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發光元件和顯示裝置的製作方法

2023-05-26 23:04:56


發光元件和顯示裝置本申請是國際申請日為2009年06月11日的PCT國際申請(國際申請號:PCT/JP2009/002646)進入中國國家階段(申請號:200980159844.8)的發明專利申請的分案申請。技術領域本發明涉及發光元件和顯示裝置。

背景技術:
EL元件作為顯示器裝置及照明裝置等顯示裝置中的發光元件已為人所知,其中採用了在施加電壓時因電致發光(EL)現象產生自發光的物質。EL元件使薄膜狀發光元件,其中在上部電極和下部電極間形成有機材料或無機材料的發光層,由上部和下部電極對發光層施加電壓使其發光。近年來開發出了共振器結構(所謂微共振腔結構)的發光元件,其通過使上部電極和下部電極中的一方為全反射鏡,使另一方為透過一部分波長的半透鏡,從而使發光層發出的光產生共振(例如,參照專利文獻1、2)。但是,在共振器結構的薄膜發光元件中,色過濾特性對鏡間距離(共振器光路長度)敏感。因此,例如在因製造過程中製作誤差使共振器光路長度產生不均時,產生正面方向的色坐標(色純度)及亮度變動,這是不能容許的。在共振器結構中,能夠進行色純度有較大餘地的設計。另一方面,因中心波長偏移藍色(B)及紅色(R)發光元件的亮度會產生超過容許範圍的亮度變動。例如,如果與鏡間距離對應的膜厚(相當於光路長度)發生5nm左右(整體元件膜厚的5%左右)的變化時,中心波長也發生5nm左右的變化。在例如藍色發光元件的情形下,當中心波長的設計值為470nm時,若膜厚增加5nm,則偏移後的中心波長(例如475nm)處的光視效率變化達20%以上,導致較大的亮度變化和畫質降低(亮度不均)。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本發明專利公開2002-373776號公報專利文獻2:日本發明專利公告2002-518803號公報

技術實現要素:
以上為本發明所要解決的課題的一個例子。本發明的目的之一在於提供一種共振結構的發光元件及顯示裝置,即使膜厚相對設計值發生偏離,共振器光路長度發生變化,也能夠抑制亮度變動。本發明的發光元件的特徵是,具有共振器結構,和光譜帶吸收濾光器,其中,所述共振器結構包括第一反射部件、第二反射部件、和配置在所述第一反射部件與第二反射部件之間的發光層;在所述第一反射部件和所述第二反射部件之間共振的光的一部分經所述第一反射部件或所述第二反射部件透過,所述光譜帶吸收濾光器進一步吸收經所述第一反射部件或所述第二反射部件透過的光的一部分,所述光譜帶吸收濾光器的透過量達到最小值的波長位於所述共振器結構的共振器輸出光譜達到最大值的波長和光視效函數達到最大值的波長之間。本發明的顯示裝置的特徵是,具有多個共振器結構和所述多個共振器結構共用的光譜帶吸收濾光器,其中,所述共振器結構包括第一反射部件、第二反射部件、和配置在所述第一反射部件與第二反射部件之間的發光層;在所述第一反射部件和所述第二反射部件之間共振的光的一部分經所述第一反射部件或所述第二反射部件透過,所述光譜帶吸收濾光器進一步吸收經所述第一反射部件或所述第二反射部件透過的光的一部分,所述光譜帶吸收濾光器的透過量達到最小值的波長位於所述共振器結構的共振器輸出光譜達到最大值的波長和光視效函數達到最大值的波長之間。附圖說明圖1是本發明第一實施方式中的RGB發光元件的縱截面圖。圖2是本發明第一實施方式中的RGB發光元件的俯視圖。圖3是表示以藍色(B)為對象顏色時光譜帶吸收濾光器的特性的圖。圖4是表示以藍色(B)為對象顏色時光譜帶吸收濾光器的特性的圖。