粉體塗敷裝置的製作方法

2023-06-03 08:13:21

本發明涉及粉體塗敷裝置，詳細而言，涉及用於使粉體附著於膜的粉體塗敷裝置。

背景技術：

以往以來，作為使粉體附著於膜等基材的方法，提出了噴塗法等各種方法。

其中，出於能夠在基材形成緻密的層等觀點考慮，氣溶膠沉積法特別引人注目。

作為氣溶膠沉積法所使用的裝置，例如專利文獻1有所公開。

專利文獻1所公開的裝置包括：在內部具有用於使粉體附著於基材的空間的成膜腔室、用於儲存粉體原料的氣溶膠腔室以及載氣輸送裝置，成膜腔室在其內部收容有用於配置·固定基材的底座、以及將粉體向基材噴霧的噴嘴。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2013-129887號公報

技術實現要素：

發明要解決的問題

然而，專利文獻1的裝置是批次式的。即，在專利文獻1的裝置中，每次對1個基材實施塗敷處理，需要相對於成膜腔室取出、放入基材，生產效率較差。因此，尋求連續式的裝置。

作為連續式，研究採用卷對卷方式。具體而言，研究如下方法：在成膜腔室的內部配置一對輥，一邊使基材從一個輥向另一個輥卷取一邊使粉體連續地附著於基材。

可是，在將粉體向基材噴霧的方法中，從噴霧噴嘴朝向基材噴出的粉體的一部分不附著於基材而是在空氣中即成膜腔室的內部飛散。若飛散的粉體蓄積在成膜腔室內部，則該粉體附著於輥、被塗敷了的基材等。這樣一來，存在引起卷對卷裝置的工作不良、被塗敷了的基材的品質不良的不良情況。

本發明的目的在於，提供一種能夠降低所飛散的粉體的影響的連續式的粉體塗敷裝置。

用於解決問題的方案

本發明的粉體塗敷裝置是用於粉體附著於膜的粉體塗敷裝置，其特徵在於，該粉體塗敷裝置包括：送出輥，其送出所述膜；卷取輥，其相對於所述送出輥配置於所述膜的輸送方向下遊側，用於卷取所述膜；噴嘴，其在所述送出輥和所述卷取輥之間的輸送方向中途以與所述膜相對的方式配置，用於噴出所述粉體；1個或2個以上的輥用腔室，其用於收容所述送出輥以及所述卷取輥；裝置用腔室，其用於收容所述噴嘴以及所述輥用腔室；壓力調整單元，其構成為將所述輥用腔室的內壓設定得高於所述裝置用腔室的內壓。

採用該粉體塗敷裝置，壓力調整單元使輥用腔室的內壓設定得高於裝置用腔室的內壓，能夠抑制在相對低壓的裝置用腔室的內部飛散的粉體進入相對高壓的輥用腔室的內部。因此，能夠防止粉體附著於輥、被塗敷了的膜等，能夠使粉體的影響降低。

另外，優選的是，本發明的粉體塗敷裝置具有兩個輥用腔室，一個輥用腔室用於收容所述送出輥，另一輥用腔室用於收容所述卷取輥。

採用該粉體塗敷裝置，送出輥和卷取輥分別收容於獨立的輥用腔室，因此，能夠自由地調整送出輥與卷取輥之間的相對的位置、距離。因此，能夠提高裝置設計的自由度。

另外，優選的是，本發明的粉體塗敷裝置具有1個輥用腔室，所述1個輥用腔室用於收容所述送出輥以及所述卷取輥。

採用該粉體塗敷裝置，僅將1個輥用腔室的內壓設定得高於裝置用腔室的內壓即可，因此，能夠使裝置簡便。

另外，優選的是，在本發明的粉體塗敷裝置中，所述壓力調整單元具有向所述輥用腔室的內部送入氣體的氣體送出部。

採用該粉體塗敷裝置，能夠簡便且切實地將輥用腔室的內壓設定得高於裝置用腔室的內壓。

另外，優選的是，本發明的粉體塗敷裝置還具有粉體去除部，該粉體去除部以與所述膜相對的方式配置在所述輸送方向上的、所述噴嘴的下遊側且所述卷取輥的上遊側，用於將附著到所述膜上的多餘的粉體去除。

