振動片、振動片的製造方法、角速度傳感器、電子設備、移動體與流程
2023-07-26 00:59:51 1
本發明涉及一種振動片、振動片的製造方法、角速度傳感器、電子設備以及移動體。
背景技術：
在車輛的車身控制、汽車導航系統的本車輛位置檢測、數位相機和攝像機等的振動控制補償（所謂的手抖補償）等中，使用了對角速度、加速度等的物理量進行檢測的角速度傳感器。例如，專利文獻1中所記載的角速度傳感器具有音叉型的振動片，該音叉型的振動片由兩個振動臂、和對這兩個振動臂的一端彼此進行連接的基部構成。該振動片由非壓電體材料構成，並且在各個振動臂上，分別設置有在一對電極間插入了壓電體層的驅動部以及檢測部。上述這種具有兩個振動臂的音叉一般是通過對基板進行蝕刻加工而形成的。此時，由於該基板的蝕刻各向異性和加工過程中的誤差等，因此難以按照設計的尺寸而對音叉進行加工。因此，音叉會成為意圖之外的形狀，從而有時會出現如下的情況，即，即使在振動臂未受到角速度的狀態下，振動臂也會向與驅動方向不同的方向彎曲。當檢測出這種伴隨于振動臂的彎曲而由檢測部產生的電荷時，將導致檢測精度的降低。因此，在專利文獻1所記載的角速度傳感器中，通過部分去除檢測部的一對電極中的一個電極，從而對振動臂未受到角速度的狀態下從檢測部的一對電極輸出的電荷量進行調節。但是，在專利文獻1所記載的角速度傳感器中，由于振動臂的電荷量調節部兼作為檢測電極，因此有時會導致靈敏度的降低。此外，由於電荷量調節部被設置在振動臂上，因此存在如下的課題，即，有時會出現振幅過大從而難以高精度地實施對電荷量的調節的情況。專利文獻1：日本特開2008－14887號公報。
技術實現要素：
本發明是為了解決上述課題中的至少一部分而被完成的，並且可以作為以下的方式或應用例而實現。應用例1本應用例所涉及的振動片的特徵在於，具備：基部；振動臂，其從所述基部起進行延伸；驅動部以及檢測部，其被設置在所述振動臂上；調節臂，其以與所述振動臂並行的方式從所述基部起進行延伸；調節部，其被設置在所述調節臂的主面上，所述調節部具有第一電極、第二電極以及設置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層，所述調節臂的輸出信號相對於在所述振動臂上未施加有物理量時從所述檢測部輸出的電荷為反相。根據本應用例，對於由振動臂的形狀誤差（尤其是，成為截面不對稱的情況）等引起的檢測部的洩漏輸出，通過由調節部產生與洩漏信號為反相的電荷，從而抵銷洩漏輸出。而且，如果通過除去（或者附加）調節部的壓電體層的一部分從而將0點輸出（振動片上未施加角速度等的物理量的狀態下的、來自調節臂的輸出電流）調節為目標值以下（例如「0」），並且通過去除第二電極的一部分從而將洩漏信號的振幅（洩漏電流）調節為目標值以下，則能夠抑制振動洩漏。此外，由於在第一以及第二調節部的調節用壓電體層中，可去除的質量大於調節用電極，因此對於調節臂頻率的調節是有效的，並且在壓電體層上的第二電極中，對於電荷量的調節是有效的，因此，能夠進行粗調以及微調，且具有擴大振動洩漏的抑制範圍和能夠進行精細抑制的效果。應用例2在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，在所述檢測部的與所述基部為相反側的頂端部處，於與所述驅動部相比靠頂端側設置有，與所述檢測部的其他部分相比面積較大的大寬度部。檢測靈敏度是由被驅動部激勵的振動振幅的大小與檢測部的電荷產生效率之積而決定的。因此，通過與驅動部相比於頂端側設置寬度較大的檢測部，從而能夠提高所述檢測靈敏度。此外，由於由調節臂的頂端部的調節而引起的電荷量的變化較小，因此如果將大寬度部考慮為附加質量部，則能夠作為檢測頻率的調節部而使用。應用例3在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，所述調節臂的長度短於所述振動臂的長度。根據該結構，由於用於調節洩漏輸出的調節臂的振動不會阻礙振動臂（兼作為驅動用振動臂和檢測用振動臂）的主要的振動，因此，振動片的振動特徵穩定，並且還有利于振動片的小型化。應用例4在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，所述調節部在接近所述基部的位置處於所述調節臂的寬度方向上分支，且在長度方向上延伸設置。振動臂的振動方向相對於主面為面內彎曲振動。在通過彎曲振動而被壓縮的壓電體層的電極上產生＋電荷，而在伸長時產生－電荷。因此，由於通過將調節部分支而使被分支的一方產生＋電荷，並使另一方產生－電荷，因而能夠將產生電荷量的和作為洩漏信號的調節量而進行輸出。