尺寸測定裝置的製作方法

2023-06-01 17:52:01

本實用新型涉及測定被測定物的尺寸的尺寸測定裝置。

背景技術：

一般而言，作為測定被測定物的尺寸的方法，廣泛已知使被形成為長條狀且互相平行的一對測定件在被測定物的兩旁側相對移動，使被測定物與測定件的末端接觸，檢測此時的測定件間的距離。在該方法中，在測定件與被測定物接觸時，測定件會由於與被測定物的接觸力而易於彎曲，有時會在測定件傾斜的狀態下測定尺寸。例如，在對軸長較長的環狀被測定物測定徑向壁厚的情況下，由於將測定件插入到被測定物的環內，因此需要使測定件加長至軸長以上。在該情況下，測定件的傾斜給距離的檢測結果帶來的影響大，特別是難以對大型的被測定物進行高精度測定。

因此，提出了如下尺寸測定裝置：在被測定物的上方設置有測定件驅動單元，該測定件驅動單元具有沿著測定件的移動方向延伸的軌道、和被自由移動地支承在軌道上的滑動件，將測定件安裝在滑動件的下方，從而使測定件長為最小限度(參照專利文獻1)。根據該裝置，能夠縮短測定件的長度，抑制傾斜的影響。然而，在被測定物較大，需要將測定件插入到被測定物的深的位置的情況下，必須加長測定件，測定件的傾斜所導致的誤差會增大。

另外，為了利用使測定件直線運動的直線運動機構來測定被測定物的尺寸的絕對值，需要以比要求的精度高的精度來移動、定位測定件。然而，在這樣的直線運動機構中，存在定位誤差(直線導軌等直線運動導軌為筆直度誤差、滾珠絲槓等進給機構為進給誤差)，實際情況是沒有充分考慮這些措施。

除了如上所述的使與導軌直接連接的測定件與被測定物接觸的方法以外，還提出了如下尺寸測定裝置：通過用能利用彈性體浮動的機構來支承測定件，從而抑制對於被測定物的測定壓，減輕測定件的傾斜(參照專利文獻2)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平10-307018號公報

專利文獻2：日本特開2007-240339號公報

技術實現要素：

本實用新型欲解決的問題

然而，專利文獻2的尺寸測定裝置具有如下的缺點：是防止產生成為測定件傾斜原因的鬆動、並使測定件浮動地進行支承的構造，因此，測定件的支承構造複雜。因此，是難以提高設計自由度且難以小型化的構成。

因此，本實用新型的目的在於提供一種尺寸測定裝置，即使在使用長條狀的測定件來測定大的被測定物的尺寸的情況下也能夠高精度測定，而且裝置構成不會複雜化並適於小型化。

用於解決問題的方案

本實用新型包括下述構成。

(1)一種尺寸測定裝置，其特徵在於，

所述尺寸測定裝置包括：

載放臺，其載放被測定物；

測定件，其具有向所述載放臺延伸的臂部，在該臂部的末端部配置有接觸式的位移檢測部；

直線運動機構，其支承所述測定件的所述臂部的基端部，使所述測定件在一個軸向移動並使所述位移檢測部與所述被測定物接觸；

傾斜檢測部，其檢測所述測定件的所述臂部的延伸方向與所述一個軸向的正交面所成的傾斜角；以及

控制部，其在使所述位移檢測部與所述被測定物接觸的狀態下，分別輸入從所述位移檢測部輸出的距離檢測信號、和從所述傾斜檢測部輸出的傾斜角檢測信號，使用輸入的所述傾斜角檢測信號的傾斜角，來求出在所述位移檢測部的所述延伸方向的配置位置由於所述臂部的傾斜而產生的所述一個軸向的位置偏離量，輸出用所述位置偏離量將從所述位移檢測部輸出的所述距離檢測信號的測定距離校正後的校正距離的信息。