採用該粉體塗敷裝置，能夠將附著到膜的多餘的粉體去除，因此，能夠使被塗敷了的膜的品質恆定。

發明的效果

採用本發明的粉體塗敷裝置，能夠降低向成膜腔室的內部飛散的粉體對裝置的影響。

附圖說明

圖1表示本發明的粉體塗敷裝置的第1實施方式的概略構成圖。

圖2表示本發明的粉體塗敷裝置的第2實施方式的概略構成圖。

圖3表示圖2的粉體塗敷裝置中的第2殼體以及成膜噴嘴的立體圖。

圖4表示在第1實施方式中採用氣溶膠沉積法的情況下的粉體塗敷裝置的概略構成圖。

具體實施方式

1.第1實施方式

1-1.粉體塗敷裝置

參照圖1，對本發明的粉體塗敷裝置的第1實施方式進行說明。

此外，在圖1的說明中，在提及粉體塗敷裝置的方向時，將圖1的紙面上下方向設為「上下方向」(第1方向)，紙面上方是上側，紙面下方是下側。另外，將圖1的紙面左右方向設為「前後方向」(第2方向、與第1方向正交的方向)，紙面右方向是前側，圖1的紙面左方向是後側。另外，將圖1的紙厚方向設為「寬度方向」(第3方向、與第1方向以及第2方向正交的方向)，紙厚跟前是寬度方向一側，紙厚方向進深是寬度方向另一側。對於圖4，也以圖1的方向為基準。

粉體塗敷裝置1是用於使粉體3附著於膜2的裝置，具有輸送部4以及噴射部5。

輸送部4具有作為裝置用腔室的一個例子的裝置用殼體6和收容於裝置用殼體6的內部的送出部7以及卷取部8。

裝置用殼體6形成為能夠使內部密閉的箱型形狀。裝置用殼體6收容有送出部7、卷取部8、成膜噴嘴18(隨後論述)以及載物臺19(隨後論述)。

此外，裝置用殼體6具有用於對裝置用殼體6(具體而言，裝置用殼體6內部的空間且除了第1殼體9(隨後論述)以及第2殼體13(隨後論述)所佔有的空間之外的空間)的內壓進行測定的壓力計51。

送出部7配置於裝置用殼體6的內部的下端以及前側。

送出部7具有作為輥用腔室的一個例子的第1殼體9、送出輥10、第1張緊輥11a以及第2張緊輥11b。

第1殼體9形成為沿著寬度方向延伸的箱型形狀(參照圖3)，收容有送出輥10、第1張緊輥11a以及第2張緊輥11b。在第1殼體9的後壁的上側形成有送出開口部12。送出開口部12形成為沿著寬度方向延伸的狹縫狀。

此外，第1殼體9具有用於對第1殼體9的內壓進行測定的壓力計52。

送出輥10是具有用於送出膜2的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。送出輥10配置於第1殼體9的內部的下端部。在送出輥10的表面以膜2的背面(與要塗敷的一側相反的面)朝向輥表面的方式卷繞有膜2。在送出輥10的旋轉軸的端部設置有齒輪(未圖示)，用於使送出輥10向箭頭方向旋轉的驅動力從馬達(未圖示)輸入齒輪。

第1張緊輥11a是具有用於將從送出輥10送出的膜2的張力良好地保持的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。第1張緊輥11a配置於送出輥10的上側且後側。

第2張緊輥11b是具有用於將從第1張緊輥11a輸送的膜2的張力良好地保持的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。第2張緊輥11b配置於送出輥10的上側且第1張緊輥11a的前側。

卷取部8以與送出部7隔開間隔而相對的方式配置於裝置用殼體6的內部的下端部以及後側。

卷取部8具有作為輥用腔室的一個例子的第2殼體13、卷取輥14、第3張緊輥15a以及第4張緊輥15b。

第2殼體13形成為沿著寬度方向延伸的箱型形狀(參照圖3)，收容有卷取輥14、第3張緊輥15a以及第4張緊輥15b。在第2殼體13的前壁的上側形成有卷取開口部17。卷取開口部17形成為沿著寬度方向延伸的狹縫狀。

此外，第2殼體13具有用於對第2殼體13的內壓進行測定的壓力計53。

卷取輥14是具有用於卷取被塗敷了的膜2的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。卷取輥14配置於第2殼體13的內部的下端部。卷取輥14相對於送出輥10配置於後側。即、卷取輥14相對於送出輥10配置於膜2的輸送方向(以下，僅簡寫成「輸送方向」。)下遊側。被塗敷了的膜2在粉體塗敷裝置1啟動後以其背面朝向輥表面的方式卷繞在卷取輥14的表面上。在卷取輥14的旋轉軸的端部設有齒輪(未圖示)，用於使卷取輥14向箭頭方向旋轉的驅動力從馬達(未圖示)輸入齒輪。

第3張緊輥15a是具有用於將從卷取開口部17送入的被塗敷了的膜2的張力良好地保持的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。第3張緊輥15a配置於卷取輥14的上側。

第4張緊輥15b是具有用於將從第3張緊輥15a輸送的被塗敷了的膜2的張力良好地保持的旋轉軸的圓柱構件，以沿著寬度方向延伸的方式形成。第4張緊輥15b配置於卷取輥14的上側且第3張緊輥15a的前側。

