具有梯形形狀的磁頭滑動器的製作方法
2023-07-26 23:53:11
專利名稱：具有梯形形狀的磁頭滑動器的製作方法
技術領域：
本發明的背景本發明的領域本發明關於用在磁碟驅動器上的浮動磁頭滑動器，特別關於擬具有低浮動高度的負壓滑動器。
先有技術的描述在現有的磁碟驅動器的磁頭滑動器中，為了增加磁碟的記錄密度，正設法降低浮動高度。另外，在選取方向上為了獲得高的選取速度採用了大的加速度，故要求滑動器具有極佳的浮動穩定性。另外，在近代磁碟驅動裝置中，轉動定位器廣泛用於減小磁碟驅動器的尺寸和簡化機構的目的，並要求負壓滑動器由於偏轉角度的改變而浮動高度變化較小。
作為一個具有極佳浮動穩定性的負壓磁頭滑動器，已有建議該滑動器具有一雙軌道，該軌道寬度從空氣入口端到空氣出口湍減小，並在這對軌道之間限定一個槽，以在槽中產生負壓(日本專利公開號NO.4-228157)。
圖1A是在上述公開文件中公開的通常的負壓磁頭滑動器的平面圖，圖1B是圖1A所示滑動器的透視圖。參考數字2所指的滑動器在平面視圖中具有矩形形狀，並具有空氣入口端2a和空氣出口端2b。
用以產生正壓的一對軌道4和6加工在滑動器2的磁碟相對的表面上。軌道4和6具有平坦的氣浮表面(軌道表面)4a和6a，用以在磁碟轉動時分別產生浮動力。傾斜表面4b和6b分別加工在軌道4和6的空氣入口端部。槽8用於膨脹已壓縮的空氣以產生負壓並限定在軌道4和6之間。電磁傳感器10加工在滑動器2的空氣出口端軌道4所在的位置。中間軌道11加工在空氣入口端2a側的軌道4和6之間。
每個軌道4和6在空氣入口端部和出口端部寬度較大，在中部寬度較小，因此可抑制由於偏轉角度的改變引起的浮動高度的變化。另外，通過在軌道4和6的空氣入口端部加工出傾斜表面4b和6b，由於灰塵存積引起的浮動高度的變化可被抑制。圖1B是滑動器2的從軌道平面的側面看過去的透視圖，其中虛線表示作用在滑動器2上的正壓力，實線表示負壓力。在軌道表面4a和6a上產生正壓力，在槽8中產生負壓力。
當滑動器2的浮動高度變成0.05μm或更少時，滑動器的形狀對浮動狀態影響很大。上述通常的滑動器是矩形的，每對基本平行的軌道在空氣入口端部和出口端部具有兩個較寬的部分。因此在滑動器浮動時的壓力分布圖中出現四個峰值。亦即該滑動器浮動時由四個支點支撐。在這種情況下，滑動器的形狀對浮動狀態影響很大，亦即滑動器的浮動狀態隨著由於製造誤差而產生的滑動器的隆起、翹曲、扭轉等的改變而變化很大。
本發明的概述因此本發明的目的是提供一種具有優良浮動特性的磁頭滑動器，它可抑制由於加工滑動器時軌道表面平面度誤差引起的浮動高度的變化，以及由於傾斜面加工誤差的浮動高度的變化。
按照本發明的一個方面，提供一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動器，它包括一對加工在與磁碟相對的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有用以在上述磁碟轉動時產生浮動力的平坦的氣浮表面；一個限定在上述一對軌道之間的、它們的空氣入口端部上的窄槽；一個限定在上述一對軌道之間的槽，它與上述窄槽相連，並比上述窄槽寬，用以膨脹壓縮的空氣以產生負壓；和一個加工在上述空氣出口端上述一對軌道中的一個的位置上；上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄一些。
由於本發明的磁頭滑動器具有梯形形狀，從而使空氣入口端比空氣出口端窄，一對軌道在空氣入口端比空氣出口端相互靠得近一些。因此，在滑動器浮動時的壓力分布呈現三個峰值，即滑動器在浮動時由三個點支撐。由於該滑動器在浮動時由三點支撐，雖然由於製造誤差使滑動器產生隆起、翹曲、扭轉等等的變化，它仍能抑制滑動器浮動高度的變化。因此可使該滑動器具有優良的浮動特性。
每個軌道最好具有這樣的形狀空氣出口端部的中心位於連接空氣入口端部的中心和中間部分的中心的連接的直線的外側。每個軌道最好也具有在空氣入口端部產生正壓的傾斜表面，該傾斜表面的寬度從空氣入口端朝空氣出口端逐漸減小。
