晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構的製作方法
2023-05-27 00:41:26 1
專利名稱：晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種調節技術，特別是涉及一種應用於晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤的調節機構。
背景技術：
隨著電子信息產業的快速發展，集成電路(integratedcircuit，IC)的運用已經 無處不在，因而作為集成電路的原材料，晶圓製造加工業的發展也日趨發展。集成電路作為 極為精密的器件，在各個生產環節中對精準度的要求都不容忽視。晶圓製造過程中的每一 個步驟，包括蝕刻、氧化、沉積、去光阻、以及化學機械磨削等，其中在機械磨削過程中對晶 圓的磨削精度有著極為嚴格的要求和限制。為了薄化半導體封裝件通常會對晶圓的背面實施磨削，而完成該項製程的就是業 內俗稱的晶圓背磨機。所述的晶圓背磨機通常包括可旋轉的工作檯面、多個設置在該工作 檯面上並可轉動的旋轉磨削吸盤、以及懸設於該工作檯面上方的磨頭等部件。對晶圓進行 磨削時，是先將晶圓放置在其中的一個旋轉磨削吸盤(Chuck)上，由高速旋轉的磨頭對晶 圓進行磨削作業，待完成磨削後，該工作檯面則轉動一定角度，將晶圓送入下一環節(例如 精磨削或者清洗環節)。在現有技術中，為確保對晶圓的磨削精度，必須保證該旋轉磨削吸 盤的高精度，因此就需要在磨削作業前對該旋轉磨削吸盤進行水平檢測及調整。在現有技術中，所述旋轉磨削吸盤是由幾個分布於其周緣的固定螺絲鎖固在工作 檯面上，在調整該旋轉磨削吸盤的水平度時也是通過將所述幾個分布於其周緣的固定螺絲 旋進旋出以達到調節的目的，然，由於所述旋轉磨削吸盤大多是微觀傾斜，人工進行調整並 不容易精確到位；而且，緊固時如有微小傾斜會造成被緊固件之間的線接觸或點接觸，如此 勢必會很容易造成旋轉磨削吸盤再度傾斜；再者，既要讓固定螺絲起到固定旋轉磨削吸盤 的作用，又要兼顧對旋轉磨削吸盤的調節，實難達到所需的理想狀態。所以，如何提供一種磨削吸盤的調節機構，以避免以上所述的缺點，實為相關領域 之業者目前亟待解決的問題。
發明內容鑑於以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在於提供一種晶圓背磨機的旋 轉磨削吸盤調節機構，以實現對旋轉磨削吸盤的精確調節，且易於操作。為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種晶圓背磨機的旋轉磨削吸 盤調節機構，包括可轉動臺面、設置於所述可轉動檯面上的法蘭，且所述法蘭周緣具有至少 三個均勻分布的第一螺孔，所述可轉動臺面具有對應所述第一螺孔的第二螺孔，其特徵在 於，所述調節機構還包括微調空心螺絲、空心螺帽、球面墊座、球面墊圈、以及緊固螺栓。 其中，所述微調空心螺絲旋設於所述第一螺孔，並具有對應所述第一螺孔的外螺紋，所述微 調空心螺絲頂端具有卡槽；所述空心螺帽的底端具有對應卡合至所述卡槽的卡塊，中部具 有擋止部以及頂端具有操作部；所述球面墊座位於所述微調空心螺絲與所述可轉動臺面之間，且所述球面墊座底面為平面；所述球面墊圈位於所述微調空心螺絲與所述球面墊座之間，所述球面墊圈容置於所述球面墊座中；具體地，所述球面墊座具有凹形球面，所述球面 墊圈與所述球面墊座的凹形球面相吻合；所述緊固螺栓依次穿過所述空心螺帽、微調空心 螺絲、球面墊圈及球面墊座鎖固於所述第二螺孔。