鍍膜傘架的製作方法
2023-05-29 04:15:21
專利名稱：鍍膜傘架的製作方法
技術領域：
本發明涉及ー種鍍膜傘架。
背景技術：
鏡片放進真空的蒸鍍(Vapor Deposition)裝置進行蒸鍍前容易附著灰塵,其中帶電的灰塵可能會影響靶材離子 附著於鍍膜表面，影響鍍膜質量，而即使不帶電的灰塵可能被所鍍膜層覆蓋，也影響鍍膜質量。
發明內容
有鑑於此，有必要提供一種可提高鏡片鍍膜質量的鍍膜傘架。ー種鍍膜傘架，包括ー個本體及至少ー個離子風裝置。該本體包括ー個第一表面及ー個背對該第一表面的第二表面，該本體具有多個貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用於收容ー個待鍍エ件並具有一個容該待鍍エ件進入該容料通孔的入ロ，該入口位於該第一表面。該至少ー個離子風裝置設置在該本體背離該第二表面ー側，並用於向背離該第二表面方向吹出離子風，以在該多個待鍍エ件進入該多個入口前向該多個待鍍エ件吹出離子風。與現有技術相比，本發明的鍍膜傘架中該至少ー個離子風裝置可除去待鍍エ件上的灰塵及靜電，從而提高鏡片鍍膜的質量。
圖I為本發明較佳實施方式的鍍膜傘架的結構示意圖。圖2為圖I的鍍膜傘架另ー個角度的結構示意圖。圖3為圖I的鍍膜傘架的遮罩容置於固定通孔內時的部分剖視圖。主要元件符號說明 鍍膜傘架11
待鍍鏡片22 待鍍面2a 背面2b 支架10 底板100 固定通孔102 內壁104 容置孔106 安裝孔142 立柱120 橫柱140導軌160 本體20 第一表面20a 第二表面20b 容料通孔200 凸緣202 人口 204 遮罩30 凸起300 離子風裝置40 驅動裝置45 橫向線性馬達50 橫向定子500 橫向動子502 縱向線性馬達60 縱向定子600 縱向動子602 導塊604 導孔606 氣缸70 缸體700 活塞杆702
如下具體實施方式
將結合上述附圖進ー步說明本發明。
具體實施例方式請參考圖I至圖3，本發明較佳實施方式的鍍膜傘架11用於盛放多個待鍍鏡片22。待鍍鏡片22包括一個需鍍膜的待鍍面2a及一個無需鍍膜且背離待鍍面2a的背面2b。鍍膜傘架11包括一個支架10、ー個本體20、一個遮罩30、多個離子風裝置40及一個驅動裝置45。支架10呈長方體狀,其包括一個底板100、四個立柱120、兩個橫柱140及兩個導軌160。底板100呈方形，其中間開設有一個圓形的固定通孔102，底板100還具有ー個面向固定通孔102的內壁104。內壁104上開設有多個容置孔106，容置孔106呈圓柱形，其深度方向朝向固定通孔102的中心並且相對於內壁104傾斜。四個立柱120垂直連接至底板100的四個角落。各橫柱140連接至支架10橫向的相鄰的兩個立柱120遠離底板100的ー側，並且兩個橫柱140相對設置。各橫柱140在面向另ー橫柱140的表面上開設有兩個圓形的安裝孔142，且兩個安裝孔142位於橫柱140的兩端。各導軌160呈圓柱狀且其直徑略小於安裝孔142的直徑。本體20呈圓形且其直徑略小於固定通孔102的直徑。本體20包括ー個第一表面20a及一個背對第一表面20a的第二表面20b。本體20上開設有多個與待鍍鏡片22形狀對應的容料通孔200。容料通孔200貫穿第一表面20a及第ニ表面20b。容料通孔200 —端自其內壁(圖未標)垂直向外延伸出一圈凸緣202。容料通孔200未設置凸緣202的一端包括一個容待鍍鏡片22進入的入口 204。容料通孔200用於容置待鍍鏡片22並使待鍍鏡片22承靠在凸緣202上。遮罩30呈圓形且其直徑略小於固定通孔102的直徑。遮罩30的一個圓形表面上開設有多個凸起300，凸起300的形狀與在該表面上的位置與容料通孔200靠近入ロ 204 —端的形狀及容料通孔200在本體20上的位置對應。凸起300可容置於容料通孔200內，而且當凸起300容置於容料通孔200內時，凸起300與凸緣202之間的距離大於等於待鍍鏡片22的厚度，即大於待鍍面2a與背面2b之間的距離。離子風裝置40大致呈與容置孔106對應的圓柱形，用於產生並向外噴射離子風。在本實施方式中，離子風裝置40為離子風嘴。驅動裝置45包括ー個橫向線性馬達50、ー個縱向線性馬達60及一個氣缸70。橫 向線性馬達50包括ー個橫向定子500及ー個橫向動子502。橫向定子500大致呈長條形且其長度大於兩個橫柱140之間的距離，橫向動子502滑動設置在橫向定子500上，並且可在橫向定子500的驅動下沿橫向定子500運動。