應用例5在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，所述調節部具有共通部和多個分支部，所述共通部沿著所述調節臂的延伸方向而設置，所述多個分支部從所述共通部起向所述寬度方向兩側分支，且在所述延伸方向上配置。在這種結構中，由於多個分支部從共通部起分支，因此即使切斷任意的分支部，其他的分支部也會維持與共通部電連接的狀態。即，能夠使調節部的壓電體層或第二電極的面積僅減小與多個分支部中的任意分支部相對應的量，從而減少產生的電荷量。而且，由於多個分支部沿著調節臂的延伸方向並列設置，因此能夠根據被切斷的分支部的位置以及數量而簡單且高精度地對調節部的信號輸出進行調節。應用例6在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，在所述多個分支部中，與所述共通部側相比，寬度方向頂端側寬度較寬。由此，能夠增大通過共通部或分支部的中途的切斷而實現的、調節部的信號輸出的調節寬度，並且能夠比較簡單地對頂端側的寬度較窄的分支部的中途進行切斷。應用例7在上述應用例所涉及的振動片中，優選為，在所述調節臂中，在頂端部上設置有錘部，在所述基部側設置有調節部。通過以此方式在調節臂的頂端部上設置錘部，從而能夠在對調節臂的長度的增大進行抑制的同時，提高對洩漏振動的抑制效果。應用例8本應用例所涉及的振動片的製造方法的特徵在於，包括：形成基部、振動臂、調節臂和調節部的工序，其中，所述振動臂從所述基部起進行延伸，所述調節臂以與所述振動臂並行的方式從所述基部起進行延伸，所述調節部在所述調節臂的主面上具有第一電極、第二電極以及設置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體層，且在所述調節部中，所述第一電極被設置於所述調節臂的主面側；對所述振動臂的洩漏信號進行檢測的工序；在所述洩漏信號的振幅處於目標值的範圍外、且處於所設定的可調節值的範圍外時，去除或附加所述壓電體層的一部分而對所述調節臂的頻率進行調節的工序；在所述洩漏信號的振幅處於所述可調節值的範圍內、且處於目標值的範圍外時，去除或附加所述第二電極的一部分而對所述調節部中所產生的電荷進行調節的工序。根據本應用例，由於通過去除調節部的壓電體層的一部分，從而使調節臂的頻率接近振動臂的頻率（即，增大調節臂的振幅，並增大能夠從調節部輸出的電荷的總和），並通過去除或附加第二電極的一部分，從而對電荷量進行調節，因此能夠高效地對振動洩漏進行抑制。應用例9在上述應用例所涉及的振動片的製造方法中，優選為，所述調節部具有共通部和多個分支部，所述共通部沿著所述調節臂的延伸方向而設置，所述多個分支部從所述共通部起向寬度方向兩側分支，且在所述延伸方向上配置，所述振動片的製造方法包括將所述分支部切斷的工序。通過將分支部切斷，從而能夠使調節部的壓電體層以及第二電極的電極面積僅減小與多個分支部中的任意的分支部相對應的量。而且，由於多個分支部沿著調節臂的延伸方向並排設置，因此能夠根據被切斷的分支部的位置以及數量，而簡單且高精度地對調節部的信號輸出進行調節。應用例10本應用例所涉及的角速度傳感器的特徵在於，具備：上述應用例中的任一應用例所記載的振動片；電子部件，其包括使所述驅動用振動臂進行驅動的電路、和對來自所述檢測部的信號進行檢測的電路；封裝件，其對所述振動片以及所述電子部件進行收納。根據本應用例，能夠提供一種實現上述應用例中的任意一個應用例所記載的振動片的效果的角速度傳感器。而且，上述結構的這種封裝件型的角速度傳感器具有，有利於小型化、薄型化且耐衝擊性較高的特徵。應用例11本應用例所涉及的電子設備的特徵在於，具備上述應用例中的任一應用例所記載的振動片。根據本應用例，由於具備被實施了對洩漏輸出進行抑制的調節的、高靈敏度的振動片，因此能夠提供具有高功能且穩定的特性的電子設備。應用例12本應用例所涉及的移動體的特徵在於，具備上述應用例中的任一應用例所記載的振動片。上述振動片（或者角速度傳感器）能夠對移動體的姿態進行檢測。由於具備如上所述的被實施了對洩漏輸出進行抑制的調節的、高靈敏度的振動片，因此能夠提供可進行穩定的姿態控制的移動體。附圖說明圖1表示實施方式1所涉及的振動片，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的A-A剖面的剖視圖。圖2為表示實施方式1所涉及的振動片的洩漏輸出的抑制方法的工序說明圖。圖3為振動片1的驅動以及檢測的說明圖。圖4為模式化地表示圖2中的步驟4的概念的說明圖。圖5為模式化地表示圖2中的步驟5的概念的說明圖。圖6為模式化地表示圖2中的步驟6的概念的說明圖。圖7為模式化地表示圖2中的步驟8的概念的說明圖。圖8為表示實施方式2所涉及的振動片的俯視圖。圖9為表示實施方式3所涉及的振動片的俯視圖。