印刷形式前體和由該前體製備壓模的方法

2023-06-14 15:03:41 1

專利名稱：：印刷形式前體和由該前體製備壓模的方法印刷形式前體和由該前體製備壓模的方法
背景技術：
：1.發明領域本發明涉及印刷形式前體，和由該印刷形式前體形成具有浮雕結構的壓模(stamp)的方法，具體地，涉及用於形成具有浮雕表面的壓模的印刷形式前體，所述壓模可用於電子元件和器件的微型製造。2.
背景技術：
：軟性平版印刷(Softlithography)的一個共同特徵是使用圖案化的彈性體塊作為壓模、模具或者掩模以產生微型圖案和微結構。軟性平版印刷包括使用具有圖案化浮雕結構的彈性體塊產生微型圖案和結構的若干技術，這些技術包括微接觸印刷(IJCP)，複製成型(r印licamolding)(REM),壓紋，微轉移成型(kiTM)，毛細管中微成型(MIMIC)，藉助溶劑的微成型(S僱IM)，以及相轉換光刻。在軟性平版印刷中使用的壓模通常是由聚二甲基矽氧烷(PDMS)組成的彈性材料形成。PDMS表示反應性單體、反應性低聚物或它們的混合物以及填料和聚合催化劑。在製備高精確度的軟性平版印刷中使用的壓模的現有方法中，將液體PDMS引入呈現負片浮雕微線路圖案的模具中。將其上的聚合物固化，產生可從模具去除的固體化的壓模。該固體化的壓模具有以正片浮雕表示的微線路圖案。這正是在軟性平版印刷方法的隨後步驟中轉移到基板上的圖案。基於聚二甲基矽氧烷(PDMS)的網狀物為軟性平版印刷技術提供一些優點。例如，PDMS對紫外光輻照是高度透明的，並具有很低的楊氏模量，該模量使P而S具有即使在不規則表面也能實現保形接觸所需的撓性，沒有產生裂紋的可能性。此外，壓模的撓性能促使壓模容易地從母模脫離並使壓模能耐受多個印刷步驟，沒有破壞性的易碎特性。但是，PDMS特有的一些性質嚴重限制了它的能力。第一，基於PDMS的彈性體在接觸到大多數有機可溶性化合物時發生溶脹。在大多數軟性平版印刷技術中壓模的耐溶脹性很重要，因為必須保持特徵元件在壓模上的保真度(fidelity)。此外，酸性或鹼性水溶液與PDMS反應，可能使聚合物鏈發生斷裂。第二，PDMS的表面能不容易控制，可能在要求高保真度的印刷過程中造成困難。為此原因，PDMS基模具的圖案化表面可以採用等離子體處理然後氣相沉積氟垸基三氯矽烷進行氟化。但是，當接觸有機溶劑時，這些經氟處理的矽酮仍會發生溶脹。第三，用於PDMS模具的最常用可商購材料，即購自陶氏化學品公司的SYLGARD矽酮彈性體基料的模量太低，不能用於許多應用。這些常用PDMS材料的低模量導致特徵元件下垂和彎曲，因此不很適合用於要求精確圖案設置和排列的工藝。剛性材料，如石英玻璃和矽也已用於壓印平版印刷(imprintlithography)中。這些材料在模量和耐溶脹性方面優於PDMS，但是缺乏撓性。撓性不足抑制了與基板的保形接觸，在分離期間在模具和/或複製品上造成缺陷。有時使用真空來保證剛性模具與基板的充分接觸是必需的。剛性材料的另一個缺陷是需要使用製造困難和高費用的硬質模具，這類模具通常採用常規光刻或電子束(e-束)平版印刷製造。PCT公開W02005/101466A2公開了將基於氟化彈性體的材料，特別是全氟聚醚(PFPE)基材料用於高分辨的軟性或壓印平版印刷應用，如，有機材料的接觸模塑，來產生高保真度的特徵元件。氟化彈性體材料是耐溶劑性的，因為該材料在普通的烴基有機溶劑或者酸性或鹼性水溶液中既不溶脹也不溶解。PFPE材料具有低表面能，為無毒性，UV透明的，高透氣性，並能固化成為易從母模脫離的彈性體。圖案化的模板可以通過將低粘度的液體材料澆鑄在母模模板上然後固化該液體材料的方式，由基於彈性體的材料形成。基於彈性體的成型材料的性質可以通過調節構成該材料的組分的組成進行調節。可以將模量從低(約1Mpa)調整到幾個Gpa。這些圖案化的模板或壓模是獨立式的，S卩，只有彈性體層形成該壓模。由PFPE構成的獨立式的壓模可能存在尺寸不穩定性的問題；g卩，彈性體層在形成和使用期間可能發生形變和翹曲。此外，獨立式壓模可能具有一定的表面粗糙度，而使壓模不能用於印刷高解析度的圖案。此外，很難形成具有均勻厚度的彈性體材料的相對大尺寸(12X12英寸左右)的獨立式壓模。美國專利6，656，308B2公開一種製造微接觸印刷壓模的方法。該方法中，彈性體微接觸印刷壓模可以通過將彈性體單體或低聚物在模具中固化形成，該模具具有確定微線路圖案的光刻膠母模。該模具包括與光刻膠母模相反的撓性背襯組件(flexiblebackingassembly),該組件包括撓性底板和與該撓性底板層疊的剛性平面片形部件。在撓性底板和平面片形部件之間設置粘合劑。該底板是撓性金屬。彈性體單體或低聚物熱固化形成熱固性的彈性壓模。固化後，通過紫外光或雷射曝光，將平坦的剛性平面部件與撓性底板分層。撓性底板保留有微接觸壓模。美國專利6，656，308B2中，平坦的剛性平面部件防止撓性底板因彈性體層熱固化時的收縮發生波動，因為單獨的撓性底板不足以防止波動問題。製造壓模的過程是相當繁複和耗時的，因為該過程包括附加步驟將撓性底板與剛性平面部件層疊，和在彈性體熱固化後使撓性底板與剛性平面部f牛分層。因此，本領域需要一種印刷形式前體，該前體尺寸穩定，能用於要求高解析度圖案，特別是具有小於或等於io微米左右的特徵元件的圖案的各種軟性平版印刷技術。印刷形式前體應能夠形成浮雕結構，該結構能夠形成適合用於微電子器件和元件的微小間距的電子圖案。此外，還需要由印刷形式前體形成壓模的簡化的方法。發明概述根據本發明，提供一種用於形成浮雕結構的印刷形式前體。該印刷形式前體包括組合物層，所述組合物包含能夠通過進行光化輻照聚合的氟化化合物；與組合物層相鄰的撓性膜載體，該撓性膜載體能透過光化輻射。根據本發明另一個方面，提供由印刷形式前體製造壓模的方法。該方法包括(a)向具有浮雕圖案的母模上提供印刷形式前體，使組合物層與該浮雕圖案接觸；(b)透過載體對該組合物層進行光化輻照曝光，使該層聚合；(c)將聚合的層與母模分離，形成其浮雕表面與母模的浮雕圖案對應的壓模。附圖簡述圖1是具有微線路或其他電子線路的浮雕圖案的母模的剖視圖。圖2是具有粘合劑層的載體的一個實施方式的剖視圖。圖3是具有在載體和母模之間的氟化彈性體(PFPE)層的印刷形式前體的一個實施方式的剖視圖。圖4是圖3的印刷形式前體的剖視圖，其中彈性體層將經過光化輻照曝光進行固化。