工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法與流程

2023-06-02 02:23:51 2

本發明涉及一邊輸送6面體的工件一邊對該工件的6個面進行拍攝的工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法。

背景技術：

以往以來作為6面體形狀的電阻器和/或電容器等晶片形電子部件(以下稱為「工件」)的外觀檢查裝置，已知有下述裝置：在由玻璃等透明體製成的輸送臺上載置工件，一邊使輸送臺旋轉以輸送工件一邊由相機等拍攝單元對各面進行拍攝以進行外觀檢查。

該情況下，外觀檢查裝置的工件輸送臺，通過靜電而靜電吸附工件並輸送該工件。

即，首先在通過振動將工件排列輸送的直線送料機上使工件帶電，將該工件載置到輸送臺上並將其輸送至預定的作業位置，並且使輸送臺的工件載置面按與工件極性相反的極性帶電，使工件靜電吸附於該工件載置面(參照專利文獻1)。

【現有技術文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特許第5598912號公報

技術實現要素：

發明所要解決的問題

但是，以往的工件的外觀檢查裝置有下面這樣的問題。

即，在移載點移載工件時，工件在輸送臺上跳躍使工件的姿勢變化，因此有時無法由拍攝單元高精度地對工件進行拍攝。

本發明是考慮到這樣的問題而完成的，能在將工件從直線送料機移載於輸送臺時高精度地進行定位。

解決問題的技術方案

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，具備：直線送料機，其輸送6面體形狀的工件；輸送臺，其包括透明體、旋轉自如且為圓形，工件從直線送料機在移載點被移載於該輸送臺，該輸送臺在載置有該工件的狀態下在工件輸送圓弧上輸送該工件；移載排列單元，其配設於直線送料機與輸送臺之間，使來自直線送料機的工件移載到輸送臺上並排列；保持單元，其包括配置於輸送臺下方的導體，該導體被施加直流電壓而使得電場產生以保持被載置於輸送臺的工件；和拍攝單元，其對輸送臺上的工件的6個面進行拍攝，移載排列單元具有排列引導件，該排列引導件設置於直線送料機的下遊側且具有從排列工件的平面看為直線狀的引導面，排列引導件的引導面在平面上包括移載點和在移載點的下遊側與工件輸送圓弧匯合的匯合點，而且引導面包括連結移載點與匯合點的直線和匯合點下遊側的直線，連結移載點與匯合點的直線相對於連結移載點與輸送臺的旋轉軸的直線成銳角，而且匯合點下遊側的直線與連結匯合點和輸送臺的旋轉軸的直線正交，被移載於移載點的工件，一邊由保持單元保持，一邊被按壓於連結引導面的移載點與匯合點的直線而沿著引導面被輸送，保持單元的導體沿著連結移載點與匯合點的直線以及匯合點下遊側的工件輸送圓弧配置。

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，移載排列單元還具有設置在直線送料機與輸送臺之間的無振動部。

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，在輸送臺下方沿著連結移載點與匯合點的直線，還作為跳躍防止單元而配置有磁力線產生部。

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，圓形輸送臺包括透明的玻璃體。

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，輸送臺輸送工件的輸送速度比直線送料機輸送工件的輸送速度快。

本發明是一種工件的外觀檢查裝置，其特徵在於，排列引導件的引導面在平面上相對於連結移載點與輸送臺的旋轉軸的直線形成75度～88度的銳角。

本發明是利用上述記載的工件的外觀檢查裝置的工件的外觀檢查方法，其特徵在於，包括：由直線送料機輸送6面體形狀的工件的步驟；經由排列引導件將來自直線送料機的工件移載於圓形輸送臺上的移載點，並且由排列引導件的引導面使工件排列的步驟；在由保持單元保持被載置於輸送臺的工件的狀態下，在輸送臺的工件輸送圓弧上輸送工件的步驟；和由拍攝單元對輸送臺上的工件的6個面進行拍攝的步驟。

本發明是利用上述記載的工件的外觀檢查裝置的工件的外觀檢查方法，其特徵在於，包括：由直線送料機輸送6面體形狀的工件的步驟；經由無振動部以及排列引導件將來自直線送料機的工件移載於圓形輸送臺上的移載點，並且由排列引導件的引導面使工件排列的步驟；在由保持單元保持被載置於輸送臺的工件的狀態下，在輸送臺的工件輸送圓弧上輸送工件的步驟；和由拍攝單元對輸送臺上的工件的6個面進行拍攝的步驟