圖10表示角速度傳感器的概要結構，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的B-B剖面的剖視圖。圖11為概要地表示作為電子設備的智慧型手機的立體圖。圖12為概要地表示作為電子設備的其他具體示例的數位相機的立體圖。圖13為概要地表示作為移動體的一個具體示例的汽車的立體圖。具體實施方式以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。另外，以下的說明中所參照的附圖為，為了將各個部件設定為能夠識別的大小，而使各個部件或者一部分的橫縱的比例尺不同於實際的比例尺的模式圖。實施方式1圖1表示實施方式1所涉及的振動片1，其中，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）中A-A剖面的剖視圖。另外，本實施方式中的振動片1作為角速度傳感器等的傳感器元件而被使用。在圖1（a）、（b）中，振動片1由主體部10、壓電體層和第二電極構成，所述主體部10由非壓電體形成，所述壓電體層以預定的圖案被形成於主體部10的主面12上，所述第二電極被形成在壓電體層的表面上。振動臂20、30從基部11的一邊起在相同的方向上平行地延伸。如圖1（a）所示，主體部10通過基部11和振動臂20、30而構成了音叉。在主體部10上，還具有調節臂40、50，所述調節臂40、50從與基部11的延伸出振動臂20、30的邊正交且相互對置的各邊起，在與振動臂20、30相同的方向上延伸。調節臂40、50與振動臂20、30相比而較短。此外，主體部10例如由矽（Si）形成。另外，以下，將主面12表示為第一主面12，將與第一主面對置的面（相對於第一主面12而言為背面）表示為第二主面13。另外，第二主面13為，後文所述的將振動片1固定在封裝件上的固定面。如圖1（a）、（b）所示，在主體部10的第一主面12上形成有第一電極60。另外，在主體部10具有導電性的情況下，在第一主面12與第一電極60之間形成有絕緣層。在振動臂20的寬度方向中央部處，從第一主面12起層壓形成有第一電極60、檢測用壓電體層21、檢測用電極22。將由第一電極60、檢測用壓電體層21、檢測用電極22構成的圖案設為第一檢測部20b。在第一檢測部20b的與基部11為相反側的頂端部處形成有大寬度部22a。此外，檢測用電極22在基部11上連續至檢測端子23。在振動臂30的寬度方向中央部處，從第一主面12起層壓形成有第一電極60、檢測用壓電體層31、檢測用電極32。將由第一電極60、檢測用壓電體層31、檢測用電極32構成的圖案設為第二檢測部30b。在第二檢測部30b的與基部11為相反側的頂端部處，形成有大寬度部32a。此外，檢測用電極32在基部11上連續至檢測端子33。在振動臂20中，以隔著第一檢測部20b的方式於寬度方向兩側，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、驅動用壓電體層25、驅動用電極26、第一電極60、驅動用壓電體層27、驅動用電極28。以包括上述驅動用壓電體層和驅動用電極在內的方式而設定第一驅動部20a。另一方面，在振動臂30中，以隔著第二檢測部30b的方式於寬度方向兩側，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、驅動用壓電體層35、驅動用電極36、第一電極60、驅動用壓電體層37、驅動用電極38。以包括上述驅動用壓電體層和驅動用電極的方式而設定第二驅動部30a。驅動用電極26和驅動用電極36在基部11的第一主面12上與共通的驅動端子29相連接。此外，驅動用電極28和驅動用電極38在基部11的第一主面12上與共通的驅動端子39相連接。在調節臂40中，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、調節用壓電體層41、42、調節用電極43、44，並且調節用壓電體層41以及調節用壓電體層43的層、和調節用壓電體層42以及調節用電極44的層從基部11側的一端起，在調節臂40的寬度方向上分支。以包括形成於調節臂40上的調節用壓電體層41、42和調節用電極43、44在內的方式而設定第一調節部40a。調節用電極43和調節用電極44與第一主面12上的調節端子45相連接。另一方面，在調節臂50中，從第一主面12起分別層壓形成有第一電極60、調節用壓電體層51、52、調節用電極53、54，並且調節用壓電體層51以及調節用電極53的層、和調節用壓電體層52以及調節用電極54的層從基部11側的一端起，在調節臂50的寬度方向上分支。以包括形成於調節臂50上的、調節用壓電體層51、52和調節用電極53、54在內的方式而設定第二調節部50a。