圖5是與母模分離的由印刷形式前體形成的壓模的剖視圖。壓模的浮雕表面與母模的浮雕圖案對應，具體地，壓模表面上的浮雕圖案是母模浮雕圖案的負片或與之相反。7優選實施方式的詳細描述在下面的詳細描述中，類似的附圖標記表示所有附圖中類似的要素。本發明描述一種印刷形式前體和由印刷形式前體製造壓模的方法。該壓模適合用於軟性平版印刷技術，包括但不限於微接觸印刷，壓印(壓紋)，複製成型，微轉移成型和微成型。壓模包括浮雕結構，該結構特別適合用於在製造電子元件和器件時印刷電子圖案，更適合用於印刷微線路。該印刷形式前體包括組合物層，所述組合物包含能夠通過光化輻照反應的氟化化合物；與該光敏層相鄰的撓性膜載體，該撓性膜載體能透過光化輻射。含氟化化合物的組合物也稱作光敏組合物。該氟化化合物可以是彈性的，或者可以在進行光化輻照曝光後成為彈性的。載體為壓模提供尺寸穩定性，使彈性體層在製備期間不發生變形或翹曲。載體還有助於保持壓模在整個軟性平版印刷最終應用過程中的浮雕結構完整性。具體地，具有載體的壓模是尺寸穩定的，使彈性浮雕結構可以印刷微米尺寸，即1-io微米或更小的圖案。由本發明的印刷形式前體形成的壓模還具有印刷浮雕表面，該表面足夠光滑，以保證印刷的微米規格的電子圖案的高解析度。壓模中存在的載體還有助於在軟性平版印刷操作期間操作壓模。此外，壓模中存在的載體可以延長壓模在印刷期間的壽命。本文中壓模也稱作模板，或板，或印刷板，或印刷形式。除非另外指出，否則，本文使用的以下術語具有下面定義的含義。"光化輻射"表示能夠引發一個或多個反應來改變光敏組合物的物理或化學特性的輻射。"可見光輻射或可見光"表示輻射波長約為390-770納米。"紫外光輻射或紫外光"表示輻射波長約為10-390納米。注意到，對可見光和紫外光提供的波長範圍是一般性指導，在通常認為的紫外光輻射和可見光輻射的輻射波長之間可能存在一定程度的重疊。印刷形式前體包括一層對光化輻照敏感的組合物，即，該組合物是光敏性的。術語"光敏的"包括其中的光敏組合物能夠在感應光化輻照後引發一個或多個反應，特別是光化學反應的任何體系。在進行光化輻照曝光後，通過縮合機理或通過自由基加成聚合引發單體和/低聚物的鏈增長聚合。雖然設想了所有的光聚合機理，但是本發明的組合物和方法可以按具有一個或多個烯鍵式不飽和端基的單體和/或低聚物的自由基引發的加成聚合內容進行描述。該內容中，在進行光化輻照曝光時，光引發劑體系可以用作引發單體和/或低聚物聚合反應所需的自由基源。該組合物是光敏性的，因為組合物含有具有至少一個烯鍵式不飽和基團的氟化化合物，所述烯鍵式不飽和基團能夠通過光引發的加成聚合形成聚合物。該光敏組合物還包含通過光化輻照活化的引發體系，以引發光聚合。氟化化合物可具有非末端的烯鍵式不飽和基團，和/或該組合物可含有一種或多種其他組分，如能促進交聯的單體。因此，術語"可光聚合的"用以包括可光聚合的體系，可光交聯的體系，或者這兩者。如本文所用，光聚合反應也指固化。光敏組合物包含能在進行光化輻照曝光時聚合的氟化化合物。氟化化合物可以是彈性的，或者在進行光化輻照曝光時成為彈性的，因此，該化合物形成基於氟化的彈性體的材料。壓模的基於氟化的彈性體材料的層也稱作氟化彈性體層，固化層，或固化的彈性體層，或彈性體層。合適的基於彈性體的氟化化合物包括但不限於全氟聚醚、氟代烯烴，氟化熱塑性彈性體，氟化環氧樹脂，能通過聚合反應聚合或交聯的氟化單體和氟化低聚物。一個實施方式中，氟化化合物具有一個或多個烯鍵式不飽和端基，這些端基能通過反應聚合形成氟化彈性體材料。基於彈性體的氟化化合物可以均聚，或與如以下聚合物共聚聚氨酯，聚丙烯酸酯，聚酯，聚矽氧垸，聚醯胺和其他聚合物，以實現要求的印刷形式前體和/或適合其用途的壓模的特性。進行光化輻照曝光足以使氟化化合物聚合，並使其能夠用作印刷壓模，而不必施加高壓和/或高於室溫的高溫。含能通過光化輻照曝光固化的氟化化合物的組合物的優點是組合物能相對快速(如，在小於或等於l分鐘內)固化，特別在與熱固化組合物如基於PDMS的體系相比時，具有簡單的顯影過程。含基於彈性體的氟化化合物的組合物的另一個優點是無溶劑，因此在使用組合物時無VOC(揮發性有機化合物)。一個實施方式中，印刷形式前體包括一層光敏組合物，其中，氟化化合物是全氟聚醚(PFPE)化合物。全氟聚醚化合物是包含至少大比例全氟醚鏈段的化合物，即全氟聚醚。以PFPE化合物的總重量為基準，在PFPE化合物中存在的大比例全氟醚鏈段大於或等於80重量％。全氟聚醚化合物還可包含一種或多種增量鏈段，這些鏈段是非氟化的烴或烴醚；和/或是氟化但不是全氟化的烴或烴醚。一個實施方式中，全氟聚醚化合物包含至少大比例的全氟聚醚鏈段和光活性的端鏈段，以及任選的非氟化烴的增量鏈段。全氟聚醚化合物是以一個或多個烯鍵式不飽和端基官能化，所述烯鍵式不飽和端基使該化合物對光化輻照為反應活性(即，光活性鏈段)。光活性鏈段也稱作可光聚合的鏈段。對全氟聚醚化合物沒有限制，可以包含直鏈和支鏈結構，優選全氟聚醚化合物的直鏈主鏈結構。PFPE化合物可以是單體的，但通常是低聚物，並在室溫為液體。全氟聚醚化合物可以被認為是具有低聚全氟醚鏈段的低聚的雙官能單體。全氟聚醚化合物能光化學聚合形成壓模的彈性體層。基於PFPE的材料的優點是，PFPE是高度氟化的，能耐受有機溶劑溶脹，所述有機溶劑例如有，二氯甲垸，氯仿，四氫呋喃，甲苯，己垸和乙腈等，優選將這些有機溶劑用於軟性平版印刷技術。基於PFPE的材料也是疏水性的，水接觸角通常大於90°。本實施方式中，對PFPE化合物的分子量沒有特別的限制。但是，分子量小於約4000的PFPE化合物形成的組合物的霧度較低，能更有效地完全固化。一個實施方式中，組合物含有分子量如下的PFPE化合物的混合物，分子量範圍中，數均分子量為約250-4000。除非另外指出，否則，氟化化合物即PFPE化合物的分子量是按照GC-MS測定的數均分子量小於約1000，凝膠滲透色譜(GPC)測定的數均分子量大於約1000。由光活性基團官能化的全氟聚醚化合物的製備為本領域皆知。例如，在美國專利第3，810，874號和第3，849，504號中描述了製備具有光活性基團的全氟聚醚化合物的適當方法。