發明效果

根據本發明，並用靜電吸附和磁吸附使工件吸附於輸送臺上，因此能得到比僅有靜電吸附時大且穩定的吸附力。另外，工件被載置排列於工件輸送圓弧後持續進行一段時間靜電吸附，使工件的姿勢穩定。因此，能防止大尺寸或高硬度的工件在移載時跳躍和/或、工件在輸送時由於不管其尺寸如何都作用於其的離心力而從工件輸送圓弧飛出的情況。而且，被載置排列於工件輸送圓弧的工件以穩定的姿勢被輸送。另外，為了僅用現有技術的靜電吸附得到大的吸附力，必須增大對導電板的施加電壓，這會導致直流電源的大容量化。因此，電源的體積增加、成本升高。另一方面，本發明中附加於現有技術的部件的成本極低、它們的配置空間也小。

附圖說明

圖1是工件的外觀檢查裝置的俯視圖。

圖2是示出工件的立體圖。

圖3是示出圖1的區域S的放大俯視圖。

圖4是從箭頭Y的方向看圖1的區域S的透視圖。

圖5是示出工件向輸送臺的吸附的示意圖。

圖6是示出本發明的電力線產生部以及磁力線產生部的立體圖。

圖7是示出圖6中的輸送臺以及排列引導件與電力線產生部以及磁力線產生部的上下方向的位置關係的圖。

圖8是圖6中的電力線產生部以及磁力線產生部附近的放大俯視圖。

圖9是從圖3中的箭頭H方向看圖6中的電力線產生部以及磁力線產生部附近的向視圖。

圖10是從圖3中的箭頭N方向看圖6中的電力線產生部以及磁力線產生部附近的向視圖。

圖11是表示本發明的第2實施方式的圖。

【符號說明】

1 直線送料機

2 輸送臺

3 輸送臺的中心軸

4 無振動部

4x 移載點

5 工件輸送圓弧

7 排列引導件

7a 引導面

7x 匯合點

8 側面相機部

9 內面相機部

10 頂面相機部

11 底面相機部

12 前面(前側的面)相機部

13 後面(後側的面)相機部

14 排出部

15 導電板

15e 電力線產生部

15f1 導電板框架

15s 導電板的直線部

15w 導電板的曲線部

18 磁力線產生部

18f 磁體固定框架

18m 要素磁體

18mb 磁體塊

18p 磁重疊杆

18s 輔助部件

20 拍攝單元

21 移載排列單元

30 工件的外觀檢查裝置

W 工件

Wa、Wb 工件的電極

Wd 工件的主體

具體實施方式

＜第1實施方式＞

以下，參照附圖對於本發明的實施方式進行說明。圖1到圖10是表示本發明的工件的外觀檢查裝置以及工件的外觀檢查方法的第1實施方式的圖。

首先，關於要由工件的外觀檢查裝置檢查的工件，根據圖2進行說明。

圖2中，成為電容器和/或電阻器等晶片部件的工件W呈6面體形狀，具有：由絕緣體製成的主體Wd；和形成於主體Wd的較長方向的兩端部的由導電體製成的電極Wa、Wb。在進行該工件W的外觀檢查的情況下，將工件W載置於後述的輸送臺2上，使輸送臺2向圖2中的箭頭Z方向旋轉以輸送工件W。而且，由拍攝單元20從箭頭A的方向對紙面相反側的側面進行拍攝，從箭頭B方向對紙面跟前的側面進行拍攝，從箭頭C的方向對頂面進行拍攝，從箭頭D的方向對底面進行拍攝，從箭頭E的方向對前面進行拍攝，從箭頭F的方向對後面進行拍攝。此時，通過使用玻璃制的透明輸送臺2，能夠在載置有工件W的狀態下對上述工件W的全部6個面進行拍攝。

接著，對於工件的外觀檢查裝置進行說明。如圖1以及圖3所示，工件的外觀檢查裝置30具備：輸送工件W的直線送料機1；輸送臺2，為圓形且包括透明體，工件W在移載點4x從直線送料機1被移載到輸送臺2，該輸送臺2在載置有該工件W的狀態下在工件輸送圓弧5上輸送該工件W；將來自直線送料機1的工件W移載到輸送臺2上並使其排列的移載排列單元21；和對輸送臺2上的工件W的6個面進行拍攝的拍攝單元20。