噴射部5具有作為噴嘴的一個例子的成膜噴嘴18、載物臺19、噴射裝置20以及連結管22。

成膜噴嘴18是用於朝向膜2的表面噴出粉體3的噴射裝置。成膜噴嘴18在裝置用殼體6的內部的上側、且在第1殼體9和第2殼體13之間的前後方向中途以噴射口朝向下側(即、載物臺19)的方式配置。即、成膜噴嘴18在裝置用殼體6內部在送出輥10和卷取輥14之間的輸送方向中途以噴射口朝向膜2的方式配置。由此，成膜噴嘴18能夠將從噴射裝置20供給的粉體3向輸送到載物臺19的上表面的膜2的表面噴塗。

如參照圖3那樣，成膜噴嘴18的噴射口的形狀以沿著寬度方向延伸的方式形成。

載物臺19在俯視時形成為沿著寬度方向延伸的大致矩形形狀，在從寬度方向一側向寬度方向另一側觀察的側視時形成為向上側凸起的弓型形狀(圓弧形狀)。載物臺19以與成膜噴嘴18隔開間隔而相對的方式配置於成膜噴嘴18的下側，且在第1殼體9和第2殼體13之間的前後方向中途以與第1殼體9以及第2殼體13隔開間隔而相對的方式配置。載物臺19以其最凸部(最上表面部)35位於比送出開口部12以及卷取開口部17的上下方向位置稍微靠上側的位置的方式配置。載物臺19的最凸部35最接近成膜噴嘴18的噴射口。最凸部35和成膜噴嘴18的噴射口之間的間隔例如是0.5mm以上，優選的是1mm以上，另外，例如是100mm以下，優選的是50mm以下。由此，在最凸部35，膜2被從成膜噴嘴18噴出的粉體3塗敷。

此外，載物臺19藉助未圖示的X－Y－Z移動載物臺支承以及固定於裝置用殼體6。通過自動或手動對X－Y－Z移動載物臺進行對位，從而能夠相對於成膜噴嘴18修正載物臺19的位置。

噴射裝置20是儲存粉體3、且將該粉體3向成膜噴嘴18送出的裝置，具體而言，可列舉出公知的噴射方法所使用的裝置。

作為公知的噴射方法，可列舉出例如氣溶膠沉積法(AD法·氣體沉積法(氣體堆積法))、冷噴塗法(高壓冷噴塗法、低壓冷噴塗法)、熱噴塗法(等離子體噴塗法、電弧噴塗法、火焰噴塗法)等氣溶膠噴印法。

連結管22以其一端部與噴射裝置20連接、另一端部貫通裝置用殼體6的上壁而與成膜噴嘴18連接的方式配置。

並且，這樣的粉體塗敷裝置1具有壓力調整單元16。具體而言，壓力調整單元16具有作為氣體送出部的一個例子的氣體流入管30，氣體流入管30具有設於第1殼體9的第1氣體流入管30a和設於第2殼體13的第2氣體流入管30b。

第1氣體流入管30a以其一端部(流出側端部)位於第1殼體9的內部、並且另一端部(流入側端部)貫通裝置用殼體6的前壁以及第1殼體9的前壁而位於裝置用殼體6的外部的方式配置。第1氣體流入管30a的一端部以在第1殼體9的內部與送出輥10相對的方式配置於下端。

第1氣體流入管30a的另一端部與用於將外部空氣、壓縮空氣等送入第1殼體9的內部的泵(未圖示)連接。

第2氣體流入管30b以其一端部(流出側端部)位於第2殼體13的內部、並且另一端部(流入側端部)貫通裝置用殼體6的後壁以及第2殼體13的後壁而位於裝置用殼體6的外部的方式配置。第2氣體流入管30b的一端部以在第2殼體13的內部與卷取輥14相對的方式配置於下端。

第2氣體流入管30b的另一端部與用於將外部空氣、壓縮空氣等送入第2殼體13的內部的泵(未圖示)連接。

另外，粉體塗敷裝置1具有作為粉體去除部的一個例子的清潔噴嘴31和噴氣噴嘴32。

清潔噴嘴31在配置於成膜噴嘴18和卷取輥14之間的前後方向中途的卷取開口部17附近設有多個(兩個)。即、兩個清潔噴嘴31(31a、31b)設於成膜噴嘴18的輸送方向下遊側且卷取輥14的輸送方向上遊側。

清潔噴嘴31(31a、31b)支承以及固定於第2殼體13。兩個清潔噴嘴31以它們的噴射口彼此相對的方式隔著卷取開口部17(膜2)並彼此隔開間隔地配置。詳細而言，一個清潔噴嘴31a在卷取開口部17(膜2)的上側以其噴射口朝向下側且前側的方式與所輸送的膜2隔開間隔地配置。另一個清潔噴嘴31b在卷取開口部17(膜2)的下側以其噴射口朝向上側且前側的方式與所輸送的膜2隔開間隔地配置。

噴氣噴嘴32在配置於送出輥10和成膜噴嘴18之間的前後方向中途的送出開口部12附近設有1個。即、噴氣噴嘴32設於送出輥10的輸送方向下遊側且成膜噴嘴18的輸送方向上遊側。

