多層信息記錄介質的製造方法、多層信息記錄介質的製造裝置及多層信息記錄介質的製作方法

2023-05-27 10:13:46 2

專利名稱：：多層信息記錄介質的製造方法、多層信息記錄介質的製造裝置及多層信息記錄介質的製作方法
技術領域：
：本發明涉及層疊放射線固化性樹脂層而成的以再現或者記錄再現為目的的信息記錄介質及其製造方法，特別是涉及具有兩層以上的信息層的多層信息記錄介質、以及其製造方法和其製造裝置。
背景技術：
：近年來，隨著光學信息記錄方式的研究的進展，被廣泛應用於產業用和民生用途。特別是能夠以CD和DVD等高密度記錄信息的光信息記錄介質正在普及。這樣的光信息記錄介質構成為在形成有由表示信息信號的坑、用於跟蹤記錄再現光的引導槽等的凹凸形狀構成的信息面的透明基板上，層疊金屬薄膜、或者是可熱記錄的薄膜材料等，由此形成信息層，進而層疊保護該信息層不受大氣中的水分等影響的樹脂層或透明基板等的保護層。信息再現是通過將雷射照射到上述信息層，並檢測出反射光的光量變化等而完成的。例如在CD的情況下，通過在一面具有由凹凸形狀構成的信息面的厚度大約l.lmm的樹脂基板上層疊金屬薄膜或者薄膜材料等而形成信息層，之後塗敷以紫外線固化樹脂等為代表的放射線固化性樹脂而形成保護層，由此製作而成。另外，信息信號的再現不是從保護層側而是從基板側照射雷射來進行的。此外在DVD的情況下，通過在厚度大約0.6mm的樹脂基板上的由凹凸形狀構成的信息面上層疊金屬薄膜或者薄膜材料等而形成信息層，之後將另外準備的厚度大約0.6mm的樹脂基板通過紫外線固化樹脂粘貼，由此製作而成。另外，在這樣的光信息記錄介質中針對大容量化的要求提高，提出了在DVD等中實現信息層的多層化，信息層是夾著厚度幾十iim的中間層而構成的雙層構造的光信息記錄介質等。此外，隨著近年來數字高清播放的普及，要求與DVD相比進一步高密度且大容量的下一代光信息記錄介質，提出了通過在厚度l.lmm的基板上的由凹凸形狀構成的信息層上層疊金屬薄膜等而形成信息層，在信息層上形成有厚度大約0.1mm的保護層的Blu-ray盤等的大容量介質。在Blu-my盤中，與DVD相比，信息層的軌道間距也狹窄，此外，坑的大小也變小。因此，需要在信息層上較小地匯聚用來進行信息的記錄再現的雷射的光斑。在Blu-ray盤中，使用雷射的波長為405nm的短波長的藍紫雷射器，並且使用光頭，在信息層上較小地匯聚雷射的光斑(spot)，該光頭使用數值孔徑(NA)為0.85的物鏡作為匯聚雷射的物鏡。但是，如果光斑變小則容易受到由盤的傾斜所引起的影響，當盤稍微傾斜時則在雷射束光斑中產生像差，由此產生在匯聚了的雷射束中發生應變，無法進行記錄再現的課題。因此，在Blu-my盤中，通過使盤的雷射入射側的保護層的厚度減薄為O.lmm左右，來彌補該缺點。但是，在該Blu-my盤這樣的大容量的下一代光信息記錄介質中，也與DVD同樣，提出了通過信息層的多層化而使存儲容量變得大容量化。圖8表示具有兩個信息層的雙層Blu-ray盤的截面圖。在一面利用凹凸形狀形成有第一信息層202的成形樹脂基板201上，層疊金屬薄膜或者可熱記錄的薄膜材料，形成第一信息層203。在第一信息層203上形成有相對於記錄再現光大致透明的樹脂中間層204，在該樹脂中間層204上形成有由凹凸形狀構成的第二信息層205。在第二信息面205上層疊相對於記錄再現光具有半透過性的金屬薄膜或者可熱記錄的薄膜材料而形成第二信息層206。然後，以覆蓋第二信息層206的方式塗敷相對於記錄再現光大致透明的樹脂，形成保護層207。另外，這裡大致透明是指相對於記錄再現光具有大約90%以上的透過率，此外，半透明是指相對於記錄再現光具有10%以上、90%以下的透過率。該雙層Blu-ray盤中，從保護層207側射入雷射，在第一或第二信息層中，在進行記錄再現的信息層上對焦，由此能夠進行信號的記錄和再現6等。另夕卜，成形樹脂基板201的厚度被設定為大約l.lmm，樹脂中間層的厚度被設定為大約25um，保護層207的厚度被設定為大約75um。這樣的多層Blu-ray盤的製造方法一般通過如下方法實施。作為一個例子對雙層Blu-my盤的製造方法進行說明。圖9表示用於製作信息記錄介質的成形樹脂基板的金屬模、即壓模(stamper)的製作工序。首先，在由玻璃盤或矽晶片等構成的原盤301上塗敷光致抗蝕劑等的感光材料來製作感光膜302，使用雷射、電子束等曝光光束303，進行坑或引導槽等的圖案的曝光(參照圖9(a))。因此，形成由曝光部304構成的潛像(參照圖9(b))。之後如果利用鹼顯影液等除去曝光部304，則在原盤301上得到利用感光材料形成有凹凸狀圖案305的記錄原盤306(參照圖9(c))。在該記錄原盤306的表面使用濺射法、蒸鍍法等形成導電性的薄膜307。(參照圖9(d))。以該導電性薄膜307作為電極通過金屬電鍍等形成金屬板308(參照圖9(e))。接著，在感光膜302和導光性薄膜307的交界，剝離導電膜307和金屬板308，用除去材料等除去在導電膜307表面殘留的感光材料，通過以與成形機一致的內外徑進行衝壓成形，由此製作成樹脂基板的成形用的金屬模即金屬壓模309。(參照圖9(f))。接著，使用金屬壓模309利用射出成形法等的樹脂成形方法，形成樹脂基板。作為基板材料多使用成形性優異的聚碳酸酯等材料。然後，使用用如專利文獻1所示那樣的旋塗法等的樹脂層的形成工序，進行樹脂層的層疊。另外，上述專利文獻l的所有公開都是原封不動地引用，在此將它們一體化。圖10(a)圖10(i)是表示由使用旋塗法的樹脂中間層、和保護層的製作工序構成的雙層盤的製作工序的圖。具有由在一面具有凹凸形狀的坑、引導槽所形成的第一信息面的厚度大約l.lmm的成形樹脂基板401，通過使用了金屬壓模309的射出成形法等的樹脂成形法而形成。而且，通過濺射法、蒸鍍法等在該第一信息面上形成金屬薄膜、可熱記錄的薄膜材料等，形成第一信息層402。通過真空吸附等方法將形成有該第一信息層402的成形樹脂基板401固定在旋轉臺403上(參照圖10(a))。在固定於旋轉臺403的成形樹脂基板401上的第一信息層402上，利用分配器(dispenser)將放射線固化性樹脂C(404)按同心圓狀塗敷在所希望的半徑上(參照圖10(b))，通過使旋轉臺403旋轉來進行放射線固化性樹脂C(404)的延伸，形成樹脂層406(參照圖10(c))。此時，通過任意設定放射線固化性樹脂C(404)的粘度或旋轉的轉速、以及旋轉時間、旋轉的周圍的氣氛(例如溫度、溼度等)，能夠將樹脂層406的厚度控制在所希望的厚度。在旋轉停止之後，通過放射線照射機405的放射線照射將樹脂層406固化。接著，使用圖9(f)所示那樣的金屬壓模309利用射出成形法形成用於形成第二信息面的轉印壓模407。通過真空吸附等將該轉印壓模407固定在旋轉臺408上。在固定於旋轉臺408的轉印壓模407上利用分配器將放射線固化性樹脂D(409)按同心圓狀塗敷在所希望的半徑上(參照圖10(d))，通過使旋轉臺408旋轉來進行放射線固化性樹脂D(409)的延伸，形成樹脂層411(參照圖10(e))。如上所述那樣能夠將樹脂層411的厚度控制在所希望的厚度。在旋轉停止之後，通過放射線照射機410的放射線照射將樹脂層411固化。