圖5是表示上述發光元件中膜厚與發光光譜的關係的圖。圖6是表示上述發光元件中膜厚與亮度的關係的圖。圖7是表示上述發光元件中膜厚與發光光譜的關係的圖。圖8是表示上述發光元件中膜厚與亮度的關係的圖。圖9是表示上述發光元件中膜厚與發光光譜的關係的圖。圖10是表示上述發光元件中膜厚與亮度的關係的圖。圖11是表示上述發光元件中光譜帶吸收濾光器的吸收變化率與亮度變化率的關係的圖。圖12是表示以紅色(R)為對象顏色時光譜帶吸收濾光器的特性的圖。圖13是表示以紅色(R)為對象顏色時光譜帶吸收濾光器的特性的圖。圖14是本發明第四實施方式的發光元件的縱截面圖。圖15是本發明第五實施方式的發光元件的縱截面圖。符號說明1基板2陽極3有機層31空穴注入層32空穴輸送層33發光層34電子輸送層4陰極5隔壁部6光譜帶吸收濾光器7濾光器支承基板具體實施方式下面參照附圖詳細說明本發明優選的實施方式中的發光元件和顯示裝置。在以下的說明中,以具有分別發出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)光的發光元件的顯示裝置為例進行說明。但是,本發明的技術範圍並不限定於以下說明的實施方式。(第一實施方式)圖1和圖2所示的例子中,在公共的基板1配置發出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)光的3個發光元件(R、G、B),形成RGB單元。圖1是發光元件(R、G、B)的縱截面圖,圖2是俯視圖。實際的顯示裝置中,在基板1上排列多個發光元件(R、G、B)形成顯示區域,利用未圖示的配置於顯示區域外的驅動電路進行被動驅動,或者對每個元件配置驅動電路進行主動驅動。本實施方式中的發光元件(R、G、B),如圖1所示,在基板上層疊作為第一反射部件的陽極2、有機層3和作為第二反射部件的陰極4,光從形成有薄膜的表面一側射出,即所謂頂部發光(topemission)結構。這些RGB發光元件由被稱為堤(bank)的隔壁部5隔開。也可以在陰極4上層疊密封膜等有機層或無機層。進一步,在上述射出光的成膜面相對的位置配置光譜帶吸收濾光器(BEF)6,其對於共振器結構射出的光選擇波長而使一部分光透過。該光譜帶吸收濾光器6優選如圖1所示RGB各發光元件共用濾光器。通過固定配置於支承部件的濾光器支承部件支承光譜帶吸收濾光器6。圖1所示的例子中,例如,由基板(濾光器支承基板)7構成濾光器支承部件,該基板7由透明材料形成。濾光器支承部件並不限定於基板,也可以是透明薄膜。例如,還可以附加用於防止外部光反射的結構或材料。陽極2為兩層結構,包括反射電極21和透明電極22。陽極2與空穴注入層31相接的材料使用逸出功高的材料。具體地,反射電極21的材料可以使用例如Al、Cr、Mo、Ni、Pt、Au、Ag等金屬,或含有這些金屬的合金或金屬間化合物等。反射電極21的厚度例如為100nm。反射電極21對於400~700nm波長光的反射率的平均值在80%以上,優選高反射率。另外,透明電極22的材料例如可以使用ITO(IndiumTinOxide)或IZO(IndiumZincOxide)等金屬氧化物等。透明電極22的厚度例如為75nm。雖然在圖1和圖2中省略了圖示,陽極2連接有引出電極(配線電極)。陽極2也可以為具有反射電極21的單層結構。有機層3中,一部分的層可以由無機材料構成。也可以進一步分割而具有更多層,或者也可以使單一的層具有多個層的功能而減少層疊數。圖1所示的有機層3為多層結構,其從陽極2一側開始依次層疊有空穴注入層31、空穴輸送層32、發光層33和電子輸送層34。