噴氣噴嘴32支承以及固定於第1殼體9。噴氣噴嘴32以與送出開口部12(膜2)相對的方式配置。詳細而言，噴氣噴嘴32在送出開口部12(膜2)的下側以其噴射口朝向上側且後側的方式與所輸送的膜2隔開間隔地配置。

1－2.塗敷方法

對使用粉體塗敷裝置1將粉體3附著於膜2的塗敷方法進行說明。

首先，如圖1所示，將膜2安放於輸送部4。

具體而言，將膜2以其背面朝向送出輥10的表面的方式卷繞於送出輥10。接下來，將膜2送出而依次通過第1張緊輥11a的後側的側面、第2張緊輥11b的前側的側面、以及送出開口部12。之後，以與載物臺19的最凸部35接觸的方式在載物臺19和成膜噴嘴18之間通過。接下來，通過卷取開口部17、第3張緊輥15a的後側的側面、以及第4張緊輥15b的前側的側面而卡定於卷取輥14。

膜2是具有預定的寬度的在輸送方向上縱長的膜，可列舉出例如樹脂膜、金屬箔等。

作為樹脂膜的材料，可列舉出例如熱塑性樹脂、熱固化性樹脂等。作為熱塑性樹脂，可列舉出例如聚乙烯、聚丙烯等烯烴系樹脂、例如PET等聚酯系樹脂、例如PTFE等氟系樹脂、例如尼龍等聚醯胺系樹脂、例如聚醯亞胺系樹脂、聚氯乙烯纖維素纖維、有機矽纖維等。作為熱固化性樹脂，可列舉出環氧樹脂、苯酚樹脂、氨基樹脂、不飽和聚酯樹脂等。

作為金屬箔的材料，可列舉出例如銅、鐵、不鏽鋼、鋁等。

膜2的厚度沒有限定，例如是5μm以上，優選的是10μm以上，另外，例如是500μm以下，優選的是100μm以下。

接下來，氣體分別經由氣體流入管30(30a、30b)流入第1殼體9以及第2殼體13，從而將第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓(具體而言，除了第1殼體9以及第2殼體13所佔有的空間之外的空間中的壓力)。

裝置用殼體6的內壓例如是1Pa以上，優選的是10Pa以上，更優選的是50Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，優選的是10000Pa以下，更優選的是1000Pa以下。

第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓例如分別是10Pa以上，優選的是50Pa以上、更優選的是100Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，優選的是10000Pa以下、更優選的是2100Pa以下。

第1殼體9的內壓與裝置用殼體6的內壓之差例如是10Pa以上，優選的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，優選的是1000Pa以下。

第2殼體13的內壓與裝置用殼體6的內壓之差例如是10Pa以上，優選的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，優選的是1000Pa以下。

接下來，通過驅動送出輥10以及卷取輥14而使送出輥10以及卷取輥14分別向圖1的箭頭方向旋轉，來輸送膜2。

具體而言，膜2從送出輥10按照第1張緊輥11a的後側的側面、第2張緊輥11b的前側的側面、以及送出開口部12的順序輸送。之後，從送出開口部12按照載物臺19的最凸部35以及卷取開口部17的順序、即從前側朝向後側輸送。之後，從卷取開口部17按照第3張緊輥15a的後側的側面、第4張緊輥15b的前側的側面以及卷取輥14的順序輸送，由卷取輥14卷取。

輸送速度例如是0.05m/分以上，優選的是0.1m/分以上，另外，例如是100m/分以下，優選的是50m/分以下。

另一方面，向噴射裝置20填充粉體3(材料)。

作為粉體3，沒有特別限定，可列舉出例如金屬氧化物粉末、金屬粉末、樹脂粉末等。

作為金屬氧化物粉末的材料，可列舉出例如氧化鋁、氧化釔、氧化鋯、二氧化鈦等。

作為金屬的材料，可列舉出例如銅、鐵、不鏽鋼、鋁等。

作為樹脂的材料，可列舉出例如熱塑性樹脂、熱固化性樹脂等。作為熱塑性樹脂，可列舉出例如聚乙烯、聚丙烯等烯烴系樹脂、例如PET等聚酯系樹脂、例如PTFE等氟系樹脂、例如尼龍等聚醯胺系樹脂、例如聚醯亞胺系樹脂、聚氯乙烯纖維素纖維、有機矽纖維等。作為熱固化性樹脂，可列舉出環氧樹脂、苯酚樹脂、氨基樹脂、不飽和聚酯樹脂等。

這些能夠單獨使用或組合兩種以上使用。

粉末的平均粒徑(中值粒徑)例如是0.05μm～10μm。特別是在使用隨後論述的氣溶膠沉積法的情況下，優選的是0.1μm以上，更優選的是0.5μm以上，另外，優選的是10μm以下，更優選的是2.5μm以下。平均粒徑(中值粒徑)例如通過基於動態光散射法的粒度分布測定裝置進行測定。