其中，移載排列單元21具有對工件W進行排列的排列引導件7，排列引導件7包括用於對工件W進行排列的引導面7a。該引導面7a從平面看(從上方看)呈直線狀。

另外，如後所述，拍攝單元20具有側面相機部8、內面相機部9、頂面相機部10、底面相機部11、前面相機部12和後面相機部13。

接著，關於工件的外觀檢查裝置30的各構成部分，根據圖1到圖4進一步進行說明。

這裡，圖1是以圖2所示形狀的工件W為對象的工件的外觀檢查裝置的俯視圖，圖3是圖1的用虛線包圍的區域S的放大俯視圖，圖4是從箭頭Y的方向看圖1中的區域S的透視圖。

圖1中，直線狀的直線送料機1由於未圖示的驅動源而振動，使被投入位於直線送料機1的上遊側的未圖示的送料器(parts feeder)的工件W排列成一列並通過振動將其向箭頭N的方向輸送。

設置於直線送料機1的下方的輸送臺2，為透明的玻璃制且水平設置，通過未圖示的驅動源而以旋轉軸3為中心順時針(圖1的箭頭X方向)旋轉。如圖4所示，直線送料機1朝向輸送臺2稍有傾斜地下降。由此，工件W從直線送料機1逐漸下降而被移載於輸送臺2。

在輸送臺2的頂面的外邊緣部附近，如圖1的單點劃線所示，作為以旋轉軸3為中心的圓弧而形成有工件輸送圓弧5，工件W在從無振動部4被移載到輸送臺2後，通過後述的排列引導件7的作用而在工件輸送圓弧5上排列。這裡，工件輸送圓弧5是為了使工件W排列而設想的目標位置，並沒有在輸送臺2的頂面標記任何能目視識別工件輸送圓弧5的記號。

這裡，圖4是從箭頭Y的方向看圖1中用虛線包圍的區域S的透視圖。圖4中在輸送臺2的下側，由導體製成的導電板15配置為與輸送臺2的底面稍稍隔開間隙。導電板15呈平面形狀，如圖5所示，其表面15a與輸送臺2大致平行。另外，在導電板15連接有直流電源16而被施加直流電壓，構成了電場產生單元。由圖3示出導電板15的配置場所。圖3是圖1的用虛線包圍的區域S的放大俯視圖。圖3中，導電板15沿水平方向延伸成細長狀，從移載點4x起在與工件W的輸送臺2上的工件輸送圓弧5以及排列引導件7的引導面7a相對應的輸送臺2的下側，以較長方向沿著工件W的工件輸送圓弧5的方式配置。

此外，上述各構成部分中，由具有引導面7a的引導件7構成移載排列單元21。

另外，圖3中，具有直線狀的引導面7a的排列引導件7設置為，在輸送臺2的外邊緣部側的緊上方與輸送臺2稍有間隙。圖3中，將連結移載點4x與輸送臺2的旋轉軸3的直線作為虛線K示出。

如圖3所示，排列引導件7設置為，引導面7a與虛線K所成的角α為75度～88度的銳角，而且引導面7a在位於移載點4x的工件W的輸送方向下遊的工件輸送圓弧5的匯合點7x成為工件輸送圓弧5的切線。即，在用虛線L表示連結匯合點7x與輸送臺2的旋轉軸3的直線時，虛線L與引導面7a所成的角β為90°。

另外，如圖1所示，沿著輸送臺2的旋轉方向設置有構成拍攝單元20的側面相機部8、內面相機部9、頂面相機部10、底面相機部11、前面相機部12、後面相機部13。能由該拍攝單元20對於工件輸送圓弧5上的工件W分別對圖2中用箭頭A～F所示的工件W的各面進行拍攝以進行外觀檢查。此時，圖2中用箭頭Z表示的工件W的輸送方向與圖1中的輸送臺2的旋轉方向X一致。

具體而言，對於工件W，側面相機部8對紙面相反側的側面A進行拍攝，內面相機部9對紙面跟前的側面B進行拍攝，頂面相機部10對頂面C進行拍攝，底面相機11對底面D進行拍攝，前面相機部12對前面E進行拍攝，後面相機部13對後面F進行拍攝。

進一步，如圖1所示，在拍攝單元20的輸送臺2旋轉方向的下遊側設置有作為排出單元的排出部14。結束了外觀檢查的工件W，根據外觀檢查的結果，由排出部14從工件輸送圓弧上排出到未圖示的收納箱。

