用於產生等離子體的天線和包括其的等離子體處理裝置的製作方法
2023-06-01 19:08:11 5
專利名稱：用於產生等離子體的天線和包括其的等離子體處理裝置的製作方法
技術領域：
本發明涉及在半導體器件等的製造中使用的等離子體處理裝置。更確切的說，本發明涉及一種在等離子體處理裝置中用於產生等離子體的天線。
背景技術：
一般來說，在半導體襯底上進行沉積工藝和蝕刻工藝來形成半導體器件的微電路圖案或部件。一般採用的進行沉積和蝕刻工藝的一個設備就是等離子體處理裝置。
等離子體處理裝置根據該裝置產生等離子體的方法可分為電感性耦合等離子體處理裝置，電容性耦合等離子體處理裝置和微波等離子體處理裝置。電容性耦合等離子體處理裝置具有簡單的結構，並且產生均勻的等離子體。電容性耦合等離子體處理裝置完成沉積工藝需要較長時間，因為它們產生具有低密度的等離子體。另一方面，電感性耦合等離子體處理裝置能夠在短的時間內進行沉積工藝，因為他們能夠產生具有高密度的等離子體。然而，儘管被廣泛的應用，電感性耦合等離子體處理裝置產生非均勻的等離子體。
更確切的說，電感性耦合等離子體處理裝置包括產生等離子體的室，該室具有進氣口、用於在室中產生真空的真空泵和出氣口，其中通過進氣口將反應氣體供給室，通過出氣口將氣體排出室。將上面支撐晶片的卡盤設置在室的下部。天線設置在室中的上部。通過利用天線為反應氣體施加電壓來在室中產生等離子體。
該天線可以是單分支型或多分支型天線。雖然在單分支型的天線中阻抗容易匹配，但是單分支型由於其阻抗高，因此以低效率輸出射頻(RF)功率。另一方面，多分支型天線由於其低的阻抗，在產生RF功率方面的效率高並提供方位上的均勻性。然而，在多分支型天線中，電流可能會不均勻的分布在平行設置的分支。
圖14示出了用來產生等離子體的另一種類型的傳統天線。該天線包括螺旋形分支和分別在兩個螺旋形分支的末端上提供的輸入/輸出端子。因為分支是螺旋形的，所以分支的彎曲的半徑隨著分支的長度而變化。換句話說，分支的幾何中心和分支自身之間的距離隨著分支的相對角度位置而改變。
由傳統天線產生的電場圖案與分支的螺旋形狀相對應。結果，利用傳統天線所產生的等離子體的分布偏向室的一邊。也就是說，傳統天線不能用於產生均勻的等離子體。
此外，傳統天線電氣上串聯連接，因此傳統天線具有阻抗高的特徵。這樣，傳統天線以低效率傳輸RF功率。
發明內容
本發明的一個目的是提供一種便於產生均勻等離子體並且具有低阻抗的天線。同樣，本發明的一個目的是為了提供一種等離子體處理裝置，該裝置能夠產生均勻等離子體並且包括具有低阻抗的天線。
根據本發明的一個方面，天線包括具有基本相同形狀的分立的分支。分支對稱設置，並且沿著至少兩個關於一中心軸同心的幾何圖形平放，分支關於此中心軸對稱設置。
分支可以沿著同心圓延伸。在這種情況下，每個分支包括多個弓形圖案形成部分和至少一個在圖案形成部分之間延伸的並且連接圖案形成部分的連接部分。圖案形成部分包括的每個分支都有不同的曲率半徑。
根據本發明的另一個方面，等離子體處理裝置包括反應氣體能被引入其中的室、上面支撐有晶片設置在室的下部的卡盤和具有上述特徵的設置在室之上的天線。在分支的兩個末端設置用於加到分支兩端的電壓的輸入/輸出端子。
室的上壁可以基本是平坦的。在這種情況下，天線分支的圖案形成部分基本上都位於同一平面裡。可選擇地，室的上壁也可以是半球形的。在這種情況下，構成所述的每個分支的圖案形成部分分別設置在平行的平面裡，這些平面沿著所述半球形上壁的高度隔開。
根據本發明，由於天線的分支基本上形成一同心的幾何圖形如圓，因此能產生均勻的等離子體。同樣地，分支電氣上並聯連接使得天線具有低的阻抗，且因此能以高的效率為反應氣體傳輸能量。
從下面關於參考附圖的優選實施例的詳細描述，本發明的上述和其他目的、特徵和優點將更加顯而易見。