縱向線性馬達60包括一個縱向定子600、一個縱向動子602及兩個導塊604。縱向定子600大致呈長條形。縱向動子602滑動設置在縱向定子600上，並且可在縱向定子600驅動下而沿縱向定子600運動。各導塊604上開設有一個圓柱形的導孔606。兩個導塊604連接至縱向定子600兩端，並且兩個導孔606的軸向均與縱向定子600移動的方向垂直。兩個導孔606之間的距離等於同個橫柱140上的兩個安裝孔142之間的距離。氣缸70包括一個缸體700及一個自缸體700向外延伸的活塞杆702。活塞杆702可由缸體700驅動而靠近或遠離缸體700。組裝時，將本體20通過焊接等方式固定在固定通孔102中，並且容料通孔200的凸緣202較入ロ 204遠離橫柱140。同時,容置孔106位於本體20背離第二表面20b —側。再將各離子風裝置40設置在容置孔106中，並使各離子風裝置40向背離第二表面20b的方向吹出離子風。通常第一表面20a到各離子風裝置40的出風方向成5度至45度角。在本實施方式中，第一表面20a到各離子風裝置40的出風方向成15度角。然後將橫向定子500固定至兩個橫柱140的中間部位，並使橫向動子502面向本體20。將橫向動子502固定至縱向定子600的中間部位，並使縱向定子600面向本體20。再將兩個導軌160分別插入兩個導孔606中，將兩個導軌160固定至對應的安裝孔142。此時兩個導軌160與橫向定子500平行，縱向定子600與橫向定子500垂直。將縱向動子602固定至缸體700遠離活塞杆702的ー側，並使得活塞杆702伸縮的方向與縱向定子600垂直。將活塞杆702垂直固定至遮罩30未設置凸起300的一面的中央。工作時，通常使支架10的底板100水平放置在一個鍍膜裝置(圖未示)的鍍膜腔內，並且第二表面20b面向祀材(圖未不)。遮罩30位於一個不遮罩本體20的位置。開啟離子風裝置40，此時各離子風裝置40相對第一表面20a傾斜向上15度向本體20的中心噴射出離子風。將待鍍鏡片22放置到容料通孔200中。放置過程中，待鍍鏡片22，尤其是待鍍面2b受到離子風吹襲，其上的灰塵及靜電被離子風吹走。待鍍鏡片22最終經過入口 204承靠在凸緣202上。橫向線性馬達50先驅動縱向線性馬達60以帶動驅動氣缸70及遮罩30沿橫向定子500方向移動至橫向定子500中間，縱向線性馬達60再驅動驅動氣缸70及遮罩30沿縱向定子600方向移動至縱向定子600中間，此時遮罩30位於固定通孔102的正上方。氣缸70再驅動遮罩30向下移動以覆蓋第一表面20a。在這個過程中，遮罩30也受到離子風的吹襲而被除去其上的灰塵及靜電。遮罩30最終移動至固定通孔102中，而且凸起300移動至容料通孔200中而覆蓋待鍍鏡片22的背面2b。此時離子風裝置40可以停止工作。然後，再對鍍膜腔進行抽真空及鍍膜。鍍膜過程中，由於驅動遮罩30與固定通孔102相互匹配，靶材離子無法輕易進入固定通孔中。另外，由於凸起300與容料通孔200相互匹配，進入到固定通孔102中的 靶材離子更加無法輕易進入容料通孔200中去汙染待鍍鏡片22的背面2b。可以理解，在設計整個鍍膜裝置(圖未示)的時候，也可以將本體20及驅動裝置45固定至鍍膜裝置的鍍膜腔體的內壁，此時支架10便可不必設置。可以理解，設置在固定通孔102中的離子風裝置40隻要能朝背離第二表面20b的方向噴射離子風，以清潔待鍍鏡片22的待鍍表面便可，其深度方向也可不必朝向固定通孔102的中心。可以理解，在容料通孔200可承靠待鍍鏡片22的情況下，其也可不必設置凸緣202。如，容料通孔呈倒置的臺形，並且其上方開ロ大於待鍍鏡片22而下方開ロ小於待鍍鏡片22時，也可承靠待鍍鏡片22。可以理解，遮罩30也可由人工挾持，此時也可不必設置驅動裝置45。最後，還應指出，鍍膜傘架11也可用於盛放其它需鍍膜的エ件，不限於本實施方式的待鍍鏡片22。本技術領域的普通技術人員應當認識到，以上的實施方式僅是用來說明本發明，而並非用作為對本發明的限定，只要在本發明的實質精神範圍之內，對以上實施例所作的適當改變和變化都落在本發明要求保護的範圍之內。
權利要求