此外，在輸送臺2的下方設置有電力線產生部15e以及磁力線產生部18。這裡圖6是本發明中的電力線產生部15e以及磁力線產生部18的立體圖。圖6中與圖3同樣，作為被輸送的工件W(圖2)，僅記載有圖3中剛剛從直線送料機1被移載到移載點4x的工件W2以及在匯合點7x從引導面7a分離而在工件輸送圓弧5上被輸送的工件W9。另外，圖7是表示圖6中的輸送臺2以及排列引導件7與電力線產生部15e以及磁力線產生部18的上下方向的位置關係的圖。進一步，圖8是圖6中的電力線產生部15e以及磁力線產生部18附近的放大俯視圖。為了方便說明，將一部分設為透視圖。另外，圖9是從圖3中的箭頭H方向看圖6中的電力線產生部15e以及磁力線產生部18附近的向視圖。而且，圖10是從圖3中的箭頭N方向看圖6中的電力線產生部15e以及磁力線產生部18附近的向視圖。此外，圖8到圖10中作為被輸送的工件W(圖2)，僅記載有圖3中剛剛從直線送料機1被移載到移載點4x的工件W2以及在匯合點7x從引導面7a分離而在工件輸送圓弧5上被輸送的工件W9。

圖6中，電力線產生部15e設置於導電板框架15f1，該導電板框架15f1在輸送臺2的下方與輸送臺2稍微隔開間隙而配置且由絕緣體製成。另外，磁力線產生部18被收納於導電板框架15f1的內部。圖7示出它們的位置關係。即，在組裝電力線產生部15e以及磁力線產生部18時，使圖7的最下部所示的磁力線產生部18向箭頭U1方向(垂直上方)移動，並將其收納於圖7的中央部所示的電力線產生部15e的導電板框架15f1的內部。接著，使已將磁力線產生部18收納於內部的導電板框架15f1向箭頭U2方向(垂直上方)移動，並將其稍微隔開間隙地配置於圖7的最上部所示的輸送臺2的緊下方。這樣組裝起來的整體示出圖6。這裡，輸送臺2與導電板框架15f1的上下方向的位置關係如圖9以及圖10所示。

接下來，關於電力線產生部15e的詳細構成，利用圖8進行說明。圖6以及圖7所示的電力線產生部15e由導電板框架15f1構成。如圖8所示，配置有導電板框架15f1的範圍，是從移載點4x的緊下方位置沿著排列引導件7經過匯合點7x直到作為輸送位於工件輸送圓弧5之上的工件W9的下遊位置的排列引導件7的前面(前側的面)7b為止的、沿著工件W的輸送路徑的部分。其中，在從移載點4x的緊下方位置到成為匯合點7x的稍稍下遊的位置為止的導電板框架15f1的頂面，形成有作為長方形狀的凹部的直線收置槽15sd。在直線收置槽15sd內收置有由導電體(導體)製成的形成為薄的長方體狀的導電板的直線部15s(以後記載為直線部15s)。直線部15s是若從上往下看則長邊沿著工件W的輸送方向的長方形，引導面7a位於其短邊的大致中點的緊上方。

另外，圖8中，從上述成為匯合點7x的稍稍下遊的位置進一步向下遊，沿著輸送臺2之上的工件輸送圓弧5，與直線收置槽15sd相連接地設置有曲線收置槽15wd，該曲線收置槽15wd是具有與直線收置槽15sd相同的深度的凹部。而且，在曲線收置槽15wd內收置有電連接於直線部15s的由導電體製成且形成為薄板狀的導電板的曲線部15w(以後記載為曲線部15w)。如圖8所示，曲線部15w是垂直於工件W的輸送方向的水平的寬度方向的大致中點沿著工件輸送圓弧5的緊下方的形狀。而且，若將接近直線部15s的位置即上遊側的寬度15wb1與遠離直線部15s的位置即下遊側的寬度15wb2進行比較，則有15wb1＞15wb2的關係。即，越往下遊，曲線部15w的寬度越窄。而且，在工件W的輸送路徑中的導電板框架15f1的最下遊點，曲線部15w的前端15t尖銳，尖點位於圖2中用單點劃線所示的W90的大致緊下方，W90是將相對於構成工件W的相對的2面Ws1以及Ws2的短邊的寬度We使寬度Wem變為Wem＝We/2的該短邊的中點彼此連結的線。直線部15s以及曲線部15w連接於圖5所示的直流電源16，但是圖6到圖10中未圖示直流電源16。

由該導電板框架15f1、直線部15s、曲線部15w以及圖5所示的直流電源16，構成電力線產生部15e。而且，由直線部15s以及曲線部15w，構成作為保持單元的導體板(也稱為導體)15。