(2)如(1)所述的尺寸測定裝置，其特徵在於，

所述位移檢測部是電測微器。

(3)如(1)或(2)所述的尺寸測定裝置，其特徵在於，

一對所述測定件在所述一個軸向被並列配置為使所述位移檢測部的與所述被測定物的接觸側面對面，

所述直線運動機構將一對所述測定件支承為能分別獨立地在所述一個軸向移動。

(4)如(3)所述的尺寸測定裝置，其特徵在於，

一對所述測定件沿著所述一個軸向配置有2組。

(5)如(1)至(4)的任一項所述的尺寸測定裝置，其特徵在於，

所述傾斜檢測部分別檢測所述測定件的沿著所述延伸方向的至少2個部位的所述一個軸向的位置，根據檢測到的該一個軸向的位置、與所述至少2個部位的所述延伸方向的位置的關係，檢測所述傾斜角。

(6)如(5)所述的尺寸測定裝置，其特徵在於，所述傾斜檢測部具有：線性尺，其沿著所述一個軸向配置；以及檢測頭，其設在所述測定件上，並從所述線性尺檢測位置信息。

實用新型效果

根據本實用新型，能夠實現如下構造：即使在使用長條狀的測定件來測定大的被測定物的尺寸的情況下，也能夠高精度地測定，而且裝置構成不會複雜化，適於小型化。

附圖說明

圖1是用於說明本實用新型的實施方式的圖，是尺寸測定裝置的整體構成圖。

圖2是示出使測定件移動的X方向直線運動機構、和傾斜檢測部的構成的部分構成圖。

圖3是尺寸測定裝置的控制框圖。

圖4是示出工件的尺寸測定步驟的流程圖。

圖5是示出接觸力不作用在測定件上的中立狀態的電測微器、第1檢測頭、第2檢測頭的位置關係的說明圖。

圖6是示出接觸力作用在測定件上的狀態的電測微器、第1檢測頭、第2檢測頭的位置關係的說明圖。

附圖標記的說明

13：載放臺

15A、15B、17A、17B：測定件

21：X方向直線運動機構

31：滾珠絲槓螺母部(直線運動機構)

33：直線導軌部

41：導軌

43A、43B、45A、45B：滑動件

47A、47B：臂部

49A、49B：電測微器(位移檢測部)

51：觸頭

53：電動執行器

55：第1線性尺(傾斜檢測部)

57：第2線性尺(傾斜檢測部)

59、63：第1檢測頭(傾斜檢測部)

61、65：第2檢測頭(傾斜檢測部)

71：控制部

100：尺寸測定裝置

W：工件

具體實施方式

下面，參照附圖來詳細說明本實用新型的實施方式。

圖1是用於說明本實用新型的實施方式的圖，是尺寸測定裝置的整體構成圖。

尺寸測定裝置100具有：臺座11；設在臺座11上並載放被測定物即工件W的載放臺13；一對測定件15A、15B；一對測定件17A、17B；設在安裝板19上的X方向直線運動機構21；設在框架23上的Z方向直線運動機構25；以及設在臺座11上的Y方向直線運動機構27。另外，詳細後述，尺寸測定裝置100包括測定各測定件15A、15B、17A、17B的傾斜角度的傾斜檢測部。

載放臺13與設置在臺座11內部的未圖示的旋轉軸直接連接，能旋轉地支承工件W。例如，如果工件W是圓筒狀，那麼能夠將工件W旋轉至以固定在載放臺13上的工件W的圓筒中心為旋轉中心的任意旋轉角度。

一對測定件15A、15B和一對測定件17A、17B的各基端部與X方向直線運動機構21連接，各測定件分別獨立地在X方向(一個軸向)自由移動地被支承。這2組測定件的對為互相相等的構造。

X方向直線運動機構21具有滾珠絲槓螺母部31、和直線導軌部33。滾珠絲槓螺母部31具有：沿著X方向配置在安裝板19上的滾珠絲槓35；對滾珠絲槓35進行旋轉驅動的伺服馬達37；以及螺母部39A、39B。螺母部39A支承測定件15A，螺母部39B支承測定件17A。這些螺母部39A、39B都插通於滾珠絲槓35，由於滾珠絲槓35的旋轉而在X方向移動。

直線導軌部33具有：導軌41；沿著導軌41在X方向移動的滑動件43A、43B、45A、45B。測定件15A固定在滑動件43A上，測定件15B固定在滑動件43B上。另外，測定件17A固定在滑動件45A上，測定件17B固定在滑動件45B上。

