半導體製造用堅直傳送帶與空中升降機組合式自動物料搬運系統的製作方法
2023-06-06 00:54:01
專利名稱：半導體製造用堅直傳送帶與空中升降機組合式自動物料搬運系統的製作方法
技術領域：
本發明總體上涉及自動物料搬運系統(AMHS)，尤其涉及一種允許空中升降機直接從在制品(WIP)存儲單元拾取WIP部件，從而增加整個物料搬運系統的效率。
背景技術：
自動物料搬運系統是已知的，其在產品製造環境中應用WIP存儲單元和空中升降機存放WIP部件，並在各工位和/或加工機器之間傳輸。例如，這樣的自動物料搬運系統(AMHS)通常在製造集成電路(IC)晶片中應用。IC晶片的典型製造工藝包括多個步驟，其中包括沉積、清洗、離子注入、蝕刻以及鈍化。此外，IC晶片製造工藝的這些步驟中的每一個通常由不同的加工機器執行，例如化學氣相沉積室、離子注入室或蝕刻器。因此，WIP部件例如半導體晶片通常在不同的工位和/或加工機器之間被傳輸多次，以執行製造IC晶片所需的各工藝步驟。
製造IC晶片的一種傳統的AMHS包括多個用於存放半導體晶片的WIP存儲單元(也稱為儲料器)，和一個或多個空中升降機輸送車，用於在IC晶片製造場地上在各工位和加工機器之間輸送晶片。存放在在制品儲料器中的半導體晶片通常被裝入盒式容器例如前開口統一容器(FOUP)，隨後它們被傳遞到在懸垂軌上行進的空中升降機輸送車。在傳統的AMHS中，每個儲料器通常具有多個活動輸入/輸出口，它們與一個內部機械手(其可以具有三個或更多的運動軸線)結合以將FOUP裝入儲料器或將FOUP從儲料器上卸載。FOUP被空中升降機從輸入口/輸出口拾取以及放置到輸入口/輸出口。
傳統的AMHS的一個缺點是整個系統的效率受到機械手在WIP儲料器的活動輸入口/輸出口處拾取FOUP所需的時間限制。由於半導體晶片本身通常很精密，所以通常對機械手的加速度有嚴格限制。為此，使FOUP移動到儲料器的輸入口/輸出口和從儲料器的輸入口/輸出口運動通常需要最小的時間量。該最小運動時間通常決定儲料器的產量，其表示支持所需IC晶片產品水平所需要的儲料器數量，以及AMHS的總體成本。儘管通過增加每個儲料器上的活動輸入口/輸出口的數量，以及通過使空中升降機輸送車同時到達多個輸入口/輸出口可以提高AMHS的材料搬運效率，但設置附加的輸入口/輸出口會明顯增加儲料器的成本。
另外，儲料器中三軸或更多軸的內部機器人與分別具有1-3個運動軸線的若干輸入口/輸出口相結合，這意味著通常的儲料器可以具有5-16個軸線的運動。這是非常複雜的，且可靠性低，存放材料的成本高。
因此，希望具有一種AMHS，其能夠提供材料搬運的效率，並能克服傳統AMHS的缺點。
發明內容
本發明提供了一種高效的AMHS，其允許空中升降機直接從一個或多個包括在該系統中的WIP存儲單元裝載/卸載WIP部件。
在一個實施例中，改進的AMHS包括一個空中升降機輸送子系統以及至少一個包括多個儲料箱的豎直傳送帶WIP存儲單元(儲料器)。所述空中升降機輸送子系統包括至少一個設計成沿著形成至少一個預定路徑的懸空軌行駛的空中升降機輸送車。預定路徑通過豎直傳送帶儲料器，其設計成允許空中升降機從多個儲料箱中所選擇的一個上直接拾取一個或多個WIP部件。在第一個實施例中，包含所需要的WIP部件組的所選擇的傳送帶儲料箱被安置在豎直傳送帶儲料器的頂部，大致位於懸空軌的正下方。於是，所述空中升降機輸送車沿懸空軌運動到大致位於所選擇的儲料箱正上方的位置。然後，空中升降機朝所選擇的儲料箱下降。最後，操作空中升降機以直接從儲料箱拾取所需要的在制品組，或將一個或多個在制品組放入傳送帶儲料箱中。