接下來，通過公知的噴射方法從成膜噴嘴18朝向下側、即、朝向所輸送的膜2噴射粉體3(噴射工序)。

由此，從送出輥10送出來的膜2在送出輥10和卷取輥14之間的輸送方向中途中被粉體3附著(塗敷)。並且，附著有粉體3的膜2被配置於輸送方向下遊側的卷取輥14卷取。

另外，在噴射工序中，在送出開口部12處從噴氣噴嘴32朝向膜2噴出氣體，且在卷取開口部17處從清潔噴嘴31(31a、32b)朝向膜2噴出氣體。

由此，在送出開口部12處，來自噴氣噴嘴32的氣體與膜2的背面碰撞，因此，能夠抑制粉體3附著於膜2的背面。其結果，能夠防止附著有粉體3的背面與載物臺19接觸而膜發生變形。

另一方面，在卷取開口部17處，來自兩個清潔噴嘴31(31a、32b)的氣體與附著有粉體3的膜2的表面以及背面碰撞，因此，附著到膜2上的多餘的粉體3被去除。

並且，採用該粉體塗敷裝置1，其包括：送出輥10；相對於送出輥10配置於後側(輸送方向下遊側)的卷取輥14；在送出輥10和卷取輥14之間的前後方向中途(輸送方向中途)以與膜2相對的方式配置的成膜噴嘴18；用於收容送出輥10的第1殼體9；用於收容卷取輥14的第2殼體13、用於收容成膜噴嘴18、第1殼體9以及第2殼體13的裝置用殼體6；將第1殼體9以及第2殼體13各自的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓的壓力調整單元16。

因此，能夠抑制在相對低壓的裝置用殼體6的內部飛散的粉體3進入相對高壓的第1殼體9以及第2殼體13的內部。其結果，能夠防止粉體3附著於第1殼體9以及第2殼體13、驅動送出輥10以及卷取輥14的齒輪、被塗敷了的膜2等。因而，能夠降低粉體3的影響。

另外，粉體塗敷裝置1具有第1殼體9以及第2殼體13，第1殼體9收容有送出輥10，第2殼體13收容有卷取輥14。

因此，能夠自由地調整送出輥10以及卷取輥14之間的相對位置、距離。其結果，能夠提高裝置設計的自由度。

另外，在粉體塗敷裝置1中，使用氣體流入管30將氣體從裝置用殼體6的外部送入第1殼體9以及第2殼體13的內部，來對第1殼體9以及第2殼體13的內壓進行調整。

因此，能夠簡便且切實地將第1殼體9以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓。

1－3.變形例

在圖1的實施方式中，在卷取開口部17附近具有兩個清潔噴嘴31，但是，例如既可以具有1個清潔噴嘴31，還可以不具有清潔噴嘴31，但對此並未圖示。

優選的是，粉體塗敷裝置1具有兩個清潔噴嘴31。由此，能夠將附著到膜2上的多餘的粉體3切實地去除，能夠使被塗敷了的膜2的品質恆定。另外，卷取到卷取輥14上的膜2被清潔噴嘴31自動地去除多餘的粉體3，因此，能夠在隨後的使用中無需針對膜2去除粉體3的工序。

在圖1的實施方式中，在送出開口部12附近具有噴氣噴嘴32，但例如也可以不具有噴氣噴嘴32，但對此並未圖示。

優選的是，粉體塗敷裝置1具有噴氣噴嘴32。由此，能夠抑制粉體3附著於膜2的背面。因此，能夠防止附著有粉體3的背面與載物臺19接觸而膜發生變形。

在圖1的實施方式中，使氣體經由氣體流入管30(30a、30b)分別流入第1殼體9以及第2殼體13，從而將第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，但例如也可以是，在裝置用殼體6安裝真空泵等而將裝置用殼體6的內部設為低壓，另一方面，經由氣體流入管30(30a、30b)分別使第1殼體9以及第2殼體13大氣開放，從而將第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，但對此並未圖示。

在圖1的實施方式中，僅膜2的表面附著有粉體3，但例如，也可以在膜2的兩個面(表面以及背面)附著粉體3，但對此並未圖示。具體而言，在使粉體3附著於膜2的表面、將膜2完全卷取到卷取輥14之後，對卷取有膜2的卷取輥14和送出輥10進行裝卸更換。接下來，以在載物臺19的最凸部35處粉體3附著於膜2的背面的方式將膜2從卷取輥14向送出輥10輸送。

另外，也可以對載物臺19的形狀以及位置進行適當調整，進一步使成膜噴嘴以與載物臺19相對的方式配置於載物臺19的下側，從而能夠將粉體3同時附著於膜2的兩個面，但對此並未圖示。

在圖1以及圖3的實施方式中，具有噴射孔的形狀以沿著寬度方向延伸的方式形成的1個成膜噴嘴18，但例如，成膜噴嘴18也可以具有沿著寬度方向排列配置的多個成膜噴嘴，但對此並未圖示。