圖1是依據本發明的天線的第一實施例的平面圖；圖2是依據本發明的天線的第二實施例的平面圖；圖3是依據本發明的天線的第三實施例的平面圖；圖4是依據本發明的天線的第四實施例的平面圖；圖5是依據本發明的天線的第五實施例的平面圖；圖6是依據本發明的天線的第六實施例的平面圖；圖7是依據本發明的天線的第七實施例的平面圖；圖8是依據本發明的天線的第八實施例的平面圖；圖9是依據本發明的天線的第九實施例的平面圖；圖10是依據本發明的天線的第十實施例的平面圖；圖11是依據本發明的天線的第十一實施例的平面圖；圖12是依據本發明的具有圖1所示天線的等離子體處理裝置的剖面圖；圖13是依據本發明的具有圖10所示天線的等離子體處理裝置的剖面圖；圖14是傳統天線的透視圖；圖15是依據本發明的圖5所示天線的剖面圖；圖16是電流流過圖14所示的傳統天線所產生的磁場的圖像；圖17是電流流過圖15所示的傳統天線所產生的磁場的圖像；圖18是由圖14中所示傳統天線所產生的電場的圖像；圖19是由圖15中所示傳統天線所產生的電場的圖像。
具體實施例方式
實施例1參考圖1，根據本發明的天線100的第一實施例包括具有形狀大體相同的第一和第二分支110和120。第一和第二分支110和120包括導電材料且如導線的形式。此外，第一和第二分支110和120對稱地設置在穿過中心C的中心軸附近，並且沿著與中心C一致的兩個同心的圓平放。
更明確地說，第一和第二分支110和120包括第一半圓圖案形成部分111和121；第二半圓圖案形成部分113和123，每一個都具有比第一圖案部分111和121大的半徑；以及連接部分112和122；分別在與第一圖案形成部分111和121與第二圖案形成部分113和123之間的鄰接末端之間延伸。第一圖案形成部分111和121與第二圖案形成部分113和123大體位於同一平面上。
第一分支110的第一圖案形成部分111和第二分支120的第一圖案形成部分121沿著中心為C的第一圓延伸。第一分支110的第二圖案形成部分113和第二分支120的第二圖案形成部分123沿著第二圓延伸，該圓具有比第一圓大的直徑。在第一圖案形成部分111和121與第二圖案形成部分113和123之間的間隔，即第一圖案形成部分111和121與第二圖案形成部分113和123之間的在從中心C的徑向方向上的間距是大體不變的。
同樣，第一和第二分支110和120的末端沿著經過中心C的中線定位。輸入/輸出端子114、115、124和125位於第一和第二分支110和120的末端。使用輸入/輸出端114、115、124和125給第一和第二分支110和120的兩端施加電壓。因此，當靠近中心C的端子114和124是用作第一和第二分支110和120的輸入端時，端子115和125用作將第一和第二分支110和120接地的輸出端。另一方面，當靠近中心C的端子114和124是用作使第一和第二分支110和120接地的輸出端時，端子115和125是輸入端。
實施例2參考圖2，根據本發明的另一天線200，包括具有大體相同形狀的第一和第二分支210和220。第一和第二分支210和220形成了三個大體位於同一平面上的同心圓。第一和第二分支210和220包括與第一和第二分支連接的第三圖案形成部分217和227，與圖1中所示的第一和第二分支110和120相似，通過連接部分216和226相連。第三圖案形成部分217和227沿著第三圓延伸，第三圓具有比第二圓大的直徑。在同心圓的每個鄰近的對之間的間距是相同的。端子215和225位於第三圖案形成部分217和227的外部的末端。
實施例3參考圖3，根據本發明的另一天線300，包括具有大體相同形狀的第一和第二分支310和320。第一和第二分支310和320形成了大體位於同一平面的四個同心圓。第一和第二分支310和320包括四個圖案形成部分319和329，並通過連接部分318和328與第一、第二和第三分支相連，與圖2中的相應部分相似。第四圖案形成部分319和329沿著第四(最外面的)的同心圓延伸。同心圓之間的間距基本上相同。端子315和325位於第四同心圖案形成部分319和329的外部的末端。
同樣，根據本發明的天線可以有五對或者更多對圖案形成部分，其中每對依據第一到第三實施例的原則分別沿著同心圓中的一個延伸。
實施例4參照圖4，依據本發明的另一天線400，包括形狀基本上相同的第一，第二和第三分支410、420和430。第一，第二和第三分支410、420和430對稱地位於中心C的附近，並且形成具有中心C的兩個同心圓。
第一、第二和第三分支410、420和430包括第一圖案形成部分411、421和431，每個都具有圓的三分之一的形狀；第二圖案形成部分413、423和433，每個都具有一更大的圓的三分之一的形狀；以及連接部分412、422和432在第一圖案形成部分411、421和431與第二圖案形成部分413、423和433的相鄰端之間延伸。第一、第二和第三分支410，420和430基本上位於同一平面。