調節用電極53和調節用電極54與第一主面12上的調節端子55相連接。如上所述，在第一驅動部20a和第二驅動部30a、第一檢測部20b和第二檢測部30b、以及第一調節部40a和第二調節部50a中，第一電極60為共通電極，且在本實施方式中為接地電極。圖1（a）所示的接地端子61為第一電極60的一部分。這裡，檢測端子23、33、驅動端子29、39、調節端子45、55以及接地端子61為，與後述的作為電子設備的IC晶片電連接的連接用端子。另外，如圖1（a）所圖示的那樣，主體部10的外形形狀以及上述的各個壓電體層、各個電極關於軸線P1而呈對稱形狀。在以上所說明的本實施方式所涉及的振動片1中，針對於由振動臂20、30的形狀誤差（尤其是，截面成為非對稱的情況）等引起的檢測部（第一檢測部20b以及第二檢測部30b）的洩漏輸出，使第一調節部40a以及第二調節部50a產生與洩漏信號為反相的電荷，從而抵消洩漏輸出。而且，通過去除第一調節部40a以及第二調節部50a的調節用壓電體層41、42、51、52的一部分，從而能夠使調節臂的頻率接近驅動頻率，並能夠增大調節電荷量的總和，並且如果去除調節用電極43、44、53、54的一部分，且將洩漏信號的振幅（洩漏電流）調節為目標值以下，則能夠抑制振動洩漏。此外，由於在第一調節部40a以及第二調節部50a的調節用壓電體層41、42、51、52中，可去除的質量與各個調節用電極43、44、53、54相比而較大，因此對於調節臂頻率的調節是有效的，並且在調節用電極43、44、53、54中，對於電荷量的調節是有效的，因此，能夠進行粗調以及微調，從而具有擴大振動洩漏的抑制範圍，並能夠進行精細抑制的效果。此外，在第一檢測部20b以及第二檢測部30b的與基部11為相反側的頂端部處，於與第一驅動部20a以及第二驅動部30a相比靠頂端側設置有，與第一檢測部20b以及第二檢測部30b的其他部分相比面積較大的大寬度部22a、32a。檢測靈敏度是由被驅動部激勵的振動振幅的大小與檢測部的電荷產生效率之積而決定的。因此，通過在與驅動部相比靠頂端側設置寬幅的檢測部，從而能夠提高檢測靈敏度。此外，由於由振動臂20、30的頂端部的調節而引起的電荷量的變化較小，因此如果將大寬度部20a、30a考慮為附加質量部，則能夠作為檢測頻率的調節部而使用。此外，在振動片1中，使調節臂40、50的長度短于振動臂20、30的長度。如果採用此方式，則由於用於調節洩漏輸出的調節臂40、50的振動不會阻礙兼作為驅動用振動臂和檢測用振動臂的振動臂20、30的振動，因此振動片1的振動特性穩定，並且還有利于振動片1的小型化。而且，調節用壓電體層41、42、調節用壓電體層51、52分別在調節臂40、50的各自的寬度方向上分支，且在長度方向上延伸。振動方向相對於第一主面12為面內彎曲振動。例如，在通過彎曲振動而被壓縮的調節用壓電體層51上將產生＋電荷，而在為被伸長的調節用壓電體層52時將產生－電荷。因此，由於通過將調節用壓電體層51、52分支，從而使被分支的一方產生＋電荷並使另一方產生－電荷，因而只需取得產生電荷量的和，即可作為洩漏信號的調節電荷而進行輸出。實施方式1所涉及的振動片1的製造方法接下來，對實施方式1中的振動片1的製造方法進行說明。在上述的振動片1中，通過使用光刻法來對矽（Si）等的非壓電體材料進行蝕刻加工，從而一體地形成主體部10。原本，振動臂20、30的截面形狀被設計為矩形形狀，但是，由於非壓電體材料的蝕刻各向異性和加工過程的誤差等，從而不呈矩形形狀，而是呈平行四邊形、菱形、或者呈更為複雜的不確定形狀。此時，若振動臂20、30的截面形狀較大程度偏離所設計的矩形形狀，則振動臂20、30的振動方向將偏離設計值，而產生所謂的洩漏輸出這一不希望出現的振動洩漏，從而成為使角速度傳感器的檢測靈敏度劣化的主要原因。這裡，以對這種洩漏輸出進行抑制的方法為中心進行說明。圖2為，表示本實施方式所涉及的振動片1的洩漏輸出的抑制方法的工序說明圖。首先，形成振動片1（步驟1：S1）。在振動片1的形成中，通過使用光刻法來對Si晶片進行蝕刻加工，從而如圖1所示而形成主體部10，之後，在主體部10的第一主面12上依次層壓形成第一電極層、壓電體層、第二電極層，並且如圖1所示，按照第二電極層、壓電體層的順序利用公知的圖案形成技術來進行圖案形成。作為壓電體層，例如以1μｍ～3μｍ的厚度使PZT（鋯鈦酸鉛）成膜，作為第一電極層以及第二電極層，例如以的厚度使Au或Cr-Au成膜。這裡，參照圖3對振動片1的驅動以及檢測進行說明。圖3為，振動片1的驅動以及檢測的說明圖。當對驅動端子29和驅動端子39施加驅動信號時，振動臂20以及振動臂30在X方向上進行彎曲振動（所謂的音叉振動）。將振動信號的頻率設為fd。此時，若調節臂40、50的頻率接近驅動頻率fd，則振動通過基部11進行傳播，並且調節臂40、50在X方向上進行彎曲振動。