按照本發明的另一個方面，提供了一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動器，它包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有一平坦的氣浮表面，在上述磁碟轉動時產生浮動力；一個限定在上述空氣入口端部上的上述一對軌道之間的窄槽；一個與上述窄槽連續並限定在上述一對軌道之間且比上述窄槽寬的槽，該槽用於膨脹壓縮的空氣以產生負壓；和一個傳感器，它加工在上述空氣出口端上述一個軌道所在的位置，上述滑動器具有一對基本平行的側表面，相交於上述空氣出口端，還具有一對傾斜的側表面，它們從上述一對基本平行的側表面延伸到上述空氣入口端，從而連續地相互靠近。
在本發明的進一步方面中，提供一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動器，它包括一對加工在磁碟對面的與磁碟相對的表面上的軌道，每個上述軌道具有一平坦的氣浮表面以在上述磁碟轉動時產生浮動力；一個軌道連接部分在空氣入口端部連接到上述一對軌道上；一個限定在一對上述軌道之間的槽，用以膨脹壓縮的空氣以產生負壓；和一個加工在上述空氣入口端上述一個軌道所在位置的傳感器；上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端要窄。
軌道連接部分在空氣入口部分最好具有產生負壓的傾斜表面，該傾斜表面的寬度從空氣入口端到空氣出口端逐漸減小。
按照本發明的又一個方面，提供了一種切割條狀薄片的方法，該條狀薄片具有給定的寬度並具有成一排的若干滑動器，分開上述滑動器從而使上述每個滑動器具有梯形形狀，該方法包括步驟提供一切割刀，在它的整個外緣上加工有切割片，上述切割片的傾斜角度等於上述梯形滑動器傾斜的側面的角度；使上述條狀薄片朝上直立以使每個滑動器的空氣入口端變成上側，並將上述條狀薄片放在上述轉動切割刀的前面；以基本水平方向將上述薄片送到上述轉動切割刀上以切割上述條狀薄片。
另外，亦可通過向切割刀垂直移動條狀薄片來切割條狀薄片，這樣切割位置位於通過轉動切割刀中心的垂線上。
通過研究下面參照本發明優選實施例的附圖的描述及所附的權利要求，本發明的上述及其它目的、特徵及優點和實施它們的方式將更加清楚，發明本身亦可得到充分的理解。
附圖概述圖1A是先有技術中磁頭滑動器的平面視圖，圖1B是圖1A中的滑動器在其浮動狀態下的透視圖，圖2是磁碟驅動裝置的透視圖，圖3為本發明的第一個優選實施例的滑動器的平面圖，圖4為圖3中的滑動器在其浮動狀態下的透視圖，圖5為圖3中的滑動器的壓力分布圖，圖6為本發明第二個實施例的滑動器的平面視圖，圖7為本發明第三個實施例的滑動器的平面視圖，圖8為本發明第四個實施例的滑動器的平面視圖，圖9為本發明第五個實施例的滑動器的平面視圖，圖10為本發明第六個實施例的滑動器的平面視圖，圖11為本發明第七個實施例的滑動器的平面視圖，圖12為本發明第八個實施例的滑動器的平面視圖，圖13為本發明第九個實施例的滑動器的平面視圖，圖14為本發明第十個實施例的滑動器的平面視圖，圖15A為本發明第十一個實施例的滑動器的平面視圖，圖15B為沿圖15A中B-B線的剖面圖，圖16為本發明第十二個實施例的滑動器的平面視圖，圖17為本發明第十三個實施例的滑動器的平面視圖，圖18為本發明第十四個實施例的滑動器的平面視圖，圖19A為本發明第十五個實施例的滑動器的平面視圖，
圖19B為沿圖19A中B-B線的剖面圖，圖20為本發明第十六個實施例的滑動器的平面視圖，圖21為圖20所示滑動器浮動高度的曲線圖，圖22A為薄片的透視圖，圖22B為從圖22A所示薄片的條狀薄片切片的透視圖，圖23為第一種切割方法的透視圖，圖24為切割刀片形狀的剖視圖，圖25為臺架的透視圖，圖26A為沿圖25中26A-26A線的剖視圖，圖26B為圖25中26B-26B線的剖面圖，圖27為第二種切割方法的透視圖，和圖28為宜放置切割刀片的條狀薄片的透視圖。
描述優選實施例參見圖2，它是一磁碟驅動裝置的透視圖，其中安裝了本發明的磁頭滑動器。數字12表示一個盒(盤的外罩)，它包括基座14和蓋16。一軸套(未示出)由裝在基座14上的軸套馬達帶動轉動。若干磁碟20和墊片(未示出)以交替疊放的方式裝在軸套上。也就是說，若干磁碟通過用螺釘將磁碟夾固定到軸套上來固定地安裝到軸套上由墊片隔開同樣的一定的距離。