更確切的說，第一分支410的第一圖案形成部分411、第二分支420的第一圖案形成部分421和第三分支430的第一圖案形成部分431沿著第一圓延伸。第一分支410的第二圖案形成部分413、第二分支420的第二圖案形成部分423和第三分支430的第二圖案形成部分433沿著第二圓延伸，該第二圓的直徑比第一圓大。距離，也就是在第一圖案形成部分411、421和431與第二圖案形成部分413、423和433之間的在徑向上的間距是不變的。因此，第一和第二圓對於中心C同心。
第一、第二和第三分支410，420和430的每個末端沿著三條線的其中之一設置，這三條線從中心C向外徑向延伸。三條線對著約120°的角度。輸入/輸出端子414、415、424、425、434和435處於第一，第二和第三分支410、420和430的末端。該輸入/輸出端子414、415、424、425、434和435用作通過第一、第二和第三分支410、420和430兩端提供電壓。因此，當靠近中心C的端子414、424和434用作第一、第二和第三分支410、420和430的輸入端時，端子415、425和435用作將第二和第三分支410、420和430接地的輸出端。在另一方面，當靠近中心C的端子414、424和434用作將第一、第二和第三分支410、420和430接地的輸出端時，端子415、425和435用作第一、第二和第三分支410、420和430的輸入端。
實施例5參考圖5，根據本發明的另一天線500，包括形狀基本上相同的第一、第二和第三分支510、520和530。第一、第二和第三分支510、520和530沿著基本上位於同一平面的三個同心圓延伸。第一、第二和第三分支510、520和530包括連接到第一和第二圖案形成部分的第三圖案形成部分517、527和537，與圖4中所示的第一圖案形成部分411、421和431和第二圖案形成部分413、423和433相似，分別通過連接部分516、526和536相連。第三圖案形成部分517、527和537沿著第三圓延伸，該第三圓具有比第二圖案形成部分所延伸的第二圓更大的直徑。同心圓之間的間距基本上相等。端子515、525和535分別位於第三圖案形成部分517、527和537的外部的末端。
實施例6參考圖6，根據本發明的另一天線600包括形狀基本上相同的第一、第二和第三分支610、620和630。第一、第二和第三分支610、620和630沿著基本上位於同一平面的四個同心圓延伸。第一、第二和第三分支610、620和630包括分別通過連接部分616、626和636連接到第一、第二和第三圖案形成部分的第四圖案形成部分617、627和637，與圖5中的相應部分類似。第四圖案形成部分617、627和637沿著第四圓延伸，該第四圓具有比第三圖案形成部分所延伸的第三圓更大的直徑。同心圓之間的間距基本上相等。端子615、625和635分別位於第三圖案形成部分617、627和637的外部的末端。
同樣，根據本發明的天線可以有五個或者更多組三個圖案形成部分，其中每組依據第四到第六實施例的原則分別沿著同心圓中的一個延伸。
實施例7
參考圖7，依據本發明的另一個實施例700包括形狀基本上相同的第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740。第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740對稱地形成在中心C的附近，並沿著兩個具有中心C的同心圓延伸。
第一、第二，第三和第四分支710、720、730和740包括第一圖案形成部分711、721、731和741，其中每個都具有四分之一的圓的形狀，第二圖案形成部分713、723、733和743每個都有一個更大的圓的四分之一的形狀，以及連接部分712、722、732和742在第一圖案形成部分711、721、731和741與第二圖案形成部分713、723、733和743的各自末端之間延伸。第一、第二、第三和第四分支710，720、730和740基本上位於同一平面。