於本實用新型的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構中，所述空心螺帽的擋止部 的直徑大於所述第一螺孔的孔徑，以使所述空心螺帽被旋動時不致於落入所述第一螺孔 中；所述空心螺帽的操作部呈六角螺帽結構；所述微調空心螺絲的底端抵靠於所述球面墊 圈上；連通所述第一螺孔的底端具有容置沉孔，用於容置所述球面墊圈及球面墊座。如上所述，本實用新型的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，主要是由微調空 心螺絲、空心螺帽、球面墊座、球面墊圈、以及緊固螺栓相互配合，其中，藉由所述微調空心 螺絲、空心螺帽、球面墊座以及球面墊圈用於對法蘭進行微調，所述緊固螺栓用於最後固 定，與現有技術相比，微調元件和鎖固元件之間相互獨立，且由於本實用新型採用了球面墊 座及球面墊圈不但使得調節容易操作，而且還解決了現有技術中螺栓與工作檯的線接觸或 點接觸而引起的調節不理想或調節後穩定性差等問題，即有效克服了現有技術中的種種缺 點ο
圖1顯示為本實用新型的調節機構的立體分解示意圖。圖2顯示為本實用新型的調節機構的剖面分解示意圖。圖3顯示為本實用新型的調節機構的結合示意圖。圖4顯示為本實用新型的旋轉磨削吸盤與可轉動臺面的分解示意圖。圖5顯示為本實用新型的旋轉磨削吸盤的分布示意圖。元件標號的簡單說明1 可轉動臺面11 第二螺孔2 中心轉軸3法蘭31 第一螺孔32 容置沉孔4 微調空心螺絲41 外螺紋42 卡槽5空心螺帽51 卡塊52 擋止部53 操作部6球面墊座61 凹形球面7球面墊圈[0032]8緊固螺栓具體實施方式
以下通過特定的具體實例說明本實用新型的實施方式，本領域技術人員可由本說 明書所揭示的內容輕易地了解本實用新型的其他優點與功效。本實用新型還可以通過另 外不同的具體實施方式
加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基於不同觀點與應 用，在不背離本實用新型的精神下進行各種修飾或改變。請參閱圖1至圖4，其顯示為本實用新型的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構 的實施方式示意圖，需要說明的是，圖式中均為簡化的示意圖式，而僅以示意方式說明本實 用新型的基本構想，遂圖式中僅顯示與本實用新型的調節機構有關的組件而非按照實際實 施時的組件數目、形狀及尺寸繪製，其實際實施時各組件的型態、數量及比例可為一種隨意 的改變，且其組件布局型態也可能更為複雜。請參閱圖1及圖2，圖1顯示為本實用新型的調節機構的立體分解示意圖；圖2顯 示為本實用新型的調節機構的剖面分解示意圖。如圖所示，本實用新型提供一種晶圓背磨 機的旋轉磨削吸盤調節機構，包括可轉動臺面1、中心轉軸2、設置於所述可轉動臺面1上的 法蘭3，且所述法蘭3周緣具有至少三個均勻分布的第一螺孔31，連通所述第一螺孔31的 底端具有容置沉孔32 ；所述可轉動臺面1具有對應所述第一螺孔31的第二螺孔11，本實用 新型的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構還包括微調空心螺絲4、空心螺帽5、球面墊 座6、球面 墊圈7、以及緊固螺栓8。所述微調空心螺絲4旋設於所述第一螺孔31，並具有對應所述第一螺孔31的外螺 紋41，以在旋進旋出時調整所述法蘭3的高度，所述微調空心螺絲4頂端具有卡槽42 ；於本 實施方式中，所述法蘭3周緣具有三個均勻分布的第一螺孔31，相應地，對應以上三個第一 螺孔31，具有三個微調空心螺絲4，對所述法蘭3進行調節時，通過三點確定一個平面的原 理分別對所述法蘭3進行水平微調。