一種金屬掩膜板夾持裝置和框架模組的製作方法
2023-06-14 18:31:16 2
一種金屬掩膜板夾持裝置和框架模組的製作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種金屬掩膜板夾持裝置和框架模組，屬於顯示基板製備技術領域，其可解決現有的金屬掩膜板夾持裝置只能向金屬掩膜板提供長程方向拉伸力導致的金屬掩膜板平坦度低的問題。本實用新型的金屬掩膜板夾持裝置，包括：主夾具、至少一個調節件和與每個所述調節件對應的次夾具，每個所述次夾具與所述主夾具連接，每個所述調節件位於對應的所述次夾具和所述主夾具之間且所述調節件的兩端分別與對應的所述次夾具和所述主夾具連接。
【專利說明】
一種金屬掩膜板夾持裝置和框架模組
技術領域
[0001]本實用新型屬於顯示基板製備技術領域，具體涉及一種金屬掩膜板夾持裝置和框架模組。
【背景技術】
[0002]目前，在OLED製備過程中，有機材料的蒸鍍是至關重要的一環，蒸鍍過程中多要採用超精細金屬掩膜板來實現高解析度的像素設計，隨著像素密度越來越高，蒸鍍過程中混色等不良產生的概率越來越大。金屬掩膜板從來料檢查到張網焊接，再從張網到清洗，整個過程中對金屬掩膜板的平坦度均有很高的要求，這也是對後續蒸鍍工藝的必要保證。
[0003]請參照圖1，在現有技術中，通過四個金屬掩膜板夾持裝置對金屬掩膜板的平坦度進行調節，每個金屬掩膜板夾持裝置即為主夾具1，四個金屬掩膜板夾持裝置分別夾持在金屬掩膜板的四個頂角，在對金屬掩膜板的平坦度進行調解時，通過拉伸互為對角的兩個金屬掩膜板夾持裝置以向金屬掩膜板提供長度方向(圖1中左右方向)上的拉伸力(如圖1中箭頭所示)。
[0004]但利用這種金屬掩膜板夾持裝置，只能向金屬掩膜板提供長程方向(圖1中水平方向)上的拉伸力，對金屬掩膜板的短程方向(圖1中豎直方向)無法提供拉伸力，使得金屬掩膜板在短程方向上存在平坦度差的問題。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種能夠提高金屬掩膜板平坦度的金屬掩膜板夾持裝置和框架模組。
[0006]解決本實用新型技術問題所採用的技術方案是一種金屬掩膜板夾持裝置，包括:主夾具、至少一個調節件和與每個所述調節件對應的次夾具，每個所述次夾具與所述主夾具連接，每個所述調節件位於對應的所述次夾具和所述主夾具之間且所述調節件的兩端分別與對應的所述次夾具和所述主夾具連接。
[0007]其中，所述調節件的數量為兩個，每個所述主夾具包括兩個子部件，兩個所述子部件連接，每個所述調節件與一個對應的所述子部件連接，每個所述次夾具與一個對應的所述子部件連接。
[0008]其中，所述次夾具與對應的所述子部件通過轉動軸連接。
[0009]其中，所述次夾具設置有第一固定夾，所述子部件設置有第二固定夾，所述調節件通過所述第一固定夾與所述次夾具連接，所述調節件通過所述第二固定夾與所述子部件連接。
[0010]其中，所述第一固定夾和所述第二固定夾均包括卡槽、固定件和位於卡槽兩側的固定片，所述固定片與所述卡槽連接，所述固定件設置於所述固定片上;所述次夾具設置有與所述第一固定件匹配的第一固定槽，所述主夾具設置有與所述第二固定夾匹配的第二固定槽，所述第一固定夾的固定件設置於所述第一固定槽內以使所述第一固定夾與所述次夾具固定，所述第二固定夾的固定件設置於所述第二固定槽內以使所述第二固定夾與所述主夾具固定；
[0011]所述調節件的一端設置於所述第一固定夾的卡槽內，所述調節件的另一端設置於所述第二固定夾的卡槽內。
[0012]其中，所述卡槽與所述固定片為一體結構，所述固定片設置有固定孔，所述固定件設置於所述固定孔內。
[0013]其中，所述調節件為彈簧。
[0014]作為另一技術方案，本實用新型還提供一種框架模組，包括金屬掩膜板和框架，所述框架模組還包括:上述任意一項所述的金屬掩膜板夾持裝置；
[0015]所述金屬掩膜板夾持裝置夾持在所述金屬掩膜板上，所述金屬掩膜板與所述框架固定連接。