參考數字22表示一轉動作動器，它包括一作動器臂組件26和磁迴路28。作動器臂組件26安裝成可繞著固定到基體14上的軸24轉動。作動器臂組件26包括若干從轉動中心一個方向伸出的作動器臂30和從轉動中心的與作動器臂相反方向伸出的線圈支撐構件36。
懸架34的基礎端部固定到每個作動器臂30的前端部。磁頭滑動器32支撐在懸架34的前端部。線圈38由線圈支撐構件36支撐。插在磁迴路28的間隙內的磁迴路28和線圈38構成一音圈馬達(VCM)40。
參考數字42表示一塊柔性印刷電路板(FPC)，用以拾取來自安裝在磁頭滑動器32上的電磁傳感器的信號。該柔性印刷電路板的一端由固定構件44固定，並電連到連接器(未示出)。一環形襯墊組件46安裝在基座14上。盒12由將蓋16用螺釘通過襯墊組件46固定到基座14上而得到密封。
圖3是表示本發明的第一個優選實施例的磁頭滑動器50A的平面圖，圖4表示磁頭滑動器50A處於浮動狀態時的透視圖。在本優選實施例及所有下面的優選實施例中，基本上同樣的部件用同樣的參考數字表示。磁頭滑動器50A具有氣體進口端52a和氣體出口端52b，從平面圖上看，它具有梯形形狀，這樣空氣進口端52a比空氣出口端52b要窄。磁頭滑動器50A由圖2所示的懸架34支撐。
分別具有平坦的軌道表面(氣浮軸承表面)54a和56a的一對軌道54和56加工在磁頭滑動器50A的磁碟相對表面上。在軌道54和56的進氣端部分分別加工有傾斜表面54b和56b。由於滑動器50A是梯形的，所以軌道54和56布置成在它們的進氣端部分上相互靠近，窄槽58限定在軌道54和56的進氣端部分之間。另外，用以產生負壓的槽60限定在軌道54和56之間。電磁傳感器62裝在滑動器50A的出氣口端52b上，其位置是軌道54所在的位置。
滑動器50A由Al2O3-Tic製成，首先在一個薄片上加工若干電磁傳感器62，然後將薄片切割成杆或條狀，然後再加工每個條的側面以形成若干成對的軌道54和56，最後切割條以得到單個滑動器50A。滑動器50A的尺寸為1.25mm×0.25-0.75mm(空氣入口端)×1mm(空氣出口端)，厚度為0.3mm。每個軌道54和56的最小寬度為100μm或更小一些。因此軌道54和56是由光刻技術加工的。也就是說在要求的軌道形狀上加上一層保護層後，由離子研磨蝕刻薄片表面以形成窄槽58和槽60。斜面54b和56b是在加工軌道54和56之前或之後用機械方法加工的。
每個斜面54b和56b的斜角最好設定為0.5°～4.0°，每個斜面54b和56b的長度最好設定為每個軌道54和56長度的1/10到1/20。在斜面54b和56b產生的正壓防止灰塵沉積在軌道54和56的進氣端位置上。
正如圖4中表示的滑動器50A的浮動狀態中，軌道表面(氣浮軸承)54a和56a產生的正壓用虛線表示，在槽60上產生的負壓吸力由實線表示。也就是說，在窄槽58內受壓縮的空氣壓槽60內膨脹，就會在槽60內產生負壓。
正如圖5中的滑動器50A上的壓力分布圖所示，由於滑動器50A呈梯形，所以可獲得三個壓力峰值，因此，在浮動狀態的滑動器50A在三個點被支撐住。由於滑動器50A是三點上支撐的，所以即使由於誤操作而使滑動器50A出現隆起、彎曲、扭轉等等，浮動高度的變化速度是低的。另外，由於滑動器50A是梯形的，它的質量僅為同樣厚度的普通滑動器質量的1/2-3/4。例如，普通滑動器的質量是1.757mg，而第一個優選實施例的滑動器50A的質量是0.984-1.378mg。因此在這種滑動器50A安裝在具有質量為1.61mg的懸架上的情況下，其響應頻率能增加3.8～13％。
圖6是滑動器50B的平面視圖，它表示本發明的第二個優選實施例。該滑動器50B具有加工在空氣出口端52b側的一對平行的側表面64a和64b，和將側面64a和64b連到空氣進口端52a的傾斜的側表面66a和66b。由於滑動器的空氣出口側52b具有一對平行的側表面64a和64b，能有利於通過橫向推動工作中的滑動器50B來放置滑動器50B。另外，由於滑動器在空氣出口端52b側的每個角不是尖的，就可減少由於碰撞而引起的滑動器50B的角部損壞。
