用於掩膜版外觀檢查的夾具的製作方法
2023-06-26 06:23:56
用於掩膜版外觀檢查的夾具的製作方法
【專利摘要】本實用新型實施例公開了一種用於掩膜版外觀檢查的夾具，包括支架、設於支架上的框架及固定組件；所述支架兩端設有軸孔，所述框架兩端凸設有匹配容置於所述軸孔中的轉軸，固定組件包括旋轉定位盤和固定銷，所述旋轉定位盤固設於轉軸末端並隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤的周緣設有第一定位孔，固定銷穿過所述第一定位孔並抵於所述支架上以將所述框架固定於預定角度。本實用新型實施例通過在支架和框架支架設置固定組件，以將框架固定於預定角度，從而再無需人工手持掩膜版，大大降低了勞動強度，具有輕鬆方便、安全高效的效果；此外，通過在框架上平行設置可固定於預定位置以卡持掩膜版的滑杆，從而適用於不同大小的掩膜版，具有適應性強的效果。
【專利說明】用於掩膜版外觀檢查的夾具
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及掩膜版製造【技術領域】，尤其涉及一種用於掩膜版外觀檢查的夾具。
【背景技術】
[0002]隨著顯示平板的需求日益強勁和價格連續下降，對顯示平板所需的掩膜版的製造也相應提出更高的要求，尤其是大尺寸掩膜版的加工能力，而大尺寸掩膜版在曝光、化學製程完成後需進行外觀檢查。傳統的外觀檢查是以人工手持進行:帶上無塵手套，雙手握住光罩兩端，對照強光燈檢查膜面外觀，檢查非膜面時手動翻轉來檢查。
[0003]然而，現有的檢查方式存在以下缺陷:(1)大尺寸掩膜版都很重，手持檢查的勞動強度很大，甚至無法進行；(2)手工拿版容易產生汙染，增加外觀缺陷檢查的難度；(3)手持掩膜版翻轉時，易導致滑落，出現光罩報廢。
實用新型內容
[0004]本實用新型實施例所要解決的技術問題在於，提供一種輕鬆方便、安全高效的用於掩膜版外觀檢查的夾具。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提出了一種用於掩膜版外觀檢查的夾具，包括支架、可旋轉地設於支架上的框架及固定組件，掩膜版固定於所述框架上；
[0006]其中，所述支架兩端設有軸孔，所述框架兩端凸設有匹配容置於所述軸孔中的轉軸，固定組件包括旋轉定位盤和固定銷，所述旋轉定位盤固設於轉軸末端並隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤的周緣設有第一定位孔，固定銷穿過所述第一定位孔並抵於所述支架上以將所述框架固定於預定角度。
[0007]進一步地，所述第一定位孔為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷為插銷，所述支架對應於的旋轉定位盤的位置設有一個第二定位孔或者設有多個與所述分度孔一一對應的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
[0008]進一步地，所述第一定位孔為螺孔，所述固定銷為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述支架上的螺釘。
[0009]進一步地，框架上設有與所述轉軸平行並可固定於預定位置以卡持掩膜版的滑杆。
[0010]進一步地，滑杆的側壁上開設有用以卡持掩膜版一側邊的第一卡槽，所述框架與所述第一卡槽相對的內壁上開設有用以卡持掩膜版另一側邊的第二卡槽。
[0011]進一步地，所述滑杆兩端設有與所述框架的邊框匹配的叉架，叉架上設有第三定位孔，定位銷穿過第三定位孔並抵於所述邊框上以將所述滑杆固定於預定位置。
[0012]進一步地，所述邊框上對應設有多個等距間隔分布的第四定位孔，所述定位銷穿過所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔為螺孔，所述定位銷為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述邊框的螺栓。
[0013]進一步地，所述轉軸和軸孔之間設有軸承。
[0014]進一步地，所述支架上設有照明燈具。
[0015]進一步地，所述支架的四個角部下方分別設有輪架和輪子。
[0016]本實用新型實施例的用於掩膜版外觀檢查的夾具的有益效果是:通過在支架和框架支架設置固定組件，以將框架固定於預定角度，從而再無需人工手持掩膜版，大大降低了勞動強度，具有輕鬆方便、安全高效的效果；此外，通過在框架上平行設置可固定於預定位置以卡持掩膜版的滑杆，從而適用於不同大小的掩膜版，具有適應性強的效果。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型實施例的用於掩膜版外觀檢查的夾具的一狀態示意圖。
[0018]圖2是圖1所示的用於掩膜版外觀檢查的夾具的另一狀態示意圖。
[0019]圖3是圖2中4位置的放大示意圖。
【具體實施方式】
[0020]需要說明的是，在不衝突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特徵可以相互結合，下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細說明。
[0021]請參考圖1至圖3，本實用新型實施例提供了一種用於掩膜版100外觀檢查的夾具，所述夾具包括支架10、可旋轉地設於支架10上的框架20及固定組件30，其中，掩膜版100固定於所述框架20上。
[0022]所述支架10兩端設有軸孔，所述框架20兩端凸設有匹配容置於所述軸孔中的轉軸，固定組件30包括旋轉定位盤31和固定銷32，所述旋轉定位盤31固設於轉軸末端並隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤31的周緣設有第一定位孔310，固定銷32穿過所述第一定位孔310並抵於所述支架10上以將所述框架20固定於預定角度。優選地，所述轉軸和軸孔之間設有軸承，從而減小了摩擦力，轉動更靈活輕便。
[0023]作為一種實施方式，所述第一定位孔310為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷32為插銷，所述支架10對應於的旋轉定位盤31的位置設有一個第二定位孔或者設有多個與所述分度孔一一對應的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
[0024]作為另一種實施方式，所述第一定位孔310為螺孔，所述固定銷32為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述支架10上的螺釘。優選地，所示螺釘為手擰螺釘，或者螺釘的始端設有捏持部以便進行擰動操作。