在第二實施例中，由懸空軌形成的預定路徑平行通過豎直傳送帶WIP儲料器，其被設計成允許空中升降機直接從其中一個傳送帶儲料箱拾取一個或多個WIP部件。該AMHS還包括抽取機構，其與所述豎直傳送帶儲料器結合工作，以相對於所述軌道恰當地安置包含有所需要的在制品組的所選擇的傳送帶儲料箱。例如，所述抽取機構可以被設計成使所選擇的傳送帶儲料箱(例如活動託架)沿著單伺服控制軸線從靠近軌道的第一位置運動到大致位於軌道正下方的第二位置。在第二實施例中，空中升降機輸送車沿著運動到第二位置的大致正上方的位置。然後，空中升降機朝第二位置下降。在一替代性實施例中，所選擇的傳送帶儲料箱包括位於軌道側面的託架，並且空中升降機被安裝到平移臺上以將一個或多個在制品組拾取和放置到位於空中升降機輸送車側面的託架上。最後，操作空中升降機直接從所選擇的儲料箱拾取所需要的在制品組，或將一個或多個在制品組放在所選擇的儲料箱中。
通過設計AMHS使其允許空中升降機從各儲料箱上方的位置直接裝載WIP部件到傳送帶儲料箱或從傳送帶儲料箱卸載，可以使AMHS操作的效率更高。
通過下面對本發明的詳細描述，本發明的其它特徵、功能和情況將更加清楚。
通過結合附圖對本發明的詳細描述，本發明將更加清楚。
圖1是傳統的AMHS的透視圖。
圖2是本發明的AMHS的第一個實施例的簡圖。
圖3是圖2所示AMHS的第二實施例的簡圖。
圖4是圖2所示AMHS的第三實施例的簡圖。
圖5a-5b是本發明平移升降機輸送車到達固定存放位置簡圖。
圖6是圖5a-5b所示的輸送升降機輸送車到達運輸器上的物料的簡圖。
圖7是圖2所示AMHS的操作方法的流程圖。
具體實施例方式
2002年6月19日提交的申請號為60/389,993的美國臨時專利申請「半導體製造用豎直傳送帶與空中升降機組合式自動物料搬運系統」以及2002年10月11日提交的申請號為60/417,993的美國臨時專利申請「使用運動託架或平移升降臺的移動型零佔地存儲(ZFS)」，結合在此引作參考。
本發明公開了一種AMHS，其能提高將WIP部件裝入WIP存儲單元或將WIP部件從WIP存儲單元上卸載的效率。本發明公開的AMHS通過利用位於各儲料箱上方的空中升降機允許在豎直傳送帶WIP存儲單元中實現儲料箱的頂裝載/卸載，從而提高物料搬運效率。
圖1描述了傳統的AMHS 100，其可以應用在產品製造環境例如用於製造IC晶片的清潔環境中自動存放以及在各工位和/或加工機器之間輸送WIP部件。如圖1所示，傳統的AMHS 100包括WIP存儲單元(儲料器)102和空中升降機輸送子系統104。WIP儲料器102包括輸入口和輸出口111-112，空中升降機輸送子系統104包括懸空軌108和多個在懸空軌108上行駛的空中升降機輸送車105-106。在典型操作模式中，WIP部件被放在盒式容器110例如FOUP中輸送。第一空中升降機輸送車105沿懸空軌108行駛，並停在適於將FOUP 110卸載到輸入口111的位置或從儲料器102的輸出口112裝入另一FOUP的位置。而且，第二空中升降機輸送車106在懸空軌108上待命，直到第一空中升降機輸送車105完成卸載或裝載FOUP並移出軌道。
在傳統的AMHS 100中，FOUP被從空中升降機卸載到輸入口111，或被從輸出口112裝入升降機，或者由機械手107在儲料器102中拾取，機械手107可以設置多達3個或更多的運動軸線。另外，從儲料器102中拾取FOUP所需的最小時間量通常決定儲料器的搬運量，它是指支持所希望的生產量水平所需的儲料器的數量。因此，用於拾取FOUP的多軸機械手107的複雜運動會使最小運動時間增加，從而增加AMHS 100中所需的儲料器的數量和物料搬運系統的總體成本。