圖7是滑動器50c的平面示圖，它示出了本發明的第三個優選實施例。該滑動器50c具有一對軌道68和70。窄槽72用於壓縮引入的空氣，槽74用於膨脹已壓縮的空氣以產生負壓，它們均限定在軌道68和70之間。軌道68包括氣體入口端部68a、氣體出口端部68b和中間部分68c。氣體出口端部68b的中部位於連接氣體入口端部68a的中部和中間部分68c的中部的連線的外側。
與此相類似，軌道70包括空氣進口端部70a，空氣出口端部70b和一個中間部分70c。空氣出口端部70b的中部位於連接空氣入口端部70a的中部和中間部分70c的中部的連線的外側。由於每個軌道68和70具有這樣的特殊的形狀，來自空氣入口端52a的氣流可很容易地被阻斷，這樣可減小浮動高度，與軌道寬度一起保持要求的穩定的浮動。
圖8是滑動器50D的平面圖，它表示本發明的第四個優選實施例。其中每個軌道68和70的傾斜表面68d和70d的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小。因此，即使由於傾斜的加工誤差而改變了每個傾斜表面的長度，也能減小滑動器50D的浮動高度的變化。
也就是說，浮動高度隨著每個傾斜表面的長度的增加而增加。然而，通過從空氣入口端52a到出口端52b減小每個傾斜表面的寬度，能減小浮動高度，因此抵銷了由於每個傾斜表面長度增加而增加的浮動高度。
圖9是表示本發明第五個優選實施例的滑動器50E的平面圖。其中在軌道68和70之間具有中部軌道76，其它外形類似於圖8所示。
圖10是滑動器50F表示本發明第六個優選實施例的平面圖。其中限定窄槽72的軌道68和70的相對的內側邊緣68F和70F平行於滑動器50F的縱向延伸的中心線。因此，象第四和第五個實施例一樣，雖然由於斜面加工誤差而引起每個傾斜表面的長度改變，可以減小滑動器50F的浮動高度的變化。
圖11是滑動器50G表示本發明第七個優選實施例的平面圖，其中一對軌道78和80由加工在空氣入口側52a的軌道連接部分82連在一起。也就是說，滑動器50G的軌道形狀是倒V字形，在軌道78和80之間沒有窄槽。因此，從空氣入口端52a引入的空氣在軌道連接部分82受到較大的壓縮，然後該壓縮空氣在槽84處膨脹，因此很易產生負壓。軌道連接部分82在空氣入口端52a側具有傾斜的表面82a。
如果這種倒V形或倒U形用到通常的矩形滑動器的軌道形狀中，傾斜表面的寬度增加會導致產生過量的正壓。因此，難以實現滑動器的低浮動高度。為了解決這個問題，需要減小傾斜表面的寬度。然而在這種情況下，通常的滑動器中傾斜表面的相對側上的無軌道部分將變得較寬，結果，在滑動器在空氣入口端向下傾斜的情況下，滑動器在空氣入口端的角將與磁碟接觸。
然而在本優選實施例的滑動器50G中，由於滑動器50G是梯形的，它的空氣入口端52a的寬度比普通滑動器的要小。因此為了抑制正壓，必須減小傾斜表面的寬度。結果滑動器的角部和磁碟由於滑動器50G的傾斜而產生的接觸可以避免。
圖12是滑動器50H表示本發明第八個優選實施例的平面圖，其中傾斜表面86a在連接軌道78和80的軌道連接部分86上的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小。因此，即使傾斜表面的長度由斜面加工誤差發生變化，亦可減小滑動器50H的浮動高度的變化。
圖13是滑動器50I表示本發明第九個優選實施例的平面視圖，其中在軌道連接部分86中加工有一窄槽88，從空氣出口端52b側延伸到傾斜表面86a部分。因此軌道連接部分86上的正壓可受到抑制，因此易於獲得滑動器50I的低浮動高度。
圖14是滑動器50J表示本發明第十個優選實施例的平面圖。象圖13中所示的滑動器50I一樣，在軌道連接部分86上加工一個窄槽90，從空氣出口側延伸到傾斜表面86a部分。在該優選實施例中，窄槽90的寬度從空氣出口端52b側到空氣入口端52a側逐漸減小。結果，從空氣入口端52a側到空氣出口端52b側的寬度的減小的一對軌道部分可很容易形成在軌道連接部分86上，雖然由於斜面加工誤差而使傾斜面的長度發生變化仍能減小滑動器50J的浮動高度的變化。