接著，這樣形成有樹脂層406的成形樹脂基板401和形成有樹脂層411的轉印壓模407，在旋轉臺413上，以各自的樹脂層406和樹脂層411相對向的方式隔著放射線固化性樹脂E(412)疊加(參照圖10(f))。通過在像這樣使樹脂層406和411一體化的狀態下旋轉旋轉臺413，能夠延伸放射線固化性樹脂E(412)，形成被控制在所希望的厚度的樹脂層414。之後，利用放射線照射機415照射放射線而使其固化(參照圖10(g))。在通過放射線固化性樹脂E(412)使成形樹脂基板401和轉印壓模407—體化之後，在轉印壓模407和由放射線固化性樹脂D(409)形成的樹脂層411的交界，通過剝離轉印壓模407，在成形樹脂基板401的上面形成第二信息層(參照圖10(h))。在通過濺射法、蒸鍍法等在該第二信息面上形成金屬薄膜、可熱記錄的薄膜材料等，形成第二信息層416之後，利用同樣的旋塗法塗敷放射線固化性樹脂F並使其放射線固化，由此形成保護層417(參照圖10(i))。根據情況的不同，也存在從保護層的上面形成用於防止傷害、指紋的附著等所引起的保護層表面的缺陷的硬質塗層等。這樣完成雙層Blu-ray盤。另外，這裡所使用的放射線固化性樹脂C(404)，使用與第一信息層402、由放射線固化性樹脂E(412)形成的樹脂層414的粘結性良好的材料。此外，由放射線固化性樹脂D(409)形成的樹脂層411使用與轉印壓模407的剝離性良好，並且與由放射線固化性樹脂E(412)形成的樹脂層414的粘結性良好的材料。此外，這些放射線固化性樹脂C、D、E、F使用相對於記錄再現光的波長大致透明的材料。此外，雖然在此對使用4種類的放射線固化性樹脂的樹脂中間層的製作工序進行了說明，但也存在根據轉印壓模的材料的選定等控制與放射線固化性樹脂的剝離性等，由此減少了放射線固化性樹脂的種類的更簡單的方法。此外，作為樹脂層的形成方法，不但提出了在此所示的旋塗法，還提出了絲網印刷法等。在該方法中，形成放射線固化性樹脂層的部分只是從旋塗法變成絲網印刷法，對於其它的工序都經過幾乎同樣的工藝。專利文獻1:特開2002-092969號公報但是，在利用旋塗法形成樹脂中間層的情況下，以僅在某個特定的區域進行樹脂的供給、延伸所利用的離心力根據半徑位置而不同等為主要原因，存在難以形成厚度均勻的放射線固化性樹脂層的課題。此外，由於樹脂到達成形樹脂基板的外周端面，所以存在受到端面的表面張力的影響，樹脂層在最外周部隆起的課題。進而，由於旋塗法容易受到被塗敷面的凹凸的影響，所以在製造例如具有三層或四層的信息層的多層信息記錄介質等時、或形成保護層時，在預選形成的樹脂中間層的上面進行旋塗。因此，有厚度均勻性進一步惡化的可能性。9此外，在使用旋塗法的情況下，每塗敷一次放射線固化性樹脂，需要10秒左右的時間，這也成為在多層信息記錄介質的製造中使生產效率降低的主要原因。此外，在旋塗法的情況下，由於在基板上一邊部分地甩開滴下的樹脂一邊形成樹脂層，所以需要滴下比與實際上在基板上形成的樹脂中間層所需要的樹脂量更多的樹脂。因此，由於被甩開的樹脂就那樣被廢棄，或者需要經過循環等的新的工藝而再利用，所以這也成為導致生產性降低的主要原因。此外，在通過絲網印刷法進行的樹脂中間層的形成工序中，與旋塗法相比易於實現均勻的厚度。但是，由於在塗敷時網板與信息層、轉印壓模的信息面等接觸，所以存在直接或間接地對信息層造成損傷或產生垃圾等的課題。此外，在絲網印刷法中，由於僅從在網板上開孔的部分供給樹脂，所以還存在在不供給樹脂的部分易於混入氣泡等的課題。進而，在絲網印刷法中，為了在所希望的區域塗敷樹脂，需要設置掩模以遮蔽所希望的塗敷區域以外的部分，也需要使與被塗敷面的機械的位置精度等精度良好地配合。此外，在絲網印刷法中，與旋塗法的情況同樣，需要供給比實際上在基板上形成的樹脂中間層所需要的樹脂量更多的樹脂。因此，由於對於未被使用的樹脂，不是被廢棄，就是需要經過循環等新的工藝而再利用，所以也成為導致生產性降低的主要原因。作為這些解決與旋塗法、絲網印刷法等相關的課題的一個手段，考慮在所希望的塗敷區域不需要特別的掩模等，能夠以非接觸的方式進行塗敷的噴墨(ink-jet)法的塗敷方法。所謂噴墨法是從噴嘴噴出從體積lpL到lnL左右的微小液滴的技術，將該噴出所使用的噴嘴叫做噴墨噴嘴。圖11是以截面圖表示噴墨噴嘴的代表性的結構例的圖。另外，從圖中省略噴出的噴出液的供給路和液箱等。圖11(a)是利用壓電元件等的振動元件502壓出噴出液501進行噴出的類型，被叫做壓電方式噴墨噴嘴的圖。圖ll(b)是通過使用加熱器503使噴出液瞬間沸騰，以加熱器附近的噴出液504的體積膨脹為動力源進行噴出的類型，被叫做熱方式的圖。除此之外，還有各種各樣噴出樹脂的方法，但所共同的是，由於採用從小徑的噴墨噴嘴噴出微小液滴的結構，所以只能噴出噴出液的粘度為低粘度的噴出液。這並不意味著常溫下的液箱內的噴出液的粘度，嚴格地說是噴墨噴嘴的噴出孔周邊的樹脂粘度。因此，例如也存在使用通過利用加熱器等對噴墨噴嘴的噴出口附近進行加熱，使噴出液粘度降低而噴出的方法等的情況。在現在一般所使用的或者出售的噴墨噴嘴中，能夠噴出噴出液的噴出口附近的粘度是從幾mPa's到幾十mPa，s左右。因此，在噴墨法的樹脂中間層的製作中，由於噴出低粘度的樹脂，在塗敷之後易於產生樹脂的流動等，此外，由於如上所述那樣只能噴出從體積lpL到lnL左右的微小液滴，所以塗敷超過例如10"m那樣厚度的樹脂層是非常困難的。為了在這樣的噴墨法中形成超過10um那樣厚度的樹脂層，需要在能夠從噴墨噴嘴噴出的範圍內，儘量塗敷高粘度的樹脂。但是，在以微小液滴的集合體形成的基於噴墨法的樹脂層中，如果粘度變得過高則出現依存於液滴著落圖案的細微的厚度分布，也成為使表面的平滑性惡化的主要原因。這樣的樹脂中間層的表面平滑性的惡化，導致如Blu-my盤那樣在樹脂中間層形成有信息層的表面平滑性的惡化，成為使信息的記錄再現時的聚焦控制不穩定的主要原因。雖然通過設置某一定的水平測量時間(levelingtime)也能夠使樹脂層表面的平滑性提高，但水平測量時間越長則生產性變得越低。
發明內容本發明正是為了解決這些現有的噴墨法中的課題，其目的在於提供一種即使是超過例如10um那樣厚度的樹脂層，也能夠製作均勻的所希望的厚度的樹脂中間層，並且實現良好的表面平滑性，具有良好的信號特性的多層信息記錄介質的製造方法、多層信息記錄介質的製造裝置、以及多層信息記錄介質。為了解決上述課題，第一本發明的多層信息記錄介質的製造方法，其是至少具有基板、在上述基板的上面配置的多個信息層、在上述信息層之間配置的樹脂中間層、和在上述信息層上設置的保護層的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於，包括噴墨塗敷工序，上述樹脂中間層的形成，是一邊使上述基板和噴墨頭的至少任一方相對移動，一邊使至少兩個種類以上的粘度不同的固化性樹脂層疊塗敷到上述基板上；和在上述固化性樹脂上轉印形成信息面的工序。由此，能夠製造具有厚度分布均勻且表面平滑性也優異的樹脂中間層的多層信息記錄介質。通過使用該方法，能夠形成超過例如10um那樣的厚膜樹脂層。此外，第二本發明也可以是上述噴墨頭中的上述固化性樹脂的噴出寬度，是成為與上述噴墨頭的運行方向垂直的關係的上述基板的寬度以上的上述第一本發明的多層信息記錄介質的製造方法。