1.ー種鍍膜傘架，包括 ー個本體，該本體包括ー個第一表面及ー個背對該第一表面的第二表面，該本體具有多個貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用於收容ー個待鍍エ件並具有一個容該待鍍エ件進入該容料通孔的入ロ，該入口位於該第一表面；及 至少ー個離子風裝置，該至少ー個離子風裝置設置在該本體背離該第二表面ー側，並用於向背離該第二表面方向吹出離子風，以在該多個待鍍エ件進入該多個入口前向該多個待鍍エ件吹出尚子風。
2.如權利要求I所述的鍍膜傘架，其特徵在於，該第一表面到各離子風裝置的出風方向成5度至45度角。
3.如權利要求I所述的鍍膜傘架，其特徵在於，該第一表面到各離子風裝置的出風方向成15度角。
4.如權利要求I所述的鍍膜傘架，其特徵在於，該鍍膜傘架還包括一個與該第一表面對應且相對於該第一表面移動設置的遮罩，該遮罩位於本體遠離該第二表面ー側，用於在該多個エ件進入該多個容料通孔後向該第一表面移動直至遮蓋該第一表面。
5.如權利要求4所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該遮罩包括多個凸起，該多個凸起的與該多個容料通孔的位置及形狀對應，用於在該遮照遮蓋該第一表面時封閉該多個容料通孔。
6.如權利要求4所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該鍍膜傘架還包括ー個支架，該支架包括ー個底板，該底板開設有一個與該本體對應的固定通孔，該本體收容於該固定通孔內。
7.如權利要求6所述的鍍膜傘架，其特徵在於，該底板還具有ー個面向該固定通孔的內壁，該內壁開設有至少ー個容置孔，該至少ー個容置孔位於該本體背離該第二表面ー側，該至少ー個離子風裝置設置在對應的容置孔中。
8.如權利要求6所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該鍍膜傘架還包括一個設置於該支架上的驅動裝置，用於驅動該遮罩移動至該第一表面。
9.如權利要求8所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該驅動裝置包括ー個氣缸，該氣缸包括一個缸體及ー個活塞杆,該缸體設置在該遮罩遠離該本體ー側，該活塞杆由該缸體驅動並固定至該遮罩，該氣缸用於驅動該遮罩在該本體的軸線方向上移動。
10.如權利要求9所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該驅動裝置還包括一個縱向線性馬達，該縱向線性馬達包括ー個縱向定子及ー個縱向動子，該縱向定子呈長條狀，架設在該氣缸遠離該遮罩ー側，該縱向動子滑動設置在該縱向定子上，並且可在該縱向定子的驅動下沿該縱向定子運動；該縱向動子還連接至該缸體，該縱向定子垂直於該活塞杆伸縮的方向。
11.如權利要求10所述的鍍膜傘架，其特徵在幹，該驅動裝置還包括ー個橫向線性馬達，該橫向線性馬達包括ー個橫向定子及ー個橫向動子，該橫向定子呈長條狀，架設在該縱向線性馬達背離該縱向線性馬達ー側，該橫向動子滑動設置在該橫向定子上，並且可在該橫向定子的驅動下沿該橫向定子運動；橫向動子還連接至該縱向定子，該橫向定子垂直於該活塞杆伸縮的方向並且垂直於該縱向定子。
12.如權利要求11所述的鍍膜傘架，其特徵在於，該支架還包括四個立柱、兩個橫柱及兩個導軌，該四個立柱均垂直固定至該底板的周圍，該兩個橫柱相對設置並且分別固定至對應的兩個立柱，各導軌連接至該兩個橫柱，該兩個導軌設置在該橫向定子的兩側並與該橫向定子 平行；該縱向線性馬達還包括兩個固定在該縱向定子兩端的導塊，各導塊連接至對應的一個導軌對應並可沿該導軌滑動。
全文摘要
一種鍍膜傘架，包括一個本體及至少一個離子風裝置。該本體包括一個第一表面及一個背對該第一表面的第二表面，該本體具有多個貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用於收容一個待鍍工件並具有一個容該待鍍工件進入該容料通孔的入口，該入口位於該第一表面。該至少一個離子風裝置設置在該本體背離該第二表面一側，並用於向背離該第二表面方向吹出離子風，以在該多個待鍍工件進入該多個入口前向該多個待鍍工件吹出離子風。如此，可提高工件鍍膜的質量。
文檔編號C23C14/22GK102828153SQ20111016202
公開日2012年12月19日 申請日期2011年6月16日 優先權日2011年6月16日
發明者裴紹凱 申請人:鴻富錦精密工業(深圳)有限公司, 鴻海精密工業股份有限公司