圖2示出根據本發明的一個自動物料搬運系統(AMHS)200的實施例。在所示實施例中，AMHS 200包括空中升降機輸送子系統204，以及至少一個豎直傳送帶WIP存儲單元(儲料器)202，儲料器202包括多個儲料箱例如傳送帶儲料箱203。豎直傳送帶WIP存儲單元202設計成允許空中升降機輸送子系統204中的空中升降機可以直接從選中的一個傳送帶儲料箱中拾取WIP部件。
需要注意，與傳統的AMHS 100相同，圖2中的AMHS 200可以應用於製造IC晶片的清潔環境中，例如200mm或300mm的晶片廠，或者其它任何適合的產品製造環境。如圖2所示，IC晶片製造環境包括第一和第二地板220和226以及天花板214。第一地板220通常包括由加強混凝土形成的格子板，第二地板226包括位于格子板220上方的墊層地板。豎直傳送帶儲料器202安置在格子板220上。另外，用於執行製造IC晶片的各加工步驟的工位和/或加工機器(未示出)被安置在墊層地板226上，地板226通常覆蓋有不導電材料並被設計成滿足特殊載荷和地震要求。例如，墊層地板226可以位于格子板220上方一定距離228(大約0.6米)處，以及位於天花板214下方一定距離224(大於或等於約4.15米)處。
在該公開的實施例中，豎直傳送帶儲料器202包括機架252和位於機架內的第一和第二滑輪250-251和傳送帶254。如圖2所示，傳送帶儲料箱(例如儲料箱203)沿著傳送帶254在各間隔開的位置連接到該傳送帶上，傳送帶254在第一和第二滑輪250-251之間形成迴路，從而通過驅動其中一個滑輪250-251允許儲料箱沿著傳送帶路徑可旋轉安置。例如，豎直傳送帶儲料器202的高度可以是由附圖標記218表示的高度(大約3.85米)。因此，豎直傳送帶儲料器202的頂部可以在墊層地板226上方一定距離216(大約3.25米)處。
如上所述，豎直傳送帶儲料器202被設計成允許空中升降機直接從其中一個傳送帶儲料箱中拾取WIP部件，例如半導體晶片。在示出的實施例中，儲料器機架252靠近天花板214的部分至少部分打開以便允許頂裝載/卸載所選擇的傳送帶儲料箱。另外，每個傳送帶儲料箱包括一固定託架，半導體晶片被裝入安置在託架203上的盒式容器例如FOUP 210中。例如，每個FOUP 210可以放置一個或多個半導體晶片組，因此允許空中升降機同時在單個傳送帶儲料箱中拾取多個晶片組。
空中升降機輸送子系統204包括懸空軌208和至少一個在懸空軌208上行駛的空中升降機輸送車205。懸空軌208形成至少一個通過豎直傳送帶儲料器202的預定路徑，從而允許空中升降機輸送車205直接從一個近似位於儲料器202頂部的傳送帶儲料箱中拾取FOUP。例如，空中升降機輸送車205可以從天花板214延伸出一定距離222(大約9米)。
在一個示例性操作模式中，所選擇的傳送帶儲料箱，例如裝有FOUP 210的儲料箱203，被大致安置在豎直傳送帶儲料箱202的頂部、軌道208的下方。然後，空中升降機輸送車205沿軌208運動到基本位於儲料箱203正上方的位置。然後，空中升降機從空中升降機輸送車205朝向儲料箱203下降通過儲料器機架252上的開口。例如，空中升降機可以沿平行於儲料器縱向軸線L1的方向下降。接著，操作空中升降機使其直接從儲料箱203中拾取FOUP 210並隨後將其輸送到IC晶片製造場地上的一個工位或加工機器處。可以理解，也可以操作空中升降機將FOUP放到傳送帶儲料箱203中。
