化學製劑處理系統的製作方法

2023-05-28 05:11:46

專利名稱：化學製劑處理系統的製作方法
技術領域：
本發明涉及半導體製造裝置領域，尤其涉及一種化學製劑處理系統。
背景技術：
近年來，各類型的化學製劑供給裝置被廣泛應用到半導體裝置的生產當中。化學 製劑供給裝置可將化學製劑提供給用於製造半導體裝置的工藝單元，如果提供給處理單元 的化學製劑由於其內部成分的變化、細微分離顆粒的聚集，溫度、流量和壓力的變化等原因 而不穩定，則半導體裝置可能就有缺陷。因此，就要求有一種化學製劑供給裝置來提供穩定 的化學製劑。

發明內容
(一)要解決的技術問題本發明的目的是在不停止生產工藝的情況下如何使化學製劑供給裝置提供穩定 的化學製劑。( 二 )技術方案為達到上述目的，本發明提出了一種化學製劑處理系統，，包括第一子系統，包括第一儲罐，第一循環泵，其輸入端與所述第一儲罐的輸出端連 接，第四方向切換閥，其輸入端與第一循環過濾器的輸出端連接，其第二輸出端與所述第一 儲液罐的第三輸入端連接；第二子系統，包括第二儲罐，第二循環泵，其輸入端與所述第二儲罐的輸出端連 接，第五方向切換閥，其輸入端與所述第二循環過濾器的輸出端連接，其第二輸出端與所述 第二儲液罐的第三輸入端連接；第一方向切換閥，其第一輸出端與所述第一儲罐的第一輸入端連接，其第二輸出 端與所述第二儲罐的第一輸入端連接；第二方向切換閥，其第一輸入端與所述第四方向切換閥的第一輸出端連接，其第 二輸入端與所述第五方向切換閥的第一輸出端連接；工藝單元，其輸入端與所述第二方向切換閥的輸出端連接；第三方向切換閥，其輸入端與所述工藝單元的第一輸出端連接，其第一輸出端與 所述第一儲罐的第二輸入端連接，第二輸出端與所述第二儲罐的第二輸入端連接。其中，所述工藝單元上設置有排放埠。其中，所述第一循環泵和所述第四方向切換閥之間順序串聯設置有第一熱交換 器、第一在線加熱器和第一過濾器。其中，所述第二循環泵和所述第五方向切換閥之間順序串聯設置有第二熱交換 器、第二在線加熱器和第二過濾器。其中，所述第一儲液罐上設置有多個液位傳感器。其中，所述第二儲液罐上設置有多個液位傳感器。
其中，所述第二方向切換閥的輸出端和所述工藝單元的輸入端之間設置有在線化 學分析儀。(三)有益效果本發明的上述技術方案具有如下優點本發明的系統可以在不需要時間以重新注 入化學製劑的情況下利用兩個相同子系統的切換持續地向工藝單元提供化學製劑；該系統 利用在線化學分析儀的幫助，可以循環再利用在工藝單元中已使用過的化學製劑，降低生 產成本；該系統可快速而準確地控制化學製劑的溫度、流量和壓力。


