件主要由銅形成，並且所述條帶主要由不 鏽鋼形成。
11.如權利要求9所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件栓接。
12.如權利要求9所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件粘合。
13.一種用於在氣體放電雷射器中支承端鏡的管座組件，包括凸緣，包括面向所述放電的內表面和相對的外表面，所述凸緣包括鏡支承體，所述鏡支 承體包括位於所述凸緣的所述內表面以附接於鏡元件的柱，所述鏡支承體還包括位於所述凸緣的所述外表面上的鏡傾斜調整機構；細長的鏡元件，其基本上由金屬材料形成，並且在所述鏡元件的所述背面附接於所述 鏡支承體的所述柱，所述鏡元件的前面包括用於控制光的傳播的細長彎曲反射部分；以及細長條帶，其與所述鏡元件的所述背面連接，所述條帶由熱膨脹係數大於形成所述鏡 元件的所述金屬材料的熱膨脹係數的金屬材料形成。
14.如權利要求13所述的組件，其中所述鏡元件主要由銅形成，並且所述條帶主要由 鋁形成。
15.如權利要求13所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件栓接。
16.如權利要求13所述的組件，其中所述條帶與所述鏡元件粘合。
17.如權利要求13所述的組件，其中一對條帶與所述鏡的所述背面連接，所述一對條 帶彼此平行延伸並且位於所述柱的任一側上。
18.一種用於在氣體放電雷射器中支承端鏡的管座組件，包括凸緣，包括面向所述放電的內表面和相對的外表面，所述凸緣包括鏡支承體，所述鏡支 承體包括位於所述凸緣的所述內表面以附接於鏡元件的柱，所述鏡支承體還包括位於所述 凸緣的所述外表面上的鏡傾斜調整機構；細長的鏡元件，其基本上由金屬材料形成，並且在所述鏡元件的所述背面附接於所述 鏡支承體的所述柱，所述鏡元件的前面包括用於控制光的傳播的細長彎曲反射部分；以及細長條帶，其與所述鏡元件連接，所述條帶由金屬材料形成，並且其中所述條帶的位置 及其熱膨脹係數被選擇為補償所述鏡的扭曲，所述鏡的扭曲是由於所述鏡和雷射光束的相 互作用引起的熱梯度而導致的。
19.如權利要求18所述的組件，其中所述鏡元件的所述前面包括平行於所述彎曲部分 延伸的至少一個平坦表面，並且其中所述條帶設置在所述平坦表面，以及其中所述條帶的 熱膨脹係數小於形成所述鏡元件的所述金屬材料的熱膨脹係數。
20.如權利要求18所述的組件，其中所述條帶連接於所述鏡元件的所述背面，並且其 中所述條帶的熱膨脹係數大於形成所述鏡元件的所述金屬材料的熱膨脹係數。
全文摘要
本發明公開一種雷射鏡組件，其具有改善的指向穩定性。細長的鏡包括凹形反射部分。一對細長平面部分平行於所述凹形反射部分並在其任何一面上延伸。平面部分從反射部分下降。該鏡由銅形成。一對不鏽鋼條帶(40)與平面部分(26)連接。銅鏡和不鏽鋼條帶(40)之間的雙金屬效應操作以抵消鏡的扭曲，所述鏡的扭曲是由於在操作過程中產生的差溫加熱效應而導致的。在可選擇的實施方案中，一對鋁條帶設置在鏡的背面上。
文檔編號H01S3/08GK101803131SQ200880101909
公開日2010年8月11日 申請日期2008年7月10日 優先權日2007年7月31日
發明者A·帕帕奈德, L·A·紐曼, L·拉夫曼, V·A·塞坤 申請人:相干公司