接下來，關於磁力線產生部18的詳細構成，利用圖8到圖10進行說明。圖6以及圖7所示的磁力線產生部18，如上所述被收納於導電板框架15f1內。磁力線產生部18的主要的構成部件，是圖8到圖10所示的要素磁體18m。要素磁體18m是永磁體，如圖9以及圖10所示，要素磁體18m中，將以較長方向沿著工件W的輸送方向的方式在上下方向上裝載有3層而形成的磁體塊18mb在工件W的輸送方向上排列3列、在垂直於輸送方向的水平方向上排列2列。如圖8所示，用於配置磁體塊18mb的位置是排列引導件7的引導面7a的大致緊下方。另外，配置的範圍是從移載點4x的緊下方位置沿著排列引導件7到匯合點7x的稍稍下遊位置為止的、沿著工件W的輸送路徑的部分。

圖9中，對能目視的範圍的9個要素磁體18m分別標註有從[m11]到[m33]的編號。這裡，在設為i＝1、2、3時，[mi1]到[mi3]成為1個磁體塊18mb。圖8到圖10中，在工件W的輸送方向上排列有3列、在垂直於輸送方向的水平方向上排列有2列磁體塊18mb，但是磁體塊18mb的列數不限定於此。另外，如果能將大的永磁體作為要素磁體18m使用、用1個要素磁體18m構成磁體塊18mb，或者能用1個要素磁體18m構成配置為3列以及2列的整體磁體塊18mb，則也可以那樣構成。

另外，如圖9以及圖10所示，各要素磁體18m配置為，接近輸送臺2的一側成為N極、遠離輸送臺2的一側成為S極。只是，N極與S極的配置不限定於此，也可以配置為：接近輸送臺2的一側成為S極、遠離輸送臺2的一側成為N極。

在磁體塊18mb之上，由磁性體製成的磁重疊杆18p朝向與各要素磁體18m的較長方向一致的較長方向而配置。磁重疊杆18p沿著工件W的輸送方向從移載點4x延伸至導電板框架15f1的端部即曲線部15w的前端15t的近旁。另外，這裡如圖10所示，磁體塊18mb在垂直於輸送方向的水平方向上排列有2列，因此磁重疊杆18p也配置在各列之上而成為2列。通過將磁重疊杆18p配置在這裡，抑制從磁體塊18mb的N極發出的磁力線向周圍擴散，使得該磁力線集中於在輸送臺2的頂面所載置的工件W。

另外，如圖9以及圖10所示，在各磁體塊18mb之下配置有由非磁性體製成的輔助部件18s。圖9中，對與各磁體塊18mb相對應的各輔助部件18s標註有[S1]到[S3]的編號。輔助部件18s是用於調整磁體塊18mb的最頂面與輸送臺2的頂面的距離以使最佳大小的磁吸附力作用於在輸送臺2的頂面所載置的工件W的部件。進一步，如圖9以及圖10所示，配置有以L形包圍各磁體塊18mb以及各輔助部件18s的下側以及側面、且由非磁性體製成的磁體固定框架18f。圖9中，對與各磁體塊18mb以及各輔助部件18s相對應的各磁體固定框架18f標註有[F1]到[F3]的編號。與各磁體塊18mb相對應的輔助部件18s以及磁體固定框架18f，與磁重疊杆18p一併通過未圖示的固定用螺紋件與導電板框架15f1固定為一體。

由該要素磁體18m、磁重疊杆18p、輔助部件18s以及磁體固定框架18f，構成磁力線產生部18。而且，由要素磁體18m與磁重疊杆18p構成跳躍防止單元。

接下來，對於使用包括這樣的構成的工件的外觀檢查裝置的工件的外觀檢查方法詳細進行說明。

圖1中，工件W被投入位於直線送料機1的上遊側的未圖示的送料器，被投入送料器的工件W通過由於未圖示的驅動源而振動的直線送料機1的作用而排列成一列，向圖1的箭頭N的方向被串行輸送。此時，工件W以較長方向與輸送方向一致的方式排列，圖2中的箭頭Z成為工件W的輸送方向。即，圖2中的箭頭Z的方向與圖1中的箭頭N的方向一致。

接下來，通過圖4詳述直線送料機1的作用。圖4示出由直線送料機1輸送的工件W的情況，是從箭頭Y的方向看圖1中用虛線包圍的區域S的透視圖。圖4是為了易於看到輸送臺2上的工件W的情況而用虛線表示排列引導件7的位置的透視圖。另外，關於工件W，將各個構成部分上的工件示出為工件W0～W6，不分場所時將一般的工件示出為工件W。

如圖4所示，直線送料機1朝向水平地位於其下方的輸送臺2稍有傾斜，由於直線送料機1的振動被後續的工件W推擠而前進的工件W，如用W0所示那樣在前後方向上連續地朝向輸送臺2一點一點地下降。

