一種熱絲張緊機構的製作方法
2023-06-01 19:01:26 1
專利名稱：一種熱絲張緊機構的製作方法
技術領域：
本發明屬於化學氣相沉積金剛石領域，特別是涉及熱絲化學氣相沉積金剛石設備 中的一種熱絲張緊機構。
背景技術：
利用熱絲化學氣相沉積方法製備金剛石膜(厚膜或塗層)時(即CVD金剛石)，必 須要用到加熱絲(鉭絲或鎢絲)。在使用時，熱絲要由一個機構進行固定，同時要求在真空 爐中加熱這個熱絲時，熱絲必須要能夠保持平直、繃緊，這對金剛石的生產至關重要。中國專利ZL200720086710. 6公開了一種熱絲恆張力懸掛裝置。它包括第一電極、 第二電極、鉤狀電極引線、活塞式可移動電極組件、金屬導線、導電金屬杆、陶瓷絕緣體、滑 輪組、第一電極金屬引線、砝碼、第一電極支撐架、滑輪組支撐架、第二點擊金屬引線、第二 電極支撐架，第二電極的圓管通孔內設有活塞式可移動電極組件，第二牽引線的的左端與 陶瓷絕緣體固定連接，第二牽引線的右端經過滑輪組後於砝碼固定連接。但是上述專利存 在以下的問題1、結構複雜；2、利用砝碼懸掛來牽引熱絲，砝碼只有固定的重量規格，會使 對熱絲的調節不到位。
發明內容
本發明的目的是要克服現有技術中的缺點，提供一種結構簡單、安裝方便並且使 用效果好的熱絲張緊機構。它能夠使得在利用熱絲化學氣相沉積方法製備金剛石膜的過程 中始終使熱絲保持平直、繃緊的狀態。本發明一種熱絲張緊機構，所述熱絲張緊機構包括第一橫梁、第二橫梁、支撐條、 橫條、固定電極、活動電極、活動螺釘及彈簧；所述第一橫梁與第二橫梁平行相對；所述固 定電極一端帶鉤並固定在第一橫梁上；所述活動電極兩端帶鉤，通過活動螺釘安裝在第二 橫梁上；所述支撐條有兩根，一端都固定在第二橫梁上，另一端都與橫條固定，形成固定架； 所述彈簧一端連接在活動電極上，另一端固定在橫條上。進一步的，上述技術方案中，所述第一橫梁、第二橫梁採用鎢杆或鉬杆。進一步的，上述技術方案中，所述支撐條材質為耐高溫可加工絕緣陶瓷。進一步的，上述技術方案中，所述橫條材質為鉬或不鏽鋼。進一步的，上述技術方案中，所述固定電極及活動電極的材料為鉭或鉬。進一步的，上述技術方案中，所述活動螺釘材料為鎢或鉬。進一步的，上述技術方案中，所述活動電極中心開有長方形孔或槽，所述活動螺釘 通過長方形孔或槽安裝。本發明一種熱絲張緊機構，其作用是在金剛石製備過程中，隨著電流增加，加熱絲 由於被加熱而拉長變形，但其變形量隨即被彈簧所吸收，即可使加熱絲一直處於平直狀態。
圖1是本發明的結構示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖，具體闡述本發明的技術方案。本發明的熱絲張緊機構包括第一橫梁1、第二橫梁2、支撐條3、橫條4、固定電極5、活動電極6、活動螺釘7及彈簧8 ；第一橫梁1與第二橫梁2採用鎢杆或鉬杆材質，呈平行相 對設置；固定電極5 —端帶鉤並固定在第一橫梁上；活動電極兩端帶鉤，用鎢或鉬材料的活 動螺釘7將其安裝在第二橫梁2上，活動螺釘7擰緊時將其固定，鬆開時則其可作左右的橫 向位移，使得在彈簧的拉力下能及時拉起因加熱變長的熱絲而不下垂；支撐條3有兩根，一 端都固定在第二橫梁2上，另一端都與橫條4固定，第二橫梁2、支撐條、橫條形成穩定的固 定架結構；彈簧8—端連接在活動電極的鉤上，另一端固定在橫條4上；上述支撐條材質為 耐高溫可加工絕緣陶瓷；橫條材質為鉬或不鏽鋼；固定電極及活動電極的材料為鉭或鉬。所述活動電極中心開有長方形孔或槽9，所述活動螺釘通過長方形孔或槽安裝，使 活動電極能在熱絲被加熱前繞絲時向左(彈簧收縮的反方向)有一個位移，並且能夠被活 動螺釘固定在第二橫梁2上，絲架安裝好後，活動螺釘要鬆開，依靠熱絲的拉力保持位移， 在熱絲被加熱後，熱絲變長，變形量隨時被彈簧吸收。本發明在具體使用時，按如下方法1、在爐外，按圖所示布置加熱絲，使加熱絲繞在固定電極與活動電極的鉤上，並且 使活動電極的右端緊靠第二橫梁中心孔，擰緊活動螺釘。此時的加熱絲應繃緊，不得有垂 落、彎曲。2、整個機構放入加熱爐後，與爐內電極柱連接好，鬆開活動螺釘。隨著電流增大， 熱絲被加熱變長，在彈簧作用下，活動電極向右橫向位移，熱絲的變形量隨即被彈簧所吸 收，可使加熱絲一直處於平直狀態。
權利要求
一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述熱絲張緊機構包括第一橫梁、第二橫梁、支撐條、橫條、固定電極、活動電極、活動螺釘及彈簧；所述第一橫梁與第二橫梁平行相對；所述固定電極一端帶鉤並固定在第一橫梁上；所述活動電極兩端帶鉤，通過活動螺釘安裝在第二橫梁上；所述支撐條有兩根，一端都固定在第二橫梁上，另一端都與橫條固定，形成固定架；所述彈簧一端連接在活動電極上，另一端固定在橫條上。
2.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述第一橫梁、第二橫梁採 用鎢杆或鉬杆。
3.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述支撐條材質為耐高溫 可加工絕緣陶瓷。
4.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述橫條材質為鉬或不鏽鋼。
5.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述固定電極及活動電極 的材料為鉭或銅。
6.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述活動螺釘材料為鎢或鉬。
7.根據權利要求1所述的一種熱絲張緊機構，其特徵在於所述活動電極中心開有長 方形孔或槽，所述活動螺釘通過長方形孔或槽安裝。
全文摘要
本發明屬於化學氣相沉積金剛石領域，特別是涉及熱絲化學氣相沉積金剛石設備中的一種熱絲張緊機構。所述熱絲張緊機構包括第一橫梁、第二橫梁、支撐條、橫條、固定電極、活動電極、活動螺釘及彈簧；所述第一橫梁與第二橫梁平行相對；所述固定電極一端帶鉤並固定在第一橫梁上；所述活動電極兩端帶鉤，通過活動螺釘安裝在第二橫梁上；所述支撐條有兩根，一端都固定在第二橫梁上，另一端都與橫條固定，形成固定架；所述彈簧一端連接在活動電極上，另一端固定在橫條上。本發明一種熱絲張緊機構，其作用是在金剛石製備過程中，隨著電流增加，加熱絲由於被加熱而拉長變形，但其變形量隨即被彈簧所吸收，即可使加熱絲一直處於平直狀態。
文檔編號C23C16/27GK101831624SQ20101018190
公開日2010年9月15日 申請日期2010年5月25日 優先權日2010年5月25日
發明者晏雙利 申請人:晏雙利