根據該結構，在使塗敷對象物或者噴墨頭的任一方相對移動時，相對於塗敷對象物上的所有塗敷區域，能夠通過一次相對移動滴下樹脂。此外，第三本發明也可以是上述固化性樹脂，在每次塗敷到上述基板上後被固化，在固化後塗敷下一上述固化性樹脂的上述第一或者第二本發明的多層信息記錄介質的製造方法。根據該結構，能夠控制被塗敷的樹脂的必要以上的流動，能夠實現均勻的厚度分布。此外，第四本發明也可以是上述固化性樹脂從粘度高的一方開始依次塗敷的上述第一到第三中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。通過使用該方法，由更易於水平測量的低粘度的放射線固化性樹脂形成樹脂層的表層，能夠得到良好的表面平滑性。此外，第五本發明也可以是上述固化性樹脂從粘度低的一方開始依次塗敷的上述第一到第三中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。通過使用該方法，在用最初塗敷的低粘度的放射線固化性樹脂使被塗敷面的表面平滑性變得良好之後，通過塗敷高粘度樹脂，能夠得到良好的12表面平滑性。此外，第六本發明也可以是作為上述固化性樹脂，使用在上述噴墨頭的噴出時粘度從5mPa's到20mP&s的範圍內的樹脂的上述第一到第五中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。通過設定在範圍內能夠用噴墨頭噴出穩定的放射線固化性樹脂。此外，第七本發明也可以是在上述基板上層疊塗敷的上述固化性樹脂的第(n+l)次塗敷區域在第n次塗敷區域內(其中，n是l以上的正整數)的上述第一到第六中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。根據該結構，在由粘度高的放射線固化性樹脂塗敷的情況下，即使之後層疊塗敷的低粘度樹脂流動也能夠抑制從塗敷區域露出，此外，在從粘度低的放射線固化性樹脂塗敷的情況下，在以在前塗敷的低粘度樹脂得到良好的表面平滑性的塗敷區域內，能夠進行之後的層疊塗敷，能夠得到良好的表面平滑性。此外，第八本發明也可以是上述固化性樹脂的粘度越高，滴下到上述基板的上述固化性樹脂的液滴的每單位面積的滴下數量越多的上述第一到第七中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。此外，第九本發明也可以是上述固化性樹脂的每單位面積的滴下數量被設定在從180dpiX180dpi到540dpiX540dpi的範圍內的上述第一到第八中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。此外，第十本發明也可以是上述固化性樹脂的每單位面積的滴下數量被設定在從180dpiX180dpi到720dpiX720dpi的範圍內的上述第一到第八中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。此外，第十一本發明也可以是在上述噴墨塗敷工序中，用具有相同結構的多個上述噴墨頭進行塗敷的上述第一到第十中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。根據該結構，裝置成為更簡單的結構。此外，第十二本發明也可以是上述固化性樹脂是放射線固化性樹脂的上述第一到第十一中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法。此外，第十三本發明是一種多層信息記錄介質的製造裝置，其用於一邊使基板和噴墨頭的至少任一方相對移動，一邊向上述基板噴出固化性樹13脂，其特徵在於，包括按照噴出的上述固化性樹脂的不同種類的每一種設置的多個上述噴墨頭，在上述基板上層疊塗敷上述固化性樹脂。通過使用該裝置，層疊塗敷粘度不同的多個放射線固化性樹脂，能夠實現厚膜。此外，第十四本發明也可以是上述噴墨頭中的上述固化性樹脂的噴出寬度，是成為與上述噴墨頭的運行方向垂直的關係的上述基板的寬度以上的上述第十三本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。此外，第十五本發明也可以是上述噴墨頭的噴嘴解析度在從180npi到540npi的範圍內的上述第十三或第十四本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。此外，第十六本發明也可以是上述噴墨頭的噴嘴解析度在從180npi到720npi的範圍內的上述第十三或第十四本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。.另外，噴嘴解析度是指每1英寸的噴嘴數量，例如180叩i是每長度l英寸配置180個噴嘴的噴墨頭。噴嘴可以配置成一列，也可以配置成多列。此外，第十七本發明也可以是多個上述噴墨頭具有相同結構的上述第十三到第十六中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。此外，第十八本發明也可以是在上述基板上層疊塗敷的上述固化性樹脂的第(n+l)次塗敷區域設定在第n次塗敷區域內(其中，n是l以上的正整數)的上述第十三到第十七中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。此外，第十八九本發明也可以是上述固化性樹脂是放射線固化性樹脂的上述第十三到第十八中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造裝置。由此，能夠製造具有厚度分布均勻且表面平滑性也優異的樹脂中間層的多層信息記錄介質。此外，第二十本發明也可以是使用上述第一到第十二中任一個的本發明的多層信息記錄介質的製造方法製作而成的多層信息記錄介質。根據本發明，在一邊使塗敷對象物和噴墨頭的至少任一方相對移動，一邊向塗敷對象物噴出放射線固化性樹脂的噴墨塗敷方法中，通過層疊塗敷至少兩個種類以上的粘度不同的固化性樹脂，能夠形成超過例如lOum那樣的厚膜樹脂層，並且利用這些粘度不同的放射線固化性樹脂的特性，能夠形成厚度分布均勻且表面平滑性也優異的樹脂中間層。圖1(a)(c)是表示使用本發明的實施方式1中的多層信息記錄介質的製造裝置(噴墨塗敷裝置)的塗敷照射工序的一例的圖。圖2(a)(d)是表示向本發明的實施方式1中的樹脂中間層轉印的信息面的轉印工序的一例的圖。圖3(a)是說明本發明的實施方式l中第一次塗敷的塗敷區域的圖。圖3(b)是說明本發明的實施方式1中第二次塗敷的塗敷區域的圖。圖4(a)(c)是說明本發明的實施方式1中的噴墨噴嘴的噴嘴配置的一例的圖。圖5(a)(b)是表示本發明的實施方式1中的成形樹脂基板和噴墨噴嘴單元的關係的圖。圖6是說明本發明的實施方式1中的噴墨噴嘴的結構的圖。圖7是表示本發明的實施方式3中的多層信息記錄介質的結構的一例的截面圖。圖8是雙層Blu-ray盤的截面圖。圖9(a)(f)是表示現有的壓模的製作工序的圖。圖10(a)(i)是表示由使用現有的旋塗法的樹脂中間層以及保護層的製作工序構成的雙層盤的製作工序的圖。圖11(a)(b)是噴墨噴嘴的代表性的結構例的截面圖。