第一分支710的第一圖案形成部分711，第二分支720的第一圖案形成部分721，第三分支730的第一圖案形成部分731和第四分支740的第一圖案形成部分741沿著第一圓設置。第一分支710的第二圖案形成部分713，第二分支720的第二圖案形成部分723，第三分支730的第二圖案形成部分733和第四分支740的第二圖案形成部分743沿著直徑比第一圓更大的第二圓設置。距離，即在第一圖案形成部分711、721、731和741與第二圖案形成部分713、723、733和743之間的徑向間距基本上是不變的。因此，第一和第二圓對於中心C是同心圓。
第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740的每個末端，分別沿著從中心C向外徑向延伸的四條線的其中之一設置。這些線組成90°角。輸入/輸出端714、715、724、725、734、735、744和745分別位於第一、第二、第三和第四分支710、720、730、740的末端。使用輸入/輸出端子714、715、724、725、734、735、744、745給第一、第二、第三和第四分支710，720，730和740的兩端施加電壓。因而，當靠近中心C的埠714、724、734和744用作用於第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740的輸入端時，端子715、725、735和745用作將第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740接地的輸出端。另一方面，當靠近中心C的端子714、724、734和744用作將第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740接地的輸出端時，端子715、725、735和745將用作第一、第二、第三和第四分支710、720、730和740的輸入端。
實施例8參考圖8，根據本發明的另一天線800，包括具有基本上相同形狀的第一、第二、第三和第四分支810、820、830和840。第一、第二、第三和第四分支810、820、830和840沿著基本上位於同一平面中的三個同心圓延伸。第一、第二、第三和第四分支810、820、830和840包括通過連接部分816、826、836和846連接到第一和第二圖案形成部分的第三圖案形成部分817、827、837和847，與圖7中所示第一圖案形成部分711、721、731和741和第二圖案形成部分713、723、733和743類似。第三圖案形成部分817、827、837和847沿著比第二圖案形成部分所延伸的第二圓的直徑更大的第三圓延伸。這些同心圓之間的間距基本上相同。端子815、825、835和845分別位於第三圖案形成部分817、827、837和847的外部末端。
實施例9參考圖9，根據本發明的另一天線900，包括具有大體相同形狀的第一、第二、第三和第四分支910、920、930和940。第一、第二、第三和第四分支910、920、930和940沿著基本上在同一平面上的四個同心圓延伸。第一、第二、第三和第四分支910、920、930和940包括通過連接部分916、926、936和946連接到第一、第二、第三和圖案形成部分的第四圖案形成部分917、927、937和947，與圖8中所示相似。第四圖案形成部分917、927、937和947沿著第四圓延伸，該第四圓的直徑比第三圖案形成部分所沿著的第三圓的直徑更大。同心圓之間的間距是基本上相等。端子915、925、935和945分別位於第四圖案形成部分917、927、937和947的外部末端。
同樣，根據本發明的天線可以具有五個或者更多組第四圖案形成部分，其中每組依據第七到第九實施例的原則分別沿著同心圓中的一個延伸。
實施例10參考圖10，根據本發明的另一天線1100，包括具有基本上相同形狀的第一、第二和第三分支1110、1120，1130。第一、第二和第三分支1110、1120和1130對稱地分布在通過中心C的中心軸附近，並且沿著兩個中心與中心軸重合的同心圓設置。