在圖1的實施方式中，具有4個張緊輥(11a、11b、15a、15b)，但例如，也可以適當地增減張緊輥的數量，但對此並未圖示。

2.第2實施方式

參照圖2對本發明的粉體塗敷裝置的第2實施方式進行說明。

在圖2的說明中，對於與圖1的實施方式同樣的構件，標註相同的附圖標記，而省略其詳細內容。

另外，在提及粉體塗敷裝置的方向時，將圖2的紙面上下方向設為「上下方向」(第1方向)，紙面上方是上側，紙面下方是下側。另外，將圖2的紙面左右方向設為「前後方向」(第2方向、與第1方向正交的方向)，紙面右方向是前側，圖2的紙面左方向是後側。另外，將圖2的紙厚方向設為「寬度方向」(第3方向、與第1方向以及第2方向正交的方向)，紙厚跟前是寬度方向一側，紙厚方向進深是寬度方向另一側。對於圖3也以圖2的方向為基準。

第2實施方式的粉體塗敷裝置40具有輸送部41以及噴射部5。

輸送部41具有裝置用殼體6以及收容於裝置用殼體6的內部的送出·卷取部42。

送出·卷取部42配置於裝置用殼體6的內部的前側。

送出·卷取部42包括作為輥用腔室的一個例子的輥用殼體43、送出輥10、卷取輥14、第1張緊輥11a、第2張緊輥11b、第3張緊輥15a以及第4張緊輥15b。

輥用殼體43形成為沿著寬度方向延伸的箱型形狀(參照圖3)，收容有送出輥10、卷取輥14、第1張緊輥11a、第2張緊輥11b、第3張緊輥15a以及第4張緊輥15b。

在輥用殼體43的後壁形成有送出開口部12以及卷取開口部17。送出開口部12在輥用殼體43的後壁的上側以沿著寬度方向延伸的方式形成。卷取開口部17與送出開口部12隔開間隔並以沿著寬度方向延伸的方式形成於後壁的下側。

送出輥10配置於輥用殼體43的上側以及前側。

卷取輥14配置於輥用殼體43的下側以及前側。即、卷取輥14以與送出輥10相對的方式配置於送出輥10的下側。

第1張緊輥11a配置於送出輥10的後側。

第2張緊輥11b配置於送出輥10的後側且第1張緊輥11a的上側。

第3張緊輥15a配置於卷取輥14的後側。

第4張緊輥15b配置於卷取輥14的後側且第3張緊輥15a的上側。

此外，輥用殼體43具有用於對輥用殼體43的內壓進行測定的壓力計54。

噴射部5具有成膜噴嘴18、載物臺19、噴射裝置20以及連結管22。

成膜噴嘴18以與輥用殼體43的後壁隔開間隔並與輥用殼體43的後壁相對的方式配置於後側。另外，成膜噴嘴18以其上下方向位置位於送出開口部12以及卷取開口部17的上下方向之間的方式配置。成膜噴嘴18的噴射口以朝向前側的載物臺19的方式配置。

載物臺19在主視時形成為沿著寬度方向延伸的大致矩形形狀，在從寬度方向一側向另一側觀察的側視時形成為向後側凸起的弓型形狀(圓弧形狀)。載物臺19以與成膜噴嘴18隔開間隔並相對的方式配置於前側。載物臺19以其前表面與輥用殼體43的後壁接觸的方式配置。詳細而言，載物臺19配置於送出開口部12以及卷取開口部17的上下方向中途。載物臺19的最凸部35最接近成膜噴嘴18的噴射口，在最凸部35處，從成膜噴嘴18噴出的粉體3塗敷於膜2。

此外，載物臺19被輥用殼體43支承以及固定。

粉體塗敷裝置40包括具有氣體流入管30的壓力調整單元16。氣體流入管30設於輥用殼體43。

氣體流入管30以其一端部(流出側端部)位於輥用殼體43的內部、並且另一端部(流入側端部)貫通裝置用殼體6的前壁以及輥用殼體43的前壁而位於裝置用殼體6的外部的方式配置。氣體流入管30的一端部在輥用殼體43的內部配置於比卷取輥14靠下側的位置。

對於使用第2實施方式的粉體塗敷裝置40將粉體3附著於膜2的塗敷方法，能夠與第1實施方式的粉體塗敷裝置1同樣地實施。

即，如參照圖2那樣，將膜2安放於送出·卷取部42。即，與第1實施方式同樣地將膜2卷繞於送出輥10，使膜2依次通過第1張緊輥11a、第2張緊輥11b、送出開口部12、載物臺19的最凸部35、第3張緊輥15a、第4張緊輥15b以及卷取開口部17，卡定於卷取輥14。

接下來，通過使氣體經由氣體流入管30流入輥用殼體43，將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓(具體而言，除了輥用殼體43所佔有的空間之外的空間的壓力)。