圖3中，由於直線送料機1的振動而按一列輸送的工件W，被移載於輸送臺2上的移載點4x，由於因在連接於直流電源16的導電板15產生的電荷的作用而產生的靜電感應以及電介質極化，被吸附於輸送臺2的頂面。

將該吸附作用的情況示於圖5。圖5中，導電板15配置為與輸送臺2的底面稍稍隔開間隙，在導電板15連接有直流電源16並被施加有正的直流電壓。因此，在導電板15出現正電荷。

由於該正電荷的作用而發生電介質極化，在與導電板15相對的輸送臺2的內部之中在底面側出現負電荷、在頂面側出現正電荷。另外同樣，在從直線送料機1被移載於輸送臺2上的移載點4x的工件W2中，在電極Wa以及Wb由於靜電感應、另外在主體Wd由於電介質極化，分別在底面側出現負電荷、在頂面側出現正電荷。

而且，在出現在電極Wa、Wb以及主體Wd的底面側的負電荷與導電板15的正電荷之間，用箭頭表示的靜電吸附力G起作用，由此工件W2在被吸附於輸送臺2的頂面的狀態下由於輸送臺2的旋轉而被向箭頭X的方向輸送。

接著，被移載於輸送臺2上的移載點4x的工件W，作為工件W2示出，在被吸附於輸送臺2的狀態下由於輸送臺2的旋轉而被向箭頭X的方向輸送。

該情況下，使得基於輸送臺2的旋轉的輸送速度比直線送料機1的輸送速度快，使輸送臺2上的工件間(例如W2與W3之間)具有間隔。通過這樣使輸送臺2上的工件間具有間隔，在圖1的前面相機部12對圖2所示的工件W的前面E進行拍攝、另外圖1的後面相機部13對圖2所示的工件W的後面F進行拍攝時，能可靠地對整個面進行拍攝。

即，當工件W從移載點4x被移載到輸送臺2而輸送時，在圖3中的區間P中工件W在被靜電吸附的狀態下以W2→W3→W4的方式被迅速加速至輸送臺2的輸送速度，在區間Q中工件的間隔例如像W4與W5之間那樣變寬。

接下來，關於電力線產生部15e以及磁力線產生部18的作用，利用圖8到圖10進行說明。圖8中被移載於移載點4x的工件W(圖2)，由於直線部15s所產生的電力線的靜電吸附和磁體塊18mb(圖9中由[m11][m12][m13]構成)所產生的磁力線的磁吸附，而被吸附於輸送臺2的頂面。這裡，關於磁體塊18mb產生的磁力線，利用圖9以及圖10進行說明。圖9以及圖10中，由虛線示出將各磁體塊18m的頂面的N極作為起點、將底面的S極作為終點的磁力線。磁力線中，圖9中的磁體塊18mb的兩端附近的磁力線φ0a1以及φ0b1，示出從起始點到終點的全部。但是，其以外的磁力線φ1N1以及φ1S1，因為到達距起始點極遠(根據情況是無限遠)處之後才到達終點，所以僅示出起始點附近以及終點附近。圖10中的磁力線φ0c1以及φ0d1與磁力線φ1N2以及φ1S2也是同樣。這裡，在移載點4x作用於工件W的磁吸附，是由貫通輸送臺2的磁力線即圖9中的磁力線φ1N1以及圖10中的磁力線φ1N2產生的。這樣，在移載點4x靜電吸附和磁吸附共同作用，因此與現有技術那樣僅有靜電吸附的情況相比，能實現穩定的吸附。因此，即使是尺寸大且有重量的工件，或者是高硬度的工件，在下落到移載點4x的時刻也不跳躍地立即被吸附於輸送臺2的頂面、以正確的姿勢被載置。