圖中101成形樹脂基板102第一信息層103臺(stage)104噴墨頭單元106噴墨頭107放射線固化性樹脂A的微小液滴108加熱器109加熱器110放射線照射單元111放射線固化性樹脂B的微小液滴201成形樹脂基板202第一信息面203第一信息面204樹脂中間層205第二信息面206第二信息層207保護層301原盤302感光膜303曝光光束304曝光部305凹凸狀圖案306記錄原盤307導電性薄膜308金屬板309金屬壓模401成形樹脂基板402第一信息層403旋轉臺404放射線固化性樹脂C405放射線照射機406樹脂層407轉印壓模16408旋轉臺409放射線固化性樹脂D410放射線照射機411樹脂層412放射線固化性樹脂E413旋轉臺414樹脂層415放射線照射機416第二信息層417保護層501噴出液502壓電元件等的振動元件503加熱器504噴出液601成形樹脂基板602第一信息層603第一樹脂中間層604第二信息層605第二樹脂中間層606第三信息層607第三樹脂中間層608第四信息層609保護層701成形樹脂基板702信息層703放射線固化性樹脂704轉印壓模705中心凸起706加壓板707真空腔室708真空泵709放射線照射裝置801成形樹脂基板802被塗敷照射的區域803噴墨頭單元804噴墨頭單元901噴墨噴嘴902噴墨頭1001噴墨噴嘴1002噴墨頭1003成形樹脂基板1101成形樹脂基板1102第一次塗敷區域1103第二次塗敷區域具體實施例方式以下，參照附圖對本發明的實施方式進行說明。(實施方式1)在本實施方式1中，以圖8所示那樣的具有兩個信息層的雙層信息記錄介質的製造方法作為一例進行說明。在一面以凹凸形狀形成有第一信息面202的成形樹脂基板201上，層疊金屬薄膜或可熱記錄的薄膜材料，形成第一信息層203。在第一信息層203上形成有相對於記錄再現光大致透明的樹脂中間層204，在該樹脂中間層204上形成有由凹凸形狀構成的第二信息面205。在第二信息面205上層疊相對於記錄再現光具有半透過性的金屬薄膜或可熱記錄的薄膜材料，形成第二信息層206。然後，以覆蓋第二信息層206的方式塗層相對於記錄再現光大致透明的樹脂，形成保護層207。另外，這裡所說的大致透明是指相對於記錄再現光具有大約卯％以上的透過率。此外，半透明是指相對於記錄再現光具有10%以上、90%以下的透過率。該雙層Blu-ray盤從保護層207側射入雷射，通過在第一或者第二信息層之中，在進行記錄再現的信息層進行對焦，能夠進行信號的記錄和再現等。另外，成形樹脂基板201的厚度被設定為大約l.lmm，樹脂中間層的厚度被設定為大約25um，保護層207的厚度被設定為大約75um。成形樹脂基板201，以與CD或DVD等那樣的光碟具有形狀的互換的方式，由外徑O120mm、中心孔徑015mm、厚度為1.01.1mm的聚碳酸酯、丙烯酸類樹脂構成的圓板而形成，通過使用圖9(f)所示的金屬壓模的射出成形法等進行的樹脂成形，形成在一面按凹凸的方式形成引導槽等的信息面。在本實施方式l中，使用聚碳酸酯進行製作。第一信息層203，在信息記錄介質為再現專用介質的情況下，至少具有反射再現光的特性即可，例如使用濺射、蒸鍍等方法包含A1、Ag、Au、Si、Si02、Ti02等的反射材料而形成。此外，在信息記錄介質為可記錄介質的情況下，由於需要通過記錄光的照射寫入信息，所以至少包含例如GeSbTe等的相變化材料、例如酞花菁等的有機色素等的記錄材料構成的層，也可以根據需要，包含反射層、邊界層等，使記錄再現特性提高的層。也能夠與上述同樣地形成第二信息層206。由於通過將記錄再現光從保護層207側射入到各信息層來進行記錄再現，所以第二信息層206構成為與第一信息層203相比相對於記錄再現光的波長的透過率較高。此外，樹脂中間層204相對於記錄再現光大致透明，例如能夠使用以丙烯酸為主成分的紫外線固化樹脂、或者是環氧類的紫外線固化樹脂等的放射線固化性樹脂等。另外，這裡所說的大致透明是指相對於記錄再現光的波長具有大約90。％以上的透過率，進一步優選具有95%以上的透過率的材料。樹脂中間層204的製作方法包括使用後面說明的噴墨塗敷方法將液狀的放射線固化性樹脂塗敷在第一信息層203上的工序(參照圖1(a)圖l(c))、和利用具有坑或引導槽等的信息面的轉印壓模，將信息面轉印到放射線固化性樹脂上的工序(參照圖2(a)圖2(d))。圖2是表示向本發明的實施方式1中的樹脂中間層轉印信息面的轉印工序的一例的圖。使用本發明的噴墨塗敷方法，完成了向信息層702上塗敷放射線固化性樹脂703而得到的成形樹脂基板701，被搬送到真空腔室707中。此時，轉印壓模704也配置在真空腔室707內(參照圖2(a))。轉印壓模704使用與放射線固化性樹脂的剝離性良好的材料即聚烯烴材料，厚度形成得比成形樹脂基板薄，例如0.6mm。這是因為目的在於在從厚度為l.lmm的成形樹脂基板剝離轉印壓模時利用由基板厚度的不同而引起的剛性差，使轉印壓模翹曲而剝離。聚烯烴材料是能夠容易地製作信息面的材料，該信息面與成形樹脂基板同樣，使用現有的金屬壓模利用射出成形等方法在一面以凹凸形成有坑、引導槽等。進而，由於聚烯烴材料相對於紫外線等的放射線的透過率也高，所以通過轉印壓模進行放射線照射，由此能夠使放射線固化性樹脂有效地固化，並且與固化了的放射線固化性樹脂的粘合力小，能夠在固化後從與放射線固化性樹脂的交界面容易地剝離。在轉印壓模704的中心設置有用於防止通過中心凸起705與成形樹脂基板701偏心的中心孔。真空腔室707內，通過迴轉泵、渦輪分子泵等的真空泵708進行排氣，在短時間內處於真空氣氛。在本發明的實施方式1中真空腔室707內的壓力達到100Pa以下的真空度時，使轉印壓模704與成形樹脂基板701重合(參照圖2(b))。此時，在轉印壓模704的上部設置的加壓板706對轉印壓模704進行加壓，將轉印壓模上的信息面轉印到放射線固化性樹脂703上。由於真空腔室內為真空氣氛，所以在放射線固化性樹脂703和轉印壓模704之間不會混入氣泡而粘合在一起。粘合在一起的成形樹脂基板701和轉印壓模704在真空腔室內部或者被取出之後，利用放射線照射裝置709通過轉印壓模704照射放射線(參照圖2(c))。之後，在轉印壓模和成形樹脂基板之間打入楔子，或者吹入壓縮空氣等，從放射線固化性樹脂和轉印壓模的交界剝離轉印壓模(參照圖2(d))。這樣，形成被轉印了信息面的第一樹脂中間層703a(與圖8的樹脂中間層204相當)。另外，除了在此敘述的之外，存在作為轉印壓模使用例如金屬等不同的材料，從成形樹脂基板側照射放射線，使信息面轉印到放射線固化性樹脂上的各種方法，但不論在使用哪個方法的情況下，都不會限制本發明的效果。此外，保護層207(參照圖8)相對於記錄再現光大致透明，例如能夠使用以丙烯酸為主成分的紫外線固化性樹脂、或者是環氧類的紫外線固化性樹脂等的放射線固化性樹脂等。這裡所說的大致透明是指相對於記錄再現光的波長具有大約90%以上的透過率，進一步優選具有95%以上的透過率的材料。作為保護層207的形成方法，考慮旋塗法、絲網印刷法、凹版印刷法、本發明的噴墨法等各種方法。作為保護層207的形成方法，最優選使用與樹脂中間層的製作工序相同的方法，例如在利用本發明的噴墨法塗敷樹脂中間層的情況下，最優選保護層的製作也使用噴墨法。