兼具批次與連續作業的真空裝置的製作方法

2023-05-27 03:08:16 1

專利名稱：兼具批次與連續作業的真空裝置的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空裝置，特別是涉及一種可用於進行批次鍍膜、批次電漿
清潔作業，或是與生產線配合進行連貫生產作業的兼具批次與連續作業的真空裝置。
背景技術：
真空設備廣泛應用於半導體相關製程，其中一種主要用於批次作業的真空裝置， 其腔體內部通常設有多個靶材，以及用於轟擊靶材的電子槍或離子槍，該真空裝置內部可 供多片基板擺置，以對所述基板進行批次鍍膜作業，或是在基板鍍膜之前，利用電漿預先轟 擊以進行基板表面清潔。 然而，上述真空裝置沒有與生產線上的其它機臺相連結或互相傳輸的構造，因此 該真空裝置為獨立裝置，並只能用於進行批次鍍膜作業，而無法與生產線上其它作業流程 整並以完成連續作業，欲進行連續作業時，則必須使用另一種專用於連續作業的真空裝置。 也就是說，目前真空裝置的設計，不是只單獨作為批次作業使用，就是只單獨供連續作業使 用，尚沒有任何單一裝置兼具有批次作業與連續作業的功能，使用上不盡理想。

實用新型內容本實用新型的目的是在提供一種應用性廣、使用方便的兼具批次與連續作業的真 空裝置。 本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置，包含一腔體、一批次作業機構以及 一連續作業機構。 該腔體包括上下間隔的一底壁與一頂壁、一連接在所述底壁與頂壁之間的圍壁， 以及一由所述底壁、頂壁與圍壁共同界定出的腔體空間。該批次作業機構包括一設置在該 腔體空間的主軸單元、一連結並驅動該主軸單元轉動的第一動力源，以及至少一個受該主 軸單元帶動而運作的從動軸單元。該連續作業機構設置在該腔體空間，並包括至少一個輸 送單元，該輸送單元包括一第二動力源，以及至少一受該第二動力源驅動而轉動的輸送輪。 本實用新型的有益效果在於藉由同時設置該批次作業機構及連續作業機構，操 作者可視作業需求而選擇進行批次作業或連續作業，達到雙重使用、應用性廣等優點。

圖1是一局部剖視的立體圖，顯示本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置的 一最優選實施例； 圖2是該最優選實施例的一前側的外殼取下後的前視圖，且圖2的底部局部剖視 以顯示一主動齒輪與多個從動軸單元的連結關係； 圖3是取自圖2的局部放大圖； 圖4是該最佳實施例的俯視剖視圖。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。 參閱圖1、2、3、4，本實用新型兼具批次與連續作業的真空裝置的最優選實施例，可 用於帶動多片第一基板41在原地轉動，以及輸送二片第二基板42前後移動，而且該真空裝 置包含一腔體1、一批次作業機構2，以及一連續作業機構3。 該腔體1是由兩個前後對接的外殼10所組成，所述外殼10對接後，該腔體1包括 上下間隔的一底壁11與一頂壁12、一圍繞一中心軸線Ll並連接在所述底壁11與頂壁12 之間的圍壁13，以及一由所述底壁11、頂壁12與圍壁13共同界定出的腔體空間14。所述 圍壁13具有一個直立設置的連通口 131，以及多個彼此間隔的安裝部132。該連通口 131 用於連結生產線上的其它機臺，並供由其它機臺輸送而來的第二基板42經由該連通口 131 進入該腔體空間14。所述安裝部132都可供一靶材進行濺鍍，或是供用於清潔腔體或清潔 基板的裝置擺置。 