此處，由於測定件15A、15B的對、和測定件17A、17B的對分別是相同的構成，因此之後以測定件15A、15B的對為例進行說明。

圖2是示出使測定件15A、15B移動的X方向直線運動機構21、和詳細後述的傾斜檢測部的部分構成圖。在工件W是圓筒形的情況下，測定件15A為外徑測定用的測定件，測定件15B為內徑測定用的測定件，進行尺寸測定。

各測定件15A、15B具有從X方向直線運動機構21側向工件W垂下並延伸設置的長條狀的臂部47A、47B。在臂部47A、47B的工件W側的末端部配置有測定與工件W的距離的作為位移檢測部的電測微器(electric micrometer)49A、49B。各電測微器49A、49B的觸頭51、51配置在與臂部47A、47B互相面對的、與工件W的接觸側。

電測微器49A、49B具有接觸式的觸頭51，是將觸頭51的微小位移轉換為電量來測定的比較測長器。觸頭51沿著距離的檢測方向從電測微器49A、49B的主體部突出設置，被向突出方向彈性施力地支承。該電測微器49A、49B將預定長的能檢測行程內的觸頭51的位置作為距離信息進行輸出。

另外，在測定件15A的螺母部39A與滑動件43A之間，連接有與測定件15B的基端部連接的電動執行器53的一端。電動執行器53設在測定件15B上，使測定件15B相對於測定件15A沿著X方向相對接近或者遠離。

在安裝板19上的導軌41的滾珠絲槓35側配置有第1線性尺55，在工件W側配置有第2線性尺57。而且，在測定件15A的與第1線性尺55面對的位置配置有第1檢測頭59，在與第2線性尺57面對的位置配置有第2檢測頭61。另外，在測定件15B的與第1線性尺55面對的位置配置有第1檢測頭63，在與第2線性尺57面對的位置配置有第2檢測頭65。

測定件15A的第1檢測頭59從所面對的第1線性尺55檢測臂部47A的X方向位置，第2檢測頭61從所面對的第2線性尺57檢測臂部47A的X方向位置。同樣，測定件15B的第1檢測頭63從所面對的第1線性尺55檢測臂部47B的X方向位置，第2檢測頭65從所面對的第2線性尺57檢測臂部47B的X方向位置。

作為線性尺的位置檢測方式，優選的是光學式或者磁式。另外，除了線性尺以外，也可以使用測定範圍長的雷射測距儀、電測微器來構成。這些第1線性尺55、第2線性尺57、第1檢測頭59、63、第2檢測頭61、63、65構成傾斜檢測部。

另外，在測定件15B的與第1線性尺55面對的位置配置有第1 檢測頭63，在與第2線性尺57面對的位置配置有第2檢測頭65。這些第1檢測頭63、第2檢測頭65分別從所面對的第1、第2線性尺55、57檢測臂部47B的X方向位置。

上述構成的尺寸測定裝置100的測定件15A、15B的末端部將工件W的外周面73和內周面75夾入，在與工件W接觸的狀態下檢測工件W的X方向位置。此時，在測定件15A、15B的末端部從工件W受到的接觸力的作用下，有時臂部47A、47B會撓曲。臂部47A、47B彎曲時，在電測微器49A、49B的輸出中會包含X方向位置的彎曲誤差，不能檢測工件W的準確的X方向位置。

因此，在測定件15A中，利用設在臂部47A的第1檢測頭59和第2檢測頭61，求出臂部47A的延伸方向相對於X方向的正交面的傾斜角。而且，基於該傾斜角測定值，求出在臂部47A的末端部的配置有電測微器49A的位置(Z軸方向的位置)產生的X方向的偏離量δXA。使用該偏離量δXA來校正來自電測微器49A的距離輸出信號。

對於測定件15B也一樣，求出臂部47B的撓曲所導致的X方向的偏離量δXB，使用該偏離量δXB來校正來自電測微器49B的距離輸出信號。由此，不論與臂部47A、47B的傾斜如何，都能夠以高精度檢測工件W的X方向距離。此外，後述工件W的詳細的尺寸測定步驟。