[0016]其中，所述金屬掩膜板夾持裝置的數量為四個，四個所述金屬掩膜板夾持裝置分別夾持在所述金屬掩膜板的四個頂角。
[0017]其中，對於上述的金屬掩膜板夾持裝置，兩個所述子部件分別夾在金屬掩膜板的上表面和下表面，夾在所述金屬掩膜板的上表面的所述子部件通過對應的一個調節件與對應的一個次夾具連接，夾在所述金屬掩膜板的下表面的所述子部件通過對應的另一個調節件與對應的另一個次夾具連接。
[0018]本實用新型的金屬掩膜板夾持裝置和框架模組中，該金屬掩膜板夾持裝置包括:主夾具、至少一個調節件和與每個調節件對應的次夾具，每個次夾具與主夾具連接，每個調節件位於對應的次夾具和主夾具之間且調節件的兩端分別與對應的次夾具和主夾具連接，主夾具用於向金屬掩膜板提供長程方向上的拉伸力，次夾具通過調節件的回覆力給金屬掩膜板提供短程方向上的拉伸力，通過控制調節件來控制金屬掩膜板短程方向上的受力，從而通過主夾具和次夾具分別對金屬掩膜板的長程方向和短程方向的平坦度進行調節，以提高金屬掩膜板的平坦度。
【附圖說明】
[0019]圖1為現有的金屬掩膜板夾持裝置的俯視圖；
[0020]圖2為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置的俯視圖；
[0021]圖3為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置的正視圖；
[0022]圖4為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置中次夾具的結構示意圖；
[0023]圖5為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置中子部件的結構示意圖；
[0024]圖6為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置中第一固定夾/第二固定夾的俯視圖；
[0025]圖7為本實用新型的實施例1的金屬掩膜板夾持裝置中第一固定夾/第二固定夾的正視圖；
[0026]圖8為本實用新型的實施例2的框架模組的俯視圖；
[0027]圖9為金屬掩膜板夾持裝置30將金屬掩膜板10的短程方向拉伸的示意圖；
[0028]圖10為金屬掩膜板夾持裝置30將金屬掩膜板10的短程方向收縮的示意圖
[0029]其中，附圖標記為:1、主夾具；11、子部件；12、第二固定夾；121、第二固定槽;2、調節件;3、次夾具;31、第一固定槽;32、第一固定夾;4、轉動軸;5、卡槽;6、固定件;7、固定片；71、固定孔;1、金屬掩膜板;20、框架;30、金屬掩膜板夾持裝置。
【具體實施方式】
[0030]為使本領域技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步詳細描述。
[0031]實施例1:
[0032]請參照圖2至圖5，本實施例提供一種金屬掩膜板夾持裝置，包括:主夾具1、至少一個調節件2和與每個調節件2對應的次夾具3，每個次夾具3與主夾具I連接，每個調節件2位於對應的次夾具3和主夾具I之間且調節件2的兩端分別與對應的次夾具3和主夾具I連接。
[0033]從圖2中可以看出，次夾具3的一端與主夾具I連接，主夾具I和次夾具3之間具有一定夾角，在該夾角內設置有一個調節件2，調節件2的一端與主夾具I連接，調節件2的另一端與次夾具3連接，從而調節主夾具I與次夾具3之間的夾角，以達到調節金屬掩膜板10的平坦度的目的。
[0034]主夾具I用於向金屬掩膜板10提供長程方向(圖中水平方向)上的拉伸力(圖中實線箭頭所示)，次夾具3通過調節件2的回覆力給金屬掩膜板10提供短程方向(圖中豎直方向)上的拉伸力(圖中虛線箭頭所示)，通過控制調節件2來控制金屬掩膜板10短程方向上的受力，從而通過主夾具I和次夾具3對金屬掩膜板10的長程方向和短程方向的平坦度進行調節，以提高金屬掩膜板10的平坦度。