圖3描述了AMHS 200(見圖2)的一個替代性實施例300。如圖3所示，AMHS 300包括空中升降機輸送系統304和至少一個豎直傳送帶WIP儲料器302，儲料器302包括多個儲料箱例如滑動安裝的儲料箱332。與豎直傳送帶儲料器202類似，豎直傳送帶儲料器302設計成允許空中升降機輸送系統304中的空中升降機直接從所選擇的傳送帶儲料箱中拾取WIP部件，例如半導體晶片。
特別地，AMHS 300可以被應用在包括有天花板314、格子板320和位于格子板320上方的墊層地板326的IC晶片製造環境中。如圖3所示，豎直傳送帶儲料器302被安置在格子板320上。例如，墊層地板326可以位于格子板320上方一定距離328(大約0.6米)，也可以位於天花板314下方一定距離324(大於大約5.4米)。另外，豎直傳送帶儲料器302包括機架352，第一和第二滑輪350-351以及安置在機架352內的傳送帶354。傳送帶儲料箱(例如滑動安裝儲料箱332)沿著傳送帶354在不同的間隔開的位置可以連接到傳送帶上，傳送帶354在第一和第二滑輪350-351之間形成迴路，從而通過驅動其中一個滑輪350-351使儲料箱能夠沿著傳送帶路徑可旋轉安置。例如，豎直傳送帶儲料器302的高度可以是由附圖標記318表示的高度(大約6米)。
如上所述，豎直傳送帶儲料器302被設計成允許空中升降機直接從其中一個傳送帶儲料箱拾取半導體晶片。在所示實施例中，機架352的至少一側被至少部分打開以允許將所選擇的儲料箱從機架352中抽出，並允許通過空中升降機進行所選擇的傳送帶儲料箱的頂裝載/卸載。特別地，AMHS 300還包括至少一個抽取機構330，其用於從儲料器302中抽出半導體晶片，並相對於包括在空中升降機輸送子系統304中的懸空軌308適當地安置物料。請注意，每個儲料箱可以包括活動託架或固定託架。另外，半導體晶片被裝入安置在託架332上的盒式容器例如FOUP 310中。
空中升降機輸送子系統304包括懸空軌308和至少一個設計成在懸空軌308上行駛的空中升降機輸送車305。懸空軌308形成至少一個平行通過豎直傳送帶儲料器302的預定路徑，從而允許空中升降機輸送車305直接從所選擇的一個滑動安裝的儲料箱中拾取FOUP。
在一個示例性的操作方式中，所選擇的容納有FOUP 310的儲料箱例如儲料箱332被安置成允許抽取機構330從儲料器302中抽出儲料箱332，以及將儲料箱332安置在懸空軌308的正下方。請注意，抽取機構330可以與儲料器302組合在一起，並設計成使儲料箱332沿單伺服控制軸線398移動。然後，空中升降機輸送車305沿懸空軌308運動到位於抽出的儲料箱332正上方的位置。接著，空中升降機從空中升降機輸送車305朝儲料箱332下降，例如沿平行於儲料器縱向軸線L2方向。然後，操作空中升降機直接從儲料箱332中拾取FOUP 310並隨後輸送到IC晶片製造場地上的工位或加工機器。可以理解，也可以操作空中升降機以將FOUP放入傳送帶儲料箱332中。
圖4描述了AMHS 300(見圖3)的一個詳細的實施例400。在所示實施例中，AMHS 400包括空中升降機輸送系統404和一個豎直傳送帶儲料器402。空中升降機輸送子系統404包括懸空軌408和設計成在懸空軌408上行駛的空中升降機輸送車405。例如，空中升降機輸送車405可以從懸空軌408延伸出一定距離436(大約0.9米)。豎直傳送帶儲料器402包括多個安置在儲料器機架中的傳送帶儲料箱例如儲料箱432。例如，儲料箱432可以在凸起的IC晶片製造場地上方一定距離438(大約2.6米)處。
