紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置的製作方法
2023-07-26 11:00:56
專利名稱：紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及光譜輻射傳輸測試技術，特別是涉及一種用於紫外-真空紫外 光譜輻射傳輸特性的測試裝置。 技術背景光譜輻射傳輸特性是指光譜儀器的光譜響應度定標及這一響應度隨溫度 和真空度等環境因素變化特性，它是各類光學遙感儀器研製中的重要環節，用於建立光學遙感儀器輸入輻射量與儀器讀出值之間的對應關係。上世紀70 年代，在空間光學遙感及等離子體物理研究的推動下，工業先進國家的標準 研究機構如德國物理技術研究院(PTB)、英國國家物理實驗室(NPL)、美國 國家標準技術研究院(NIST)等相繼開展了基於大功率壁穩氬弧和同步輻射的 光譜輻射標準的研究，建立起覆蓋紫外、真空紫外乃至軟X射線波段的光譜 輻射傳輸標準。為準確獲得空間紫外光學遙感儀器光譜數據，80年代國內在 短波段光譜輻射計量研究基礎上，已經建立了紫外光譜輻亮度和紫外-真空紫 外光譜輻照度定標裝置。隨著紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試研究工作的不斷深入，紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試需要多臺測試裝置完成，同時紫外-真空紫外 波段光學遙感儀器和光學元件對測試裝置所在真空系統的油汙染問題，嚴重 影響了真空紫外波段光譜輻射傳輸特性測試的精度，制約了光譜儀器光譜響 應度隨溫度及真空度等環境因素變化特性的研究。發明內容本發明的目的是提供一種多功能的紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，以克服目前對紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性的測試手段繁複的缺 點，在該測試裝置上即可實現紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光 譜輻照度響應度定標和紫外探測器光譜響應度測試和紫外光學元件光譜傳輸 特性的測試。本發明紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括單色儀、標準光 源、真空罐、設置在真空罐中的固定在轉臺一側上的光電倍增管、通過兩個 插板閥分別與真空罐腔體連通的低溫泵和分子泵、與真空罐腔體官路連通的 幹泵、通過管路與真空罐腔體連通的低溫機組，所述的真空罐的一端上設置 一法蘭式接口，通過該接口可替換式連接所述的單色儀或標準光源；在真空罐內設置一相對於接口軸線垂直方向平移滑動的位移平臺，所述的轉臺設置 在該位移平臺上。在所述的分子泵上還連接有冷阱，以吸附真空系統中存在的汙染物，從 而獲得一個無油的真空環境。本發明紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置可以實現兩種測試功能紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻照度響應度定標；紫外探測器光譜響應度測試和紫外光學元件光譜傳輸特性測試，在進行不同測 試項目時，所述的法蘭式接口可與單色儀或標準光源連接。
圖1是本發明紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置結構示意圖； 圖2是本發明真空系統部分結構示意圖； 圖3是本發明中標準光源(7)的結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖給出的實施例對本發明結構作進一步詳細描述。 參照圖1至圖3， 一種紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括 單色儀6、標準光源7、真空罐l、設置在真空罐l中的固定在轉臺2—側上的光電倍增管4、通過兩個插板閥1.1分別與真空罐1腔體連通的低溫泵1.4 和分子泵1.5、與真空罐1腔體官路連通的幹泵1.7、通過管路與真空罐1腔 體連通的低溫機組1.8，所述的真空罐1的一端上設置一法蘭式接口5，通過 該接口 5可替換式連接所述的單色儀6或標準光源7;在真空罐1內設置一 相對於接口 5軸線垂直方向平移滑動的位移平臺3，所述的轉臺2設置在該 位移平臺3上。