[0035]具體地，可以通過使調節件2的體積減小，從而減小主夾具I的子部件11與次夾具3之間的角度，即調節件2將次夾具3向靠近子部件11的方向拉伸，由於作用力是相反的，此時，次夾具3將會給金屬掩膜板10向遠離子部件11的方向拉伸力，使金屬掩膜板10的邊緣向中心收縮;通過使調節件2的體積增大，從而增大主夾具I的子部件11與次夾具3之間的角度，即調節件2將次夾具3向遠離子部件11的方向拉伸，由於作用力是相反的，此時，次夾具3將會給金屬掩膜板10向靠近子部件11的方向拉伸力，使金屬掩膜板10的邊緣向外側拉伸，從而實現對金屬掩膜板10的短程方向的拉伸。
[0036]其中，調節件2的數量為兩個，每個主夾具I包括兩個子部件11，兩個子部件11連接，每個調節件2與一個對應的子部件11連接，每個次夾具3與一個對應的子部件11連接。
[0037]請參照圖3，每個主夾具I包括兩個子部件11，兩個子部件11通過連接件(圖中未示出)連接，一個次夾具3與一個子部件11連接，每個次夾具與其對應的子部件11之間設置有調節件2，調節件2的一端與次夾具3連接，調節件2的另一端與子部件11連接。
[0038]可以理解的是，當金屬掩膜板夾持裝置夾持在金屬掩膜板10上時，主夾具I的兩個子部件11分別夾持在金屬掩膜板10的上表面和下表面，與每個子部件11對應的次夾具3和調節件2夾持在金屬掩膜板10的上表面或下表面。
[0039]其中，次夾具3與對應的子部件11通過轉動軸4連接。
[0040]請參照圖4，由於次夾具3與對應的子部件11通過轉動軸4連接，也就是說，次夾具與對應的子部件11之間的角度不是固定的，可以通過調節件2調節次夾具3和其對應的子部件11之間的角度，從而對金屬掩膜板10的平坦度進行調節。需要說明的是，在本實施例中並不對轉動軸4的具體結構進行限定，其只要能夠起到將次夾具3和與之對應的子部件11連接且其二者之間的角度可以調節的作用即可，在此不再贅述。
[0041]其中，次夾具3設置有第一固定夾32，子部件11設置有第二固定夾12，調節件2通過第一固定夾32與次夾具3連接，調節件2通過第二固定夾12與子部件11連接。
[0042]請參照圖4和圖5，在次夾具3朝向子部件11的一側設置有第一固定夾32，調節件2的一端設置在第一固定夾32中，以使調節件2與次夾具3連接;相應的，在子部件11朝向其對應的次夾具3的一側設置有第二固定夾12，調節件2的另一端設置在第二固定夾12中，以使調節件2與子部件11連接，需要說明的是，子部件11上還應設置有與轉動軸4匹配的凹槽(圖中未示出)，在此不再贅述。
[0043]請參照圖6和圖7，其中，第一固定夾32和第二固定夾12均包括卡槽5、固定件6和位於卡槽5兩側的固定片7，固定片7與卡槽5連接，固定件6設置於固定片7上;次夾具3設置有與第一固定件6匹配的第一固定槽31，主夾具I設置有與第二固定夾12匹配的第二固定槽121，第一固定夾32的固定件6設置於第一固定槽31內以使第一固定夾32與次夾具3固定，第二固定夾12的固定件6設置於第二固定槽121內以使第二固定夾12與主夾具I固定;調節件2的一端設置於第一固定夾32的卡槽5內，調節件2的另一端設置於第二固定夾12的卡槽5內。
[0044]其中，卡槽5與固定片7為一體結構，固定片7設置有固定孔71，固定件6設置於固定孔71內。
[0045]從圖6和圖7中可以看出，卡槽5的兩側分別設置有固定片7，形成類似「幾」字形的結構，固定片7上設置有固定孔71，固定件6設置於固定孔71內；次夾具3上設置有與固定件6匹配的第一固定槽31，第一固定槽31的位置與固定孔71對應，將固定件6穿過固定孔71最終設置在第一固定槽31中，從而將第一固定夾32與次夾具3固定在一起;相應的，主夾具I的子部件11上設置有與固定件6匹配的第二固定槽121，第二固定槽121的位置與固定孔71對應，將固定件6穿過固定孔71最終設置在第二固定槽121中，從而將第二固定夾12與主夾具I的子部件11固定在一起。
[0046]調節件2的一端設置在第一固定夾32的卡槽5內，調節件2的另一端設置於第二固定夾12的卡槽5內，從而通過調節件2調節主夾具I的子部件11和其對應的次夾具3之間的角度。
