一種真空泵入口端管道及真空泵組件的製作方法

2023-05-27 13:51:11 1

專利名稱：一種真空泵入口端管道及真空泵組件的製作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空系統技術領域，尤其涉及一種真空泵入口端管道及真空泵組件。
背景技術：
真空反應腔在高科技工業生產中普遍存在，通常使用幹泵、分子泵作為抽真空設備，而且目前抽真空設備系統的管道走向設計基本上採用豎直走向。而發明人發現有些真空系統反應腔會產生大量副產物如液晶行業幹法刻蝕工序，其所產生的副產物會附著在入口端管道內壁上並且通常呈塊狀或淤泥狀，同時這些副產物會伴隨抽真空過程進入真空泵，這樣會造成幹泵經常性維修而且會使幹泵使用壽命縮短。

實用新型內容本實用新型的實施例提供一種真空泵入口端管道及真空泵組件，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的問題。為達到上述目的，本實用新型的實施例採用如下技術方案:第一方面，提供一種真空泵入口端管道，包括:一非水平設置的進氣管、一非水平設置的出氣管和至少一非水平設置的中間管；所述進氣管的下端與所述中間管的下端通過底管連通，所述中間管的上端與所述出氣管的上端通過頂管連通；所述進氣管的上端與外接腔體連接；所述出氣管的下端與真空泵連接。可選的，所述真空泵入口端管道具有至少兩個所述中間管；所述中間管與中間管之間通過至少一個所述底管或至少一個所述頂管連通。可選的，至少一個所述底管為沉積管。可選的，所述與沉積管腔體中軸線垂直的截面的截面積大於與所述進氣管腔體中軸線垂直的截面的面積。可選的，所述沉積管底部設置開口，所述開口處設置有可以開啟的密封蓋。可選的，所述沉積管底部下端開口與乾燥裝置連通，所述乾燥裝置內部設有乾燥齊U，所述乾燥裝置底部設置有可以開啟的密封蓋。可選的，所述乾燥裝置與所述沉積管底部連通處設置有帶孔隔離單元。可選的，所述帶孔隔離單元為金屬網。可選的，所述進氣管與所述外接腔體用法蘭連接；所述出氣管與所述真空泵用法蘭連接。可選的，所述出氣管的長度大於所述中間管的長度，且所述中間管的長度大於所述進氣管的長度。第二方面，提供一種真空泵組件，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中:[0021]所述真空泵入口端管道為第一方面中任一項所述的真空泵入口端管道。本實用新型的實施例提供的真空泵入口端管道及真空泵組件，通過將真空泵的入口端管道採用彎管式走向設計，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的情況發生。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型的實施例提供的一種真空泵入口端管道的結構示意圖；圖2為本實用新型的實施例提供的另一種真空泵入口端管道的結構示意圖；圖3為本實用新型的實施例提供的一種真空泵入口端走向的結構示意圖；圖4為本實用新型的實施例提供的又一種真空泵入口端管道的結構示意圖。附圖標記:1_進氣管；2_出氣管；3_中間管；4-頂管；5-底管；6_沉積管；7-真空泵；8_外接腔體；9_帶孔隔離單元；10-密封蓋；11-大肚式結構。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本實用新型保護的範圍。本實用新型的實施例提供一種真空泵入口端管道，參照圖1和圖3所示，包括:一非水平設置的進氣管1、一非水平設置的出氣管2和至少一非水平設置的中間管3 ；進氣管I的下端與中間管3的下端通過底管5連通，中間管3的上端與出氣管2的上端通過頂管4連通。進氣管I的上端與外接腔體8連接。出氣管2的下端與真空泵7連接。本實用新型的實施例提供的真空泵入口端管道，通過將真空泵的入口端管道採用彎管式走向設計，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的情況發生。進一步，參照圖2所示，本實用新型的實施例提供的真空泵入口端管道，還包括:真空泵入口端管道具有至少兩個中間管3 ；具體的，參照圖4所示，以中間管為三個且第一個底管為沉積管為例進行說明。中間管3與中間管3之間通過至少一個底管5或至少一個頂管4連通。具體的，在本實用新型中優選的中間管的數量為奇數個。其中，至少一個底管5為沉積管6。與沉積管6腔體中軸線垂直的截面的截面積大於與進氣管I腔體中軸線垂直的截面的面積，即沉積管為大肚式結構。沉積管6底部設置開口，開口處設置有可以開啟的密封蓋10。[0043]沉積管6底部下端開口與乾燥裝置連通，乾燥裝置內部設有乾燥劑，乾燥裝置底部設置有可以開啟的密封蓋10。乾燥裝置與沉積管6底部連通處設置有帶孔隔離單元9。其中，該帶孔隔離單元9為金屬網。具體的，金屬網在本實用新型的實施例中優選鐵絲網，當然並不只限於是鐵絲網。進氣管I與外接腔體8用法蘭連接；出氣管2與真空泵7用法蘭連接。出氣管2的長度大於中間管3的長度，且中間管3的長度大於進氣管I的長度。具體的，中間管3的長度大於兩倍的進氣管I的長度。其中，在實際的連接裝置中，出氣管的長度大於中間管的長度且中間管的長度大於兩倍的進氣管的長度，經過測量實驗，這對於防止副產物隨抽真空過程進入真空泵是最優的長度設計。具體的，該真空泵入口端管道的進氣管、中間管和出氣管可以是保證真空條件的鋼管或金屬波紋管。其中，底管和頂管的垂直距離應儘量大。