圖15A是滑動器50K表示本發明的第十一個實施例的平面圖，圖15B是沿圖15A的B-B線的剖面圖。窄槽92加工在軌道連接部分86上，從空氣入口端52b側伸到空氣入口端52a。窄槽92比槽84要淺，因此很易產生負壓，並且可防止在窄槽92中壓縮的空氣流在槽84中迅速膨脹，因此避免了灰塵沉積在槽84的表面。
圖16是滑動器50L表示本發明第十二個優選實施例的平面圖，其中在軌道連接部分86上的傾斜表面86a的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小，因此，即使由於斜面加工誤差而改變了傾斜表面的長度，亦可減小滑動器50L浮動高度的變化。
圖17是表示本發明第十三個優選實施例的滑動器50M的平面圖。在該優選實施例中，窄槽94加工在軌道連接部分86上，從而使它從空氣入口側伸到空氣出口側。窄槽94比槽84窄，窄槽94的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐漸增大。另外，傾斜表面86a的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐漸增大。因此，即使當傾斜表面的長度由於斜面加工誤差而變化，仍可減少滑動器50M的浮動高度的變化。
圖18是表示本發明的第十四個實施例的滑動器50N的平面視圖。在該實施例中，窄槽96加工在軌道連接部分86上，從而從空氣出口端52b側伸向傾斜表面部分86a。窄槽96比槽84窄。按照本實施例的滑動器50N，負壓很容易產生，低浮動高度也很容易實現。
圖19A是表示本發明的第十五個優選實施例的滑動器50p的平面圖，圖19B是沿圖19A中B-B線的剖面圖。在每個前面的實施例中，除了圖7所示的第三個實施例外，軌道表面在空氣入口端部傾斜，這樣在這一部分產生正壓。本實施例與它們不同，採用在軌道68和70的空氣入口端部上加工臺階98和100。每個臺階98和100的深度約為槽74深度的1/2-1/4(例如在槽74的深度為2～4μm的情況下，它們為0.5～2μm。另外，臺階102加工在窄槽72的空氣入口端部上。
加工在軌道68和70的空氣入口端部的臺階98和100產生正壓。與通常的矩形滑動器相比，本實施例的滑動器50p上空氣入口端52a的寬度較小。因此灰塵存積量減少因而可減小滑動器50p的浮動高度的變化。
圖20是表示本發明第十六個優選實施例的滑動器50Q的平面圖。滑動器50Q具有一對不同平均寬度的軌道104和106。也就是說，安裝電磁傳感器62的軌道106的平均軌道寬度小於軌道104的平均軌道寬度，這樣安裝電磁傳感器62的軌道106的浮動高度減少較多，因此這就可減少在低高度浮動時滑動器50Q與磁碟接觸的可能性。槽108限定在軌道104和106之間。
圖21是第十六個實施例的滑動器50Q在其空氣入口端和空氣出口端的浮動高度的曲線圖。在圖21中，垂直軸表示滑動器50Q的浮動高度，水平軸表示離磁碟中心的徑向距離。實線表示安裝電磁傳感器62的軌道106的浮動高度，虛線表示無電磁傳感器的軌道104的浮動高度。從圖21可清楚地看出，軌道106的高度在空氣入口端和出口端均比軌道104低。
現在將主要參照圖22A和22B來描述滑動器的製造方法。正如圖22A所示，若干個電磁傳感器62首先加工在薄片110上。然後將薄片110切成若干條狀Al2O3-Tic板112，每塊板具有布置成一條線的電磁傳感器62。在本說明書中，每塊板112看成是一條狀薄片。然後在條狀薄片112上光刻圖形，再用離子研磨蝕刻條狀薄片112，從而在條狀薄片112上形成若干對軌道54和56。
參見圖23，它示出了條狀薄片的第一個切割方法。由於本發明的滑動器具有梯形形狀，需要用一種專門的方法來將條狀薄片112切成單個的梯形滑動器。第一個切割方法採用若干轉動的切割刀114，在其外緣均具有一個切割片116。切割片或切割邊緣116具有專門的剖面形狀如圖24所示。亦即切割片116的傾斜角度等於梯形滑動器50A的側部表面的傾斜角度。另外，切割片116的徑向長度L大於梯形滑動器50A的長度，亦即條狀薄片112的寬度。
正如圖23所示，若干轉動的切割刀114每個都具有如上所述的專用切割刀片116，它們以相等間隔並排放置。將條狀片112朝上使每個滑動器50A的空氣入口端52a變成上側，處於這種朝上狀態的條狀薄片112按箭頭118所示的水平方向送向切割刀114，從而將條狀薄片112切成單個的滑動器50A。