此外，作為保護層的形成方法，不僅可以通過放射線固化性樹脂的塗敷而形成，而且還可以通過粘接劑等將例如聚碳酸酯樹脂、丙烯酸樹脂等構成的片狀的材料粘合而形成。此外，本發明的實施方式1中的多層信息記錄介質使用雷射405nm的藍紫雷射，使用NA為0.85的物鏡從保護層207側向各信息層匯聚光束並進行記錄再現。為了減少盤傾斜的影響，將從保護層207表面到第一信息層203的厚度設定為大約O.lmm。該樹脂中間層的厚度的設計值是一個例子，即使是其它厚度的設計值也不會改變本發明的效果。以上，對本發明的實施方式l中的多層信息記錄介質的結構和製造方法的概要進行了簡單的敘述，但本發明的多層信息記錄介質的製造方法，在樹脂中間層或者保護層的形成方法方面有特徵，因此，即使通過其它的結構或製造方法也不會限制本發明的範圍。在此之後，關於本發明的實施方式1中的多層信息記錄介質的製造方法，特別以樹脂中間層的製作方法為中心進行詳細說明。圖1(a)(c)是表示使用本發明的實施方式1中的多層信息記錄介質的製造裝置(噴墨塗敷裝置)的放射線固化性樹脂的塗敷工序的一例的圖。首先，如圖1(a)所示，將在一面形成有第一信息層102的成形樹脂基板101通過真空吸附等固定在臺103上。在成形樹脂基板101的上方配置有由至少兩個以上的噴墨頭構成的噴墨頭單元104。臺103和噴墨頭單元104能夠相對移動。在此說明將臺103固定，使噴墨頭單元104平行移動而進行塗敷的方法。但是，只要臺103和噴墨頭單元104相對移動即可，相反地也可以使臺103平行移動，或者也可以使兩者都移動。一邊使噴墨頭單元104相對於臺103相對平行移動，一邊將成為了微小液滴的放射線固化性樹脂A(107)從一個噴墨頭105滴下到成形樹脂基板101上。此外，在噴墨頭105、106上分別設置有加熱器108、109，能夠分別獨立加熱噴墨頭內的樹脂而使樹脂的粘度降低。在將放射線固化性樹脂A(107)塗敷到成形基板101上的塗敷區域後，在放射線照射單元110的下面，使臺103移動，照射放射線，使塗敷的放射線固化性樹脂A(107)固化(參照圖1(b))。作為放射線照射單元，在此使用紫外線燈。作為紫外線燈有金屬滷化物水銀燈、高壓水銀燈、氙氣燈等各種燈，但在此使用氙氣燈。但是，與塗敷所使用的放射線固化性樹脂相配合，需要選擇照射的放射線的波長等，燈的種類並不限定於此。此外，也可以使放射線照射的區域完全固化，即使不完全固化但只要固化至以其為標準的狀態也能夠控制樹脂的流動。這裡所說的以完全固化為標準的狀態是指成為凝膠狀或10000mPa，s以上的粘度的狀態。之後，使臺103再次向噴墨頭單元104的下方移動，使用另一個噴墨頭106將與放射線固化性樹脂A107粘度不同的放射線固化性樹脂Bill滴下塗敷到已固化的放射線固化性樹脂A的塗敷區域上(參照圖1(c))。這樣，對於每種粘度不同的放射線固化性樹脂，分別設置噴墨頭，進行層疊塗敷。此外，在像這樣進行層疊塗敷時，如圖3(a)(b)所示，在成形樹脂基板1101上塗敷放射線固化性樹脂的塗敷區域滿足下述條件。即，以22在後塗敷的塗敷區域1103收納在在其之前塗敷的塗敷區域1102的內側的方式進行塗敷。其理由是與在成形樹脂基板、信息層上塗敷放射線固化性樹脂的情況相比，在已固化的放射線固化性樹脂上層疊放射線固化性樹脂並進行塗敷的情況，其塗敷面中的樹脂的流動性更高。S卩，如果以與在前塗敷的樹脂的塗敷區域相同的大小，或者其以上的區域，塗敷在後塗敷的樹脂，則在後塗敷的樹脂露出到所希望的塗敷區域外，成為厚度變動的主要原因。層疊塗敷的次數為3次以上的情況也相同，優選在在前塗敷的塗敷區域內進行塗敷。此外，在此，使用兩個種類的放射線固化性樹脂進行說明，但即使使用三種以上的放射線固化性樹脂也沒有問題。在使用三種以上的放射線固化性樹脂的情況下，僅針對使用樹脂的種類，設置各噴墨頭即可。另外，如果樹脂為相同的種類，則噴墨頭也可以是一個，對於每個不同的粘度也可以分別設置噴墨頭。即使在噴墨頭為一個的結構的情況下，也可以利用在噴墨頭的噴出口附近設置的加熱器，改變粘度。但是，為了縮短塗敷時間(tacttime)，即使是相同的樹脂，最好是分別設置與粘度的種類的數量相對應的噴墨頭。這是因為不等基於加熱器的溫度上升，就迅速進行多層的塗敷。此外，在樹脂種類不同的情況下，為了不使各個樹脂混合，最好分別設置噴墨頭。通過反覆如上所述的圖1(a)圖1(c)的塗敷工序，能夠層疊塗敷樹脂，能夠形成所希望厚度的薄膜。在製作樹脂中間層的情況下，如上所述，由於向樹脂中間層轉印信息面的轉印工序(參照圖2(b)、圖2(c))，設置在上述塗敷工序(參照圖1(a)圖1(c))之後，所以在上述塗敷工序的最後塗敷的放射線固化性樹脂層沒被固化，或者固化至可轉印信息面的程度，轉移到圖2說明的信息面的轉印工序(參照圖2(b)、圖2(c))。另外，在該塗敷工序與保護層的製作工序相當的情況下，由於不需要通過信息層的轉印工序，所以能夠使最後塗敷的放射線固化性樹脂層完全固化。接著，對噴墨頭105、106的結構進行說明。在噴墨頭105、106上設有至少一個以上的噴墨噴嘴。該噴墨噴嘴一般在列印或描繪用的印刷機中使用。雖然噴墨噴嘴能夠噴出以顏料、染料等為主成分的墨的微小液滴，但這些噴墨技術正朝著製作儘量微小的液滴、例如幾pL左右的液滴，將其高精度地滴下，實現解析度(resolution)更高的印刷的方向進行開發。但是，在本發明中由於需要形成例如lO"m以上的比較厚的樹脂層，所以優選使用能夠噴出儘量大的液滴的噴墨噴嘴。例如優選使用能夠噴出幾pL左右的大液滴的噴墨噴嘴。現在，作為一般能夠得到的印刷機用噴墨噴嘴，有微小液滴的體積為550pL左右、能夠噴出的對應樹脂粘度在噴出部周邊為520mPa，s左右、而且動作頻率為lkHz20kHz左右的噴墨噴嘴。此外，雖然也考慮使用一個噴墨噴嘴的噴墨頭，但由於設置多個噴墨噴嘴比較簡單，所以例如圖4(a)所示，具有相對於噴墨頭的掃描方向垂直的方向一列排列，來設置噴墨頭的結構。或者是如圖4(b)所示，有將其進一步在掃描方向多列排列的方法，或者是如圖4(c)所示，一邊將噴嘴901的位置稍微錯開一邊多列排列的方法。該噴墨頭中的噴嘴結構能夠用被叫做噴嘴解析度的指標表示。噴嘴解析度是指每單位長度設置的噴嘴的個數，例如能夠將每一英寸的噴嘴個數用單位叩i(nozzulperinch)表不。在本發明的實施方式1中，作為噴墨頭105、106使用相同結構的噴墨頭，噴嘴解析度使用540npi的噴墨頭。雖然不使用相同結構的噴墨頭也沒有關係，但使用相同結構的噴墨頭，不需要準備對於每個樹脂不同的噴墨頭，裝置成為更簡單的結構。在本發明的實施方式1中，為了能夠一次塗敷作為塗敷對象物的成形樹脂基板101的直徑為120mm的長度，優選在相對於噴墨頭的掃描方向垂直的方向至少一列、以120mm以上的寬度直線狀排列噴嘴的結構。如圖5(a)所示，也能夠用與噴墨頭的運行方向垂直的方向的塗敷對象物的長度(作為塗敷對象物的成形樹脂基板801的直徑即120mm)相比噴出寬度窄的噴墨頭803進行塗敷。但是，在這種情況下，無法在一次的噴墨頭的運行中塗敷塗敷區域，24此外，將噴墨頭錯開噴墨頭的寬度量並幾次在基板上掃描塗敷。