[0047]當然，卡槽5與固定片7也可以採用分體結構，本實施例中之所以將卡槽5與固定片7設置為一體結構，是為了能夠簡化第一固定夾32/第二固定夾12的結構，在此不再贅述。
[0048]其中，調節件2為彈簧。
[0049]當然，調節件2的具體類型並不局限於此，還可以採用其他類型的調節裝置作為調節件2，只要能夠用於調節次夾具3和其對應的子部件11之間的角度即可，在此不再贅述。
[0050]本實施例的金屬掩膜板夾持裝置包括:主夾具1、至少一個調節件2和與每個調節件2對應的次夾具3，每個次夾具3與主夾具I連接，每個調節件2位於對應的次夾具3和主夾具I之間且調節件2的兩端分別與對應的次夾具3和主夾具I連接，主夾具I用於向金屬掩膜板10提供長程方向上的拉伸力，次夾具3通過調節件2的回覆力給金屬掩膜板10提供短程方向上的拉伸力，通過控制調節件2來控制金屬掩膜板10短程方向上的受力，從而通過主夾具I和次夾具3分別對金屬掩膜板10的長程方向和短程方向的平坦度進行調節，以提高金屬掩膜板10的平坦度。
[0051 ] 實施例2:
[0052]請參照圖8，本實施例提供一種框架模組，包括金屬掩膜板10和框架20，框架模組還包括:上述任意一項的金屬掩膜板夾持裝置30;金屬掩膜板夾持裝置30夾持在金屬掩膜板10上，金屬掩膜板10與框架20固定連接。
[0053]從圖8中可以看出，金屬掩膜板10固定在框架20的上方，通常來說，金屬掩膜板10是通過焊接的方式被固定在框架20上的。
[0054]其中，金屬掩膜板夾持裝置30的數量為四個，四個金屬掩膜板夾持裝置30分別夾持在金屬掩膜板1的四個頂角。
[0055]其中，金屬掩膜板夾持裝置30的主夾具I包括兩個子部件11，兩個子部件11分別夾在金屬掩膜板10的上表面和下表面，夾在金屬掩膜板10的上表面的子部件11通過對應的一個調節件2與對應的一個次夾具3連接，夾在金屬掩膜板10的下表面的子部件11通過對應的另一個調節件2與對應的另一個次夾具3連接。
[0056]請參照圖2，通過四個金屬掩膜板夾持裝置30對金屬掩膜板10的平坦度進行調節，四個金屬掩膜板夾持裝置30分別夾持在金屬掩膜板10的四個頂角，在對金屬掩膜板10的平坦度進行調節時，通過拉伸互為對角的兩個金屬掩膜板夾持裝置30以向金屬掩膜板10提供長度方向(圖2中左右方向)上的拉伸力(如圖2中實線箭頭所示)；通過控制調節件2來控制金屬掩膜板1短程方向(圖2中上下方向)上的拉伸力(如圖2中虛線箭頭所示)。
[0057]圖9為金屬掩膜板夾持裝置30將金屬掩膜板10的短程方向拉伸的示意圖。具體地，調節件2的體積增加，使得主夾具I與其對應的次夾具3之間的夾角增大，調節件2向次夾具3施加向金屬掩膜板10中心方向的作用力，由於力是相互的，因此，次夾具3向調節件2施加朝向金屬掩膜板10外側(如箭頭所示)的拉伸力，以使金屬掩膜板10的短程方向被拉伸。
[0058]圖10為金屬掩膜板夾持裝置30將金屬掩膜板10的短程方向收縮的示意圖。具體地，調節件2的體積減小，使得主夾具I與其對應的次夾具3之間的夾角減小，調節件2向次夾具3施加遠離金屬掩膜板10中心方向的作用力，由於力是相互的，因此，次夾具3向調節件2施加朝向金屬掩膜板1中心(如箭頭所示)的收縮力，以使金屬掩膜板1的短程方向被收縮。
[0059]本實施例的框架模組包括實施例1的金屬掩膜板夾持裝置30，詳細描述可參照實施例I的金屬掩膜板夾持裝置30，在此不再贅述。
[0060]本實施例的框架模組，包括金屬掩膜板10、框架20和金屬掩膜板夾持裝置30，金屬掩膜板夾持裝置30夾持在金屬掩膜板10上，金屬掩膜板夾持裝置30與框架20固定連接，金屬掩膜板夾持裝置30中的主夾具I用於向金屬掩膜板10提供長程方向上的拉伸力，次夾具3通過調節件2的回覆力給金屬掩膜板10提供短程方向上的拉伸力，通過控制調節件2來控制金屬掩膜板10短程方向上的受力，從而通過主夾具I和次夾具3分別對金屬掩膜板10的長程方向和短程方向的平坦度進行調節，以提高金屬掩膜板10的平坦度。