圖1為本發明化學製劑處理系統實施例的示意圖。
具體實施例方式下面結合附圖和實施例，對本發明的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下實施 例用於說明本發明，但不用來限制本發明的範圍。如圖1為本發明化學製劑處理系統實施例的示意圖，包括第一子系統、第二子系 統、第一方向切換閥2、第二方向切換閥16、第三方向切換閥14、工藝單元15、在線化學分析 儀19。在本發明中所有的方向切換閥用於對不同功能的管路的切換。第一子系統包括第一儲液罐1、第一循環泵3、第一熱交換器4、第一在線加熱器5、 第一過濾器6以及第四方向切換閥7。第一儲罐1用於儲存進入系統的化學試劑。第一循 環泵3用於對儲槽中的化學製劑進行穩定壓力與流量循環。第一熱交換器4和第一在線加 熱器5用於對化學製劑的溫度進行精確控制，當溫度低於工藝需求的溫度時，第一在線加 熱器5會不斷的加熱流經的循環化學製劑，直到溫度達到工藝要求，當化學製劑的溫度超 過工藝要求時，第一熱交換器4啟動，將流經的循環化學製劑的溫度降低到工藝的要求。第 一過濾器6，用於對不斷循環流經的化學製劑進行不斷的過濾，過濾掉化學製劑中的不符合 工藝要求的顆粒。第一儲罐1的輸出端與第一循環泵3的輸入端連接，第一循環泵3的輸 出端與與第一熱交換器4的輸入端連接，第一熱交換器4的輸出端與第一在線加熱器5的 輸入端連接，第一在線加熱器5的輸出端與第一過濾器6的輸入端連接，第一過濾器6的輸 出端與第四方向切換閥7的輸入端連接，第四方向切換閥7的第一輸出端與第二方向切換 閥16的第一輸入端連接，其第二輸出端與第一儲罐1的第三輸入端連接，第一儲罐1的第 二輸入端與第三方向切換閥14的第一輸出端連接。第一儲液罐1上設置有多個(例如四 個)液位傳感器17，用於控制第一儲罐1中的化學製劑容量。第一方向切換閥2的輸入端為化學製劑供應端，其第一輸出端與第一儲罐1的第 一輸入端連接，其第二輸出端與第二子系統的第二儲罐8的第二輸入端連接。第一方向切 換閥2用於選擇向第一儲罐1還是向第二儲罐8從系統外供應化學製劑。第二子系統的構造與第一子系統相同，包括第二儲罐8，第二循環泵9、第二熱交 換器10、第二在線加熱器11和第二過濾器12、第五方向切換閥13。第二儲罐8的輸出端與 第二循環泵9的輸入端連接，第二循環泵9的輸出端與第二熱交換器10的輸入端連接，第 二熱交換器10的輸出端與第二在線加熱器11的輸入端連接，第二在線加熱器11的輸出端 與第二過濾器12的輸入端連接，第二過濾器12的輸出端與第五方向切換閥13的輸入端連接，第五方向切換閥13的第一輸出端與第二方向切換閥16的第二輸入端連接，其第二輸出 端與第二儲罐8的第三輸入端連接，第二儲罐8的第一輸入端與第三方向切換閥14的第二 輸出端連接。第二儲液罐8上設置有多個液位傳感器18，用於控制第二儲罐8中的化學制 劑容量。第二方向切換閥16的輸出端與工藝單元15的輸入端連接，二者之間設置有在線 化學分析儀19。工藝單元15的輸出端與第三方向切換閥14的輸入端連接。工藝單元15 上還設置有排放埠。當一套子系統為工藝單元供給符合工藝要求的化學製劑時，另一套子系統運行循 環運轉，時刻準備為工藝單元提供化學製劑，當在線化學分析儀提示目前去往工藝單元的 化學製劑已經不符合工藝要求時，第二切換閥立刻將另一套子系統切換到工藝單元的方向 上。工藝過程結束後，如果經在線化學分析儀測定化學製劑已經不符合工藝要求，化學製劑 會通過排放口排除系統，如果化學製劑仍然符合工藝要求，則通過第三方向切換閥選擇循 環回第一儲罐或第二儲罐。以上所述僅是本發明的實施方式，應當指出，對於本技術領域的普通技術人員來 說，在不脫離本發明技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變型，這些改進和變型也應 視為本發明的保護範圍。
權利要求
1.一種化學製劑處理系統，其特徵在於，包括第一子系統，包括第一儲罐(1)，第一循環泵(3)，其輸入端與所述第一儲罐(1)的輸 出端連接，第四方向切換閥(7)，其輸入端與第一循環過濾器(6)的輸出端連接，其第二輸 出端與所述第一儲液罐(1)的第三輸入端連接；第二子系統，包括第二儲罐(8)，第二循環泵(9)，其輸入端與所述第二儲罐(8)的輸 出端連接，第五方向切換閥(13)，其輸入端與第二循環過濾器(1 的輸出端連接，其第二 輸出端與所述第二儲液罐(8)的第三輸入端連接；第一方向切換閥O)，其第一輸出端與所述第一儲罐(1)的第一輸入端連接，其第二輸 出端與所述第二儲罐(8)的第一輸入端連接；第二方向切換閥(16)，其第一輸入端與所述第四方向切換閥(7)的第一輸出端連接， 其第二輸入端與所述第五方向切換閥(1 的第一輸出端連接；工藝單元(15)，其輸入端與所述第二方向切換閥(16)的輸出端連接；第三方向切換閥(14)，其輸入端與所述工藝單元(1 的第一輸出端連接，其第一輸出 端與所述第一儲罐(1)的第二輸入端連接，第二輸出端與所述第二儲罐(8)的第二輸入端 連接。
2.如權利要求1所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述工藝單元(15)上設置有 排放埠。
3.如權利要求2所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述第一循環泵(3)和所述第 四方向切換閥(7)之間順序串聯設置有第一熱交換器(4)、第一在線加熱器( 和第一過濾 器(6)。
4.如權利要求3所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述第二循環泵(9)和所述第 五方向切換閥(1 之間順序串聯設置有第二熱交換器(10)、第二在線加熱器(11)和第二 過濾器(12)。
5.如權利要求4所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述第一儲液罐(1)上設置有 多個液位傳感器(17)。
6.如權利要求5所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述第二儲液罐(8)上設置有 多個液位傳感器(18)。
7.如權利要求6所述的化學製劑處理系統，其特徵在於，所述第二方向切換閥(16)的 輸出端和所述工藝單元(1 的輸入端之間設置有在線化學分析儀(19)。
全文摘要
本發明公開了一種化學製劑處理系統，包括構造相同的第一子系統和第二子系統、用於在兩個子系統之間進行切換的第一方向切換閥、第二方向切換閥和第三方向切換閥以及工藝單元和在線化學分析儀。本發明的系統可以在不需要時間以重新注入化學製劑的情況下利用兩個相同子系統的切換持續地向工藝單元提供化學製劑；該系統利用在線化學分析儀的幫助，可以循環再利用在工藝單元中已使用過的化學製劑，降低生產成本；該系統可快速而準確地控制化學製劑的溫度、流量和壓力。
文檔編號H01L21/00GK102122608SQ201010624099
公開日2011年7月13日 申請日期2010年12月31日 優先權日2010年12月31日
發明者何金群, 昝威, 王銳廷, 裴立坤 申請人:北京七星華創電子股份有限公司