輥用殼體43的內壓例如是10Pa以上，優選的是50Pa以上，更優選的是100Pa以上，另外，例如是80000Pa以下，優選的是10000Pa以下，更優選的是2100Pa以下。

輥用殼體43的內壓與裝置用殼體6的內壓之差例如是10Pa以上，優選的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，優選的是1000Pa以下。

另一方面，在將粉體3填充到噴射裝置20之後，通過公知的噴射方法從成膜噴嘴18朝向前側、即、朝向所輸送的膜2噴射粉體3。

由此，可獲得在表面附著(塗敷)有粉體3的膜2。

並且，採用該粉體塗敷裝置40，其包括：送出輥10；相對於送出輥10配置於下側(輸送方向下遊側)的卷取輥14；在送出輥10和卷取輥14之間的上下方向中途(輸送方向中途)以與膜2相對的方式配置的成膜噴嘴18；用於收容送出輥10以及卷取輥14的輥用殼體43；用於收容成膜噴嘴18以及輥用殼體43的裝置用殼體6；以及將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓的壓力調整單元16。

因此，能夠抑制在相對低壓的裝置用殼體6的內部飛散的粉體3進入相對高壓的輥用殼體43的內部。其結果，能夠防止粉體3附著於送出輥10以及卷取輥14、驅動送出輥10以及卷取輥14的齒輪、被塗敷了的膜2等。因而，能夠降低粉體3的影響。

另外，該粉體塗敷裝置40具有輥用殼體43，輥用殼體43用於收容送出輥10以及卷取輥14。

因此，僅將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓即可，因此，能夠使裝置簡便。

另外，在粉體塗敷裝置40中，使用氣體流入管30將氣體從裝置用殼體6的外部送入輥用殼體43的內部，對輥用殼體43的內壓進行調整。

因此，能夠簡便且切實地將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓。

此外，在圖2的實施方式中，不具有清潔噴嘴31，但例如，如參照圖1那樣，也可以在卷取開口部17附近設置1個或2個以上的清潔噴嘴31。

另外，在圖2的實施方式中，不具有噴氣噴嘴32，但是，也可以例如如參照圖1那樣，在送出開口部12附近設置噴氣噴嘴32。

在圖2的實施方式中，通過使氣體經由氣體流入管30流入輥用殼體43，將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，但也可以是，例如，在裝置用殼體6安裝真空泵等而將裝置用殼體6的內部設為低壓，另一方面，經由氣體流入管30使輥用殼體43大氣開放，從而將輥用殼體43的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，但對此並未圖示。

在圖2的實施方式中，僅在膜2的表面附著有粉體3，但例如，也可以在膜2的兩個面(表面以及背面)附著粉體3，但對此並未圖示。具體而言，在使粉體3附著於膜2的表面、將膜2完全地卷取在卷取輥14之後，將卷取有膜2的卷取輥14和送出輥10裝卸更換。接下來，以在載物臺19的最凸部35處粉體3附著於膜2的背面的方式將膜2從卷取輥14向送出輥10輸送。

另外，對載物臺19的形狀以及位置進行適當調整，進一步使成膜噴嘴以與載物臺19相對的方式配置於載物臺19的前側，從而能夠同時使粉體3附著於膜2的兩個面，但對此並未圖示。

在圖2以及圖3的實施方式中，具有以噴射孔的形狀沿著寬度方向延伸的方式形成的1個成膜噴嘴18，但例如，成膜噴嘴18也可以具有沿著寬度方向排列配置的多個成膜噴嘴，但對此並未圖示。