有機層3至少具有發光層33即可,但是為了有效促進電致發光現象產生,最好配置空穴注入層31、空穴輸送層32和電子輸送層34等。在構成共振器結構時,RGB各發光元件分別具有最佳的共振器光路長度。在圖1的結構中,反射電極21與陰極4的反射面的間隔距離為共振器光路長度。作為一個例子,對於紅色(R),為得到最佳共振器光路長度,使層疊膜厚為300nm;對於綠色(G),為得到最佳共振器光路長度,使層疊膜厚為235nm;對於藍色(B),為得到最佳共振器光路長度,使層疊膜厚為200nm。例如通過調整有機層3的膜厚來調整上述共振器光路長度。但是,如上所述,在加工製作中難以完全防止膜厚偏離設計值。尤其是在利用塗布法形成有機層3時,難以控制膜厚。在例如通過噴墨法成膜時,元件間膜厚的偏差會達到5%以上。圖1所示的結構中,作為一例,通過改變空穴注入層31的厚度調整共振器光路長度。具體將,紅色(R)的空穴注入層31的厚度(設計值)為125nm;綠色(G)的空穴注入層31的厚度(設計值)為65nm;藍色(B)的空穴注入層31的厚度(設計值)為20nm。在RGB的共振器結構中,輸送層32、發光層33、電子輸送層34的厚度相同。例如,空穴輸送層32的厚度(設計值)為30nm;發光層33的厚度(設計值)為30nm;電子輸送層34的厚度(設計值)為40nm。空穴注入層31和空穴輸送層32可以由空穴傳輸特性高的材料形成,例如可以使用酞菁銅(CuPc)等酞菁化合物,m-MTDATA等星型(starburst)胺,聯苯胺型胺的聚合物,4,4』-雙[N-(1-萘基)-N-苯胺基]-聯苯(4,4』-bis[N-(1-naphthyl)-N-phenylamino]-biphenyl:NPB)、N-苯基對苯二胺(N-phenyl-p-phenylenediamine:PPD)等芳叔胺,4-(二對甲苯基氨基)-4』-[4-(二對甲苯基氨基)苯乙烯基]茋(4-(di-P-tolylamino)-4』-[4-(di-P-tolylamino)styryl]stylbenzene)等茋(stilbene)化合物,三唑衍生物、苯乙烯胺化合物、巴克球、C60等富勒烯等的有機材料。還可以使用在聚碳酸酯等高分子材料中分散了低分子材料的高分子分散系材料。但是並不限於上述材料。發光層33可使用產生紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)電致發光現象的材料。發光層33的材料例如可使用(8-羥基喹啉)鋁絡合物(Alq3)((8-hydroxyquinolinate)aluminum)complex(Alq3))等螢光型有機金屬化合物;4,4'-二(2,2-二苯乙烯基)-聯苯(4,4』-bis(2,2』-diphenylvinyl)-biphenyl:DPVBi)等芳香族二亞甲基化合物;(1,4-二(2-甲基苯乙烯基)苯(1,4-bis(2-methylstyryl)benzene)等苯乙烯基苯化合物;3-(4-聯苯)-4-苯基-5-叔丁基苯基-1,2,4-三唑(3-(4-biphenyl)-4-phenyl-5-t-butylphenyl-1,2,4–triazole:TAZ)等三唑(triazole)衍生物;蒽醌(anthraquinone)衍生物、芴(fluonorene)衍生物等螢光型有機材料;聚對苯乙撐(polyparaphenylenevinylene:PPV)系、聚芴(polyfluorene)系、聚乙烯咔唑(polyvinylcarbazole:PVK)系等高分子材料;鉑絡合物或銥絡合物等磷光型有機材料。但是並不限於上述材料。也可以不使用有機材料,而使用可產生電致發光現象的無機材料。