該批次作業機構2包括一主軸單元21、一第一動力源22，以及多個從動軸單元23。 其中，該主軸單元21包括一個直立延伸於該腔體空間14的中央的長杆狀主軸211，以及一 個與該主軸211連動固結的主動齒輪212。該主軸211具有一個向下突出於該主動齒輪212 的下表面的動力連接部213。該主動齒輪212圍繞連結在該主軸211的外周，並且位於該腔 體1的底壁11的上表面。該第一動力源22為一個馬達，且該第一動力源22的一第一動力 軸221透過一圖未示出的聯軸器連結該主軸211的動力連接部213，以驅動該主軸211與該 主動齒輪212同步地繞自身中心軸線轉動，也就是繞該中心軸線L1轉動。 所述從動軸單元23都圍繞該中心軸線Ll與主軸單元21而彼此間隔排列，並且都 包括一個嚙合在該主動齒輪212的外周緣的第一齒輪231、一個與該第一齒輪231嚙合並 位於該第一齒輪231的外周緣的第二齒輪232、一個與該第二齒輪232連動地結合的從動軸 233，以及多個上下間隔地設置在該從動軸233上的置物件234。所述第一齒輪231受該主 軸單元21帶動而繞自身中心軸線轉動，進而連動所述第二齒輪232與從動軸233繞自身中 心軸線轉動。所述從動軸233為上下直立延伸，並圍繞排列在該主軸211的外圍，且所述從 動軸233各別對應該腔體1的所述安裝部132的位置。所述置物件234連動地設置在該從 動軸233上而可隨著從動軸233同步轉動，所述置物件234都可以各別供一片或多片第一 基板41擺置(圖2隻示意三片第一基板41)，並帶動第一基板41同步地在原地轉動。 該連續作業機構3設置在該腔體空間14的中央處，並包括一水平的基壁31、兩個 自該基壁31的左右兩側向上延伸的側壁32，以及兩組左右間隔設置的輸送單元33，所述輸 送單元33各別對應左側及右側的側壁32，並且都包括三個前後間隔地位於與其對應的側 壁32的內側的傳動輪331、一個間隔地位於該基壁31的下方的第二動力源332、一個連結 該第二動力源332的一第二動力軸335與最前側的傳動輪331的第一皮帶333、兩個連結所 述三個傳動輪331的第二皮帶336，以及三個各別與所述傳動輪331同步轉動地銜接並位於 側壁32的外側的輸送輪334。 該第二動力源332的動力透過該第一皮帶333傳遞給該最前側的傳動輪331 ，再借 由第二皮帶336將動力傳遞給後面兩個傳動輪331 ，以驅動所述傳動輪331各別繞一水平軸 線L2而在原地轉動，進而連動該輸送輪334也繞該水平軸線L2轉動，用以運輸前述第二基 板42。[0019] 本實用新型使用時，如果要進行批次作業，可以在每一個置物件234上都置放一 片或多片第一基板41，並藉由該第一動力源22的動力，驅動該主軸單元21帶動所述從動 軸單元23轉動，使第一基板41同步地在原地轉動，設置在腔體l中且圖未示出的離子槍或 濺鍍槍，將靶材材料濺射出而披覆形成於第一基板41上，以完成第一基板41的批次鍍膜作 業。另外，在第一基板41鍍膜之前，也可以先以電漿轟擊第一基板41表面，以進行第一基 板41的批次電漿清潔作業。所述第一基板41持續以固定轉速轉動，可提升鍍膜膜層的均 勻性。 本實用新型另外可供連續作業使用，左右兩側的第二動力源332啟動後，各別驅 動左右兩側的輸送單元33運轉，使得由生產線上其它機臺輸送而來的第二基板42，經由該 連通口 131進入後，可以受到輸送輪334轉動帶動而傳輸進入該腔體空間14中，而且本實 施例設置兩個輸送單元33，可同時且各別地運輸一片直立的第二基板42，並將第二基板42 相對該腔體1前後移動輸送。 