將振動臂40、50的頻率設為f-tu。調節臂40、50成為與振動臂20、30為反相的振動。在這種結構的振動片1中，當在對振動臂20、30施加預定的驅動信號以使其振動的狀態下，在振動片1上被施加了角速度時，振動臂20、30將通過科裡奧利力而在Z方向上進行振動（被稱為步行模式振動），並輸出檢測信號。將該檢測振動的頻率設為fs。當形成振動片1時，驅動頻率（fd）、調節臂頻率（f-tu）、檢測頻率（fs）之間的關係為fs＞fd＞f-tu，也就是說，以使得調節臂頻率（f-tu）低於驅動頻率（fd）的方式，實施主體部10的形狀形成。接下來，對振動片1中驅動頻率（fd）是否大於調節臂頻率（f-tu）進行判斷（步驟2：S2）。這裡，由於在驅動頻率（fd）小於調節臂頻率（f-tu）的情況下（否），即使實施以後的工序也難以進行振動洩漏抑制，因此排除該情況。當驅動頻率（fd）大於調節臂頻率（f-tu）時（是），對0點輸出電流進行測定，以掌握洩漏信號的相位和振幅（步驟3：S3）。0點輸出電流是指，振動片1上未施加有角速度的狀態下的調節臂40、50的輸出電流。接下來，對洩漏信號的振幅（洩漏電流）和目標值進行比較（步驟4:S4）。參照圖4對此進行說明。圖4為，模式化地表示圖2中的步驟4的概念的說明圖。如果洩漏信號的振幅（洩漏電流）小於預先設置的目標值，則判斷為處於洩漏振動被抑制了的狀態，且結束用於洩漏振動抑制的處理。此外，如果洩漏信號的振幅（洩漏電流）大於預先設置的目標值（否），則移動至下一個工序。接下來，進行如下的比較，即，洩漏信號的振幅（洩漏電流）大於目標值時的洩漏信號的振幅（電流）是否處於可調節值範圍內（步驟5：S5）。參照圖5對此進行說明。圖5為，模式化地表示圖2中的步驟5的概念的說明圖。這裡，在洩漏信號的振幅（洩漏電流）小於可調節值時，判斷為不需要實施調節用壓電體層41、42、51、52的修整，並轉移至調節用電極43、44、53、54的修整（步驟8：S8）。此外，當洩漏信號的振幅大於可調節值時，轉移到調節用壓電體層41、42、51、52的修整（步驟6：S6）。另外，修整是指，去除調節用壓電體層41、42、51、52或調節用電極43、44、53、54的一部分。接下來，參照圖6對調節用壓電體層41、42、51、52的修整進行說明。圖6為，模式化地表示圖2中的步驟6的概念的說明圖。在調節用壓電體層41、42、51、52的修整中，預先求出修整量和輸出電荷量的差（驅動頻率（fd）－調節臂頻率（f-tu））之間的關係，並對修整量進行計算。如圖6（a）所示，驅動頻率（fd）與調節臂頻率（f-tu）的差越小，總輸出電荷量越大。也就是說，檢測輸出增高。因此，對調節臂40、50的調節用壓電體層41、42、51、52中的任意一個進行修整，從而使調節臂40、50的頻率接近驅動頻率。因此，優選進行修整直至成為驅動頻率（fd）≒調節臂頻率（f-tu）為止。接下來，對是否成為驅動頻率（fd）≒調節臂頻率（f-tu）進行判斷（步驟7：S7）。另外，參照圖6（b）預先設定驅動頻率（fd）與調節臂頻率（f-tu）之間的容許差（差的目標值）。這裡，在判斷為未達成驅動頻率（fd）≒調節臂頻率（f-tu）時（否），實施對調節用壓電體層41、42、51、52的修整直至驅動頻率（fd）與調節臂頻率（f-tu）的差值成為容許值為止。在驅動頻率（fd）與調節臂頻率（f-tu）的差處於容許值的範圍內時（是），轉移至調節用壓電體層41、42、51、52的修整工序。圖6（b）表示調節用壓電體層41、42、51、52的修整的一個示例。雖然在圖6（b）中，例示了去除調節用壓電體層51、52的一部分的情況，但是也存在對調節臂40側的調節用壓電體層41、42進行修整的情況，或者，也存在對調節臂40以及調節臂50的調節用壓電體層的雙方進行修整的情況。對於步驟6中的調節用壓電體層41、42、51、52的修整，由於使用雷射等而將一部分去除，因此形成於各個調節用壓電體層的表面上的各個調節用電極也被一起去除。此外，相同區域的第一電極60也可以同時被去除。這是因為，調節用電極修整對調節臂頻率（f-tu）的影響與調節用壓電體層修整相比明顯較小。當驅動頻率（fd）與調節臂頻率（f-tu）的差變為了容許值範圍內（例如，驅動頻率（fd）≒調節臂頻率（f-tu））時，轉移至第一調節部40a以及第二調節部50a的調節用電極修整（步驟8：S8）。接下來，參照圖7對調節臂40、50的調節用電極修整進行說明。圖7為，模式化地表示圖2中的步驟8的概念的說明圖。如圖7（a）所示，首先，去除調節臂40、50的調節用電極43、44、54、55中的任意一個的一部分，並產生輸出電荷。接下來，實施調節用電極43、44、53、54的修整直至0點輸出成為目標值為止。