一個實施方式中，光敏組合物包含以下式l的全氟聚醚化合物作為氟化化合物R—E~CF2-0-(CF2-0-)n(-CF2-CF2-0-)-CF2—E'—R'式1式中，n和m分別表示無規分布的全氟亞甲基氧基(perfluoromethyleneoxy)(CF20)和全氟亞乙基氧基(perfluoroethyleneoxy)(CF2CF20)主鏈重複子單元的數量，其中，m/n的比值可為0.2/l至5/l;E和E'可以相同或不同，各自是選自下組的增量鏈段1-10個碳原子的直鏈垸基，1-io個碳原子的支鏈垸基，l-10個碳原子的直鏈烴醚，和l-10個碳原子的支鏈烴醚；R和R'可以相同或不同，是選自下組的光活性鏈段丙烯酸酯，甲基丙烯酸酯，烯丙基，乙烯基醚。光活性鏈段R和R'優選是丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。光活性鏈段是在進行光化輻照曝光時能發生自由基反應，形成聚合的彈性體產物的可光聚合的鏈段。烴醚的增量鏈段可具有一個或多個醚氧原子，這些醚氧原子在鏈段的內部和/或末端。增量鏈段E和E'各自的垸基和烴醚可以是非氟化的，或可以氟化但不是全氟化的。一個實施方式中，增量鏈段E和E'是l-10個碳原子的非氟化的烴醚。式1表示的PFPE化合物的一個實施方式中，n和m表示無規分布的全氟亞甲基氧基和全氟亞乙基氧基的主鏈重複子單元的數量，n和m數量的所述重複子單元使式l表示的化合物分子量為約250-4000。在另一個實施方式中，式1表示的PFPE化合物的平均分子量約為250-4000。在式1表示的PFPE化合物的一個實施方式中，增量鏈段E和E'可以相同或不同，選自下組具有l-4個碳原子的直鏈烷基和具有l-4個碳原子的支鏈垸基。在式1表示的PFPE化合物的一個實施方式中，增量鏈段E和E'可以相同或不同，選自下組具有1-4個碳原子的直鏈烴醚和具有1-4個碳原子的支鏈烴醚。一個實施方式中，光敏組合物包含下式1A的全氟聚醚化合物作為氟化化合物:式中，n和m分別表示無規分布的全氟亞甲基氧基(CF20)和全氟亞乙基氧基(CF2CF20)主鏈重複子單元的數量，m/n的比值可以為0.2/l至5/1，X禾口X'可以相同或不同，選自氫和甲基。一種製備式1A表示的全氟聚醚化合物的適當方法是使全氟聚醚-二醇與烯丙醯氯反應。式1A表示的PFPE化合物的一個實施方式中，n和m表示無規分布的全氟亞甲基氧基和全氟亞乙基氧基的主鏈重複子單元的數量，n和m數量的所述重複子單元使式1A表示的化合物分子量為約250-4000。在另一個實施方式中，式1A表示的PFPE化合物的平均分子量約為250-4000。在一個實施方式中，式1A表示的PFPE化合物的分子量約為250-3800。在另一個實施方式中，式1A表示的PFPE化合物的分子量約為900-3000。在另一個實施方式中，式1A表示的PFPE化合物的分子量約為900-2100。分子量小於約4000，特別地，小於約2000的形成壓模的彈性體層的PFPE化合物(包括式1和1A的PFPE化合物)的彈性模量至少為10兆帕斯卡。具有彈性模量大於IO兆帕斯卡，優選大於20兆帕斯卡，最優選大於35兆帕斯卡的彈性體層的壓模能夠印刷用於電子器件和元件的、特徵元件與間距的比值低的圖案(該比值由特徵元件寬度除以特徵元件之間的寬度確定)，以及高長寬比的特徵元件(長寬比由壓模上的特徵元件寬度除以特徵元件高度確定)。壓模的彈性模量大於10兆帕斯卡的固化的彈性體層表現出有助於印刷過程的式1A減少下垂的現象。壓模的浮雕表面的下垂是這樣一種現象，即浮雕表面的凹陷區域的最下表面塌陷或者向該浮雕表面的凸起區域的最上表面下垂。下垂也稱作壓模頂部塌陷。浮雕表面的下垂導致凹陷區域印刷至不應有圖像之處。在一個實施方式中，光敏組合物可由一種或多種具有一個或多個聚合官能團的基於氟化彈性體的化合物的混合物構成，所述聚合官能團能進行自由基反應，形成聚合的彈性體產物。在另一個實施方式中，光敏組合物可由一種或多種具有一個或多個聚合官能團的PFPE化合物的混合物構成，所述聚合官能團能進行自由基反應，形成聚合的彈性體產物。在另一個實施方式中，光敏組合物可由一種或多種式1表示的PFPE化合物的混合物構成，形成聚合的彈性體產物。在另一個實施方式中，光敏組合物可由一種或多種式1A表示的PFPE化合物的混合物構成，形成聚合的彈性體產物。在又一個實施方式中，光敏組合物可包含一種或多種組分和/或添加劑以及基於氟化的彈性體的化合物。光敏組合物中可以存在一種或多種組分，只要這些組分與基於氟化的彈性體的化合物的相容程度能夠產生透明或基本透明(無混濁或無霧度)的光敏組合物層即可。相容性表示兩種或更多種組分能保持分散或相互混溶，沒有引起對光化輻照的可感知的散射的能力。當一種或多種組分能溶於氟化化合物時通常能實現相容。相容性經常受到組分的相對比例的限制，不相容性可由在光敏組合物中形成霧度證實。對製備印刷形式，可以容許在曝光之前或期間由這類組合物形成的層的輕微的霧度，但是最好能避免霧度。低霧度或無霧度的光敏組合物能更有效完全地固化，即聚合。因此，將組分的用量限制到相容濃度，即低於產生不希望的光散射或霧度的濃度。一個實施方式中，光敏組合物包括光引發劑和基於氟化彈性體的化合物。另一個實施方式中，光敏組合物包含光引發劑和一種或多種烯鍵式不飽和化合物以及基於氟化的彈性體的化合物。光引發劑可以是對光化輻照敏感，產生引發聚合反應但沒有過分終結的自由基的一種化合物或多種化合物的組合。可以使用任何已知類型的光引發劑，特別是自由基光引發劑，例如芳族酮、醌、二苯甲酮、苯偶姻醚、芳基酮、過氧化物、雙咪唑、苄基二甲基縮酮、羥烷基苯基苯乙酮、二垸氧基苯乙酮、三甲基苯甲醯氧化膦衍生物、氨基酮、苯甲醯環己醇、甲基硫代苯基嗎啉代酮、嗎啉代苯基氨基酮、(X-滷素苯乙酮、含氧磺醯酮、磺醯酮、含氧磺醯酮、磺醯酮、苯甲醯肟酯、硫代蒽酮(thioxanthrone)、樟腦醌、香豆素酮(ketocoumarin)和麥可酮(Michler'sketone)。或者，光引發劑可以是化合物的混合物，當通過輻射活化的感光劑致使混合物提供自由基時，由其中一種化合物提供自由基。液體光引發劑特別適合，因為液體光引發劑能很好分散在組合物中。較好地，引發劑對紫外線輻射敏感。以光敏組合物的重量為基準，光引發劑的存在量一般為0.001-10.0%。一個實施方式中，以光敏組合物的重量為基準，光引發劑的存在量為0.5-5重量％。光引發劑包括基於已知的芳族酮類的無氟光引發劑的氟化的光引發劑。氟化光引發劑是以下特性的光引發劑，其中，具有氟代烷基端基的含氟部分通過使氟化分子中的官能團與光引發劑或其前體的官能團反應而與該引發劑相連，所述相連不能顯著降低光子吸收和自由基形成的特性。