在圖2的實施方式中，具有4個張緊輥(11a、11b、15a、15b)，例如，也可以適當地增減張緊輥的數量，但對此並未圖示。

3.基於氣溶膠沉積的粉體塗敷裝置

使用圖4對作為第1實施方式的另一具體例的、使用了氣溶膠沉積法的粉體塗敷裝置50的本發明的一實施方式進行說明。

對於圖4的粉體塗敷裝置50，作為噴射裝置20，具有氣溶膠腔室21以及載氣輸送裝置24。

氣溶膠腔室21是儲存粉體3的儲存槽，具有振動裝置29、以及用於對氣溶膠腔室21的內壓進行測定的壓力計(未圖示)。

振動裝置29是用於使氣溶膠腔室21、以及氣溶膠腔室21內的粉體3振動的裝置，可使用公知的振動器。

另外，氣溶膠腔室21與連結管22連接。

連結管22是用於將氣溶膠化後的粉體3(以下稱為氣溶膠)從氣溶膠腔室21向裝置用殼體6輸送的配管，其一端部與氣溶膠腔室21連接，其另一端部與成膜噴嘴18連接。

另外，在連結管22的中途夾設有連結管開閉閥23。作為連結管開閉閥23，例如可使用電磁閥等公知的開閉閥。

載氣輸送裝置24具有載氣儲氣瓶25以及氣體管26。

載氣儲氣瓶25是儲存例如氧氣、氦氣、氬氣、氮氣、空氣等載氣的儲氣瓶，經由氣體管26與氣溶膠腔室21連接。

氣體管26是用於將載氣從載氣儲氣瓶25向氣溶膠腔室21輸送的配管，其一端部與載氣儲氣瓶25連接，並且另一端部與氣溶膠腔室21連接。

另外，在氣體管26的中途夾設有氣體流量計27。氣體流量計27是用於對氣體管26內的氣體的流量進行調整、並且用於對該流量進行檢測的裝置，可使用公知的流量計。

而且，在氣體管26的中途，在比氣體流量計27靠氣溶膠腔室21的一側夾設有氣體管開閉閥28。作為氣體管開閉閥28，可使用例如電磁閥等公知的開閉閥。

另外，在粉體塗敷裝置50中，在裝置用殼體6中設置有機械增壓泵33和旋轉泵34。

機械增壓泵33以及旋轉泵34對裝置用殼體6內進行減壓、並且對經由連結管22與裝置用殼體6連通的氣溶膠腔室21內進行減壓，因此，依次與裝置用殼體6連接。

為了利用這樣的粉體塗敷裝置50將粉體3附著於膜2，如上所述，將膜2安放於輸送部4，接下來，利用氣體流入管30將第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，並輸送膜2。

接下來，在粉體塗敷裝置50的塗敷方法中，在噴射工序中，實施下述的步驟。

首先，在該工序中，將氣體管開閉閥28設為閉，另外，在將連結管開閉閥23設為開的同時驅動機械增壓泵33以及旋轉泵34，從而對裝置用殼體6內以及氣溶膠腔室21內進行減壓。

裝置用殼體6的內壓例如是5Pa～80Pa，氣溶膠腔室21的內壓例如是5Pa～80Pa。

接下來，在該方法中，在氣溶膠腔室21內利用振動裝置29使粉體3振動，並且將連結管開閉閥23設為閉、將氣體管開閉閥28設為開，從載氣儲氣瓶25將載氣向氣溶膠腔室21供給。由此，使粉體3氣溶膠化。之後，將連結管開閉閥23設為開，將產生的氣溶膠經由連結管22向成膜噴嘴18輸送。此時，氣溶膠與成膜噴嘴18的內壁碰撞而破碎，成為粒徑更小的粒子。

另外，由氣體流量計27調整的載氣的流量例如是1L/分以上，優選的是3L/分以上，另外，例如是150L/分以下，優選的是100L/分以下。

接下來，在該方法中，將氣溶膠從成膜噴嘴18的噴射口朝向膜2的表面噴射。

氣溶膠噴射中的氣溶膠腔室21的內壓例如是50Pa以上，優選的是1000Pa以上，另外，例如是1atm以下，優選的是50000Pa以下。

此時，氣體從氣體流入管30向第1殼體9的內部以及第2殼體13的內部供給，第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓如上所述那樣設定得高於裝置用殼體6的內壓。

例如，裝置用殼體6的內壓與第1殼體9的內壓或第2殼體13的內壓之差分別例如是10Pa以上，優選的是100Pa以上，另外，例如是10000Pa以下，優選的是1000Pa以下。

另外，氣溶膠噴射中的氣溶膠腔室21內的溫度例如為0℃～50℃。

由此，粉體3附著於膜2的表面。

採用該粉體塗敷裝置50，利用氣溶膠沉積法塗敷粉體3，因此能夠在膜2的表面形成緻密的粉體層、多孔質的粉體層。尤其是，在使用金屬氧化物粒子作為粉體3的情況下，能夠容易地形成緻密的金屬氧化層、多孔質的金屬氧化層。

另外，粉體塗敷裝置50採用卷對卷方式，因此，與以往的批次式相比較，能夠格外高效地製造塗敷有粉體層的膜2。

另外，粉體塗敷裝置50能夠將第1殼體9的內壓以及第2殼體13的內壓設定得高於裝置用殼體6的內壓，能夠防止粉體3附著於送出輥10、卷取輥14、驅動送出輥10、卷取輥14的齒輪、被塗敷了的膜2等。因而，能夠降低粉體3的影響。

此外，上述說明作為本發明的例示的實施方式而提供，但這只不過是簡單的例示，並非限定性地解釋。本領域技術人員清楚的本發明的變形例包含於權利要求書中。

產業上的可利用性

本發明的粉體塗敷裝置適合用作例如用於使粉體附著於膜的粉體塗敷裝置。

附圖標記說明

1、粉體塗敷裝置；2、膜；3、粉體；6、裝置用殼體；9、第1殼體；10、送出輥；13、第2殼體；14、卷取輥；16、壓力調整單元；18、成膜噴嘴；30、氣體流入管；32、清潔噴嘴；40、粉體塗敷裝置；43、輥用殼體；50、粉體塗敷裝置。