雖然在圖7（b）中，例示了去除調節用電極53的一部分的情況，但是也存在對調節用電極54進行修整的情況、和對調節臂40側的調節用電極43、44進行修整的情況，或者，還存在對調節臂40以及調節臂50的調節用電極的雙方進行修整的情況。這裡，對調節臂40、50的輸出電荷進行說明。如果設定為，在例如調節臂40於－X方向上進行了位移時調節用壓電體層41被壓縮且產生＋電荷，則由於調節用壓電體層42被伸長從而將產生－電荷。由於調節用電極43和調節用電極44相連接，因此在調節端子45中，能夠檢測出由調節用壓電體層41產生的電荷與由調節用壓電體層42產生的電荷之和，以作為輸出電荷量。在調節臂50側也與調節臂40側同樣地，在調節端子55中，能夠檢測出由調節用壓電體層51產生的電荷與由調節用壓電體層52產生的電荷之和，以作為電荷量。由於調節臂40側的調節用電極43、44與調節臂50側的調節用電極53、54電氣性分離，因此能夠分別地掌握調節臂40和調節臂50中所產生的電荷量。因此，能夠分別獨自地實施洩漏電流（洩漏信號的振幅）的調節。在步驟9中，在未實現0點輸出＜目標值的情況下（否），進一步實施電極修整，在實現了0點輸出＜目標值的情況下（是），認為已經抑制了振動洩漏，從而結束調諧處理。根據以上所說明的振動片1的製造方法，由於在第一調節部40a以及第二調節部50a的調節用壓電體層41、42、51、52中，可去除的質量與調節用電極43、44、53、54相比而較大，因此對於調節臂頻率的調節是有效的，並且在壓電體層上的第二電極中，對於電荷量的調節是有效的。因此，能夠進行粗調以及微調，且具有擴大振動洩漏的抑制範圍，並能夠進行精細的抑制，且高效地抑制振動洩漏的這一效果。另外，雖然在上述步驟6中，去除調節臂的調節用壓電體層41、42、51、52的一部分並實施修整，並且在步驟8中，去除調節用電極43、44、53、54的一部分並實施修整，但是，對於此雙方而言，通過附加一部分也均可得到同樣的效果。實施方式2接下來，對實施方式2所涉及的振動片進行說明。實施方式2的特徵在於，由設置於調節臂40、50上的調節用壓電體層和調節用電極構成的調節部具有，共通部和多個分支部，所述共通部在調節臂40、50的延伸方向上延伸設置，所述多個分支部從共通部起向寬度方向兩側分支，且在延伸方向上配置。因此，以與實施方式1的不同之處為中心，並對與實施方式1的共通部分標記相同的符號而進行說明。圖8為，表示實施方式2所涉及的振動片2的俯視圖。振動臂20、30從基部11的一邊起在相同的方向上平行地延伸，並且振動片2還具有調節臂40、50，所述調節臂40、50從與基部11的延伸出振動臂20、30的邊正交且對置的各個邊起，在與振動臂20、30相同的方向上進行延伸。調節臂40、50與振動臂20、30相比而較短。主體部10由例如矽（Si）形成。主體部10的形狀以及分別形成於調節臂20、30上的驅動用壓電體層、檢測用電極的圖案，與實施方式1（參照圖1（a））相同。另外，在主體部10的第一主面12的表面上形成有第一電極（共通電極）60。如圖8所示，在調節臂40上形成有，由調節用壓電體層141和調節用電極142構成的第一調節部140。第一調節部140具有在寬度方向的大致中央部處於長度方向上延伸的共通部143、和由小寬度部144和大寬度部145形成的分支部146，其中，所述小寬度部144從共通部143起向寬度方向兩側分支，所述大寬度部145在小寬度部144的頂端上延伸設置。雖然在圖8中圖示了分支部146在長度方向上各排列了四個從而共計八個的情況，但分支部146的數量並不限定於此。在調節臂50中也同樣地設置有，由調節用壓電體層151和調節用電極152構成的第二調節部150。第二調節部150具有，在寬度方向的大致中央部處於長度方向上延伸的共通部153、和由小寬度部154和大寬度部155形成的分支部156，其中，所述小寬度部154從共通部153起向寬度方向兩側分支，所述大寬度部155在寬度較窄部154的頂端上延伸設置。雖然在圖8中圖示了分支部156在長度方向上各排列了四個從而共計八個的情況，但分支部156的數量並不限定於此。另外，第一調節部140和第二調節部150關於軸線P1呈對稱形狀。調節用電極142與設置于振動臂20上的檢測用電極22通過檢測端子23而被連接在一起。此外，調節用電極152與設置于振動臂30上的檢測用電極32通過檢測端子33被連接在一起。另外，在調節用電極142與驅動用電極26的交叉部、和調節用電極152與檢測用電極32的交叉部上，設置有絕緣層（未圖示）。另外，能夠以與前文所述的實施方式1（參照圖2）相同的方法來執行基於本實施方式的、振動片2的洩漏振動抑制方法。