需要說明的是，主軸單元21與從動軸單元23的連結方式不須加以限制，只要能達 到帶動第一基板41轉動的目的就可以，同樣地，輸送單元33的連結構造與運作方式不限於 本實施例所述，例如，輸送單元33不以兩個為必要，每一個輸送單元33也不以設置三個傳 動輪331與三個輸送輪334為必要。 由以上說明可知，藉由在該腔體1中同時設置該批次作業機構2及連續作業機構 3，當其中一機構運作時，另一機構就停止運作，使用時可視作業需求而選擇進行批次作業 或連續作業，因此本實用新型可供作為批次鍍膜、批次電漿清潔作業，或是與生產線配合進 行連貫生產作業，達到雙重使用、應用性廣等優點。
權利要求一種兼具批次與連續作業的真空裝置，包含一個腔體，包括上下間隔的一個底壁與一個頂壁、一個連接在所述底壁與頂壁之間的圍壁，以及一個由所述底壁、頂壁與圍壁共同界定出的腔體空間，其特徵在於，所述兼具批次與連續作業的真空裝置還包含一個批次作業機構，包括一個設置在所述腔體空間的主軸單元、一個連結並驅動所述主軸單元轉動的第一動力源，以及至少一個受所述主軸單元帶動而運作的從動軸單元；及一個連續作業機構，設置在所述腔體空間，並包括至少一個輸送單元，所述輸送單元包括一個第二動力源，以及一個受所述第二動力源驅動而轉動的輸送輪。
2. 根據權利要求1所述的兼具批次與連續作業的真空裝置，其特徵在於所述主軸單 元包括一支直立延伸的主軸，以及一個與所述主軸連動地組裝的主動齒輪，所述第一動力 源是一個馬達，並連結所述主軸以驅動所述主軸與所述主動齒輪繞自身中心軸線轉動。
3. 根據權利要求2所述的兼具批次與連續作業的真空裝置，其特徵在於所述從動軸 單元包括一個與所述主動齒輪嚙合的第一齒輪、一個與所述第一齒輪嚙合的第二齒輪、一 個與所述第二齒輪連動地結合而可受帶動而繞自身中心軸線轉動並直立延伸的從動軸，以 及多個上下間隔地設置在所述從動軸上的置物件。
4. 根據權利要求1所述的兼具批次與連續作業的真空裝置，其特徵在於所述批次作 業機構包括多個彼此間隔並且都連結所述主軸單元且受所述主軸單元帶動而運作的從動 軸單元，所述腔體的圍壁具有多個各別對應所述從動軸單元的安裝部。
5. 根據權利要求1所述的兼具批次與連續作業的真空裝置，其特徵在於所述輸送單 元還包括一個帶動所述輸送輪同步轉動的傳動輪，以及一個連結所述第二動力源及所述傳 動輪的第一皮帶，所述第二動力源帶動所述傳動輪繞一條水平軸線轉動，進而連動所述輸 送輪繞所述水平軸線轉動。
6. 根據權利要求5所述的兼具批次與連續作業的真空裝置，其特徵在於所述連續作 業機構還包括一個水平的基壁、兩個自所述基壁的左右兩側向上延伸的側壁，以及兩個左 右間隔設置並各別對應所述側壁的輸送單元，所述輸送單元的傳動輪與輸送輪各別位於所 述側壁的內側及外側。
專利摘要一種兼具批次與連續作業的真空裝置，包含一腔體、一批次作業機構以及一連續作業機構。該批次作業機構包括一設置在該腔體中的主軸單元、一連結並驅動該主軸單元轉動的第一動力源，以及至少一個受該主軸單元帶動而運作並供多片第一基板擺放的從動軸單元。該連續作業機構包括至少一個輸送單元，該輸送單元包括一第二動力源，以及一受該第二動力源驅動而轉動並用於輸送一第二基板的輸送輪。藉由同時設置該批次作業機構及連續作業機構，可視作業需求而選擇進行批次或連續作業，達到雙重使用、應用性廣等優點。
文檔編號H01L21/00GK201549480SQ20092016189
公開日2010年8月11日 申請日期2009年7月20日 優先權日2009年7月20日
發明者許建志, 鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司