在本構成中，使用電測微器49A、49B作為距離檢測器，在觸頭51與工件W接觸時，觸頭51會沿著接觸方向被壓入到電測微器內。由於該壓入力一般是微小的力，因此能夠防止距離檢測時的臂部47A、47B的大的撓曲。由此，能夠將臂部47A、47B的撓曲限制在接觸力與臂位移量的線性高的輕負荷區域內，能夠高精度求出產生的X方向的偏離量。

圖3是上述構成的尺寸測定裝置100的控制框圖。

進行尺寸測定裝置100的整體控制的控制部71由PC(個人計算機)、PLC(可編程邏輯控制器)等構成。

控制部71接受輸入至輸入部77的測定開始信號，分別向X方向直線運動機構21的滾珠絲槓螺母部31、電動執行器53、Z方向直線運動機構25、Y方向直線運動機構27輸出驅動信號，使測定件15A、15B移動至空間內的期望位置。

然後，控制部71使觸頭51成為與工件W接觸的狀態，取得測定件15A的電測微器49A輸出的距離檢測信號、以及第1檢測頭59和第2檢測頭61輸出的傾斜角檢測信號。另外，取得測定件15B的電測微器49B輸出的距離檢測信號、以及第1檢測頭63和第2檢測頭65輸出的傾斜角檢測信號。

控制部71從取得的傾斜角檢測信號求出各測定件15A、15B的傾斜角，根據該傾斜角求出在各測定件51A、15B的末端部產生的X方向的偏離量。然後，控制部71使用該偏離量，對根據電測微器49A、49B輸出的距離檢測信號得到的測定距離進行校正。

校正後的校正距離的信息為用於進行工件W的尺寸測定的信息，實施預定的處理並作為尺寸測定結果的信號輸出至輸出部79。此外，說明省略，但對於測定件17A、17B也一樣，取得所述各信號，將基於校正距離信息的尺寸測定結果的信號輸出至輸出部79。

此外，在進行多次測定來求出尺寸的平均值的情況下，控制部71將各次尺寸測定結果暫且儲存在儲存部81，對儲存的各尺寸測定結果適當進行運算處理。

接下來，使用圖4的流程圖，詳細說明上述構成的尺寸測定裝置100所進行的工件W的具體的尺寸測定步驟。此處也說明測定件15A、15B所進行的工件W的尺寸測定。該尺寸測定裝置100的尺寸測定是通過求出已知尺寸的主體(以後稱作主工件)與工件W的尺寸相對差，即測定主工件的尺寸與工件W的尺寸並求出兩者的差值來進行的。

主工件是指已利用精密的測定儀器測定為常規的尺寸的工件，具有與尺寸測定對象的被測定物即工件W相同的形狀或與其接近的形狀。主工件的尺寸信息預先註冊在儲存部81中，或者在尺寸測定前另行註冊，處於控制部71能進行參照的狀態。

首先，控制部71驅動圖1所示的X方向直線運動機構21、Z方向直線運動機構25、Y方向直線運動機構27，使測定件15A、15B移動至從載放臺13離開的等待位置(S11)。操作者在該狀態下將主工件固定在載放臺13上。

操作者完成將主工件向載放臺13的固定後，將未圖示的按鈕的按下信號、來自外部設備的信號所帶來的主工件測定開始信號輸入至輸入部77。控制部71接收該主工件測定開始信號從而判斷主工件的固定完成(S2)，開始主工件的尺寸測定。

控制部71基於手動操作、或者預先註冊的算法，根據主工件的形狀來驅動X方向直線運動機構21、Z方向直線運動機構25、Y方向直線運動機構27，使各測定件15A、15B移動至期望的測定位置附近(S3)。測定位置是指從主工件的尺寸求出的、各測定件15A、15B的電測微器49A、49B與主工件接觸的位置，能夠通過計算來求出。

如圖2所示，控制部71使測定件15A向主工件的尺寸測定部分的外側面(相當於圖示例的工件W的外周面73的面)的外側移動。此時也使測定件15B同時向主工件的尺寸測定部分的內側面(相當於內周面75的面)的內側移動。