在該切割方法中，重要的是要考慮在送入條狀薄片的條狀薄片112的高度和每個切割刀114的切割片116的高度之間的關係。亦即送入條狀薄片112應獲得如圖24所示的高度關係，即在切割刀114的正下方的位置。當條狀薄片通過切割刀114的正下方的位置時，條狀薄片112被切成若干梯形的滑動器50A。
為了自動切割條狀薄片112，採用了圖25所示的臺架120。臺架120具有若干每個都正好接受條狀薄片112的槽122。臺架120還具有若干垂直於每個槽122的窄槽124，從而允許切割刀片116通過。圖26A是沿圖25中26A-26A線的剖面圖，圖26B是沿圖25中26B-26B線的剖面圖。
在使用臺架120來切割若干條狀薄片112時，條狀薄片112插入臺階120的槽122內，使每個條狀薄片112的滑動器50A的空氣入口端成為上側。然後將臺架用一託架水平輸送以將每個條狀薄片112切成單個的滑動器50A。在切割每個條狀薄片時，轉動切割刀114的切割片116都通過臺架120的窄槽124。
參見圖27，它表示第二種切割條狀薄片112的方法。按照該切割方法，使條狀薄片112朝上，使每個滑動器50A的空氣入口端52a成為上側，並將它們放在轉動切割刀的正下方。然後，條狀薄片112垂直向上移向切割刀114，這樣切割位置基本位於通過每個切割刀114中心的垂線上，由此將條狀薄片112切成單個的滑動器50A。每個切割刀114的切割片116的形狀類似於圖24所示。
參見下一個圖28，它表示宜於放置切割片116的條狀薄片112′。該條狀薄片112′具有若干稜128，它們在條狀薄片112′的寬度(亦即每個滑動器的長度)上延伸。每個稜128位於相鄰的滑動器之間。稜128由離子研磨法與軌道54和56的成形同時加工。由於條狀薄片112′具有若干稜，稜可用作為放置切割刀的切割片的導向構件。通過用稜128作為導向構件來切割條狀薄片112′，它很容易被分成單個的滑動器。
按照本發明，能提供一種具有優良浮動性能的磁頭滑動器，它能抑制由於加工滑動器時軌道表面平面度的誤差引起的浮動高度的變化和由傾斜面的加工誤差引起的浮動高度的變化。
權利要求
1.一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動器，包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁碟轉動時產生浮動力；一個限定在上述一對軌道之間、空氣入口端部的窄槽；一個限定在上述一對軌道之間的槽，它與上述窄槽連續並比上述窄槽要寬，用以膨脹壓縮的空氣以產生負壓；和一個加工在上述空氣入口端的一個上述軌道所處位置的傳感器；上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
2.一種按照權利要求1的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有一空氣入口端部，一個空氣出口端部和一個中間部分，上述空氣出口端部的中心位於連接上述空氣入口端部的中心和上述中部的中心的連線的外側。
3.一種按照權利要求1的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有連續加工在上述氣浮表面的上述空氣入口端部的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
4.一種按照權利要求3的磁頭滑動器，其中上述一對軌道的相對的內側表面平行於在上述傾斜表面加工的上述空氣入口端部上的上述滑動器縱向伸展的中心線。
5.一種按照權利要求1的磁頭滑動器，其中上述窄槽比上述槽窄。
6.一種按照權利要求1的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有加工在上述空氣入口端部的臺階。
7.一種按照權利要求1的磁頭滑動器，其中一個上述軌道的平均軌道寬度小於另一個軌道的寬度。