在所述的分子泵1.5上還連接有冷阱1.6，以吸附真空系統中存在的汙染 物，從而獲得一個無油的真空環境。分子泵1.5和幹泵1.7分別經過管路與控 制低溫泵1.4連接在一起，電控櫃1.2通過電纜控制低溫泵閘板閥1.1、低溫 泵控制櫃1.3、低溫泵1.4、分子泵1.5、幹泵1.7和低溫機組1.8。電控櫃1.2的控制臺上配有溫度控制顯示智能儀表、真空度測量顯示儀 表、流程顯示儀表及控制電源顯示儀表等，有斷電、斷水、超溫保護與報警， 設備工作狀態流程的控制電路有必要的互鎖。抽真空時，首先分子泵1.5和 幹泵1.7作為預抽泵，將真空室中大部分氣體抽去，當真空室中的真空度達 到10Pa以下，關閉分子泵1.5和幹泵1.7，開啟低溫泵插板閥l.l，通過低溫 機組1.8和低溫泵控制櫃1.3，控制低溫泵1.4進一步對真空室抽真空來維持 一個高真空，冷阱1.6可以吸附系統中存在的汙染物，從而獲得一個無油的 真空環境。當用本發明進行紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻照度 響應度定標時，將接口 5與標準光源7連接，標準光源7的光通過接口 5直 接照射在放置在轉臺2上的待測紫外遙感儀器8入口處，紫外遙感儀器8跟 隨轉臺2運動，通過紫外遙感儀器8自身的信號採集功能實現光譜輻亮度及 光譜輻照度響應度定標。當用本發明進行紫外探測器光譜響應度測試和紫外光學元件光譜傳輸特 性測試時，將單色儀6與接口 5連接，待測試的光學元件9 (主要包括紫外光電倍增管探測器、紫外增強型面陣CCD探測器和紫外像增強器型面陣 CCD探測器)放置在位移平臺3上，單色儀6發送的不同的單色光，單色光 直接照射到待測試光學元件9和光電倍增管4上，通過位移平臺3調整待測 試的光學元件9，使單色儀6發出的單色光照射待測試的光學元件9中心， 實現對探測器和光學元件的光譜特性測試。
權利要求
1.一種紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，包括單色儀(6)、標準光源(7)、真空罐(1)、設置在真空罐(1)中的固定在轉臺(2)一側上的光電倍增管(4)、通過兩個插板閥(1.1)分別與真空罐(1)腔體連通的低溫泵(1.4)和分子泵(1.5)、與真空罐(1)腔體官路連通的幹泵(1.7)、通過管路與真空罐(1)腔體連通的低溫機組(1.8)，其特徵在於，所述的真空罐(1)的一端上設置一法蘭式接口(5)，通過該接口(5)可替換式連接所述的單色儀(6)或標準光源(7)；在真空罐(1)內設置一相對於接口(5)軸線垂直方向平移滑動的位移平臺(3)，所述的轉臺2設置在該位移平臺(3)上。
2. 根據權利要求1所述的紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置，其 特徵在於，在所述的分子泵(1.5)上還連接有冷阱(1.6)。
全文摘要
本發明涉及光譜輻射傳輸特性測試技術，特別是一種用於紫外-真空紫外光譜輻射傳輸特性測試裝置。它包括單色儀、標準光源、真空罐、設置在真空罐中的固定在轉臺一側上的光電倍增管、通過兩個插板閥分別與真空罐腔體連通的低溫泵和分子泵、與真空罐腔體官路連通的幹泵、通過管路與真空罐腔體連通的低溫機組，真空罐的一端上設置一法蘭式接口，通過該接口可替換式連接所述的單色儀或標準光源；在真空罐內設置一相對於接口軸線垂直方向平移滑動的位移平臺，轉臺設置在該位移平臺上。本裝置可以實現紫外光譜遙感儀器整機高精度光譜輻亮度及光譜輻照度響應度定標及紫外探測器光譜響應度測試和紫外光學元件光譜傳輸特性測試兩種測試功能。
文檔編號G01J3/28GK101216345SQ20071030035
公開日2008年7月9日 申請日期2007年12月29日 優先權日2007年12月29日
發明者李福田, 林冠宇, 王淑榮, 王立朋 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所