一種用於晶片的拋光夾具的製作方法

2023-06-03 12:17:01

本實用新型涉及一種拋光夾具，尤其是涉及一種用於晶片的拋光夾具。

背景技術：

晶片通常指由水晶、玻璃、磁性材料等小尺寸（8-20mm）製作而成的光學零件，晶片表面的拋光率影響晶片成形後的性能。當晶片拋光採用雙側拋光時，需要在晶片的雙側表面分布拋光粉液，以在拋光設備上盤與和晶片之間的摩擦來拋光晶片。但是目前的工藝中拋光粉液從單側供給，不能很好地時晶片的上表面和下表面充分與拋光粉液接觸，無法保證拋光率。

技術實現要素：

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種改善後的拋光夾具，使拋光時拋光粉液可充分與晶片接觸

本實用新型的一種用於晶片的拋光夾具的技術方案為包括基座、和設置於所述基座上固定槽，所述固定槽的形狀與待拋光晶片相適應，在所述固定槽的邊緣設置有至少一個凹槽，所述固定槽和凹槽均貫穿基座的上表面和下表面。

進一步地，所述固定槽為若干個，所述相鄰兩個固定槽邊緣的距離大於凹槽深度。

進一步地，所述固定槽為長方形固定槽或圓形固定槽或三角形固定槽。

進一步地，所述基座為圓形，分為內圈和外圈，所述外圈間隔分布長方形固定槽和圓形固定槽，內圈間隔分布長方形固定槽和三角形固定槽，圓形基座的中心為圓形固定槽。

進一步地，所述凹槽設置於長方形固定槽或三角形固定槽的任意一邊或多邊，所述凹槽的長度小於凹槽所在的長方形固定槽的邊或三角形固定槽的邊的長度。

進一步地，所述凹槽的長度小於圓形固定槽的圓周長。

進一步地，所述凹槽間隔設置於圓形固定槽的邊緣。

本實用新型的有益效果是：進行拋光工作時，拋光夾具均勻得放置在研磨盤上，待拋光晶片放置於固定槽內，降下上盤，供給拋光液，拋光粉液通過凹槽使待拋光的晶片的上表面和下表面與拋光粉液充分接觸，這樣保證了拋光時怕光粉液的充分作用，大大提高了晶片的拋光率。拋光夾具基座為圓形時，間隔設置的圓形固定槽、長方形固定槽、三角形固定槽圓周分布、間隔設置，充分利用了基座的圓形空間，大大提高了一次的拋光率。

附圖說明

圖1為本實用新型的拋光夾具的俯視圖。

具體實施方式

一種用於晶片的拋光夾具，包括基座1、和設置於所述基座上的若干個固定槽2、所述固定槽2的形狀與待拋光晶片相適應，在所述固定槽2的邊緣設置有至少一個凹槽3，所述相鄰兩個固定槽2邊緣的距離大於凹槽3深度，所述固定槽2和凹槽3均貫穿基座1的上表面和下表面。工作時，所述拋光夾具均勻得放置在研磨盤上，待拋光晶片放置於固定槽2內，降下上盤，供給拋光液，拋光粉液通過凹槽3使待拋光的晶片的上表面和下表面與拋光粉液充分接觸，這樣保證了拋光時怕光粉液的充分作用，大大提高了晶片的拋光率。

具體實施時，如圖1所示，所述固定槽2的形狀可以任意，如長方形、圓形、三角形等，所述帶拋光的晶片放入固定槽2中，使晶片的帶拋光的面與拋光設備的上盤和下盤接觸，基座為圓形， 本實施例中，基座1為圓形，分為內圈12、外圈11，所述固定槽2圓周呈分布於所述內圈12和/或所述外圈11，如圖1所示，外圈11間隔分布長方形固定槽21和圓形固定槽22，內圈間隔分布長方形固定槽21和三角形固定槽23，圓形基座1的中心13為圓形固定槽22，充分利用了圓形基座1的空間，可一次拋光儘可能多的晶片。所述凹槽3設置於長方形固定槽21、三角形固定槽23的任意一邊或多邊，其凹槽3的長度小於凹槽3所在長方形固定槽21的邊或三角形固定槽23的邊的長度。所述凹槽3間隔設置於圓形固定槽22，其長度小於圓形固定槽22的圓周長。