如上所述，從儲料器機架中抽出FOUP 410，以允許隨後進行所選擇的傳送帶儲料箱的頂裝載/卸載。空中升降機輸送車405還包括具有抓取器430的空中升降機，該抓取器被設計成將FOUP410從儲料箱432頂裝載或卸載到儲料箱432中。在優選實施例中，升降機抓取器430被安裝在平移臺上，以便空中升降機拾取/放置盒式容器到空中升降機輸送車405的任一側。
圖5a-5b示出了到達固定存放位置的平移升降機子系統704，在所示實施例中，平移升降機子系統704包括懸空軌708和設計成在該懸空軌上行駛的空中升降機輸送車705。空中升降機輸送車705被設計成拾取/放置FOUP 710到固定位置732。例如，空中升降機輸送車705可以延伸到天花板714下方一定距離736(大約0.9米)處，並且存放位置可以位於凸起的IC晶片製造場地的上方一定距離738(大約2.6米)處。另外，天花板714可以在墊層地板上方一定距離790(大約3.66米)處。
空中升降機輸送車705被設計成拾取(和放置)FOUP 710到懸空軌708正下方的位置。為此，空中升降機輸送車705包括安裝到平移臺上的升降機抓取器731，其被設計成從空中升降機輸送車705延伸出來，拾取FOUP 710，並返回空中升降機輸送車705，從而使FOUP 710移動到空中升降機輸送車705內(見圖5b)。在優選實施例中，平移臺被設計成使空中升降機拾取/放置盒式容器到空中升降機輸送車705的任一側。當FOUP 710被升降機抓取器730夾持時，空中升降機輸送車705將其輸送到IC晶片製造場地上的工位或加工機器。
圖6示出拾取被存放在運輸器895上或在運輸器895上運動的物料的平移升降機系統800。特別地，空中升降機輸送子系統804被用於直接拾取或放置FOUP 810到基於軌道的空中運輸器895。在所示實施例中，空中升降機輸送子系統804包括懸空軌808和設計成在該懸空軌上行駛的空中升降機輸送車805。例如，空中升降機輸送車805可以延伸到懸空軌808下方一定距離836(大約0.9米)處，並被安置在基於軌道的運輸器895上方一定距離892(大約0.35米)處。另外，空中軌道898可以在凸起的IC製造場地上方一定距離838(大約2.6米)處。可以理解，軌道898沿垂直於圖面方向延伸。平移升降機系統800還包括加工工具裝載口899。
空中升降機輸送車805可以用於執行基於軌道的運輸器895的頂裝載/卸載。為此，空中升降機輸送車805包括具有空中抓取器835的空中升降機831，空中抓取器835被安裝在允許水平和豎直運動的平移臺833上，分別由方向箭頭870和871表示。在所示操作方式中，使基於軌道的運輸器895運動從而FOUP 810被安置在空中升降機831的正下方。然後，空中抓取器835通過平移臺833朝向FOUP 810下降，並被操作直接從運輸器895拾取FOUP810。接著，攜帶FOUP 810的升降機抓取器835升起，並經由平移臺833收回，從而使FOUP 810移動到空中升降機輸送車805內。然後，空中升降機輸送車805輸送FOUP 810到IC晶片製造場地上的工位或加工機器。