例如，雖然在步驟6中，實施調節臂40、50的調節用壓電體層141、151的修整，但是在本實施方式中，如圖6（a）所示，預先求出修整量和輸出電荷量的增加量（驅動頻率（fd）－調節臂頻率（f-tu））之間的關係，並對修整量進行計算，並且能夠通過選擇並切斷多個分支部146、156中的某一個，從而使調節臂頻率（f-tu）≒驅動頻率（fd）。另外，在步驟8的調節用電極的修整中，通過對切斷上述分支部後剩餘的多個分支部146、156的調節用電極142、143進行修整，從而能夠將洩漏信號的振幅（洩漏電流）調節為目標值以下。此時，可以針對每個分支部而切斷調節用電極142、143部，並可以去除任意量。根據以上所說明的實施方式2，由於多個分支部146是從共通部143起分支的，因此切斷任意的分支部均能夠維持電連接了的狀態。即、只需切斷第一調節部140或第二調節部150的多個分支部146中的任意的分支部，就能夠實現振動洩漏的抑制。另外，如果預先計算出修整量（分支部146、156的切斷位置和數量）和輸出電荷量的增加量（驅動頻率（fd）－調節臂頻率（f-tu））之間的關係，則能夠高效地實現對振動洩漏的抑制。此外，對檢測用電極22和調節用電極142進行電連接，對檢測用電極32和調節用電極152進行電連接。調節臂40、50所產生的電信號重疊於檢測用電極22、23的輸出信號。因此，能夠通過調節臂40、50的輸出信號來抵消洩漏振動的成分。另外，在前文所述的實施方式1的振動片1中，也可以採用如下的結構，即，對檢測用電極22和調節用電極43、44進行電連接，並對檢測用電極32和調節用電極53、54進行電連接的結構。另外，考慮到上述的調節用壓電體層的修整和調節用電極的修整的作用，也可以採用如下的結構，即，不將第一調節部140、第二調節部150的各個分支部中的、頂端側的分支部作為調節用電極的結構。實施方式3接下來，對實施方式3所涉及的振動片3進行說明。實施方式3的特徵在於，在調節臂40、50的頂端部上設置有錘部，在基部11側設置有調節部。因此，以與實施方式1的不同之處為中心，並對與實施方式1共通的部分標記相同的符號而進行說明。圖9為，表示實施方式3所涉及的振動片3的俯視圖。如圖9所示，在調節臂40的頂端部上形成有寬度較大的錘部46，在調節臂50的頂端部上形成有寬度較大的錘部56。在調節臂40上，在遠離錘部46的位置處形成有第一調節部40a，並且在調節臂50上，在遠離錘部56的位置處形成有第二調節部50a。第一調節部40a和第二調節部50a為，與實施方式1（參照圖1）相同的結構。在錘部46的第一主面12上形成有調節用壓電體層47，在錘部56的第一主面12上形成有調節用壓電體層57。雖然振動片3的洩漏振動的抑制方法能夠沿襲與前文所述的實施方式1相同的調諧處理（參照圖2），但是能夠通過使調節臂40、50的頂端部處具備錘部46、56，並對位於頂端部的調節用壓電體層47、57進行修整，從而能夠進一步擴大調節臂頻率的調節範圍。另外，如果考慮振動片3的製造效率，則也可以在調節用壓電體層47、57的表面上形成第二電極。如此，由於在調節臂40、50的頂端側具備了錘部46、56，因此能夠在抑制調節臂40、50的長度增加的同時使洩漏振動的抑制效果得到提高，並且可擴大用於抑制洩漏振動的調節範圍，進而通過對第一調節部40a和第二調節部50a的修整，能夠實現用於洩漏振動抑制的精細調節。另外，雖然在圖9中例示了第一調節部40a以及第二調節部50a具有與實施方式1相同的結構的情況，但是也可以應用與實施方式2（參照圖8）相同的結另外，作為各個壓電體層，並不限定於鋯鈦酸鉛（PZT），例如，可以使用氮化鋁（AlN）、鈮酸鋰（LiNbO3）、鉭酸鋰（LiTaO3）、四硼酸鋰（Li2B4O7）、矽酸鎵鑭(La3Ga5SiO14)等的氧化物基板、在玻璃基板上層壓氮化鋁或五氧化二鉭（Ta2O5）等的壓電體材料而構成的層壓壓電基板、或壓電陶瓷等。此外，雖然前文所述的各個實施方式的振動片1、2、3中的任意一個均為，振動臂20、30具備了第一驅動部20a、第二驅動部30a、第一檢測部20b、第二檢測部30b，且兼用為振動臂和檢測臂的形態，但是也可以應用獨立具備振動臂和檢測臂的所謂的H型振動片。角速度傳感器接下來，對使用了前文所述的振動片1的角速度傳感器進行說明。圖10表示角速度傳感器的概要結構，（a）為俯視圖，（b）為表示（a）的B-B剖面的剖視圖。另外，（a）表示透視了蓋部件的狀態。在圖10（a）、（b）中，角速度傳感器100由作為傳感器元件的振動片1、作為電子部件的IC晶片110和封裝件構成，其中，所述IC晶片110包括，使振動片1進行驅動的電路和對來自檢測部的信號進行檢測的電路（均未圖示），所述封裝件對振動片1以及IC晶片110進行收納。封裝件被構成為，通過封裝件主體90和作為蓋部件的蓋95而具有內部空間，並且在該內部空間內收納有振動片1和IC晶片110。