然後，控制部71驅動滾珠絲槓螺母部31，使測定件15A在X方向移動，直到電測微器49A的觸頭51與主工件接觸。另外，控制部71驅動電動執行器53，使測定件15B向測定件15A側移動，直到電測微器49B的觸頭51與主工件接觸。這些各觸頭51、51與主工件的接觸動作可以依次或者同時進行。

由此，主工件的外周面和內周面處於被電測微器49A、49B夾著的狀態。在該測定位置夾著主工件的狀態下，控制部71利用電測微器49A、49B來檢測與主工件的距離(觸頭51被壓入的量)。另外，利用第1檢測頭59、63來讀取第1線性尺55的X方向絕對位置，利用第2檢測頭61、65來讀取第2線性尺57的X方向絕對位置(S14)。

然後，控制部71將檢測到的來自電測微器49A、49B的輸出值、來自第1檢測頭59、63和第2檢測頭61、65的輸出值作為基準值，儲存在儲存部81中(S15)。此時的各輸出值為相當於測定工件W時的基準點(原點)的輸出值。

完成基準值的設定後，控制部71驅動X方向直線運動機構21、Z方向直線運動機構25、Y方向直線運動機構27，使測定件15A、15B再次移動至退避位置(S16)。

接下來，操作者將主工件從載放臺13取下，將被測定物即工件W固定在載放臺13上。操作者完成將工件W向載放臺13的固定後，與上述同樣將工件測定開始信號輸入至輸入部77。控制部71接收到該工件測定開始信號時，判斷為完成工件W的固定(S17)，開始工件W的尺寸測定。

與主工件的測定同樣，控制部71驅動X方向直線運動機構21、Z方向直線運動機構25、Y方向直線運動機構27，使各測定件15A、15B 移動至期望的測定位置(S18)。然後，控制部71在測定件15A、15B移動至該測定位置的狀態下，利用電測微器49A、49B檢測與工件W的距離(觸頭51被壓入的量)。另外，利用第1檢測頭59、63來讀取第1線性尺55的X方向絕對位置，利用第2檢測頭61、65來讀取第2線性尺57的X方向絕對位置(S19)。

控制部71將檢測到的來自電測微器49A、49B的輸出值、來自第1檢測頭59、63和第2檢測頭61、65的輸出值儲存在儲存部81中(S20)。

接下來，控制部71使用檢測到的各輸出值，分別求出主工件測定時和工件W測定時的測定件15A、15B的臂部47A、47B的傾斜角，求出與該傾斜角相應的X方向的校正值(S21)。然後，控制部71使用求出的X方向的校正值，校正檢測到的來自電測微器49A、49B的距離信息的輸出值(S22)。

此處，說明X方向的校正值的求出方法、和距離信息的基本校正方法。

圖5是示出接觸力不作用在測定件15A上的中立狀態的電測微器49A、第1檢測頭59、第2檢測頭61的位置關係的說明圖；圖6是示出接觸力作用在測定件15A上的狀態的電測微器49A、第1檢測頭59、第2檢測頭61的位置關係的說明圖。

如圖5所示，從與第1線性尺面對的第1檢測頭59到與第2線性尺面對的第2檢測頭61的Z方向距離為L1，從第2檢測頭61到電測微器49A的觸頭51的中心軸的Z方向距離為L2。

另外，設由第1檢測頭59檢測的X方向距離(從線性尺原點到第1檢測頭59的X方向距離)為Xs1，設由第2檢測頭61檢測的X方向距離(從線性尺原點到第2檢測頭61的X方向距離)為Xs2。臂軸Ax與測定件51A的移動方向即X方向垂直。

被測定物(示出為工件W)與電測微器49A接觸時，如圖6所示，來自工件W的接觸力F會作用在臂部47A的末端部，臂部47以滑動件43A的中心位置O為中心進行傾斜。該臂部47A的中立狀態的臂軸Ax、與傾斜的狀態的臂軸Axi所成的角為傾斜角θ。