下面參考圖7描述AMHS的操作方法。如步驟902所述，所選擇的包含FOUP的儲料箱被安置在豎直傳送帶儲料器內，以便由空中升降機拾取。例如，所選擇的傳送帶儲料箱可以被安置在豎直傳送帶儲料器的頂部或側面(見圖2-3)。然後，空中升降機輸送車沿著軌道運動到靠近所選擇的儲料箱的位置，如步驟904所示。如果所選擇的儲料箱被安置在儲料器的頂部，則空中升降機輸送車位於儲料箱的上方。如果所選擇的儲料箱被安置在儲料器的側面，則空中升降機輸送車位於儲料箱的側面。然後，空中升降機從輸送車延伸出來並下降，使空中抓取器能夠接觸到所選擇的儲料箱中的FOUP，如步驟906所示。接著，操作空中抓取器以直接從儲料箱中拾取FOUP，如步驟908所示。然後，空中升降機升起並收回以使FOUP移動到空中升降機輸送車內，如步驟910所示。這樣，FOUP被從所選擇的儲料箱頂部裝入到空中升降機輸送車。最後，空中升降機輸送車輸送FOUP到生產製造場地上的工位或加工機器，如步驟912所示。
進一步可以理解，在不脫離本發明精神的情況下，本領域普通技術人員可以對上述AMHS進行各種修改和變化。因此，本發明由所附權利要求的精神和範圍限定。
權利要求
1.一種自動物料搬運系統，包括至少一個存儲單元，其包括多個儲料箱，每個儲料箱被設計成保持至少一組物料；以及空中升降機輸送子系統，其包括至少一個空中升降機，所述空中升降機被設計成從多個儲料箱中所選擇的一個上直接拾取至少一組物料，以便隨後輸送到預定位置。
2.根據權利要求1所述的系統，其中，所述空中升降機進一步被設計成將至少一組物料直接提供給所選擇的儲料箱，以便隨後存放在存儲單元內。
3.根據權利要求1所述的系統，其中，所選擇的物料組通過移動到所述存儲單元外部的位置而被直接移動到空中升降機。
4.根據權利要求3所述的系統，其中，所述存儲單元還包括一個被設計成使物料組在至少一個軸線方向上運動的機構。
5.根據權利要求1所述的系統，其中，所選擇的儲料箱包括安置在所述存儲單元內的固定託架。
6.根據權利要求5所述的系統，其中，所述空中升降機輸送子系統包括連接到所述空中升降機上的平移臺，所述平移臺被設計成將所述空中升降機運動到第一位置，以便允許所述升降機直接從所述固定託架上拾取至少一組物料。
7.根據權利要求6所述的系統，其中，所述平移臺進一步被設計成將所述空中升降機運動到第二位置，以便允許所述升降機從所述存儲單元上放下所述至少一組物料。
8.根據權利要求1所述的系統，其中，所述至少一個存儲單元包括一個豎直傳送帶儲料器。
9.根據權利要求8所述的系統，其中，所述豎直傳送帶儲料器被設計成將所選擇的儲料箱移動到所述儲料器的上區域，以便允許所述空中升降機從所選擇的儲料箱上方的位置拾取所述至少一組物料。
10.根據權利要求9所述的系統，其中，所述空中升降機輸送子系統還包括軌道以及被設計成在所述軌道上行駛以輸送空中升降機的輸送車，所述軌道的至少一部分被安置成位於所述儲料器上區域的所選擇的儲料箱的大致正上方。
11.根據權利要求8所述的系統，其中，所述豎直傳送帶儲料器被設計成沿著所述儲料器的一側將所選擇的儲料箱移動到第一位置，以便允許所述空中升降機從所選擇的儲料箱側面的第二位置拾取所述至少一組物料。
12.根據權利要求11所述的系統，其中，所述空中升降機輸送子系統還包括軌道以及被設計成在所述軌道上行駛以輸送空中升降機的輸送車，所述軌道的至少一部分被安置成大致平行於所述儲料器的縱向軸線並靠近所述儲料器側面的第一位置。
13.根據權利要求1所述的系統，其中，所述空中升降機包括用於抓取所述至少一組物料的抓取器部件。
14.根據權利要求1所述的系統，其中，所述物料單元包括盒式容器。
15.一種操作自動物料搬運系統的方法，包括以下步驟通過包括在物料存儲單元中的多個儲料箱中所選擇的一個來保持至少一組物料；通過包括在一個空中升降機輸送子系統中的空中升降機直接從所選擇的儲料箱拾取所述至少一組物料；通過所述空中升降機輸送子系統將所述至少一組物料輸送到預定位置。