封裝件主體90為，由陶瓷等成形而成的、平面形狀為矩形的容器。在封裝件主體90的內部，設置有兩段結構的底面，在最下部底面91上，並且通過粘接劑85而固定有IC晶片110。此外，在上部底面92上，通過粘接劑85而固定有振動片1。在IC晶片110的上部配置有振動片1。振動片1在第二主面13上通過粘接劑85而被固定在封裝件主體90的上部底面92上。另外，關於角速度傳感器100，雖然在圖10中例示了前文所述的實施方式1的振動片1，但是也可以應用實施方式2的振動片2以及實施方式3的振動片3。在封裝件主體90的上部底面92上形成有連接端子71～76。這些連接端子與設置在振動片1的第一主面12上的連接端子相連接。具體而言，檢測端子23和連接端子72、檢測端子33和連接端子73、驅動端子29和連接端子72、驅動端子39和連接端子74、調節端子45和連接端子76、調節端子55和連接端子75通過焊線80而被連接在一起。連接端子71～76的每一個通過與封裝件主體90的上部底面92以及最下部底面91連續設置的配線，而與被設置在IC晶片110上的端子相連接。角速度傳感器100以如下方式構成，即，在將IC晶片110以及振動片1固定在封裝件主體90內，並對兩者進行了電連接後，將蓋95固定在封裝件主體90的邊緣部上。優選使封裝件內部處於真空狀態。此外，雖然省略圖示，但是在封裝件的外側設置有外部端子，並設置有多個用於向IC晶片110的電力供給和輸出來自IC晶片110的信號的外部端子。由於以此方式構成的角速度傳感器100使用了前文所述的實施方式1、實施方式2、實施方式3的振動片1、2、3中的任意一個，因此起到了各個實施方式中所記載的效果。此外，上述結構的這種封裝件類型的角速度傳感器100具有，有利於小型化和薄型化並且抗衝擊性較高的這一特徵。電子設備接下來，對於具備了角速度傳感器100的電子設備，列舉出作為具體示例的智慧型手機和數位相機，作為移動體的示例的汽車來進行說明，其中，所述角速度傳感器100使用了前文所述的實施方式1～實施方式3的振動片1、2、3中的任意一個。圖11為，概要地表示作為電子設備的智慧型手機201的立體圖。在智慧型手機201中組裝有具有振動片1（或者振動片2、或者振動片3）的角速度傳感器100。在角速度傳感器100中，實施了對智慧型手機201的姿態進行檢測的移動傳感。角速度傳感器100的檢測信號被供給至例如微電腦晶片（MPU）202。MPU202能夠根據移動傳感而執行各種各樣的處理。這樣移動傳感能夠在行動電話、可攜式遊戲機、遊戲控制器、汽車導航系統、定點設備、頭戴式顯示器、平板電腦等的電子設備中進行利用。圖12為，概要地表示作為電子設備的其他具體示例的數位相機（以下稱為「照相機」）203的立體圖。在照相機203中組裝有具有振動片1（或者振動片2、或者振動片3）的角速度傳感器100。角速度傳感器100能夠對照相機203的姿態進行檢測。角速度傳感器100的檢測信號被供給至手抖補償裝置204。手抖補償裝置204能夠根據角速度傳感器100的檢測信號，而使例如透鏡組205內的特定的透鏡移動，以進行手抖補償。關於其他，手抖補償也能夠利用在數碼攝像機中。移動體接下來，對具有角速度傳感器100的移動體進行說明，該角速度傳感器100使用了前文所述的實施方式1～實施方式3的振動片1、2、3中的任意一個。圖13為，概要地表示作為移動體的一個具體示例的汽車206的立體圖。在汽車206中組裝有具有振動片1（或者振動片2、或者振動片3）的角速度傳感器100。角速度傳感器100能夠對車身207的姿態進行檢測。角速度傳感器100的檢測信號被供給至車身姿態控制裝置208。車身姿態控制裝置208能夠根據例如車身207的姿態，來對懸架的軟硬進行控制、或者對每個車輪209的制動器進行控制。這種姿態控制能夠在雙足步行機器人、飛機、直升機等的各種移動體中進行利用。在上述電子設備的各個具體示例中，由於具備被實施了對洩漏輸出進行抑制的調節的、高靈敏度的振動片1（或者振動片2、或者振動片3），因此能夠提供一種高功能且具有穩定的特性的電子設備。在例如為智慧型手機201的情況下，通過實施對姿態進行檢測的移動傳感，從而能夠正確地檢測出智慧型手機201的姿態。此外，在為數位相機203的情況下，能夠實施精細的手抖補償。此外，在為汽車206的車身姿態控制裝置208的情況下，具有能夠正確地檢測出車身207的姿態的這一效果。符號說明1…振動片；11…基部；12…第一主面；20、30…振動臂；20a…第一驅動部；20b…第一檢測部；30a…第二驅動部；30b…第二檢測部；40、50…調節臂；40a…第一調節部；41、42、51、52…調節用壓電體層；43、44、53、54…調節用電極；50b…第二調節部；60…第一電極。