8.一種按照權利要求5的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有連續加工在上述氣浮表面的上述空氣入口端的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
9.一種按照權利要求8的磁頭滑動器，其中上述窄槽的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大。
10.一種具有一個空氣入口端和一個空氣出口端的磁頭滑動器，包括一對加工在相對磁碟的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在磁碟轉動時產生浮動力；一個限定在上述一對軌道之間、它們的空氣出口端部上的窄槽；一個限定在上述一對軌道之間的槽，它與上述窄槽是連續的並比上述窄槽寬，用以將壓縮的空氣膨脹以產生負壓；和一個加工在上述空氣出口端上述一個軌道所處位置上的傳感器；上述滑動器具有一對基本平行的相交於上述空氣出口端的側表面，和一對從上述一對基本平行的側表面伸展到上述空氣入口端從而相互逐漸相互接近的傾斜的側表面。
11.一種按照權利要求10的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有一個空氣入口端部、一個空氣出口端部和一個中間部分，上述空氣出口端部的中心位於上述空氣入口端部的中心和上述中間部分的中心的連線的外側。
12.一種按照權利要求10的磁頭滑動器，其中每個上述軌道具有連續加工在上述氣浮表面上述空氣入口端部上的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
13.一種按照權利要求10的磁頭滑動器，其中上述一對軌道相對的內側表面平行於在上述傾斜表面上加工的上述空氣入口端部上的上述滑動器縱向伸展的中心線。
14.一種具有一空氣入口端和一空氣出口端的磁頭滑動器，包括一對加工在相對磁碟的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有平坦的氣浮表面，用於在上述磁碟轉動時產生浮動力；一個在空氣入口端部連接上述一對軌道的軌道連接部分；一個限定在上述軌道之間用以膨脹壓縮的空氣以產生負壓的槽；和一個加工在上述空氣出口端上述一個軌道所在位置上的傳感器；上述滑動器具有梯形形狀，使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
15.一種按照權利要求14的磁頭滑動器，其中上述軌道連接器具有相交於上述空氣入口端的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
16.一種按照權利要求15的磁頭滑動器，其中上述軌道連接部分具有一窄槽，該窄槽加工在基本橫向的中心位置，並從上述槽伸展到上述傾斜表面部分上。
17.一種按照權利要求16的磁頭滑動器，其中上述窄槽的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大。
18.一種具有一空氣入口端和一空氣出口端的磁頭滑動器，包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁碟轉動時產生浮動力，上述一對軌道間隔的距離從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大；和一個加工在上述空氣入口端的一個上述軌道所處位置的傳感器；上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
19.一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動器，包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道，每個上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在磁碟轉動時產生浮動力，在上述一對軌道之間限定一個槽，用以膨脹壓縮的氣體以產生負壓；和加工在上述空氣出口端上一個上述軌道所處位置的傳感器，上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄，每個上述軌道基本平行於上述滑動器一個相應的側邊緣。