合適的氟化光引發劑的例子由Wu公開於美國專利第5，391，587號和第RE35,060號中。一個實施方式中，氟化的光引發劑是氟化的芳族酮。使用氟化光引發劑的優點是氟化光引發劑通常能與基於氟化彈性體的化合物高度相容，並且能產生透明、無混濁的光敏組合物層。組合物可包含一種或多種能進行光引發加成聚合的烯鍵式不飽和化合物(也可以指單體)。通常，至少一種烯鍵式不飽和化合物是非氣態的，且在正常大氣壓下的沸點高於IO(TC。所述烯鍵式不飽和化合物是非氟化的。該組合物可含有單官能或多官能的丙烯酸酯，禾P/或單官能或多官能的甲基丙烯酸酯。一個實施方式中，含具有2個、3個或更多丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯基團的單體的組合物能夠在進行光聚合過程的同時進行交聯。可用於能夠通過光化輻照活化的組合物中的單體為本領域皆知，這類單體包括但不限於加成聚合的烯鍵式不飽和化合物。加成聚合化合物也可以是低聚物，並可以是單一的低聚物或低聚物的混合物。組合物可含有單一單體或多種單體的組合。以組合物重量為基準，能進行加成聚合的單體化合物的存在量小於5%，優選小於3%。合適的單體包括但不限於醇和多元醇的丙烯酸單酯；醇和多元醇的丙烯酸多酯;醇和多元醇的甲基丙烯酸單酯；以及醇和多元醇的甲基丙烯酸多酯；其中，合適的醇和多元醇包括鏈垸醇，亞烷基二醇，三羥甲基丙浣，乙氧基化三羥甲基丙垸，季戊四醇和聚丙烯醯基(polyacrylol)低聚物。其他合適的單體包括異氰酸酯、酯、環氧化物等的丙烯酸酯衍生物和甲基丙烯酸酯衍生物。可以使用單官能和多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯的組合。組合物可任選含有至少一種表面活性劑，以改進光引發劑與基於氟化彈性體的化合物的分散性，以形成無霧度的分散體。表面活性劑還有助於光敏組合物在母模上的鋪展或塗覆，以形成印刷形式前體層。對表面活性劑沒有特別的限制，只要表面活性劑能混溶於光敏組合物即可。一般而言，對表面活性劑沒有限制，可包括非離子型和離子型(陰離子、陽離子和兩性)表面活性劑。一個實施方式中，表面活性劑包含一個或多個氟化部分。適合用於光敏組合物中作為單體的氟化材料的例子有Zonyl⑧產品，型號PM4700和FC3573(得自DuPont，Wilmington,DE)，該組合物還含有表面活性劑。以組合物重量為基準，表面活性劑存在量約為0.001-1%。光敏組合物可含有其他組分，如熱聚合引發劑，加工助劑，抗氧化劑，光敏劑等，以穩定或者增強該組合物。載體是撓性膜，優選是撓性聚合物膜。撓性載體能夠順應或基本順應壓模的彈性體浮雕表面，至可印刷的電子基板，沒有發生翹曲或變形。載體也是充分撓性的，能夠在從母模剝離壓模時與彈性體層一起彎曲。載體可以是能形成膜的幾乎任何聚合材料，所述膜是非反應性的，並在製造和使用壓模期間的所有狀況下保持穩定。合適的膜載體的例子包括纖維素膜，如，三乙醯基纖維素；和熱塑性材料如聚烯烴，聚碳酸酯，聚醯亞胺和聚酯。優選聚乙烯膜，如聚對苯二甲酸乙二酯和聚萘二甲酸乙二酯。載體也包括撓性玻璃。通常，載體的厚度為2-50密耳(0.0051-0.13釐米)。一個實施方式中，撓性膜厚度為4-15密耳(0.010-0.038釐米)。通常，載體為片形，但不限於片形。載體能透過或基本透過使光敏組合物聚合的光化輻射。載體能夠使基於氟化彈性體的組合物的固化層在由印刷形式前體形成壓模過程和印刷過程期間穩定並減小其變形。當氟化化合物的分子量小於約4000，特別是小於約2000時，載體的穩定作用顯著。印刷壓模中存在載體還使壓模壽命延長，能夠增加壓模蓋印的數量。此外，在一些終端用途的應用中，用於壓模的載體必須是透明的，使由該壓模印刷的材料能固化。例如，壓模通過該透明載體曝光，固化由該壓模印刷的電子油墨。對有關電子油墨內容中的術語"電子"沒有限制，可以包括例如導體，半導體，介電材料等。載體表面可包含增粘表面如底塗層，或者可以進行處理以促進粘合劑層與載體的粘合。該載體的表面可以包含粘合劑材料或底塗料的底層(subbinglayer)或者固定層(anchorlayer),以達到載體和粘合劑層或者載體和光敏組說合物之間的強粘著。較合適的是公開於美國專利第2，760,863號和第3，036，913號中的底層組合物。可以對載體表面進行火焰處理，用溫和酸處理，或電子處理如電暈處理，以促進載體和粘合劑層(或光敏組合物)之間的粘結。只要載體保持其透明性和撓性，載體的一面上還可以包含金屬薄層。較好地，金屬薄層與基於氟化彈性體的組合物的層相鄰並接觸。該金屬薄層可為壓模提供在浮雕表面的凹陷部分和凸起部分之間不同的表面能，因而提高壓模的印刷能力。如果在凹陷部分的彈性材料的殘留層(即底層)可以通過等離子體處理去除，則尤其如此。適合用作載體上的任選金屬層的金屬例子以及建議的金屬層厚度如下。tableseeoriginaldocumentpage15載體的一面還可以包含粘合劑層。粘合劑層可以在增粘表面上，或者在載體的底塗層上，或者直接在載體的表面上。粘合劑層覆蓋全部或基本上全部載體表面。對粘合劑沒有限制，只要粘合劑能光學透過對基於氟化彈性體的組合物進行聚合的光化輻射即可。適合使用的粘合劑可參考"HandbookofAdhesives(粘合劑手冊)"，editedbyI.Skeist，ThirdEdition,VanNostrandReinholdCompany,NewYork,1990，特別是第38章。合適的粘合劑的例子包括但不限於天然橡膠；丁基橡膠;苯乙烯嵌段共聚物，如苯乙烯-異戊烯-苯乙烯嵌段共聚物和苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物；苯乙烯-丁二烯橡膠；異丁烯均聚物；乙烯-乙酸乙烯酯共聚物；丙烯酸類，如聚(丙烯酸酯)和丙烯酸膠乳；矽酮；聚氨酯，以及它們的組合。一個實施方式中，粘合劑是通過在紫外光中曝光進行活化，結合和固化的粘合劑。一個實施方式中，粘合劑是聚氨基甲酸酯丙烯酸酯。另一個實施方式中，粘合劑可以是全氟聚醚化合物，如由式1和1A表示的PFPE化合物，它們的分子量約為240-600。這種情況下，由印刷形式前體形成的壓模可以是多層的，即具有兩層基於氟化彈性體的材料層。