電子輸送層34可以由電子輸送性能高的材料形成,例如可以使用PyPySPyPy等矽雜環戊二烯(silacyclopentadiene(silole))衍生物、硝代芴酮(nitro-substitutedfluorenone)衍生物、蒽醌二甲烷(anthraquinodimethane)衍生物等有機材料;三(8-羥基喹啉)鋁(tris(8-hydroxyquinolinate)aluminum:Alq3)等8-羥基喹啉(8-quinolinole)衍生物的金屬絡合物;金屬酞菁(metalphthalocyanine)、3-(4-聯苯)-5-(4-叔丁基苯基)-4-苯基-1,2,4-三唑(3-(4-biphenyl)-5-(4-t-butylphenyl)-4-phenyl-1,2,4-triazole:TAZ)等三唑衍生物、2-(4-聯苯基)-5-(4-叔丁基)-1,3,4-噁二唑(2-(4-biphenylyl)-5-(4-t-butyl)-1,3,4-oxadiazole:PBD)等噁二唑衍生物、巴克球、C60、碳納米管(carbonnanotube)等富勒烯。但並不限於上述材料。陰極4的材料可以使用與電子輸送層34接觸的區域的逸出功低,陰極整體反射及透過損失小的材料。具體地,陰極4可使用Al、Mg、Ag、Au、Ca、Li等金屬或其化合物,或者是含有上述金屬的合金等,使其構成為單層或將其層疊。另外,可在與電子輸送層34接觸的區域形成薄的氟化鋰或氧化鋰等,控制電子注入特性。陰極4的厚度例如為10nm。如上所述,本實施方式中,採用在成膜面的一側,即陰極一側放出光的頂部發光結構。因此,陰極4為半透過性的電極,對於400~700nm波長的光的透過率的平均值例如為20%以上。可利用例如電極的膜厚等來調整透過率。雖然圖1和圖2中省略了圖示,但陰極4連接有引出電極(配線電極)。當進一步在陰極4上層疊密封膜時,例如可以由對水蒸氣及氧氣透過率小的透明無機材料形成。密封膜的材料例如可使用氮化矽(SiNx)、氮氧化矽(SiOxNy)、氧化鋁(AlOx)、氮化鋁(AlNx)等。稱為堤的隔壁部5的材料例如可使用含氟成分的感光性樹脂。通過使其含氟,對液態材料可起到撥液性的作用,因此在使用塗布法成膜時,能夠抑制液流(所謂的overlap)。而且,優選由具有遮光性的材料形成隔壁部5。光譜帶吸收濾光器(BEF)6可以使用例如具有近似高斯形狀的吸收特性的單光譜帶吸收濾光器。光譜帶吸收濾光器6隻要具有後述吸收特性,則對於其形狀和材質並沒有限定。例如,光譜帶吸收濾光器6也可以是在顯示面粘貼薄膜或板狀濾光器,也可以通過在顯示面塗布或粘貼具有後述吸收特性的色素來構成濾光器。但是,由於是單光譜帶吸收濾光器,因此,隨著以藍色(B)、紅色(R)、綠色(G)中哪一個為對象色彩,濾光器的吸收特性不同。下面的說明中,對以藍色(B)為對象色彩的情形下的最佳例子進行說明。在說明中,為了便於說明,稱發光強度為最大的波長為中心波長。如圖3所示,在以藍色(B)為對象色彩的情形下,共振器結構的輸出光譜(以下,稱為「共振器輸出光譜」)S1的中心波長(λB)為470nm±10nm。其具有±10nm的寬度是因為,NTSC色純度要求的中心波長(λB)依賴於共振器輸出光譜S1的寬度和PL形狀。另外,也考慮到膜厚不均所產生的中心波長(λB)的偏移寬度。另一方面,光視效函數光譜的中心波長在明視覺標準下為555nm。此時,在本實施方式的最佳例子中,使用具有吸收光譜S2的光譜帶吸收濾光器6,該光譜S2的吸收中心波長(λa)為例如495nm。更加優選在底部吸收0%時,峰部吸收為60%以上。另外,圖3中表示當形成符合設計值的膜厚時,透過光譜帶吸收濾光器6而輸出的光的光譜(以下稱為發光輸出光譜)S3。