其中，管道各個接口處均由O型密封圈連接，且外端通過法蘭固定。對於像液晶行業幹法刻蝕工藝會產生副產物，在運用真空系統的工序時，副產物會伴隨抽真空系統的過程進入管道，一部分副產物會附著在管道上呈淤泥狀或塊狀，一部分副產物會直接進入泵體，對於現有的幹泵入口端的管道設計為豎直走向，那些附著在管道上的副產物在重力作用及振動下會直接進入幹泵內部。而採用本實用新型提供的真空泵入口端管道，當塊狀或淤泥狀副產物進入彎管後會沉積在彎管的底部，由於中間管的長度較長，能夠有效的防止副產物隨抽真空過程進入出氣管進而進入幹泵。而且，因為沉積管為大肚式結構，保證了副產物堆積不會造成管道堵塞，從而保證管路暢通。同時，由於沉積管底部下端開口與乾燥裝置連通，乾燥裝置內部設有乾燥劑，可以對副產物進行乾燥。乾燥裝置底部設置的可以開啟的密封蓋，通過設備停機維護，可以定期對該段彎管進行拆卸清理，可以有效的清理堆積在管道中的副產物和吸收了水分的乾燥劑，從而對真空泵起到保護作用。當然，該真空泵入口端管道不只是應用於液晶行業幹法刻蝕工藝，對於具有類似製造工藝，會產生副產物並需要真空環境的生產工藝都適用。本實用新型的實施例提供的真空泵入口端管道，通過將真空泵的入口端管道採用彎管式走向設計，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的情況發生。進而，可以延長真空泵的使用壽命。本實用新型的實施例提供一種真空泵組件，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中:真空泵入口端管道為上述實施例中的真空泵入口端管道。本實用新型的實施例提供的真空泵組件，通過將真空泵的入口端管道採用彎管式走向設計，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的情況發生。進而，可以延長真空泵的使用壽命。以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式
，但本實用新型的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術範圍內，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護範圍之內。因此，本實用新型的保護範圍應以所述權利要求的保護範圍為準。
權利要求1.一種真空泵入口端管道，其特徵在於，包括:一非水平設置的進氣管、一非水平設置的出氣管和至少一非水平設置的中間管； 所述進氣管的下端與所述中間管的下端通過底管連通，所述中間管的上端與所述出氣管的上端通過頂管連通； 所述進氣管的上端與外接腔體連接； 所述出氣管的下端與真空泵連接。
2.根據權利要求1所述的真空泵入 口端管道，其特徵在於，所述真空泵入口端管道具有至少兩個所述中間管； 所述中間管與中間管之間通過至少一個所述底管或至少一個所述頂管連通。
3.根據權利要求1或2所述的真空泵入口端管道，其特徵在於， 至少一個所述底管為沉積管。
4.根據權利要求3所述的真空泵入口端管道，其特徵在於， 所述與沉積管腔體中軸線垂直的截面的截面積大於與所述進氣管腔體中軸線垂直的截面的面積。
5.根據權利要求3所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述沉積管底部設置開口，所述開口處設置有可以開啟的密封蓋。
6.根據權利要求5所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述沉積管底部下端開口與乾燥裝置連通，所述乾燥裝置內部設有乾燥劑，所述乾燥裝置底部設置有可以開啟的密封蓋。
7.根據權利要求6所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述乾燥裝置與所述沉積管底部連通處設置有帶孔隔離單元。
8.根據權利要求7所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述帶孔隔離單元為金屬網。
9.根據權利要求1所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述進氣管與所述外接腔體用法蘭連接； 所述出氣管與所述真空泵用法蘭連接。
10.根據權利要求1/2 / 4 9任一項所述的真空泵入口端管道，其特徵在於，所述出氣管的長度大於所述中間管的長度，且所述中間管的長度大於所述進氣管的長度。
11.一種真空泵組件，其特徵在於，包括真空泵入口端管道和真空泵，其中: 所述真空泵入口端管道為權利要求1 10中任一項所述的真空泵入口端管道。
專利摘要本實用新型的實施例提供一種真空泵入口端管道及真空泵組件，涉及真空系統的技術領域，提高了真空泵的使用周期，避免了不必要的設備停產的情況發生。該管道包括一非水平設置的進氣管、一非水平設置的出氣管和至少一非水平設置的中間管；所述進氣管的下端與所述中間管的下端通過底管連通，所述中間管的上端與所述出氣管的上端通過頂管連通；所述進氣管的上端與外接腔體連接；所述出氣管的下端與真空泵連接。本實用新型的實施例應用於真空泵管道。
文檔編號F16L9/00GK203082378SQ20132007897
公開日2013年7月24日 申請日期2013年2月20日 優先權日2013年2月20日
發明者蔣曉緯, 吳平, 關躍徵, 肖紅璽, 任志強 申請人:北京京東方光電科技有限公司