粘合劑還包含添加劑，以調節該粘合劑層的粘合性或其他性質，或有助於施塗粘合劑，在載體上形成粘合劑層。對粘合劑層的厚度沒有限制。一個實施方式中，粘合劑層的厚度可以為1-5微米。另一個實施方式中，粘合劑層厚度小於l微米。製造壓模的方法參見圖1至圖5，由印刷形式前體10製造壓模5的方法按成型操作進行。圖1示出母模12，該母模具有形成在(母模)基板15的表面14上的微電子特徵元件的負片浮雕圖案13。基板15可以是任何光滑或基本光滑的金屬，塑料，陶瓷或玻璃。一個實施方式中，母模基板是玻璃板或矽板。按照本領域技術人員皆知的常規方法，通常在基板15上的浮雕圖案13由光刻膠材料形成。也可以使用塑料接枝膜(gratingfilm)和石英接枝膜作為母模。如果需要納米規格的非常微小的特徵元件，則可以採用電子束輻射在矽晶片上形成母模。可以將母模12放置在模具外殼和/或與隔板(未示出)一起沿其周邊放置，以幫助形成均勻的光敏組合物層。在沒有模具外殼或隔板條件下形成壓模，可以簡化本發明的方法。在圖2所示的一個實施方式中，用於印刷形式前體10的載體16可以通過以下方式製造在載體16上施塗粘合劑層18，通過光化輻照例如紫外光輻射曝光使粘合劑固化。施塗粘合劑層18的步驟可以通過適合提供所需厚度和均勻性的任何方法來完成。在另一個實施方式中(未示出)，載體包括底塗層，或者已進行了處理，以促進光敏組合物與載體的粘結。如圖3所示，引入光敏組合物20，在具有浮雕圖案13的母模12的表面上形成層。可以採用任何合適的方法將光敏組合物引入在母模12上，所述方法包括但不限於，注射，傾倒，液體澆鑄和塗覆。進行塗覆的適當方法的例子包括旋塗，浸塗，縫式塗布，輥塗，刮刀刮塗。一個實施方式中，通過將光敏組合物的液體傾倒在母模上，形成層20。在母模上形成光敏組合物的層20，使得進行光化輻射曝光後，固化的組合物形成約5-50微米厚度的固體彈性體層。一個實施方式中，氟化組合物的固化彈性體層的厚度約為10-30微米。將載體16設置在光敏組合物層20與母模12相反的一面上，如果有粘合劑層18時使該層與光敏組合物層相鄰，優選接觸，形成印刷形式前體IO。一個實施方式中，將載體16放置在組合物層20上，用手略施加壓力，以保證載體與該層的充分接觸。可以適合獲得印刷形式前體10的任意方式，將載體16施加在組合物層上。一個實施方式中，可以在載體16上放置玻璃平板，以形成均勻厚度的光敏組合物層20。任選地，在進行曝光固化該層20期間可以存在該玻璃板，這樣的話，前體可通過該玻璃板曝光。在組合物是由分子量小於4000的PFPE化合物構成的實施方式中，所述組合物通常是低粘度的，以幫助減少在載體16和組合物層20之間的滯留空氣。如圖4所示，在通過透明載體16對印刷形式前體IO進行光化輻照曝光時，光敏組合物層20聚合形成用於壓模5的氟化組合物的彈性體層24。光敏組合物層20通過光化輻照曝光進行固化或聚合。通常不必施加額外的壓力以將組合物聚合為其彈性態。此外，通常在氮氣氛中進行曝光，以消除或減少曝光期間環境中氧的存在，以及氧可以對聚合反應產生的影響。印刷形式前體進行光化輻照曝光，如紫外線(UV)或可見光曝光。光化輻射通過透明載體進入光敏材料。曝光後的材料聚合和/或交聯，並成為固體彈性體層的浮雕表面對應於母模上的浮雕圖案的壓模或模板。一個實施方式中，在365納米I-劃線器(liner)曝光裝置中，適當的曝光能量為10-20焦耳。光化輻照源包括紫外光，可見光和紅外波長區域。具體光化輻照源的適宜性可以通過光敏組合物的光敏性來控制，具體是用於製備印刷形式前體的基於氟化的彈性體的化合物和任選的引發劑和/或至少一種單體。印刷形式前體的優選的光敏性在光譜的UV和遠可見光區，因為它們能提供更好的室內光穩定性。合適的可見光和UV源的例子包括碳弧，汞蒸氣弧，螢光燈，電子閃光設備，電子束設備，雷射器和照相泛光燈。最合適的UV輻射源是汞蒸氣燈，特別曰光燈。這些輻射源一般發射310-400納米間的長波UV輻射。對這些特定UV源敏感的印刷形式前體使用能吸收310-400納米光的基於氟化彈性體的化合物(和引發劑)。如圖5所示，包括載體16的壓模5通過剝離與母模12分離。因為載體和壓模承受從母模12分離時所需的彎曲，在壓模5上的載體16應有足夠的撓性。載體16保留有固化的彈性體層24，提供壓模複製與軟性平版印刷方法相關的微型圖案和微結構所需的尺寸穩定性。壓模5在與載體16相反的一面包括浮雕表面26，該浮雕表面具有與母模12的浮雕圖案13的負片對應的凹陷部分28和凸起部分30。一個實施方式中，浮雕表面26在凸起部分30和凹陷部分28之間具有不同的高度即浮雕深度，約為O.l-10微米。另一個實施方式中，浮雕深度為0.3-5微米。壓模的浮雕表面可包括一層固化的氟化彈性體材料作為浮雕的凹陷部分的底層(即最下層表面)。又一個實施方式中(未示出)，浮雕表面的凹陷部分的最下層表面可以是載體。或者，浮雕表面的凹陷部分的最下層表面可以是粘合劑層或金屬薄層。在一些最終應用中，壓模的凸起表面為電子器件或元件提供圖案。具有彈性體圖案化的浮雕表面的壓模適合用於軟性平版印刷方法，來產生微型圖案和微結構。軟性平版印刷方法包括微接觸印刷(IJCP)，複製成型(REM)，壓紋，微轉移成型(IJTM)，毛細管中微成型(MIMIC)，藉助溶劑的微成型(SAMIM)，以及相轉換光刻。還設想本發明的印刷形式前體可以用於其他應用，如微型透鏡陣列，光波導，光學開關，菲涅耳波帶板，二進單元，光學元件，濾光器，顯示材料，記錄介質，微型反應器晶片，以及抗反射塗層元件。實施例除非另外指出，否則，所有百分數都是以組合物的總重量為基準的。術語表BHT丁基化羥基甲苯PFPE全氟聚醚FLK-D20Diol全氟聚醚二醇(分子量為2000)FLK-D40Diol全氟聚醚二醇(分子量為4000)E10-DA/CN4000PFPE二丙烯酸酯(分子量為1000)PTFE聚四氟乙烯THF四氫呋喃UV紫外線輻射實施例1下面的實施例顯示由具有全氟聚醚(PFPE)和氟化光引發劑的光敏組合物製造壓模。按照以下方法製備式1A表示的全氟聚醚化合物，D20-DA二丙烯酸酯。對在裝備滴液漏鬥、溫度計、冷凝器和N2清洗接管的三頸圓底反應燒瓶(250ml)中的FLK-D20Diol(從新澤西州斯柔法的薩爾凡-薩勒斯(SolvaySolexsisThorofare，NJ)購得)(10克，0.005摩爾，1當量)和BHT(l重量％FLK-D200.001克)在無水THF(100毫升)中的溶液進行攪拌。