因此，存在被塗敷的塗敷區域的各個連接位置產生厚度分布，或者在後塗敷的樹脂的飛沫等飛散到在前塗敷的塗敷區域上的情況，所以是不優選的。因此，如圖5(b)所示，優選噴墨頭構成為比成形樹脂基板801的直徑長。因此，在本發明的實施方式1中的噴墨塗敷裝置中，使用1滴的噴出量為40pL、驅動頻率為7kHz的噴墨噴嘴，如圖6所示，使用將以140um間距在相對於掃描方向垂直的方向直線狀排列900個噴墨噴嘴1001的噴墨噴嘴列各錯開47"m並排列成三列，在126mm的噴墨頭長度上設置2700個噴嘴的噴墨頭1002。該噴墨頭結構與540叩i的噴嘴解析度相當。對於每個噴墨噴嘴，能夠選擇性地控制樹脂的噴出，在使用所有的噴嘴噴出樹脂的情況下，能夠以540npi(dotperinch)的解析度滴下樹脂。例如，在僅使用排列成一列的900個噴嘴滴下樹脂的情況下，能夠以180dpi的解析度滴下樹脂。這樣就能夠任意地設定滴下的樹脂的解析度。另外，以180dpi的解析度滴下樹脂是指樹脂的每單位面積的滴下數量為180dpiXI80dpi。同樣地，以540dpi的解析度滴下樹脂是指樹脂的每單位面積的滴下數量為540dpiX540dpi。此外，如果是520mPa's左右的粘度的樹脂，則該噴墨噴嘴能夠穩定地噴出1滴40pL。接著使用該噴墨塗敷裝置，使用多個種類的樹脂進行樹脂中間層的製作，對特性進行了評價。表1表示進行兩次層疊塗敷，製作成厚度25um的樹脂中間層的情況的測定結果。(表1)tableseeoriginaldocumentpage26價。樹脂中間層的厚度測定，以波長405nm的雷射器作為光源通過透鏡匯聚光束，通過致動器使透鏡移動，同時在樹脂中間層表面、或成形樹脂基板表面形成的信息層上對焦，使用根據該致動器的驅動量來測定厚度的厚度測定器進行評價。此外，厚度偏差是以厚度平均值為中心表現整個塗敷區域的厚度偏差，作為盤的性能，所需要的厚度偏差為土2ym以內。進而，更優選為±1.5tim以內。此外，聚焦殘渣的評價是通過在形成到保護層之後，使用帕路斯(八°》7亍:y夕)工業株式會社制的盤評價機DDU-1000進行第二信息層的電信號評價來進行評價的。將再現線速設為4.9m/s，以Blu-my盤的規格為基準，對在1.8kHz10kHz的頻帶和10kHz以上的頻帶的兩個頻率區域下的殘渣成分進行評價。該聚焦殘渣的值依存於再現的信息層的表面的平滑性，當表面平滑性惡化時，不能追隨光拾取的聚焦控制的成分表現為殘渣成分。各個目標值，在1.8kHz10kHz的頻帶下為士45um以下，在10kHz以上的頻帶為32um以下。此外，樹脂的露出，通過基於光學顯微鏡進行的樹脂層端面的觀察，來評價樹脂是否露出到樹脂中間層的設定塗敷區域外。在本實施方式1中作為塗敷區域，第一次塗敷設定由內徑23mm、外徑118mm構成的環狀區域，第二次塗敷設定由內徑23.2mm、外徑117.8mm構成的環狀區域，進行塗敷。將用光學顯微鏡觀測樹脂是否從外徑118.6mm的區域露出作為評價的基準。但是，在本實施方式1中設定的塗敷區域是一個例子，即使使用其它的塗敷區域設定也沒有問題。此外，如果沒有露出直徑120mm的成形樹脂基板，則在此設定的評價基準也可以用其它的評價基準。此外，作為塗敷解析度，選擇了在第一次塗敷中540dpi。這是因為在能夠噴出為了可進行厚膜塗敷而使用的40pL左右的液滴的噴墨噴嘴中，當將點距(dotpitch)縮小得比540dpi細小時，與相鄰的液滴的間隔變得狹窄，氣泡的混入、飛沫的影響變大的情況變得顯著，為了厚膜的塗敷，選擇不受氣泡混入的影響的最高的解析度。此外，相反地在加大點距的情況下，由於與相鄰的液滴的間隔變寬，所以產生厚度的均勻性、表面的平滑性的惡化。由使用的樹脂的粘度等而導致影響不同，在能夠在表1所示的厚度偏差的觀點中使用的5mPa，s左右的低粘度樹脂中用比180dpi粗的點距在表面的平滑性方面出現問題，所以無法使用。根據表1的結果，如表1所示的條件(l一l)那樣，在對溫度2(TC的樹脂粘度為180mPa's的樹脂材料Rl進行二次層疊塗敷的情況下，雖然不存在樹脂的露出、厚度分布的問題，但由於依存於滴下的液滴圖案的表面波紋度，結果聚焦殘渣變大。與此相對，如從條件(l一2)到條件(l一5)所示那樣，通過將第二次塗敷的樹脂材料的樹脂粘度設定得較低，由第二次塗敷的低粘度樹脂使在第一次塗敷時產生的表面波紋度變得平滑，改善該表面波紋度，使聚焦殘渣也達到目標值。另夕卜，如表1所示，在第二次塗敷時選擇低解析度的180dpi的理由是為了防止樹脂的露出。此外，當樹脂粘度為20mPa，s以上時，樹脂難以從噴墨頭噴出。此外，根據表l的結果，通過層疊塗敷多個種類的粘度不同的樹脂，在從條件(1—1)到條件(1—4)中，相對於目標厚度的25iim，能夠實現士lum的範圍內(24iim26iim)的厚度。但是，在條件(l一5)中，塗敷厚度成為24um26um的範圍外的23.9um。此外，在表7中表示使用噴嘴解析度高的噴墨頭的塗敷結果。(表7)tableseeoriginaldocumentpage29中影響減輕，在盤的性能方面沒有特別問題。(實施方式2)在本實施方式2中，與在實施方式1中說明的內容相同，以具有兩個圖8所示那樣的信息層的雙層信息記錄介質的製造方法作為一個例子進行說明。另外，除了樹脂中間層的塗敷工序之外，其它的工序與在實施方式1中說明的工序完全相同，所以省略其說明。此外，本發明涉及樹脂中間層的製作工序，其它的工序是何種工序都可以。此外，在實施方式2中，也如圖3(a)、圖3(b)所示，關於在成形樹脂基板1101上塗敷的放射線固化性樹脂的塗敷區域，在後塗敷的塗敷區域1103位於在前塗敷的塗敷區域1102的內側。其理由是與在成形樹脂基板、信息層上塗敷放射線固化性樹脂的情況相比，在已固化的放射線固化性樹脂上層疊放射線固化性樹脂並進行塗敷的情況，其塗敷面中的樹脂的流動性更高。目卩，如果在與在前塗敷了樹脂的塗敷區域相同的大小，或者在此之上的區域塗敷在後塗敷的樹脂，則在後塗敷的樹脂露出到所希望的塗敷區域外，成為厚度變動的主要原因。層疊塗敷的次數為3次以上的情況也相同，優選在在前塗敷的塗敷區域內進行塗敷。在本實施方式2中作為塗敷區域，第一次塗敷設定由內徑23mm、外徑118mm構成的環狀區域，第二次塗敷設定由內徑23.2mm、外徑117.8mm構成的環狀區域，進行塗敷。將用光學顯微鏡觀測樹脂是否從外徑118.6mm的區域露出作為評價的基準。但是，在本實施方式1中設定的塗敷區域是一個例子，即使使用其它的塗敷區域設定也沒有問題。此外，如果沒有露出直徑120mm的成形樹脂基板，則在此設定的評價基準也可以是其它的評價基準。使用與在實施方式l中說明的噴墨塗敷裝置同樣的結構的裝置，進行塗敷。在表2中表示評價結果。(表2)tableseeoriginaldocumentpage31波紋度變得平滑，即使第二次塗敷高粘度樹脂也能夠得到聚焦殘渣不發生較大惡化的良好的結果。此外，通過層疊塗敷粘度不同的兩個種類的樹脂，在表2所示的條件(2—1)(2_4)中，相對於目標厚度25um，能夠實現士lum的範圍內的厚度。此夕卜，在條件(2—4)中，當厚度偏差為土2.5um時超過目標的±2um。這是由於在進行第一次塗敷的樹脂R5塗敷後樹脂流動而使厚度的均勻性惡化。