16.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過空中升降機將所述至少一組物料直接提供給所選擇的儲料箱，以隨後將其存放在所述存儲單元中。
17.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過所選擇的儲料箱將所述至少一組物料直接提供給所述空中升降機，所選擇的儲料箱包括活動託架。
18.根據權利要求17所述的方法，還包括以下步驟通過包括在所述存儲單元中的一個機構使所述託架沿至少一個軸線方向運動。
19.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過平移臺將所述空中升降機運動到第一位置，以允許所述升降機直接從所選擇的儲料箱拾取所述至少一組物料，所選擇的儲料箱包括一固定託架。
20.根據權利要求19所述的方法，還包括以下步驟通過平移臺將所述空中升降機運動到第二位置，以允許所述升降機直接從所述存儲單元放下所述至少一組物料。
21.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過包括在所述存儲單元中的傳送帶機構使所選擇的儲料箱移動到所述存儲單元的上區域，從而允許所述空中升降機從所選擇的儲料箱上方位置拾取所述至少一組物料。
22.根據權利要求21所述的方法，還包括以下步驟通過在軌道上行駛的車輸送空中升降機，空中升降機輸送車和軌道包括在空中升降機輸送子系統中，其中，所述軌道的至少一部分被安置成位於所述儲料器上區域的所選擇的儲料箱的大致正上方。
23.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過包括在所述儲料器中的豎直傳送帶使所選擇的儲料箱沿著所述儲料器的一側移動到第一位置，從而允許所述空中升降機從所選擇的儲料箱側面的第二位置拾取所述至少一組物料。
24.根據權利要求23所述的方法，還包括以下步驟通過在軌道上行駛的車輸送空中升降機，空中升降機輸送車和軌道包括在空中升降機輸送子系統中，其中，所述軌道的至少一部分被安置成大致平行於儲料器的縱向軸線並靠近儲料器側面的第一位置。
25.根據權利要求15所述的方法，還包括以下步驟通過所述空中升降機的抓取器部件抓取所述至少一組物料。
26.根據權利要求25所述的方法，還包括以下步驟通過所述空中升降機的抓取器部件抓取所述至少一組物料，其中所述物料組包括盒式容器。
全文摘要
一種高效自動物料搬運系統(AMHS)，允許空中升降機直接從包括在該系統中的在制品(WIP)存儲單元裝載/卸載WIP部件。AMHS包括空中升降機輸送子系統和包括多個儲料箱的豎直傳送帶儲料器。空中升降機輸送子系統包括沿著形成預定路徑的懸空軌行駛的空中升降機輸送車。預定路徑通過豎直傳送帶儲料器，其允許空中升降機從選擇的儲料箱直接拾取WIP部件。包含需要的WIP部件組的選擇的傳送帶儲料箱被安置在豎直傳送帶儲料器的頂部，位於懸空軌的正下方。空中升降機輸送車沿懸空軌運動到大致位於選擇的儲料箱正上方的位置。然後空中升降機朝選擇的儲料箱下降。最後操作空中升降機以直接從儲料箱拾取需要的在制品組，或將在制品組放入傳送帶儲料箱中。
文檔編號H01L21/677GK1662874SQ03814475
公開日2005年8月31日 申請日期2003年3月20日 優先權日2002年6月19日
發明者布賴恩·J·多爾蒂, 扎馬斯·R·馬裡亞諾, 羅伯特·P·沙利文 申請人:布魯克斯自動技術公司