接下來，圖8中被移載於移載點4x的工件W，在由於靜電吸附以及磁吸附而被吸附於輸送臺2的頂面的狀態下，由於輸送臺2的箭頭X方向的旋轉被按壓於排列引導件7的引導面7a而像工件W2那樣被輸送。而且，在從移載點4x到匯合點7x的期間，工件W被加速至輸送臺2的旋轉速度，在匯合點7x與引導面7a分離而在工件輸送圓弧5之上載置排列而被輸送。這裡，在工件W與引導面7a分離而在工件輸送圓弧5之上被載置排列之後的一段時間內，具體而言在直到圖8中到達曲線部15w的前端15t即工件W9的位置為止的期間，由位於工件輸送圓弧5的緊下方的曲線部15w所產生的靜電吸附作用於工件W。因此，工件W被吸附於輸送臺2的頂面而輸送，直至到達與曲線部15w的前端15t相對應的工件W9的位置。這樣，在從移載點4x到匯合點7x為止的期間，靜電吸附和磁吸附共同作用，因此與現有技術那樣僅有靜電吸附的情況相比，能實現穩定的吸附。因此，工件W在從移載點4x被輸送至匯合點7x的期間，即使在被施加了大的加速度的情況下，也能實現穩定的吸附。通過該穩定的吸附，在工件W到達匯合點7x接著在工件輸送圓弧5之上載置排列而被輸送時，工件W不會由於不管其尺寸如何都作用於其的離心力而向工件輸送圓弧5的外側飛出。進一步，剛剛在工件輸送圓弧5之上載置排列後的工件W，向輸送臺2的頂面的吸附由於曲線部15w的靜電吸附而持續一段時間，因此能進行更穩定的輸送。

另外，本發明中，設置有曲線部15w以及磁力線產生部18。它們的成本，與後述那樣為了僅通過作用於工件W的靜電吸附得到大吸附力而使直流電源大容量化時的成本相比是極低的。另外，曲線部15w以及磁力線產生部18的配置方法是在使導體板框架15f0稍稍增大而成的導電板框架15f1的頂面配置曲線部15w，在內部收納磁力線產生部18。由此引起的配置空間的增加，與使直流電源大容量化時的體積的增加相比是極小的。

此外，如上所述，基於輸送臺2的旋轉的輸送速度比直線送料機1的輸送速度快，因此被定位了的工件W在圖3中的區間P在被靜電吸附的狀態下，如W2→W3→W4那樣被迅速加速到基於輸送臺2的旋轉的輸送速度，在區間Q中，工件的間隔例如像W4與W5之間那樣變寬。而且，工件W5與區間P同樣地一邊被按壓於引導面7a一邊被輸送，逐漸接近工件輸送圓弧5。而且，到達了引導面7a與工件輸送圓弧5相切的匯合點7x的工件W6的輸送方向，在區間R中與工件輸送圓弧5的方向一致，工件W6向離開引導面7a的方向被輸送。即，從存在於輸送臺2的底面的正電荷對輸送臺2上的工件W6作用靜電吸附力，因此工件W6保持被吸附於輸送臺2的狀態而離開引導面7a、之後以在工件輸送圓弧5上載置排列的狀態被輸送。

之後，工件W到達拍攝單元20，由拍攝單元20的側面相機部8、內面相機部9、頂面相機部10、底面相機部11、前面相機部12、後面相機部13從圖2中用箭頭A～F所示的方向對各面進行拍攝以進行外觀檢查。該情況下，通過存在於輸送臺2的底面的電荷的吸附和引導面7的作用，高精度地進行工件W的定位，因此拍攝單元20的拍攝精度提升。結束了外觀檢查的工件W到達排出部14，根據外觀檢查的結果向未圖示的收納箱被排出。

這樣根據本實施方式，起到以下這樣的作用效果。

一般而言在工件W的尺寸變大的情況下、或者工件W的硬度變高的情況下，在被移載於移載點4x時輸送臺2上的工件W的姿勢容易變化。圖3中，在工件W從直線送料機1被移載於移載點4x時，雖然是從極低的高度但是仍是下落到輸送臺2的頂面。這裡，尺寸大的工件W重量也大，落到輸送臺2的頂面時的反彈也大。同樣地，高硬度的工件W落到輸送臺2的頂面時的反彈也大。因此，有時工件W下落到輸送臺2的頂面跳躍接著再度下落到輸送臺2的頂面而被靜電吸附。而且，被移載到移載點4x的工件W的輸送，從此前的通過直線送料機1的振動進行的輸送切換到通過輸送臺2的旋轉進行的輸送，工件W由於輸送臺2的旋轉被迅速加速。由於該輸送的切換使輸送速度急劇變快，這也是工件W容易跳躍的一個原因。而且，由於跳躍，被移載的工件W變為不正確的姿勢就這樣原樣被輸送，所以無法從正確的方向進行拍攝。