對所述微調空心螺絲4進行微調時需要藉助本實用新型提供的空心螺帽5，所述 空心螺帽5的底端具有對應卡合至所述卡槽42的卡塊51，中部具有擋止部52以及頂端具 有操作部53 ；於本實施方式中，所述空心螺帽5的擋止部52的直徑大於所述第一螺孔31的 孔徑，以使所述空心螺帽5被旋動時不致於落入所述第一螺孔31中；所述空心螺帽的操作 部53呈六角螺帽結構，以適用於多種操作工具，當然，所述操作部53的形狀在其它的實施 方式中也可以根據需求而改變。所述球面墊座6位於所述微調空心螺絲4與所述可轉動臺面1之間，且所述球面 墊座6底面為平面，以貼合所述可轉動臺面1。於本實施方式中，所述球面墊座6具有凹形 球面61。所述球面墊圈7位於所述微調空心螺絲4與所述球面墊座6之間，所述球面墊圈 7容置於所述球面墊座6中；具體地，所述球面墊圈7與所述球面墊座6的凹形球面61相 吻合。也就是說，所述球面墊圈7即便在有些錯位的情況下，也始終與所述球面墊座6保持 面接觸。於具體的實施過程中，所述微調空心螺絲4的底端抵靠於所述球面墊圈7上；所述 球面墊圈7及球面墊座6容置於所述法蘭3的容置沉孔32，以保證所述法蘭3與可轉動臺面1之間不產生過盈幹涉。 所述緊固螺栓8依次穿過所述空心螺帽5、微調空心螺絲4、球面墊圈7及球面墊 座6鎖固於所述第二螺孔11，將所述空心螺帽5、微調空心螺絲4、球面墊圈7及球面墊座6 固定。為進一步突顯本實用新型之原理以及功效，請參閱圖3，圖3顯示為本實用新型的 晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構的結合示意圖。需要說明地是，本圖示中僅以所述法 蘭3周緣的三個螺孔中的一個進行說明，如圖所示，所述微調空心螺絲4旋設於所述第一螺 孔31，所述空心螺帽5蓋合於所述微調空心螺絲4，即所述空心螺帽5底端的卡塊51對應 卡合至所述卡槽42，以旋動時可對所述微調空心螺絲4旋進或旋出，進而調整所述法蘭3的 高度，於所述微調空心螺絲4旋設於所述第一螺孔31中時，所述微調空心螺絲4的底端抵 靠於所述球面墊圈7上，所述球面墊圈7容置於所述球面墊座6中，所述球面墊圈7與所述 球面墊座6保持面面接觸，所述緊固螺栓8依次穿過所述空心螺帽5、微調空心螺絲4、球面 墊圈7及球面墊座6鎖固於所述第二螺孔11，將所述空心螺帽5、微調空心螺絲4、球面墊 圈7及球面墊座6固定，因而，本實用新型與現有技術相比，由於微調元件和鎖固元件之間 相互獨立，以及採用了球面墊座及球面墊圈結構，不但使調節操作變得容易，也確保了調節 的精確度。請參閱圖4，圖4顯示為本實用新型的旋轉磨削吸盤與可轉動臺面的分解示意圖。 如圖所示，本實用新型中的法蘭3設置於所述可轉動臺面1上，且對應所述中心轉軸2還具 有一個驅動所述中心轉軸2轉動的馬達9，於馬達9工作時，進而帶動所述旋轉磨削吸盤於 所述可轉動臺面1上轉動。需要特別說明的是，由於所述可轉動臺面1上均勻分布有三個旋轉磨削吸盤，請 參閱圖5，圖5顯示為本實用新型的旋轉磨削吸盤的分布示意圖。本實施方式中僅以其中一 個旋轉磨削吸盤的調節結構為例進行的說明，於實際的調節過程中，均勻分布於所述可轉 動臺面1上的三個旋轉磨削吸盤均需要逐一調節，重要的是，需要確保該三個旋轉磨削吸 盤的調節保持一致，以確保對所述晶圓的磨削精度。綜上所述，本實用新型主要是由微調空心螺絲、空心螺帽、球面墊座、球面墊圈、以 及緊固螺栓相互配合，其中，藉由所述微調空心螺絲、空心螺帽、球面墊座以及球面墊圈用 於對法蘭進行微調，所述緊固螺栓用於最後固定，與現有技術相比，微調元件和鎖固元件之 間相互獨立，且由於本實用新型採用了球面墊座及球面墊圈不但使得調節容易操作，而且 還解決了現有技術中螺栓與工作檯的線接觸或點接觸而引起的調節不準及調節不牢固的 問題，即有效克服了現有技術中的種種缺點而具高度產業利用價值。