光譜帶吸收濾光器6的吸收光譜S2與共振器輸出光譜S1接近,吸收率從共振器輸出光譜S1的中心波長(λB)偏向長波長一側單調增加。而且,作為一個重要因素,共振器輸出光譜S1的中心波長附近的透過率的變化,最好達到能夠充分抑制亮度變動的程度。具體為,如圖4所示,令中心波長(λB)處的透過率為T(0),令距中心波長+10nm的波長處的透過率為T(10),則優選透過率的比ΔT[=T(10)/T(0)]為0.9以下,更優選為0.7以下,進一步優選為0.6以下。如上所述,本實施方式使用滿足上述吸收條件的光譜帶吸收濾光器6,進一步吸收由共振器結構輸出的光的一部分。即,利用光譜帶吸收濾光器6控制中心波長(λB)附近的形狀,以使當共振器輸出光譜S1的中心波長(λB)向高光視效率一側(~480nm)偏移時,發光輸出減少,當中心波長(λB)向低光視效率一側(~460nm)偏移時,發光輸出增加。通過上述結構,例如即使膜厚在設計值的±10nm的範圍內發生偏差,導致共振器光路長度產生不均時,也能夠抑制亮度變動。此時,相對於色度坐標的相對於NTSC的色純度的偏差Δu』v』在0.05以內,或者為將NTSC的色再現範圍擴大的色度坐標,滿足用於色彩顯示的良好色純度的條件。下面參照具體的計算結果說明可抑制亮度變動的效果。以下的計算結果僅是一個例子,並不限定本實施方式。例如,假定共振器的輸出光譜S1的中心波長(λB)的設計值為472nm,圖5(a)表示膜厚偏離設計值-1nm時的計算結果。圖5(b)表示膜厚符合設計值時的計算結果。圖5(c)表示膜厚偏離設計值+1nm時的計算結果。所使用的光譜帶吸收濾光器6具有吸收的中心波長(λa)為500nm、吸收係數σ為10nm的近似高斯形狀的吸收特性。透過率的比ΔT[=T(10)/T(0)]大約為0.9。圖5中所示各光譜內,光譜S10為光譜帶吸收濾光器6的吸收光譜,光譜S11為透過光譜帶吸收濾光器6而輸出的發光輸出光譜。光譜S12為用於作比較的未設置光譜帶吸收濾光器6時的發光輸出光譜。光譜S13為未使用共振器結構發光時的內部發光光譜,即光致發光光譜。進一步,圖6表示計算當膜厚在設計值附近變化時的正面亮度變化的結果。如圖5的計算結果所示,通過使用滿足上述條件的光譜帶吸收濾光器6,可使得在共振器輸出光譜S1的中心波長(λB)向高光視效率一側偏移時發光輸出減小,當中心波長(λB)向低光視效率一側偏移時發光輸出增加。通過如上所述的調節作用,儘管因膜厚變化發光強度會發生變動,但如圖6的計算結果所示,膜厚變化帶來的亮度變動得到抑制。即,在不使用光譜帶吸收濾光器6時,膜厚在設計值附近±1nm的變化,產生±5%的亮度變化,與此相對,在使用光譜帶吸收濾光器6時,雖然設計值的亮度減小了10%左右,但在膜厚變化±1nm時,亮度變化被抑制到±3%左右。需要注意,設計值為為透過濾光器後的發光在亮度和色度上為最佳化後的值。另一個例子如圖7所示。圖7表示光譜帶吸收濾光器6具有吸收的中心波長為495nm,吸收係數σ為10nm的近似高斯形狀的吸收特性時的計算結果。透過率的比ΔT[=T(10)/T(0)]大約為0.7。此時,光譜形狀呈現與圖5同樣的傾向,但由於透過率的比ΔT的值變小,因膜厚變化產生的發光輸出的變動幅度相應變大。如圖8的計算結果所示,雖然設計值處的亮度減小20%,但在膜厚變化為±1nm時,膜厚變化產生的亮度變動被抑制到±1%左右。即,通過使用在共振器輸出光譜S1的中心波長附近處透過率變化大的光譜帶吸收濾光器6,能夠更好地抑制亮度變動。另一個例子如圖9所示。圖9表示光譜帶吸收濾光器6具有吸收的中心波長為495nm,吸收係數σ為15nm的近似高斯形狀的吸收特性時的計算結果。