另外，在工件W被載置於輸送臺2上而被輸送時，由於作用於工件W的離心力，工件W有時容易從工件輸送圓弧5之上偏離。如上所述，被載置於輸送臺2的頂面的工件W，如圖3所示，在從移載點4x被輸送至匯合點7x期間被加速至輸送臺2的旋轉速度。而且，有時起因於輸送臺2的旋轉的離心力作用於在匯合點7x剛剛離開排列引導件7的引導面7a的工件W9，使其向工件輸送圓弧5的外側飛出。該情況下，工件W也變為不正確的姿勢就這樣原樣被輸送，所以無法從正確的方向進行拍攝。此外，不管工件W的大小如何，上述離心力都同樣地作用於任何工件。簡單地對其原因進行說明。若將離心力設為F、將工件W的質量設為m、將輸送臺2的旋轉速度設為v，則

【式1】

此外，圖3中，在直線送料機1輸送的工件W的數量與輸送臺2的旋轉速度之間，有以下的關係。在質量m大的工件W、即尺寸大的工件W的情況下，直線送料機1單位時間輸送的工件W的數量少。此時，每單位時間供給到輸送臺2的工件W的數量少，所以輸送臺2的旋轉速度v低。另一方面，在質量m小的工件W、即尺寸小的工件W的情況下，直線送料機1單位時間輸送的工件W的數量多。此時，每單位時間供給到輸送臺2的工件W的數量多，所以輸送臺2的旋轉速度v快。即，若工件W的質量m大則輸送臺2的旋轉速度v低，若工件W的質量m小則輸送臺2的旋轉速度v快。當將該關係套入式(1)時，可知，不管工件W的質量m大小即尺寸大小如何，同樣大小的離心力作用於工件W。

為了防止上述那樣的起因於移載時的跳躍以及輸送時的離心力的工件W的姿勢變化，必須使作用於在輸送臺2上所載置的工件W的靜電吸附力變大。為此，可以考慮提高施加於直線導電板5s的電壓。但是，為了實現這一點需要直流電源的大容量化，由此直流電源的體積變大、另外成本也變高。

相對於此，根據本實施方式，在工件向輸送臺移載時以及由輸送臺進行輸送時，工件被足夠的力穩定地吸附於輸送臺上。由此，工件能以正確的姿勢被輸送而正確地被拍攝。

＜第2實施方式＞

以下，關於本發明的第2實施方式，通過圖11進行說明。

圖11所示的第2實施方式，是在第1實施方式上附加有無振動部4的構成的實施方式，其他構成與圖1到圖10所示的第1實施方式大致相同。圖11所示的第2實施方式中，對於與圖1到圖10所示的第1實施方式相同的部分標註相同的符號並省略對其的詳細說明。

即，如圖11所示，在直線送料機1的下遊端連接有具有與直線送料機1同等斜度並且不會振動的無振動部4。無振動部4的下遊端，與圖4中的直線送料機1的下遊端同樣地與輸送臺2稍有間隙。由此，工件W從直線送料機1經無振動部4逐漸下降而被移載於輸送臺2。直線送料機1朝向水平地位於其下方的輸送臺2稍有傾斜，由於直線送料機1的振動被後續的工件W推擠而前進的工件W，如用W0所示那樣在前後方向上連續地朝向輸送臺2一點一點地下降。直線送料機1振動，因此若在將工件W從直線送料機1向輸送臺2移載時使直線送料機1接近至輸送臺2的緊上方位置，則直線送料機1與輸送臺2可能會抵接。為了防止這一情況，在直線送料機1的下遊端與輸送臺2之間，設置有不振動的無振動部4。

另外，還認為由於直線送料機1的振動不均，直線送料機1中工件W的輸送速度也會發生不均，但是通過使無振動部4介於直線送料機1與輸送臺2之間能使該輸送速度均勻化。

此外，無振動部4具有與直線送料機1同等的斜度，在與輸送臺2的頂面之間稍有間隙。無振動部4上的工件W與在直線送料機1上同樣地被後述的工件推擠而前進，如用W0所示那樣前後連續地朝向輸送臺2一點一點地下降。

接著，到達了無振動部4的下遊端的工件W1，被位置緊隨其後的工件W0推擠而移載於輸送臺2上的移載點4x，之後由於輸送臺2的旋轉而向圖4的箭頭X方向被輸送。這裡，若無振動部4的長度過短則難以使輸送速度均勻化，相反若該長度過長則工件W可能會在途中停止。本發明的實施方式中，無振動部4的長度為工件較長方向尺寸的8倍，所以能不使工件W停止地實現工件W的輸送速度的均勻化。

此外，第2實施方式中，由無振動部4和圖1所示的排列引導件7構成移載排列單元21。該第2實施方式，除上述那樣附加有無振動部4以外，與第1實施方式相同。即，其中(第2實施方式中)的第1實施方式中說明了的電力線產生部15e以及磁力線產生部18的構成以及作用，與第1實施方式相同。