使用冰水浴將該反應燒瓶冷卻至(TC。在15分鐘內，向FLK-D20Diol的THF溶液中滴加三乙胺(1.948克，0.0193摩爾，3.85當量)。反應保持在O'C。在60分鐘內，通過第二滴液漏鬥向該溶液滴加烯丙醯氯(1.585克，0.0185摩爾，3.5當量)。使混合物的溫度不超過5°C。加入烯丙醯氯後沉澱厚層的鹽。使該混合物溫熱至10-15匸保持2小時，然後達到室溫，在此溫度，在氮氣氛下攪拌混合物過夜。將該反應混合物倒入500毫升蒸餾水中，攪拌2小時。用乙酸乙酯或二氯甲烷從該水溶液萃取D20-DA;提供約83%轉化率。通過使溶液從氧化鋁柱通過對粗產物進行純化，產生透明無色的油狀物。製得的全氟聚醚(預聚物)化合物的結構為按式1A的結構式，具有丙烯酸酯端基(其中，X和X'都是H)，數均分子量約為2000。按照以下反應過程製備氟化的弓I發劑。氟化引發劑tableseeoriginaldocumentpage19製備氟化光引發劑的過程-在一個500毫升的圓底燒瓶中加入a-羥甲基苯偶姻(20.14克)、三乙胺(Fluka，8.40克)和二氯甲烷(100毫升)。室溫，正氮氣壓力下磁力攪拌該混合物。在單獨的燒瓶之中加入HFPO二聚醯基氟(32.98克)和Freon-113(CFC12CF2C1，奧爾德裡奇(Aldrich),60毫升)。在30分鐘內，於4-5。C，在該攪拌中的a-羥甲基苯偶姻溶液中滴加該醯基氟溶液以控制放熱反應。添加完成後，於室溫攪拌該反應器2.5小時。反應物用4X500毫升的飽和NaCl溶液清洗。有機層用MgS04乾燥，在硅藻土(celite)/二氯甲垸墊上過濾。TLC分析表明，少量的原料留在粗產物中。將產物真空濃縮，然後溶解於己烷(100毫升)。將該溶液預吸收在矽膠上，並使用90:10的己垸EtOAc的洗脫液，通過氧化矽柱進行清洗。分離的所需產物為淺黃色油狀物，該油狀物是非對映異構體的混合物(33克，產率為72%)。通過將1重量％的碳基氟化的引發劑與前面製備的全氟聚醚D20-DA二丙烯酸酯混合，製備光敏組合物。室溫攪拌該混合物24小時。按照以下方式製備印刷形式前體，將液體的PFPE光敏組合物倒在用作母模的4英寸矽晶片上的顯影后的光刻膠圖案上，形成溼厚度為25微米的層。按照以下方式製備載體通過旋塗方法，以3000rpm在5密耳(0.0127釐米)的Melinex⑧561聚酯膜載體上施塗一層可UV固化的光學透明的粘合劑(型號N0A73，從新澤西州的卡瑞本的北方產品公司(NorlandProducts;Cranbury，NJ)購得)，粘合劑層的厚度為5微米，然後在氮氣氛中，以1.6瓦功率(20毫瓦/釐米2)在紫外線輻射(350-400nm)中曝光90秒進行固化。將該載體放置在與母模相反的PFPE預聚物層(空氣層界面)上，使粘合劑與該層接觸。使用365納米I-劃線器(OAIMaskAligner,型號200)，使該層通過載體曝光600秒，以固化或聚合PFPE層，形成壓模。然後將壓模從母模上剝離，壓模上具有對應於母模中圖案的浮雕表面。壓模的該浮雕表面由光學顯微照片表徵。該顯微照片顯示有10微米的點和線的特徵元件，這些特徵元件是光刻膠母模的負片圖像。壓模具有優良的點和線特徵元件，因為沒有或僅有很小的缺陷。按照ASTMD1003，用HazegardPlus(得自BYKGardner)測量霧度。該模板的霧度為0.21%。實施例2下面的實施例顯示由具有非氟化光引發劑的全氟聚醚組合物製造壓模。按照實施例1所述製備全氟聚醚化合物，D20-DA二丙烯酸酯。按照以下方式製備板的組合物將1重量y。的非氟化光引發劑Darocur4265(得自瑞士巴塞爾汽巴特種化學品公司(CibaSpecialtyChemicals,Basel,Switzerland),下面說明)與D20-DA混合。Darocur4265是下式(a)和(b)所示的兩種結構體的50/50的混合物。室溫攪拌該混合物24小時。(a)(b)20所述非氟化的光引發劑不混溶於PFPE預聚物化合物中，形成非均化的混合物。然後，按照實施例1中所述的方式使用該非均化的混合物製造PFPE壓模。壓模的浮雕表面由光學顯微照片表徵。該顯微照片顯示良好的IO微米的點和線特徵元件以及許多氣泡。氣泡是在一些點和線特徵元件中的缺陷。PFPE二丙烯酸酯預聚物化合物和引發劑的不混溶性導致在壓模中的許多氣泡。按照實施例1所述測量壓模的霧度為0.48%。具有非氟化光引發劑的壓模的霧度明顯大於實施例1用氟化光引發劑製備的類似壓模的霧度。實施例2的壓模具有較高霧度的原因是PFPE(預聚物)化合物與非氟化光引發劑的不混溶性。較高霧度影響PFPE彈性體層的曝光，使局部交聯密度不同，因而影響壓模在大區域中的尺寸穩定性。霧度還限制了PFPE層的有效均勻固化，和形成電子壓印所需的微小特徵元件的質量。雖然實施例2的壓模的浮雕表面有一些氣泡，但是該壓模因為存在載體而沒有發生翹曲或變形，並可以用於某些軟性平版印刷的最終用途的應用中。實施例3和4以下實施例表明製備的具有載體和沒有載體的壓模之間尺寸穩定性的差別。使用4英寸(10.16釐米)矽(Si)晶片作為母模製造兩種壓模，使用矽晶片的原因是能提供高度平坦均勻的表面。按照實施例1製造實施例3的壓模，不同之處是，該壓模不包含Melinex⑧561聚酯載體。在波長365納米的I-劃線器中，在氮氣箱中對該層(通過與母模相反的一面)曝光。固化的壓模的厚度約為1.5毫米。該層固化形成沒有載體的壓模(即自立式壓模)，但是在固化過程中與母模分層並明顯變形。按照實施例l製造實施例4的壓模，不同之處是該壓模包括載體。將混合物倒在母模上，在進行UV固化之前，在PFPE預聚物/空氣界面(即與母模相反的一面)上施加具有按照實施例1所述的粘合劑層的5密耳Melinex561聚酯載體。在365納米波長下，在氮氣箱中該層通過該載體曝光IO分鐘。然後將壓模從Si晶片上剝離，壓模上具有對應於母模中圖案的浮雕表面。該壓模在固化期間沒有發生變形。通過層疊將壓模再次放置在母模上後，該壓模的浮雕區域與Si晶片上相應的圖案區域匹配，表明該壓模保持了其尺寸穩定性，並且在整個層疊過程中沒有發生變形。實施例5和6以下實施例表明製備的具有載體和沒有載體的PFPE壓模之間表面粗糙度的差別。