在圖6所示的狀態下，傾斜角θ由(1)式表示。

θ＝tan-1{(XS2-Xs1)/L1}……(1)

而且，電測微器49A的Z方向的位置產生的、傾斜角θ所導致的X方向的偏離量δx由(2)式表示。

δx＝XS2+L2·tanθ……(2)

即，測定件15A傾斜，從而電測微器49A的輸出從本來應該得到的檢測值減小了δx。因此，進行校正，使得從電測微器49A的輸出值Xa減去偏離量δx的後值作為來自電測微器49A的輸出值。即，將電測微器49A所得到的輸出值Xa校正後的校正輸出值Xc由(3)式表示。

Xc＝Xa-δx……(3)

接下來，說明基於上述的X方向校正值的求出方法、距離信息的校正方法，求出測定件15A的傾斜所導致的偏離量的具體步驟(S21)。

此處，將上述S15中儲存在儲存部81中的對主工件的測定結果即基準值如下這樣定義。

由測定件15A的電測微器49A檢測的距離為基準距離DDa，

由測定件15A的第1檢測頭59檢測的距離為傾斜基準距離XDa1，

由測定件15A的第2檢測頭61檢測的距離為傾斜基準距離XDa2，

由測定件15B的電測微器49B檢測的距離為基準距離DDb，

由測定件15B的第1檢測頭63檢測的距離為傾斜基準距離XDb1，

由測定件15B的第2檢測頭65檢測的距離為傾斜基準距離XDb2。

另外，將上述S20中儲存在儲存部81中的對工件W的測定結果如下這樣定義。

由測定件15A的電測微器49A檢測的距離為檢測距離DSa，

由測定件15A的第1檢測頭59檢測的距離為傾斜檢測距離XSa1，

由測定件15A的第2檢測頭61檢測的距離為傾斜檢測距離XSa2，

由測定件15B的電測微器49B檢測的距離為檢測距離DSb，

由測定件15B的第1檢測頭63檢測的距離為傾斜檢測距離XSb1，

由測定件15B的第2檢測頭65檢測的距離為傾斜檢測距離XSb2。

設主工件測定時的測定件15A的傾斜角度為基準傾斜角θDa、測定件15B的傾斜角度為基準傾斜角θDb時，基準傾斜角θDa、θDb由(4)、(5)式表示。

θDa＝tan-1{(XDa2-XDa1)/L1}……(4)

θDb＝tan-1{(XDb2-XDb1)/L1}……(5)

設工件W測定時的測定件15A的傾斜角度為檢測傾斜角θSa、測定件15B的傾斜角度為檢測傾斜角θSb時，檢測傾斜角θSa、θSb由(6)、(7)式表示。

θSa＝tan-1{(XSa2-XSa1)/L1}……(6)

θSb＝tan-1{(XSb2-XSb1)/L1}……(7)

如(2)式所示，在測定件15A的電測微器49A所檢測到的基準距離DDa、檢測距離DSa、和測定件15B的電測微器49B所檢測到的基準距離DDb、檢測距離DSb中包含與上述傾斜角度相應的X方向的偏離量。因此，對於基準距離DDa、檢測距離DSa、和基準距離DDb、檢測距離DSb，如(3)式所示分別求出校正了X方向的偏離量後的校正距離。設基準距離DDa、檢測距離DSa、和基準距離DDb、檢測距離DSb的各校正距離分別為校正基準距離CDDa、校正檢測距離CDSa、校正基準距離CDDb、校正檢測距離CDSb，由(8)～(11)式表示。

CDDa＝DDa-(XDa2+L2·tanθDa)……(8)

CDSa＝DSa-(XSa2+L2·tanθSa)……(9)

CDDb＝DDb-(XDb2+L2·tanθDb)……(10)

CDSb＝DSb-(XSb2+L2·tanθSb)……(11)

接下來，利用求出的校正基準距離CDDa、校正檢測距離CDSa、校正基準距離CDDb、校正檢測距離CDSb，求出工件W的外周面73與內周面75(參照圖2)之間的徑向距離WL(S23)。設主工件的外周面73與內周面75之間的距離所對應的已知距離為WL0時，距離WL由(12)式求出。