透過率的比ΔT[=T(10)/T(0)]大約為0.6。此時,光譜形狀呈現與圖5和圖7同樣的傾向,但由於透過率的比ΔT的值變小,因膜厚變化產生的發光輸出的變動幅度相應變大。如圖10的計算結果所示,雖然設計值處的亮度減小35%,但可保持足夠的色純度並使膜厚變化產生的亮度變化幾乎為零。即,通過使用在共振器輸出光譜S1的中心波長附近處透過率變化更大的光譜帶吸收濾光器6,能夠更確實地抑制亮度變動。圖11表示計算共振器輸出光譜S1的中心波長(λB)處的光譜帶吸收濾光器6的吸收變化率RA與膜厚變動產生的亮度變化率RL(%)的關係的結果。吸收變化率RA是將中心波長(λB)處的吸收光譜的斜率除以波長λB的吸收率得到的,通過算式RA[1/nm]=[dA(λB)/dλ]/A(λB)求得。另外,亮度變化率RL(%)是,在令滿足NTSC色純度的最佳膜厚為d0時,d0±2nm的膜厚偏差產生的亮度的變化率。具體為,根據亮度變化率RL[%]=[在d0±2nm時的亮度最大~最小的差]/[d0時的亮度]×100算出的值。如圖11的結果所示,藍色(B)的發光元件的吸收變化率RA[1/nm]優選為-0.01以下,更優選為-0.02以下。圖1所示的發光元件中由反射電極和半透過電極構成第一和第二反射部件,但不限定於此,也可以形成與電極獨立的反射膜。此時,在該反射膜的元件一側的陽極和陰極可以是透明電極。(第二實施方式)本實施方式為第一實施方式的變形例,是由光譜帶吸收濾光器6調節的色彩為紅色(R)的實施方式。如圖12所示,在以紅色(R)為對象色彩時,共振器輸出光譜S1的中心波長(λB)為620±20nm。其具有±20nm的寬度是因為,NTSC色純度要求的中心波長(λR)依賴於共振器輸出光譜S1的寬度和PL形狀。另外,也考慮到膜厚不均所產生的中心波長(λR)的偏移寬度。另一方面,光視效函數光譜的中心波長在明視覺標準下為555nm。此時,在本實施方式的最佳例子中,使用具有吸收光譜S2的光譜帶吸收濾光器6,該吸收光譜S2的吸收中心波長(λa)為例如590nm。更加優選在底部吸收0%時,峰部吸收為60%以上。另外,圖12中表示當形成符合設計值的膜厚時,透過光譜帶吸收濾光器6而輸出的發光輸出光譜S3。光譜帶吸收濾光器6的吸收光譜S2與共振器輸出光譜S1接近,吸收率從共振器輸出光譜S1的中心波長(λR)偏向長波長一側單調減小。而且,作為一個重要因素,共振器輸出光譜S1的中心波長附近的透過率的變化,最好達到能夠充分抑制亮度變動的程度。具體為,如圖13所示,令中心波長(λR)處的透過率為T(0),令距中心波長-10nm的波長處的透過率為T(-10),則優選透過率的比ΔT[=T(-10)/T(0)]為0.9以下,更優選為0.7以下,進一步優選為0.6以下。進一步,與圖11同樣地,計算共振器輸出光譜S1的中心波長(λR)處的光譜帶吸收濾光器6的吸收變化率RA與膜厚變動產生的亮度變化率RL(%)的關係,結果為,紅色(R)發光元件的吸收變化率RA[1/nm]優選為+0.01以上,更優選為+0.02以上。如上所述,在以紅色(R)為對象色彩時,利用光譜帶吸收濾光器6控制中心波長(λR)附近的形狀,以使當共振器輸出光譜S1的中心波長(λR)向高光視效率一側偏移時,發光輸出減小,當中心波長(λR)向低光視效率一側偏移時,發光輸出增加。因此,與藍色(B)的情形相同,例如膜厚在設計值的±10nm範圍內發生偏差,導致共振器光路長度產生不均時,也能夠抑制亮度變動。(第三實施方式)本實施方式是第一和第二實施方式的變形例,在本實施方式中,由光譜帶吸收濾光器6控制的對象色彩為藍色(B)和紅色(R)兩者。即,準備具有第一實施方式的吸收特性的光譜帶吸收濾光器和具有第二實施方式的吸收特性的光譜帶吸收濾光器,並將兩者層疊。