使用4英寸(10.16釐米)矽(Si)晶片作為母模製造兩種壓模，使用矽晶片的原因是能提供高度平坦均勻的表面，足以評價壓模的表面粗糙度。按照式1A的全氟聚醚化合物D40-DA是由薩託瑪(Sartomer)提供並不加處理直接使用。製備的全氟聚醚化合物(預聚物)具有式1A所示的結構，具有丙烯酸酯端基(X和X'都是氫)，分子量約為4000。對實施例5，通過將上面製備的D40-DAPFPE預聚物與1重量％光引發劑Darocur1173(得自瑞士巴塞爾汽巴特種化學品公司)混合製備壓模組合物。Darocur1173的結構如下。於環境溫度攪拌該混合物24小時。然後，將均勻的混合物倒在Si晶片上，厚度為1.5毫米，但是在PFPE預聚物層上沒有施加載體。在波長365納米的I-劃線器中，於氮氣箱中，該層從與母模相反的一面曝光IO分鐘，固化該層並形成壓模。固化的壓模的厚度約為1.5毫米。使用NanoscopeIV原子力顯微鏡(得自維科儀器(VeecoInstrument))測量壓模的表面粗糙度，該顯微鏡提供AFM圖像和表面粗糙度計算。在環境條件下，以敲擊(Tapping)模式獲得AFM圖像。測量壓模與母模接觸的表面的粗糙度。實施例5的壓模的表面很粗糙，其均方根粗糙度為33納米。用顯微鏡沒有觀察到彈性體層的變形或者該層從用於實施例5壓模的母模上脫層。但是，申請人估計實施例5的壓模的表面粗糙度較高的原因是沒有載體在固化期間穩定該壓模，因此有很小範圍的尺寸不穩定性。按照與實施例5相同的方式製造實施例6的壓模，不同之處是，在固化前，在PFPE(預聚物)化合物上施加5密耳(12.7釐米)的Melinex561聚酯膜載體，該載體具有實施例l所述的粘合劑層。將壓模從Si晶片上剝離。實施例6的壓模具有光滑的表面，均方根表面粗糙度為4.6納米。實施例6的壓模的表面粗糙度明顯小於實施例5的壓模的表面粗糙度。與實施例5具有較粗糙的浮雕表面的壓模相比，該壓模的光滑表面在印刷過程中提供改進的保形接觸，並能在基板上均勻印刷油墨。實施例7和8下面實施例7和8表明對具有不同分子量的PFPE彈性體，在晶片基板上的壓模特徵元件的下垂的差別。使用由薩託瑪(Sartomer)提供的產品型號為CN4000的全氟聚醚化合物E10-DA，不進行處理直接使用。E10-DA具有式1所示的結構，其中，R和R'各自是丙烯酸酯，E是(CH2CH20)hCH2的直鏈非氟化的烴醚，E'是(CF2CH20(CH2CH20)卜2的直鏈烴醚，分子量約為1000。使用SU-82型負片光刻膠(得自馬薩堵塞州牛頓的微化學品公司(MICROCHEM，Newton,MA))，製備具有逐漸增加線和寬度的圖案的Si晶片母模。SU-82型光刻膠用Y-丁內酯以5/3的重量比稀釋，製備低高度的線特徵元件。以3000rpm,在Si晶片上旋塗稀釋的SU-82型60秒。塗覆後的晶片於65。C預烘焙1分鐘，於95"預烘焙1分鐘。使用MaskAligner(實施例中描述)，預烘焙的晶片通過具有逐漸增加線和寬度的圖案的玻璃光掩模進行7秒的UV曝光。該玻璃光掩模在曝光期間與預烘焙的晶片的頂部真空接觸。將曝光後的晶片在65r後烘焙l分鐘，95卩後烘焙1分鐘，然後，在SU-8顯影劑(得自微化學公司(MICROCHEM))中顯影60秒。由輪廓儀(profiler)(KLA，TencorP15)測量產生的線特徵元件的高度為350納米。對實施例7，按照以下方式製備壓模組合物將E10-DAPFPE預聚物與1重量。/。的光引發劑Darocur1173混合，環境溫度下攪拌該混合物24小時，用0.45微米的PTFE過濾器過濾。將均勻混合物倒入製成的Si晶片母模中，該母模具有光刻膠圖案。通過以3000rpm旋塗60秒，在5密耳的MELINEX561聚酯膜載體上施塗一層N0A73粘合劑，然後在氮氣氛中，通過90秒的UV輻射曝光進行固化。將該載體放置在PFPE層上，使粘合劑層與PFPE層接觸。使用MaskAligner,PFPE層通過載體進行10分鐘UV曝光固化，形成具有載體的壓模。然後將壓模從Si晶片上剝離，壓模上具有對應於母模中圖案的浮雕表面。將壓模放置在平坦的Si晶片上，在顯微鏡下觀察線特徵元件的下垂。特徵元件的下垂始於50微米的線和間隔特徵元件。由此觀察結果，該壓模下垂的長寬比(w/h)約為140。(50微米(寬度)/350納米(高度))。使用裝備Berkovich金剛石硬度試驗壓頭(142度內含角)的HysitronTribolndenter，測量壓模(彈性體層和載體)的彈性模量。實施例7的壓模的彈性模量為44MPa(兆帕斯卡；106帕斯卡)。沒有觀察到塑性形變，因此可以認為該載體沒有影響模量，測得的彈性模量基本上是壓模的基於氟化的彈性體層的彈性模量。對實施例8，按照與實施例6的壓模組合物相同的方式製備壓模組合物。按照與實施例7壓模相同的方式，使用具有逐漸增加線和寬度的圖案的Si晶片母模，製造實施例8的壓模。將實施例8的壓模放置在平坦的Si晶片上，在顯微鏡下觀察線特徵元件的下垂。特徵元件的下垂始於5微米的線和間隔特徵元件。由此觀察結果，該壓模下垂的長寬比(5微米(寬度)/350納米(高度))約為14。實施例8的壓模的彈性模量為9兆帕斯卡。比較實施例7和8的壓模表明，實施例8的壓模是由分子量為4000的PFPE構成，由於壓模的低模量產生的下垂問題，不足以印刷高長寬比的特徵元件。實施例7的壓模是由分子量為1000的PFPE構成，具有較高的彈性模量和較高的長寬比，並預期能印刷微小特徵元件。使用實施例7的壓模，在聚對苯二甲酸乙二酯(Mylar⑧)上印刷銀油墨(20重量％納米顆粒銀在甲苯中)。該壓模印刷5微米線寬度的高解析度的線。如果使用實施例8的壓模印刷銀油墨，申請人預期印刷的線不如實施例7壓模印刷的線。即，實施例8的壓模不能印刷5微米線寬度的高解析度的線。預見到這種現象，是因為銀油墨不能充分潤溼實施例8的壓模的表面(因為壓模的低表面能)，並且通過印刷浮雕表面的凹陷區域，壓模的下垂會形成低分辨的圖像。實施例9和10下面的實施例表明在氟化化合物層和撓性膜之間沒有可固化的粘合劑層條件下具有載體的印刷形式前體。對實施例9，按照對實施例7所述，製備光敏組合物，並形成具有載體和粘合劑層的壓模。具有該載體的壓模的PFPE彈性體層在固化時沒有發生變形或翹曲。將一條Highland6200帶層疊在壓模的PFPE彈性體層一面的至少一部分上，並快速去除。