第一、第二和第三分支1110、1120和1130包括第一圖案形成部分1111、1121和1131，每個都具有圓的三分之一的形狀；第二圖案形成部分1113、1123和1133，每個都具有一大的圓的三分之一的形狀；以及連接部分1112、1122和1132在第一圖案形成部分1111、1121和1131與第二圖案形成部分1113、1123和1133的末端之間延伸。第一圖案形成部分1111、1121和1131位於第一平面上，並且第二圖案形成部分1113、1123和1133位於與第一平面垂直地隔開的第二平面上。
輸入/輸出端子1114、1115、1124、1125、1134和1135位於第一、第二和第三分支1110、1120和1130的末端。使用輸入/輸出端子1114、1115、1124、1125、1134和1135給第一、第二和第三分支1110、1120和1130的兩端施加電壓。因此，當靠近中心C的端子1114、1124和1134用作第一、第二和第三分支1110、1120和1130的輸入端時，使用端子1115、1125和1135作為用於使第一、第二和第三分支1110、1120和1130接地的輸出端。另一方面，當靠近中心C的端子1114、1124和1134用作使第一、第二和第三分支1110、1120和1130接地的輸出端時，使用端子1115、1125和1135作為用於第一、第二和第三分支1110、1120和1130的輸入端。
在本實施例中，天線1100有三個分支1110、1120和1130，包括圖案形成部分，每個都具有三分之一的圓的形狀。然而，根據本發明的天線可以具有其他數目的分支，並該分支包括每個為半圓形或者四分之一圓形的圖案形成部分。
實施例11參考圖11，根據本發明的天線1300，包括具有基本上相同形狀的第一和第二分支1310和1320。第一和第二分支1310和1320彎曲成大約90°。第一和第二分支1310和1320對稱地形成在中心軸附近，並沿著一組長方形延伸，該組長方形中的每一個在那一點都具有一中心。
上述本實施例的天線的分支被電連接到一高頻電源上。因而，電流沿著平行分支的方向流動，因此減少了天線的阻抗。結果，就能夠以高的效率向等離子體傳送RF功率。此外，這些分支對稱地分布從而使得用該天線產生的等離子體均勻。
圖12說明了具有根據圖1的實施例的天線100的等離子體處理裝置1000。參考圖12，該等離子體體處理裝置1000也包括室1010，入氣口1120和出氣口1130，其中在該室1010中進行等離子體的處理過程，反應氣體通過該入氣口1120進入室1010，在室1010中反應所產生的氣體通過出氣口1130排出室1010。為室1010創造真空的真空泵1040連接到室1010。室1010為圓柱形並且具有平的上壁1070。
其上支撐著晶片的卡盤1050設置在室1010的下部。天線100設置在室1010的上方。可選擇地，等離子體處理裝置1000中可以使用根據本發明的其他的天線實施例。輸出高頻率功率的電源1060與天線100連接。
圖13說明了具有依照圖10地實施例的天線1100的等離子體處理裝置1200。參考圖13，等離子體處理裝置1200還包括具有圓頂形式的上壁的室1210。進氣口1220和出氣口1230與室1210的內部相連，用於在室1210中產生真空的真空泵1240與室1210相連。其上支撐有晶片的卡盤1250設置在室1210的下部。輸出高頻功率的電源1260與天線1100連接。天線1100環繞室1210的上部分，即圓頂，因為天線的圖案形成部分沿著如具有圖10連接中描述的每個平面設置。
由傳統的天線和根據本發明的天線所產生的磁場的測量圖14是傳統天線的透視圖。圖15是圖1中所示天線的透視圖。
圖14和15所示的天線的內部端子用作給天線兩端施加電壓的輸入端，並且天線的外部端子用於天線接地。天線的中心位於點Co。在每個天線的內部端子上施加約5安培的RF電流和約13.56MHz的頻率。在與天線平行且隔開約5cm的平面裡測量磁場的徑向分量Br(A/m)。
圖16示出了電流流過圖14中所示傳統天線所產生的磁場。圖17示出了電流流過圖15中所示天線所產生的磁場。