在使用粘度5mPa，s以上的樹脂的情況下，厚度的均勻性也沒有問題。此外，在表8中表示使用噴嘴解析度高的噴墨頭的塗敷結果。(表8)'樹1fca!q0卜!fl..........,......0'遂雜10kHzoo嗜'『……—"卜;O惡驟oOo<|GOto效。'COOf:左蓬BO籲&膝⑩卜A)使用噴嘴解析度可選擇至720dpi的噴墨頭，變更樹脂的噴出條件，將每1滴的液滴量調整到大約30pL。當將噴嘴解析度提高至720dpi時，相對於使用噴嘴解析度540dpi的頭的情況，雖然多少出現飛沫的影響等，但在此之後的信息面的轉印工序33中影響減少，在盤的性能方面沒有特別問題。另外，以720dpi的解析度滴下樹脂是指樹脂的每單位面積的滴下數量為720dpiX720dpi。(實施方式3)在本實施方式3中，如圖7所示，以具有四個信息層的四層信息記錄介質的製造方法作為一個例子進行說明。該四層信息記錄介質構成為在一面轉印形成有由凹凸形狀構成的引導槽的信息面而成的成形樹脂基板601上，層疊四個信息層。如圖7所示那樣，在該四層信息記錄介質中配置有第一信息層602，其以與在成形樹脂基板601上形成的第一信息面接觸的方式配置；和第一樹脂中間層603，其以與第一信息層602接觸的方式層疊，在一個面上具有由凹凸形狀構成的第二信息面。此外，在該四層信息記錄介質中配置有第二信息層604，其以與第二信息面接觸的方式配置；和第二樹脂中間層605，其以與第二信息層接觸的方式層疊，在一個面上具有由凹凸形狀構成的第三信息面。此外，在該四層信息記錄介質中配置有第三信息層606，其以與第三信息面接觸的方式配置；和第三樹脂中間層607，其以與第三信息層接觸的方式層疊，在一個面上具有由凹凸形狀構成的第四信息面。此外，在該四層信息記錄介質中配置有第四信息層608，其以與第四信息面接觸的方式配置；和保護層609，其以與第四信息層接觸的方式設置。成形樹脂基板601，為了與CD或DVD、或者Blu-ray盤等那樣的光碟具有形狀的互換，由外徑O120mm、中心孔徑015mm、厚度為1.0l.lmm左右的聚碳酸酯、丙烯酸類樹脂構成的圓板而形成。通過使用圖9(f)所示的金屬壓模309的射出成形法等進行的樹脂成形，在成形樹脂基板601的一面形成以凹凸狀形成引導槽等的信息面。在本實施方式3中，成形樹脂基板601使用聚碳酸酯製作而成。第一信息層602，在信息記錄介質為再現專用介質的情況下，至少具有反射再現光的特性即可，例如使用濺射、蒸鍍等方法包含A1、Ag、Au、Si、Si02、Ti02等的反射材料形成。此外，在信息記錄介質為可記錄介質的情況下，由於需要通過記錄光的照射寫入信息，所以至少包含例如GeSbTe等的相變化材料、例如酞花菁等的有機色素等的記錄材料構成的層，也可以根據需要，包含反射層、交界層等，使記錄再現特性提高的層。也能夠同樣地形成第二信息層604、第三信息層606、第四信息層608。但是，由於通過將記錄再現光從保護層609側射入到各信息層來進行記錄再現，所以以從第一信息層到第四信息層依次相對於記錄再現光的波長的透過率變高的方式構成。在本實施方式3中，使用在具有由一次寫入式相變化材料構成的信息層的一次寫入式四層信息記錄介質中的研究結果進行說明。一次寫入式相變化材料是通過由記錄再現光的照射而產生的熱，取得光學特性不同的兩個以上的狀態間的材料，還優選是其反應不可逆地變化的材料。例如，優選含有O以及M(其中，M是從Te、Al、Si、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Sn、Sb、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Bi之中選擇出來的1個或多個元素)的材料等。另外，並非限於這些材料，優選還層疊了電介質材料等的結構。其中，關於信息層中包含的材料，並非限於該材料。此外，不拘泥於一次寫入式相變化材料，即使用再現專用介質所使用的Ag或Al合金等的金屬反射膜等也不會改變本發明的效果。此外，即使使用反覆進行記錄的相變化材料也不會改變本發明的效果。此外，在此對四層結構的光信息記錄介質進行了說明，但信息層的數量並不限定於4個。此外，第一樹脂中間層603相對於記錄再現光大致透明，例如能夠使用以丙烯酸為主成分的紫外線固化性樹脂、或者是環氧類的紫外線固化性樹脂等的放射線固化性樹脂等。這裡所說的大致透明是指相對於記錄再現光的波長具有大約90%以上的透過率，進一步優選具有95%以上的透過率的材料。該第一樹脂中間層603的製作方法由使用後面說明的噴墨塗敷方法將液狀的放射線固化性樹脂塗敷在第一信息層602上的工序，和利用具有坑或引導槽等的信息面的轉印壓模，將信息面轉印到放射線固化性樹脂上的工序構成。四層信息記錄介質的製造方法與在實施方式1和實施方式2中說明的方法相同，是反覆進行樹脂中間層的形成工序和信息面的轉印工序的製造方法。此外，保護層609的厚度，為了減少附著在保護層表面的垃圾、損傷等對各信息層的記錄再現特性的影響，優選設定為大約m以上。此外，第一樹脂中間層603、第二樹脂中間層605、第三樹脂中間層607的厚度，為了減少來自其它層的串音、幹擾的影響而分別不同，在此設計成大約15"m、大約20um、大約10um的厚度。此外，保護層的厚度設定為大約55um。但是，該樹脂中間層的厚度的設計值是一個例子，即使是其它的厚度設計值也不會改變本發明的效棄。以上，對本發明的實施方式3中的多層信息記錄介質的結構和製造方法的概要進行了簡單說明，但本發明的多層信息記錄介質的製造方法，在樹脂中間層或者保護層的形成方法方面有特徵，因此，其他的工序無論是怎樣的工序都沒關係。在表3中表示進行樹脂中間層製作的條件。(表3)tableseeoriginaldocumentpage37如表3所示，層疊塗敷多個粘度不同的樹脂的結果，相對於大致目標的厚度，實現士l"m以內的厚度。此外，在厚度偏差中關於樹脂中間層如果在土1.5um以內則表示良好的結果，關於通過四次層疊塗敷實現的保護層，如果在士2um以內則得到良好的結果。另外，在表3中，雖然持續塗敷相同粘度的樹脂，但並不限定於此，例如也可以交替塗敷粘度高的樹脂和粘度低的樹脂。接著，使用帕路斯工業株式會社制的盤評價機DDU-1000對作成的四層信息記錄介質進行電特性評價。該盤評價機具備作為光源的波長405nm的半導體雷射器，和具有NA0.85的物鏡的光拾取器，是能夠進行Blu-ray盤的電特性評價的評價機。將再現時的盤旋轉線速設為4.9m/s，進行聚焦殘渣的評價和極限均衡跳動(limitequalizedjitter)的評價。跳動值是表示再現信號的時間性的搖擺的指標，值越小則再現信號品質越高。在此，作為跳動的指標，在各信息層將8.5%以下作為目標值。此外，在聚焦殘渣為1.8kHz10kHz的頻帶中，將士45nm以下作為目標值，此外在10kHz的頻帶中將32nm以下作為目標值。在表4中表示結果。(表4)tableseeoriginaldocumentpage38如表4所示，確認了在各信息層中良好的聚焦殘渣和跳動值。另外，在此對具有四層信息層的四層結構的信息記錄介質進行了說明，但即使信息層的數量變化也不會改變本發明的效果。接著，使用同樣的樹脂材料，與表4不同，由低粘度的樹脂進行塗敷，進行四層信息記錄介質的製作。