20.一種磁碟驅動裝置包括一個罩；一個可轉動地安裝在上述罩上的磁碟；一個具有一傳感器以從/向上述磁碟閱讀/記錄數據的磁頭滑動器；一個橫過上述磁碟軌跡移動上述磁頭滑動器的作動器；上述磁頭滑動器包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道，上述每個軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁碟轉動時產生浮動力；一個限定在上述一對軌道之間、空氣入口端部的窄槽；和一個限定在上述一對軌道之間的槽，它與上述窄槽連續並比上述窄槽要寬，用以膨脹壓縮的空氣以產生負壓；上述傳感器加工在上述滑動器的空氣出口端一個上述軌道所處的位置；上述滑動器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
21.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動器的條狀薄片切割成單個的上述滑動器使之具有梯形形狀的方法，包括步驟提供一個具有切割片的轉動切割刀，切割片加工在切割刀的外邊緣上，上述切割片具有的傾斜角等於上述梯形滑動器傾斜側表面的角；使上述條狀薄片向上直立，從而使上述每個滑動器的空氣入口端變成上側，並將上述條狀薄片放在上述轉動切割刀前；和以基本水平方向將上述條狀薄片送到上述轉動切割刀上以切割上述條狀薄片。
22.一種按照權利要求21的切割條狀薄片的方法，其中上述切割片具有的徑向長度大於上述條狀薄片的寬度。
23.一種按照權利要求21的切割條狀薄片的方法，其中上述條狀薄片具有放置上述切割片的稜，上述稜加工在相鄰的上述滑動器之間，並伸展到上述條狀薄片的整個寬度上。
24.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動器的條狀薄片切割成單個具有梯形形狀的上述滑動器的方法，包括步驟提供一具有切割片的轉動切割刀，切割片加工在切割刀的外緣上，上述切割片具有的傾斜角等於上述梯形滑動器的傾斜側表面的角；使上述條狀薄片向上直立，從而使每個滑動器的空氣入口端變成上側，並將上述條狀薄片放置在上述轉動切割刀的正下方；和將上述條狀薄片垂直向上移動到上述轉動切割刀上，從而使切割的位置位於穿過上述轉動切割刀中心的垂線上。
25.一種按照權利要求24的切割條狀薄片的方法，其中上述切割片具有的徑向長度大於上述條狀薄片的寬度。
26.一種按照權利要求24的切割條狀薄片的方法，其中上述條狀薄片具有放置上述切割片的稜，上述稜加工在相鄰的上述滑動器之間，並伸展到整個條狀薄片的寬度上。
27.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動器的條狀薄片切割成單個的上述滑動器使每個滑動器具有梯形形狀的方法，包括步驟提供若干等間隔放置的轉動切割刀，每個上述轉動切割刀在其外緣上具有切割片，上述切割片具有的傾斜角度等於上述梯形滑動器的傾斜側表面的角度；提供一個具有槽的臺架，用以接納上述條狀薄片；若干按上述等間隔放置並垂直於上述槽伸展的窄槽；將上述條狀滑動器插入上述槽中，從而使每個滑動器的空氣入口端變成上側；和將上述臺架以基本水平的方向送到上述轉動切割刀上，使上述切割片通過上述窄槽，因而切割上述條狀薄片。
全文摘要
一種磁頭滑動器包括一對加工在磁碟對面的磁碟相對表面上的軌道,每個軌道具有平坦的氣浮表面,用以在磁碟轉動時產生浮動力,一個加工在上述軌道之間、空氣入口端部的窄槽,和一個限定在一對軌道之間與窄槽連續並比窄槽寬的槽;它用於膨脹壓縮的空氣以產生負壓。該磁頭滑動器還包括加工在空氣出口端一個軌道所處位置的電磁傳感器。該滑動器具有梯形形狀使它的空氣入口端比空氣出口端窄。
文檔編號G11B21/21GK1195854SQ9810542
公開日1998年10月14日 申請日期1998年3月3日 優先權日1997年3月17日
發明者古石亮介, 米岡誠二 申請人:富士通株式會社