從圖16可以清楚得知，磁場的中心Cp從傳統天線(在朝向該圖的右下部分的方向上)的中心Co偏移。另一方面，如圖17所示，磁場中心Cv與根據本發明的天線的中心Cp重合。應注意到，從圖14的天線所產生的磁場的中心Cp從該天線的中心朝向用作天線接地的外部端子偏移了。結果，使用圖14中所示天線產生的等離子體可以具有一沿著與從天線中心向外部端子的方向對應的方向上變化的密度，即等離子體在室中可能沒有均勻的分布。相反，從圖15中中所示的天線所產生的磁場的中心Cv位於該天線的中心Co。因此，利用圖15中的天線產生的等離子體能夠在室中均勻分布。
由傳統的天線和根據本發明的天線所產生的電場的測量在如上所述的同樣的條件下，在與天線隔開約5cm的平面上測量由圖14和15中的天線所產生的電場的方位(azimuthal)分量Eθ(V/m)。
圖18示出了由圖14中的天線所產生的電場。圖19示出了由圖15的天線所產生的電場。
從圖18可以清楚的看到，從圖14中的天線發出的電場在天線的中心Co周圍並不均勻。另一方面，如圖19所示，從圖15中的天線發出的電場圍繞天線的中心Co形成了同心圓。因而，傳統天線不能用作在等離子體加工室內部產生均勻的等離子體。然而，本發明的天線在這樣的室中很容易促進均勻的等離子體的形成。
根據本發明，等離子體處理裝置的天線包括具有基本上相同形狀的分立的分支，這些分支對稱分布並且形成同心圓。因此，利用根據本發明的天線就可以產生均勻。同樣，分支並聯地電連接，從而天線的阻抗相對較低，藉此天線能夠高效率地傳輸RF功率。
儘管以上結合本發明優選實施例描述了本發明，但是注意到優選實施例的修改和變動對於熟悉本領域上述技術的人員來說是顯而易見的，因此可以修改和變動本發明公開的實施例，只要在本發明所附的權利要求書定義的本發明的實質精神和範圍之內即可。
權利要求
1.一種用於產生等離子體的天線，包括多個具有基本相同形狀的分離的分支，該分支相對中心軸對稱地排列，並且分離的分支包括圖案形成部分，該圖案形成部分完全位於至少兩個同心的幾何圖形裡，該幾何圖形的中心與中心軸重合。
2.如權利要求1所述的天線，其中同心的幾何圖形是同心圓。
3.如權利要求2所述的天線，其中每個分支包括多個弓形的圖案形成部分，和至少一個在圖案形成部分之間延伸並連接的連接部分，圖案形成部分分別構成沿著同心圓延伸的每個分支，由此構成每個上述分支的圖案形成部分具有不同的曲率半徑。
4.如權利要求3所述的天線，其中圖案形成部分基本上都位於同一平面上。
5.如權利要求3所述的天線，其中的構成的每個分支的圖案的形成部分分別在平行的平面上設置。
6.如權利要求3所述的天線，其中在中心和同心圓中的徑向最裡面之間的徑向間距，和在每對鄰接的同心圓之間的徑向間距基本上相等。
7.如權利要求3所述的天線，其中每個圖案形成部分具有在約半圓和約四分之一圓之間的長度。
8.如權利要求1所述的天線，進一步包括在每個分支的末端的導電端子。
9.一種等離子體處理裝置，包括加工室，反應氣體引入其中；其上支撐有晶片的卡盤，設置在室的下部；以及設置在所述室之上的天線，該天線包括多個具有基本相同形狀的分離的分支，該分支關於中心點對稱分布，並且該分離的分支包括圖案形成部分，該圖案形成部分完全在至少兩個同心的幾何圖形中設置，且該幾何圖形的中心與中心點重合。
10.如權利要求9所述的裝置，其中同心的圖形是同心圓，並且天線的每個分支包括多個弓形的圖案形成部分，和至少一個連接部分，該連接部分在圖案形成部分之間延伸並連接，構成每個分支的圖案形成部分分別沿著同心圓延伸，由此構成每個分支的圖案形成部分具有不同的曲率半徑。
11.如權利要求10所述的裝置，其中室包括基本上平坦的圓形上壁，並且圖案形成部分基本上都位於同一平面內。
12.如權利要求10所述的裝置，其中室包括一半球形的上壁，並且構成每個分支的圖案形成部分分別設置在平行的平面裡，這些平面沿著半球形的上壁的高度被隔開。
全文摘要
一種天線，包括具有基本相同形狀的分支。分支相對中心點對稱地設置，並且沿著至少兩個同心的圖案延伸，該圖案的幾何中心和中心點重合。每個分支包括完全位於同心圖案裡的圖案形成部分，和至少一個在圖案形成部分之間延伸和連接的連接部分。在每個分支的末端提供給分支兩端施加電壓的輸入/輸出端子。
文檔編號C23C16/50GK1638599SQ20041001047
公開日2005年7月13日 申請日期2004年10月28日 優先權日2003年10月28日
發明者金佑奭, 蔡勝基, 甘度英, 李光銘, 元濟亨, 申在光, 吳在俊, 全尚珍 申請人:三星電子株式會社