上述實施例僅例示性說明本實用新型的原理及其功效，而非用於限制本實用新 型。任何熟習此技術的人士皆可在不違背本實用新型的精神及範疇下，對上述實施例進行 修飾或改變。因此，舉凡所屬技術領域中具有通常知識者在未脫離本實用新型所揭示的精 神與技術思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應由本實用新型的權利要求所涵蓋。
權利要求一種晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，包括可轉動臺面、設置於所述可轉動檯面上的法蘭，且所述法蘭周緣具有至少三個均勻分布的第一螺孔，所述可轉動臺面具有對應所述第一螺孔的第二螺孔，其特徵在於，所述調節機構還包括微調空心螺絲，旋設於所述第一螺孔，並具有對應所述第一螺孔的外螺紋，所述微調空心螺絲頂端具有卡槽；空心螺帽，底端具有對應卡合至所述卡槽的卡塊，中部具有擋止部以及頂端具有操作部；球面墊座，位於所述微調空心螺絲與所述可轉動臺面之間，且所述球面墊座底面為平面；球面墊圈，位於所述微調空心螺絲與所述球面墊座之間，所述球面墊圈容置於所述球面墊座中；以及緊固螺栓，依次穿過所述空心螺帽、微調空心螺絲、球面墊圈及球面墊座鎖固於所述第二螺孔。
2.如權利要求1所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於所述空心 螺帽的擋止部的直徑大於所述第一螺孔的孔徑。
3.如權利要求1所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於所述空心 螺帽的操作部呈六角螺帽結構。
4.如權利要求1所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於所述微調 空心螺絲的底端抵靠於所述球面墊圈上。
5.如權利要求1所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於連通所述 第一螺孔的底端具有容置沉孔，用於容置所述球面墊圈及球面墊座。
6.如權利要求1所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於所述球面 墊座具有凹形球面。
7.如權利要求6所述的晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，其特徵在於所述球面 墊圈與所述球面墊座的凹形球面相吻合。
專利摘要本實用新型提供一種晶圓背磨機的旋轉磨削吸盤調節機構，包括可轉動臺面、中心轉軸、及法蘭，所述法蘭周緣具有至少三個均勻分布的第一螺孔，所述可轉動臺面具有對應所述第一螺孔的第二螺孔，其主要包括旋設於所述第一螺孔的微調空心螺絲、用以對所述微調空心螺絲調節的空心螺帽，位於所述微調空心螺絲與所述可轉動臺面之間的球面墊圈及球面墊座，以及將所述空心螺帽、微調空心螺絲、球面墊圈及球面墊座鎖固的緊固螺栓，本實用新型與現有技術相比，微調元件和鎖固元件之間相互獨立，且採用了球面墊座及球面墊圈結構，不但使調節操作變得容易，還解決了現有技術中靠螺絲旋進旋出調節而引起的不精確及不牢固的問題。
文檔編號H01L21/00GK201552496SQ200920211039
公開日2010年8月18日 申請日期2009年10月21日 優先權日2009年10月21日
發明者盧建偉 申請人:昭進半導體設備(上海)有限公司