該帶沒有發生上掀或使彈性體層與塗覆粘合劑的載體分層。對實施例10，按照對實施例7壓模所述，製備光敏組合物並形成具有載體的壓模，不同之處是Melinex載體膜不包含可UV固化的NOA粘合劑層。對與PFPE層接觸的Melinex載體膜表面進行表面處理，以促進粘結。具有該載體的壓模的PFPE層在固化時沒有發生變形或翹曲。如實施例9所述，將Highland6200帶層疊在PFPE側上並快速去除。該帶上掀，或使彈性體層與經過表面處理的載體分層。這些結果表明，無論是否存在另外的粘合劑層，載體都能為壓模的固化的氟化彈性體層提供尺寸穩定性。但是，存在另外的粘合劑層能提高氟化的彈性體層與載體的粘合性。2權利要求1.一種用於形成浮雕結構的印刷形式前體，該前體包括組合物層，所述組合物包含能夠通過光化輻照曝光聚合的氟化化合物；和與該層相鄰的撓性膜載體，該撓性膜載體能透過光化輻射。2.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，氟化化合物是全氟聚醚化合物。3.如權利要求1所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物層進行光化輻照曝光後，其彈性模量至少為io兆帕斯卡。4.如權利要求2所述的印刷形式前體，其特徵在於，全氟聚醚是以下式l表示的化合物R—E—CF2-0-(CF2-0-)n(-CF2-CF2-0-)-CF2—E'—R'式1式中，n和m分別表示無規分布的全氟亞甲基氧基和全氟亞乙基氧基主鏈重複子單元的數量，其中，m/n的比值可為0.2/l至5/l;E和E'可以相同或不同，各自是選自下組的增量鏈段1-IO個碳原子的直鏈烷基，1-10個碳原子的支鏈垸基，l-10個碳原子的直鏈烴醚，和1-IO個碳原子的支鏈經醚；R和R'可以相同或不同，是選自下組的光活性鏈段丙烯酸酯，甲基丙烯酸酯，烯丙基，乙烯基醚。5.如權利要求4所述的印刷形式前體，其特徵在於，n和m使式l表示的化合物的分子量約為250-4000。6.如權利要求4所述的印刷形式前體，其特徵在於，n和ra使式l表示的化合物的分子量約為250-4000。7.如權利要求2所述的印刷形式前體，其特徵在於，全氟聚醚是以下式1A表示的化合物式中，n和ra分別表示無規分布的全氟亞甲基氧基和全氟亞乙基氧基主鏈重複子單元的數量，m/n的比值可以為0.2/l至5/1，X和X'可以相同或不同，選自氫和甲基。8.如權利要求7所述的印刷形式前體，其特徵在於，全氟聚醚化合物的分子量約為250-4000。9.如權利要求7所述的印刷形式前體，其特徵在於，全氟聚醚化合物的分子量約為900-2100。10.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，氟化化合物是彈性體。11.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，組合物層在經過光化輻照曝光後成為彈性體層。12.如權利要求1所述的印刷形式前體，其特徵在於，組合物層的厚度為5-50微米。13.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，載體是選自下組的聚合物膜纖維素膜、聚烯烴、聚碳酸酯、聚醯亞胺和聚乙烯。14.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物還包括光引發劑。15.如權利要求1所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物還包括氟化的光引發劑。16.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物還包括表面活性劑。17.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物還包括烯鍵式不飽和化合物。18.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述組合物還包含選自下組的單體單官能丙烯酸酯、多官能丙烯酸酯、單官能甲基丙烯酸酯、多官能甲基丙烯酸酯，以及它們的組合。19.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述前體還包括在載體和組合物層之間的粘合劑層。20.如權利要求l所述的印刷形式前體，其特徵在於，所述前體還包括--層在載體和組合物層之間的金屬層。21.—種由印刷形式前體製造壓模的方法，該方法包括(a)向具有浮雕圖案的母模上提供印刷形式前體，該前體包括能透過光化輻照的撓性膜載體和能通過光化輻照曝光進行聚合的氟化化合物的組合物層，使該組合物層與該浮雕圖案接觸；(b)使該組合物層透過載體進行光化輻照曝光，使該層聚合；和(C)將聚合的層與母模分離，形成其浮雕表面與母模的浮雕圖案對應的壓模。22.如權利要求21所述的方法，其特徵在於，光化輻照是紫外線輻射。23.如權利要求21所述的方法，其特徵在於，氟化化合物是全氟聚醚化合物。24.—種印刷壓模，按照如權利要求21所述的方法製造。25.—種對基板進行圖案化的方法，該方法包括(A)製備如權利要求21所述的壓模，其中，壓模的浮雕表面包括凸起部分和凹陷部分；(B)在壓模的浮雕表面上提供油墨；和(c)將油墨從浮雕表面的凸起部分轉移到基板上。26.—種對基板進行圖案化的方法，該方法包括(A)製備如權利要求21所述的壓模，其中，壓模的浮雕表面包括凸起部分和凹陷部分；(B)在基板上提供一層能通過光化輻照曝光進行固化的電子材料；(C)將壓模壓在電子材料層上；(D)使電子材料進行光化輻照曝光，以固化該電子材料；和(E)將壓模與基板上固化的電子材料分離。全文摘要本發明涉及印刷形式前體和由該前體製造用於軟性平版印刷應用的壓模的方法。該印刷形式前體包括組合物層，所述組合物包含能夠通過進行光化輻照聚合的氟化化合物；與該組合物層相鄰的撓性膜載體，該撓性膜載體能透過光化輻射。文檔編號G03F7/00GK101479662SQ200780024384公開日2009年7月8日申請日期2007年6月22日優先權日2006年6月30日發明者G·B·布朗西特,M·彼得路希薩米加,R·布洛姆奎斯特,李喜現申請人:E.I.內穆爾杜邦公司