WL＝WL0+{(CDDa-CDSa)+(CDDb-CDSb)}……(12)

即，通過求出測定已知尺寸的主工件並求出的校正距離即第1距離CDDa、CDDb；與測定工件W並求出的校正距離即第2距離CDSa、CDSb的差值(CDDa-CDSa)和(CDDb-CDSb)，並將這些差值與主工件的已知尺寸WL0相加，求出工件W的尺寸WL。

在工件W是圓筒形的情況下，僅在周向一個部位測定距離WL，有時精度不夠。在該情況下，使用圖1所示的測定件17A、17B，同時測定從測定件15A、15B的測定位置夾著工件W中心的相反側的對應位置。通過將這2個部位的測定部位的測定結果求平均，從而能夠提高測定精度。

另外，為了求出準確的尺寸，使載放臺13每次以預定的一定角度旋轉，分別測定工件W不同的周向位置，將各測定結果平均化。例如，測定互相垂直的周向2個部位並將測定值平均化。

並且，也可以在工件W的各旋轉位置重複測定，將由此得到的工件W的轉1圈的測定值平均化。

根據本構成的尺寸測定裝置100，也能夠一邊使工件W旋轉，一邊連續測定工件W的直徑。在該情況下，通過將1周例如以1°間距進行徑向的尺寸測定，並求出得到的測定值的平均值，從而能夠高精度求出工件W的直徑。

如以上說明的那樣，本構成的尺寸測定裝置100即使在利用長條狀的測定件對大被測定物進行尺寸測定的情況下，也能測定並求出測定件的彎曲所導致的傾斜角，並根據該傾斜角來校正尺寸測定結果。因此，即使測定件處於撓曲狀態，也能夠不使尺寸測定裝置的構造複雜化，高精度地測定工件尺寸。

另外，在本構成中，通過在測定件的末端部直接配置電測微器，從而不需要另行設置將測定件彈性支承的機構，實現裝置構造的簡化。另外，通過使用小型的電測微器，從而尺寸測定時的測定壓極小，能夠將由於測定件的撓曲而產生的傾斜抑制在最小限度。並且，由於使用多個線性尺來檢測測定件的位置、姿勢，因此能夠不在意線性尺的各部件與其他部件的幹涉地進行配置。因此，尺寸測定裝置容易小型化，能夠提高設計自由度。

另外，本構成的尺寸測定裝置100通過與主工件的比較來求出工件W的尺寸。因此，即使在被測定物受到環境溫度所導致的熱膨脹、收縮的影響的情況下，與測定絕對尺寸的方式相比，能夠使尺寸誤差更小。即，如果將主工件與工件W放置在相同環境溫度下，那麼如果主工件與工件W是相同材質、形狀，那麼應該產生相同程度的熱膨脹、收縮，利用主工件與工件W的相對的尺寸比較，能夠進行不受溫度影響的高精度的測定。

這樣，本實用新型不限於上述實施方式，本領域技術人員將實施方式的各構成相互組合；基於說明書的記載以及已知的技術來變更、應用也是本實用新型預期的，包含在要求保護的範圍內。

例如，在本尺寸測定裝置100的構成中，使用線性尺作為傾斜檢測部，但不限於此，也可以是使用了MEMS元件的傾斜傳感器等其他方式的角度傳感器。另外，不限於測定件的延伸方向的2個部位，還可以檢測多個部位的位置信息。在該情況下，能夠進一步提高傾斜角的測定精度。

另外，測定件的延伸方向不限於鉛垂方向，也可以是在水平方向、任意的傾斜角度延伸的構成。

另外，在本尺寸測定裝置100中，利用一對測定件求出工件W的尺寸，但也可以是僅用單獨的測定件來測定的構成。在該情況下，採用如下構成即可：使工件W的一端部與抵接部等抵接，利用測定件對另一端部進行距離檢測。如果是該構成，那麼能夠用單獨的測定件來測定主工件與工件W的尺寸差，能夠更簡單地進行尺寸測定。

本申請基於2014年3月27日申請的日本專利申請(日本特願2014-65892)，其內容作為參照併入本文。