這樣,使用沒有塗上藍色(B)和紅色(R)的濾光器就能得到抑制亮度變動的效果。但並不限定於層疊兩層的結構,也可以對於藍色(B)和紅色(R)發光元件分別配置濾光器。根據上述結構,藍色(B)和紅色(R)兩方的亮度變動都可以得到抑制。本實施方式不限定於具有兩個濾光器,也可以使用例如同時滿足第一實施方式的吸收特性條件和第二實施方式的吸收特性條件的吸收兩個光譜帶的單一濾光器。(第四實施方式)在第一~第三實施方式中,對通過改變空穴注入層31的厚度調整RGB共振器光路長度的例子進行了說明。但是並不限於此,也可以如圖14所示,通過改變發光層33的厚度調整RGB共振器光路長度。(第五實施方式)在第一~第四實施方式中,以頂部發光結構的發光元件為例進行了說明。但是並不限於這種結構,也可以是如圖15所示的底部發光結構。圖15所示的例子中,通過使圖1的反射電極21為半透過電極,使陰極4為反射電極,而成為底部發光結構。此時,可以如圖15所示,將光譜帶吸收濾光器6配置於基板1,或者也可以使用圖1所示的濾光器支承基板7將濾光器與基板1對置配置。但是其結構不限定於此。(第六實施方式)下面,說明製造圖1所示的RGB發光元件的工序的例子。首先,用蒸鍍或濺射法等依次形成反射電極21、透明電極22的薄膜。可通過照相平版印刷術形成上述電極21、22的圖案。然後,在基板1上塗布含氟的感光性樹脂,乾燥並成膜後,通過例如照相平版印刷術形成具有如圖1所示的圖案的隔壁部5。在為被動型的情形下,將電極21、22形成為條紋狀後,形成隔壁部5。另一方面,在為主動型的情形下,將電極21、22形成為與每個驅動電路連接的島狀,然後形成隔壁部5。接著,用例如噴墨噴嘴等將空穴注入層32的液體材料塗布在由隔壁部5分隔的區域內,乾燥並成膜。對於空穴輸入層32、發光層33也同樣地利用塗布法對各元件分別塗布,並成膜。可通過調節例如液體材料的塗布量來調節膜厚。接著,用蒸鍍法依次形成電子輸送層34和陰極4。可使用金屬掩膜等掩膜,或者利用隔壁部5的堤壩形狀,對陰極4形成圖案。例如在為被動型的情形下,可將陰極4的圖案形成為條紋狀。另一方面,在為主動型的情形下,可不形成圖案,而使其成為平板電極。最後,將薄膜狀的光譜帶吸收濾光器6貼附與濾光器支承基板7,再將薄膜支承基板7配置在與射出發光的成膜面相對的位置,由此可製造圖1和圖2所示的RGB發光元件。如上所述,根據第一~第六實施方式,在具有共振器結構的發光元件中,光譜帶吸收濾光器的透過量的最小值對應的波長在共振器結構共振器輸出光譜達到最大值的對應的波長和光視效函數達到最大值的對應的波長之間,利用該光譜帶吸收濾光器進一步吸收從共振器結構射出的光的一部分,從而可抑制共振器光路長度變動引起的亮度變動。換言之,即使膜厚偏離設計值,由於亮度變動小,膜厚不均的可容許範圍變大,能夠提高生產率並降低成本。上述實施方式中所述的技術除了可應用於有機薄膜發光元件,還可應用於具有層疊元件結構的無機薄膜發光元件(電場發光、發光二級管)。另外,可應用於在表面以矩陣狀配置發光元件的發光型顯示裝置。也可以是從第一和第二反射部件兩方透射發光的結構。進一步,本發明不限定於RGB三色,也可以包含一種色或兩種色,或是其他顏色。以上,結合具體的實施方式對本發明進行了詳細說明,但在不脫離本發明的精神和權利要求的範圍內,可對方式和細節可進行各種替換、變形和變更,這對於具有本領域一般知識的本領域技術人員來說是不言自明的。因此,本發明的保護範圍並不限定於上述實施方式和附圖的記載,而應根據權利要求書的記載及其等同的實施方式來確定。

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