[0025]框架20上設有與所述轉軸平行並可固定於預定位置以卡持掩膜版100的滑杆21。滑杆21的側壁上開設有用以卡持掩膜版100 —側邊的第一卡槽，所述框架20與所述第一卡槽相對的內壁上開設有用以卡持掩膜版100另一側邊的第二卡槽。所述滑杆21兩端設有與所述框架20的邊框匹配的叉架210，叉架210上設有第三定位孔，定位銷22穿過第三定位孔並抵於所述邊框上以將所述滑杆21固定於預定位置。優選地，所述叉架210呈I形，第三定位孔在對應的兩叉件上同軸設置。
[0026]作為一種實施方式，所述框架20的邊框上對應設有多個等距間隔分布的第四定位孔23，所述定位銷22穿過所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔23中；作為另一種實施方式，所述第三定位孔為螺孔，所述定位銷22為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述邊框的螺栓。
[0027]優選地，所述支架10上設有照明燈具。相對於傳統的照明燈具單獨設置，具有隨時攜帶，使用方便的技術效果。燈頭為強光燈，且採用金屬可撓管固定連接，從而方便根據需要調整照射角度進行檢查。
[0028]優選地，所述支架10的四個角部下方分別設有輪架40和輪子50。
[0029]本實用新型實施例的夾具用於在光刻好的掩膜版100進行化學製程、清洗，且放風乾箱晾乾後的外觀檢查，使用過程為:
[0030]1、打開照明燈具。
[0031]2、取出定位銷22，滑動滑杆21至邊框的邊緣並穿入定位銷22以將滑杆21固定。
[0032]3、取出固定銷32，轉動邊框使其處於豎直狀態，再穿入固定銷32以將所述框架20固定。
[0033]4、將掩膜版100的一邊輕輕放入邊框的第二卡槽內，取出定位銷22並向下移動滑杆21，使滑杆21的第一卡槽卡住掩膜版100的另一邊，再穿入定位銷22。
[0034]5、鬆開固定銷32，旋轉框架20，使掩膜版100旋轉至合適的檢查角度後，再將固定銷32穿入固定，根據檢查角度的需要，本步驟可以重複多次進行，直至掩膜版100檢查完成。
[0035]6、重複第3步驟，即取出固定銷32，轉動邊框使其處於豎直狀態，再穿入固定銷32以將所述框架20固定；重複第2步驟，即取出定位銷22，滑動所述滑杆21至邊框的邊緣並穿入定位銷22以將滑杆21固定，最後取走掩膜版100。
[0036]當然本領域技術人員可以理解的是，上述步驟順序並非固定不變的，根據實際需要可適當調整。
[0037]本實用新型實施例的用於掩膜版100外觀檢查的夾具的有益效果是:通過在支架10和框架20支架10設置固定組件30，以將框架20固定於預定角度，從而再無需人工手持掩膜版100，大大降低了勞動強度，具有輕鬆方便、安全高效的效果；此外，通過在框架20上平行設置可固定於預定位置以卡持掩膜版100的滑杆21，從而適用於不同大小的掩膜版100，具有適應性強的效果。
[0038]以上所述是本實用新型的【具體實施方式】，應當指出，對於本【技術領域】的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護範圍。
【權利要求】
1.一種用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述夾具包括支架、可旋轉地設於支架上的框架及固定組件，掩膜版固定於所述框架上； 其中，所述支架兩端設有軸孔，所述框架兩端凸設有匹配容置於所述軸孔中的轉軸，固定組件包括旋轉定位盤和固定銷，所述旋轉定位盤固設於轉軸末端並隨轉軸同步旋轉，旋轉定位盤的周緣設有第一定位孔，固定銷穿過所述第一定位孔並抵於所述支架上以將所述框架固定於預定角度。
2.如權利要求1所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述第一定位孔為多個等距間隔分布的分度孔，所述固定銷為插銷，所述支架對應於的旋轉定位盤的位置設有一個第二定位孔或者設有多個與所述分度孔一一對應的第二定位孔，所述插銷穿過所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。
3.如權利要求2所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述第一定位孔為螺孔，所述固定銷為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述支架上的螺釘。
4.如權利要求1所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:框架上設有與所述轉軸平行並可固定於預定位置以卡持掩膜版的滑杆。
5.如權利要求4所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:滑杆的側壁上開設有用以卡持掩膜版一側邊的第一卡槽，所述框架與所述第一卡槽相對的內壁上開設有用以卡持掩膜版另一側邊的第二卡槽。
6.如權利要求4所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述滑杆兩端設有與所述框架的邊框匹配的叉架，叉架上設有第三定位孔，定位銷穿過第三定位孔並抵於所述邊框上以將所述滑杆固定於預定位置。
7.如權利要求6所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述邊框上對應設有多個等距間隔分布的第四定位孔，所述定位銷穿過所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔為螺孔，所述定位銷為匹配螺合於所述螺孔內且末端抵於所述邊框的螺栓。
8.如權利要求1所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述轉軸和軸孔之間設有軸承。
9.如權利要求1所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述支架上設有照明燈具。
10.如權利要求1至9中任一項所述的用於掩膜版外觀檢查的夾具，其特徵在於:所述支架的四個角部下方分別設有輪架和輪子。
【文檔編號】G03F1/84GK204209590SQ201420684942
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年11月14日 優先權日:2014年11月14日
【發明者】杜武兵, 林偉, 黃國勇 申請人:深圳市路維光電股份有限公司