[0061]可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本實用新型的原理而採用的示例性實施方式，然而本實用新型並不局限於此。對於本領域內的普通技術人員而言，在不脫離本實用新型的精神和實質的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本實用新型的保護範圍。
【主權項】
1.一種金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，包括:主夾具、至少一個調節件和與每個所述調節件對應的次夾具，每個所述次夾具與所述主夾具連接，每個所述調節件位於對應的所述次夾具和所述主夾具之間且所述調節件的兩端分別與對應的所述次夾具和所述主夾具連接。2.根據權利要求1所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述調節件的數量為兩個，每個所述主夾具包括兩個子部件，兩個所述子部件連接，每個所述調節件與一個對應的所述子部件連接，每個所述次夾具與一個對應的所述子部件連接。3.根據權利要求2所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述次夾具與對應的所述子部件通過轉動軸連接。4.根據權利要求2所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述次夾具設置有第一固定夾，所述子部件設置有第二固定夾，所述調節件通過所述第一固定夾與所述次夾具連接，所述調節件通過所述第二固定夾與所述子部件連接。5.根據權利要求4所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述第一固定夾和所述第二固定夾均包括卡槽、固定件和位於卡槽兩側的固定片，所述固定片與所述卡槽連接，所述固定件設置於所述固定片上;所述次夾具設置有與所述第一固定件匹配的第一固定槽，所述主夾具設置有與所述第二固定夾匹配的第二固定槽，所述第一固定夾的固定件設置於所述第一固定槽內以使所述第一固定夾與所述次夾具固定，所述第二固定夾的固定件設置於所述第二固定槽內以使所述第二固定夾與所述主夾具固定； 所述調節件的一端設置於所述第一固定夾的卡槽內，所述調節件的另一端設置於所述第二固定夾的卡槽內。6.根據權利要求5所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述卡槽與所述固定片為一體結構，所述固定片設置有固定孔，所述固定件設置於所述固定孔內。7.根據權利要求1至6任意一項所述的金屬掩膜板夾持裝置，其特徵在於，所述調節件為彈簧。8.一種框架模組，包括金屬掩膜板和框架，其特徵在於，所述框架模組還包括:權利要求I至7任意一項所述的金屬掩膜板夾持裝置； 所述金屬掩膜板夾持裝置夾持在所述金屬掩膜板上，所述金屬掩膜板與所述框架固定連接。9.根據權利要求8所述的框架模組，其特徵在於，所述金屬掩膜板夾持裝置的數量為四個，四個所述金屬掩膜板夾持裝置分別夾持在所述金屬掩膜板的四個頂角。10.根據權利要求8所述的框架模組，其特徵在於，對於權利要求2所述的金屬掩膜板夾持裝置，兩個所述子部件分別夾在金屬掩膜板的上表面和下表面，夾在所述金屬掩膜板的上表面的所述子部件通過對應的一個調節件與對應的一個次夾具連接，夾在所述金屬掩膜板的下表面的所述子部件通過對應的另一個調節件與對應的另一個次夾具連接。
【文檔編號】H01L21/683GK205723488SQ201620688781
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年6月29日
【發明人】吳建鵬, 蘭蘭, 楊忠英, 梁逸南
【申請人】成都京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司