在表5中表示進行樹脂中間層的製作的條件。(表5)如圖5所示，層疊塗敷多個粘度不同的樹脂的結果，相對於大致目標的厚度，實現士l"m以內的厚度。此外，在厚度偏差中關於樹脂中間層如果在士2.0um以內則表示良好的結果，關於通過四次層疊塗敷實現的保護纖無鰵嗎/SE3dWS4^;wOS蔓0ooooS1.=PVo書8.015081養養養5,鄰SI頃l02SI〇〇OT.髮oe〖養〖y，a一s斑發驤甚幽軀廿驟蓬(lull)〖5鵬還(？adso雜i露層，如果在i2"m以內則得到良好的結果。接著，使用帕路斯工業株式會社制的盤評價機DDU-1000對作成的四層信息記錄介質進行電特性評價。評價條件和評價指標與先前說明的內容相同。在表6中表示評價結果。(表6)信息層聚焦殘渣(nm)跳動1.8kHz10kHz10kHz、乂第一信息層±25〇17o6.5〇第二信息層±34o26〇8.0o第三信息層±32o22o7.5〇第四信息層±31o23o7.5〇如表6所示，確認了在各信息層中良好的聚焦殘渣和跳動值。另外，在此對具有四層信息層的四層結構的信息記錄介質進行了說明，但即使信息層的數量變化也不會改變本發明的效果。此外，在上述實施方式中，對作為固化性樹脂使用放射線固化性樹脂的情況進行了說明，但並不限定於此，例如熱固化樹脂等，只要是能夠用噴墨頭塗敷的樹脂則是什麼樣的樹脂都可以。根據如上所述的多層信息記錄介質的製造方法、以及多層信息記錄介質的製造裝置，作為多層信息記錄介質中的樹脂中間層或者保護層等的樹脂層形成的方法是有用的，特別是能夠在Blu-ray盤等的樹脂層層疊工藝等中使用。產業上的利用可能性本發明的多層信息記錄介質的製造方法、多層信息記錄介質的製造裝置以及多層信息記錄介質，即使是超過例如10ym那樣厚度的樹脂層，也能夠製作均勻的所希望的厚度的樹脂中間層，並且實現良好的表面平滑性，具有良好的信號特性這樣的優點，作為具有兩層以上的信息層的多層信息記錄介質、以及其製造方法和其製造裝置等是有用的。權利要求1.一種多層信息記錄介質的製造方法，所述多層信息記錄介質至少具有基板、在所述基板的上面配置的多個信息層、在所述信息層之間配置的樹脂中間層、和在所述信息層上設置的保護層，該製造方法包括噴墨塗敷工序，所述樹脂中間層的形成，是一邊使所述基板和噴墨頭的至少任一方相對移動，一邊使至少兩種以上不同粘度的固化性樹脂層疊塗敷到所述基板上；和在所述固化性樹脂上轉印形成信息面的工序。2.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述噴墨頭中的所述固化性樹脂的噴出寬度，在與所述噴墨頭的運行方向成垂直關係的所述基板的寬度以上。3.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂，在每次塗敷到所述基板上後被固化，在固化後塗敷下一所述固化性樹脂。4.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂從粘度高的一方開始依次塗敷。5.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂從粘度低的一方開始依次塗敷。6.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於:作為所述固化性樹脂，使用在所述噴墨頭的噴出時粘度從5mP^s到20mPa-s的範圍內的樹脂。7.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於在所述基板上層疊塗敷的所述固化性樹脂的第(n+l)次塗敷區域在第n次塗敷區域內，其中n是l以上的正整數。8.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於:所述固化性樹脂的粘度越高，滴下到所述基板的所述固化性樹脂的液滴的每單位面積的滴下數量越多。9.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂的每單位面積的滴下數量被設定在從180dpiX180dpi到540dpiX540dpi的範圍內。10.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂的每單位面積的滴下數量被設定在從180dpiX180dpi到720dpiX720dpi的範圍內。11.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於在所述噴墨塗敷工序中，用具有相同結構的多個所述噴墨頭進行塗敷。12.如權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法，其特徵在於所述固化性樹脂是放射線固化性樹脂。13.—種多層信息記錄介質的製造裝置，其用於一邊使基板和噴墨頭的至少任一方相對移動，一邊向所述基板噴出固化性樹脂，該製造裝置包括按照噴出的所述固化性樹脂的不同種類的每一種而設置的多個所述噴墨頭，在所述基板上層疊塗敷所述固化性樹脂。14.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於所述噴墨頭中的所述固化性樹脂的噴出寬度，在與所述噴墨頭的運行方向成垂直關係的所述基板的寬度以上。15.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於所述噴墨頭的噴嘴解析度在從180npi到540npi的範圍內。16.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於所述噴墨頭的噴嘴解析度在從180npi到720npi的範圍內。17.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於多個所述噴墨頭具有相同結構。18.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於在所述基板上層疊塗敷的所述固化性樹脂的第(n+l)次塗敷區域設定在第n次塗敷區域內。19.如權利要求13所述的多層信息記錄介質的製造裝置，其特徵在於所述固化性樹脂是放射線固化性樹脂。20.—種多層信息記錄介質，其特徵在於使用權利要求1所述的多層信息記錄介質的製造方法製作而成。全文摘要本發明提供多層信息記錄介質的製造方法、多層信息記錄介質的製造裝置以及多層信息記錄介質。本發明的多層信息記錄介質的製造裝置，是用於一邊使基板(101)和噴墨頭(105、106)的至少任一方相對移動，一邊向基板(101)噴出固化性樹脂(111)的多層信息記錄介質的製造裝置，具備按照噴出的固化性樹脂(111)的不同種類的每一種而設置的多個噴墨頭(105、106)，在基板上層疊塗敷上述固化性樹脂。根據該結構，能夠形成均勻的厚度分布，且表面平滑性優異的超過例如10μm的厚膜的樹脂中間層。文檔編號G11B7/26GK101490760SQ20078002667公開日2009年7月22日申請日期2007年10月16日優先權日2006年10月18日發明者佃雅彥,富山盛央申請人:松下電器產業株式會社